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摘要 !{4'=+ m^\&v0 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 J)^F 7|o!v);uR
joDqv,iW8 b9ud8wLE[ 1. 建模任务 H+562W =k*XGbU
#1C]ZV] B @eZBwFe 2. 结果 )+"5($~ +0 }_X
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