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摘要 %rgW}Z5 KF5r?|8M 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 qJf\,7mi Vp0_R9oQ
fLd2{jI, !*HJBZ]q 1. 建模任务 Yh;(puhyA NQ;$V:s)
<2]D3,.g. 1Sza%D;3 2. 结果 g]c6_DMfb1 =yM%#{t&W
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