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白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ,=tVa]) Dg_/Iu>OAE (U/xpj} 1. 建模任务 Ed|7E_v /q%TjQ}F 2. 干涉条纹的变化 $S$%avRX G!uQ|<( '}c0:,5 3. VirtualLab Fusion概览 bQk5R._got AZ5c^c) @ :i>q$aF 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 uU`zbh}]L. 设置输入场 m=2TzLVv - Basic Source Models [教程视频] r+HJ_R,5A 定义组件的位置和方向 ushQWP) - Basic Source Models [教程视频] R|{6JsjG10 正确设置通道以进行非顺序跟踪 3Gt'<E| " - Basic Source Models [使用案例] EOV<|WF> 使用参数运行检查影响/变化 uH]n/Kv1, - Usage of the Parameter Run Document [用例] \O?#gW\tR &l%#OI}OE
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