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'wA4yJ< 内容简介 PfN[)s4F{R Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Gd Vrl[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 i%GNmD 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 rM0Idc.$&& 4N(iow4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 v*JXrB&x 目录 &BxZ}JH=k Preface 1 Yln[ZmK9g 内容简介 2 uskJ(! 目录 i 4?33t] " 1 引言 1 {k uC+~R 2 光学薄膜基础 2 T@R2H&L 2.1 一般规则 2 ja&S^B^@ 2.2 正交入射规则 3 z3p
TdUt 2.3 斜入射规则 6 p~yGp]yJ9 2.4 精确计算 7 %7A?gY81 2.5 相干性 8 :Aa5,{v_ 2.6 参考文献 10 )}to7r7` 3 Essential Macleod的快速预览 10 )mu[ye"p 4 Essential Macleod的特点 32 , Y^GQ`~# 4.1 容量和局限性 33 z7!@^!r 4.2 程序在哪里? 33 ~o27~R ] 4.3 数据文件 35 wCt!.<, . 4.4 设计规则 35 .23Yqr'zT 4.5 材料数据库和资料库 37 S0WKEv@Hn 4.5.1材料损失 38 n{"e8vQx 4.5.1材料数据库和导入材料 39 tHmV4 H$ 4.5.2 材料库 41 /s
Bs eI 4.5.3导出材料数据 43 ]$)U~)T
iW 4.6 常用单位 43 glomwny 4.7 插值和外推法 46 MDauHtF, 4.8 材料数据的平滑 50 y4%[^g~- 4.9 更多光学常数模型 54 WesEZ\V 4.10 文档的一般编辑规则 55 3vj1FbY 4.11 撤销和重做 56 ^WUG\@B 4.12 设计文档 57 9'0v]ar 4.10.1 公式 58 cuQAXqXC@ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ] p*Fq^ 4.10.3 沉积密度 59 @a}\]REn 4.10.4 平行和楔形介质 60 ]6].l$%z# 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 '8c-V aa 4.10.4 性能 61 _ q^JjR 4.10.5 保存设计和性能 64 Q tl!f 4.10.6 默认设计 64 Rg7~?b- 4.11 图表 64 Yu:!l> 4.11.1 合并曲线图 67 yDw#V`Y^M 4.11.2 自适应绘制 68 }CQ)W1mO" 4.11.3 动态绘图 68 ys9'1+9 4.11.4 3D绘图 69 Vi>`g{\ 4.12 导入和导出 73 !Q=xIS
4.12.1 剪贴板 73 ?sclOOh 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 \@$V^;OP/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &d=ZCaP 4.13 背景 77 J_d!` Hhe 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Qq<+QL | 4.15 生成Rugate 84 "bA8NQIP 4.16 参考文献 91 "]hQ\b\O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 B`?5G\7L 5.1 Jobs 92 #T08H,W/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 fBnlB_}e 5.3 输入材料 94 lj 2OOU{ 5.4 设计数据文件夹 95 &6^QFqqW`- 5.5 默认设计 95 PDhoCAh
! 6 细化和合成 97 1? Im" 6.1 优化介绍 97 "p"~fN
/I9 6.2 细化 (Refinement) 98 oT*qMLdn 6.3 合成 (Synthesis) 100 THmmf_w@ 6.4 目标和评价函数 101 V%JG :'6L 6.4.1 目标输入 102 gUrXaD# 6.4.2 目标 103 '\R/-. 6.4.3 特殊的评价函数 104 1{?5/F \ + 6.5 层锁定和连接 104 WoWmmZ 6.6 细化技术 104 J'@`+veE 6.6.1 单纯形 105 Qn`Fq,uvL 6.6.1.1 单纯形参数 106 Yl"l|2
: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 !T~C =,; 6.6.2.1 Optimac参数 108 oNp(GQ@0 6.6.3 模拟退火算法 109 JQH>{OB 6.6.3.1 模拟退火参数 109 1(jDBP!8 6.6.4 共轭梯度 111 >=d%t6%( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 %Iv*u sXP 6.6.5 拟牛顿法 112 ?K=
X[ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 W6jdS;3 6.6.6 针合成 113 M1J77LfS8 6.6.6.1 针合成参数 114 tQIa6c4| 6.6.7 差分进化 114 ,L$,d 6.6.8非局部细化 115 CQ:38l\`gd 6.6.8.1非局部细化参数 115 b>f{o_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V2IurDE 6.7.1 细化 116 O^sOv!!RH/ 6.7.2 合成 117 @]@6(To 6.8 参考文献 117 52q<|MW% 7 导纳图及其他工具 118 0%"sOth 7.1 简介 118 UBM:.*wN 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 >rid3~ 7.2.1 四分之一波长规则 119 %SJFuw" 7.2.2 导纳图 120 Rp_)LA 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Q$8K-5U% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #SqU>R 7.5 斜入射导纳图 141 B-W8Zq#4> 7.6 对称周期 141 um*!+Q 7.7 参考文献 142 ';3#t(J; 8 典型的镀膜实例 143 o>Q=V0? 8.1 单层抗反射薄膜 145 EJ=ud9 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^(~%'f 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 @y(<4kLz 8.4 W-膜层 148 MhZ\]CAs9 8.5 V-膜层 149 k.!m-5E 8.6 V-膜层高折射基底 150 }$Z0v` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Zx 5Ue#I 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 !M;><b}=5 8.9 四层抗反射薄膜 153 i^hEL2S/A 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 y8$I= 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 L'r gCOJ< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 'oS= d 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }N0v_Nas;v 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 bL0>ul" 8.15十五层宽带抗反射膜 159 NM4b]> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 B;c2gu
8.17 1/4波长堆栈 162 T1i}D"H % 8.18 陷波滤波器 163 R_2T" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 '|@?R |i0 8.20 褶皱 165 >$G'=N:=X& 8.21 消偏振分光器1 169 -^$`5Rk 8.22 消偏振分光器2 171 P~M<OUg 8.23 消偏振立体分光器 172 Z\>mAtm 8.24 消偏振截止滤光片 173 rObg:(z&\ 8.25 立体偏振分束器1 174 LGq
T$ O| 8.26 立方偏振分束器2 177 "I0F"nQ 8.27 相位延迟器 178 ,dXJCX8so 8.28 红外截止器 179 L&hv:+3N 8.29 21层长波带通滤波器 180 GGez!?E% 8.30 49层长波带通滤波器 181 m aOt/- 8.31 55层短波带通滤波器 182 EGxCNB 8.32 47 红外截止器 183
Pzte!]B 8.33 宽带通滤波器 184 S(PU"}vZy 8.34 诱导透射滤波器 186 lw=!v%L 8.35 诱导透射滤波器2 188 tA{hx- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 .>
5[; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 'nN'bVl/ 8.35 增益平坦滤波器 193 nR8r$2B+t 8.38 啁啾反射镜 1 196 U5ME`lN*` 8.39 啁啾反射镜2 198 QE+HL8c^s 8.40 啁啾反射镜3 199 SaFNPnk= 8.41 带保护层的铝膜层 200 1"f)\FPGe 8.42 增加铝反射率膜 201 I6Ga'5bV 8.43 参考文献 202 xTf|u 9 多层膜 204 Td5yRN! ? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 hw2Sb,bY 9.2 内部透过率 204 1.I58(0~+ 9.3 内部透射率数据 205 `oOVR6{K9 9.4 实例 206 nd~O*-uYg 9.5 实例2 210 4WP@ F0@n3 9.6 圆锥和带宽计算 212 'a G`qPB 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 <op|yh3Jkk 10 光学薄膜的颜色 216 ).IK[5Q` 10.1 导言 216 zI"1.^Trn 10.2 色彩 216 T\w{&3ONm 10.3 主波长和纯度 220 eXi}-~o 10.4 色相和纯度 221 LG;U?:\ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 P(aN6)D 10.6 色差 226 *K;s*-|U 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 `X%Qt~ 10.8 颜色渲染指数 234 22@w: 10.9 色差计算 235 s'/ZtH6>C 10.10 参考文献 236 +%R{j|8# 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 a/xnf<(H 11.1 短脉冲 238 ''H;/&nDX 11.2 群速度 239 /kAbGjp0 11.3 群速度色散 241 x9\]C'*sO 11.4 啁啾(chirped) 245 =F09@C, 11.5 光学薄膜—相变 245 _b9>ZF~ 11.6 群延迟和延迟色散 246 b<j*;n. 11.7 色度色散 246 PO*0jO;% 11.8 色散补偿 249 `\yQn7 Oq 11.9 空间光线偏移 256 RMlx[nsq 11.10 参考文献 258 s[#_sR`y 12 公差与误差 260 v9"03=h 12.1 蒙特卡罗模型 260 8*^*iEsR 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 6 -BC/ 12.2.1 误差工具 267 UBw*}p 12.2.2 灵敏度工具 271 x:+]^?}r 12.2.2.1 独立灵敏度 271 cnB:bQQK8 12.2.2.2 灵敏度分布 275 7{p6&xXx 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 HL%|DCo 12.3 参考文献 276 ^00C"58A 13 Runsheet 与Simulator 277 `#?]g ! 13.1 原理介绍 277 O?0`QMY 13.2 截止滤光片设计 277 H`
h]y 14 光学常数提取 289 dg#w!etB 14.1 介绍 289 6|QIzs<Z-X 14.2 电介质薄膜 289 b1EY6'R2 14.3 n 和k 的提取工具 295 K_%gda|l+ 14.4 基底的参数提取 302 j%i6H1#.Z 14.5 金属的参数提取 306 p8MN>pLP%
14.6 不正确的模型 306 yM*_"z!L 14.7 参考文献 311 *BKIA 15 反演工程 313 (Q"~bP{F 15.1 随机性和系统性 313 O@a7MzJ 15.2 常见的系统性问题 314 f1|&umJ$ 15.3 单层膜 314 7n7UL0Oc1 15.4 多层膜 314 2E0oLl[ 15.5 含义 319 uOPLJ?% 15.6 反演工程实例 319 uQg& |