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eb/V}% 内容简介 eTF8B<? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 jzj{{D[^ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 %)/f; T6 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Ij#a TN
%"RL 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 }R1`ThTM 目录 YF -w=Y6 Preface 1 B
(1,Rq[ 内容简介 2 f^)uK+:. 目录 i &5.~XM; 1 引言 1 >$mSFJz5S 2 光学薄膜基础 2 9 <KtI7 2.1 一般规则 2 Idlu1g 2.2 正交入射规则 3 ^@Qi&g`lr? 2.3 斜入射规则 6 <!9fJFE 2.4 精确计算 7 e9W7ke E* 2.5 相干性 8 +?iM$}8!U 2.6 参考文献 10 }iSakq' 3 Essential Macleod的快速预览 10 g&4~nEp 4 Essential Macleod的特点 32 UNQRtR/ 4.1 容量和局限性 33 JQ_gM._3 4.2 程序在哪里? 33 ~RXpz-Ye 4.3 数据文件 35 TJXraQK-= 4.4 设计规则 35 , Ln
4.5 材料数据库和资料库 37 x~;EH6$5'/ 4.5.1材料损失 38 z`/.v&<>V 4.5.1材料数据库和导入材料 39 jAK{<7v4U 4.5.2 材料库 41 Tdwwtbe 4.5.3导出材料数据 43
nuQ6X5>.= 4.6 常用单位 43 r%l%yCH 4.7 插值和外推法 46 ;x-H$OZX 4.8 材料数据的平滑 50 -(w~LT$ " 4.9 更多光学常数模型 54 d_C4B 4.10 文档的一般编辑规则 55 b#g
{`E 4.11 撤销和重做 56 L)lQ&z? 4.12 设计文档 57 ~B!O~nvdQ 4.10.1 公式 58 A$~xG( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 s$Zq/l$1x 4.10.3 沉积密度 59 .NkAD-k` 4.10.4 平行和楔形介质 60 T@|l@xm~L 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 z8[H:W#G 4.10.4 性能 61 (kC} ,} 4.10.5 保存设计和性能 64 g6g$nY@Jm 4.10.6 默认设计 64 yIIETE 4.11 图表 64 4C1FPrh 4.11.1 合并曲线图 67 *w/WHQ`xI 4.11.2 自适应绘制 68 _IL2-c8 4.11.3 动态绘图 68 R|1xXDLm*E 4.11.4 3D绘图 69 kwHqvO!G 4.12 导入和导出 73 3}4p_}f/[4 4.12.1 剪贴板 73 iS"8X#[]N 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 rQEi/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 y?#9>S >:\ 4.13 背景 77 d;~ 3P
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %)axGbZG; 4.15 生成Rugate 84 0zbLc% 4.16 参考文献 91 T;!ukGoFP 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 JA)o@[lF 5.1 Jobs 92 T^$g N| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 |qlS6Aln 5.3 输入材料 94 9k:W1wgH1 5.4 设计数据文件夹 95 q[G/} 5.5 默认设计 95 ku9@&W+ 6 细化和合成 97 f]8!DXEA 6.1 优化介绍 97 -@2'I++"@ 6.2 细化 (Refinement) 98 t<sNc8x 6.3 合成 (Synthesis) 100 SFn 3$ rh 6.4 目标和评价函数 101 ;cI#S%uvpn 6.4.1 目标输入 102 -|}%~0)/bH 6.4.2 目标 103 8geek$FY x 6.4.3 特殊的评价函数 104 2QGMe} 6.5 层锁定和连接 104 {7?9jEj 6.6 细化技术 104 $;Vc@mYGW; 6.6.1 单纯形 105 Dz`k[mI 6.6.1.1 单纯形参数 106 j1YH9T#|D 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 lwOf)jK:J 6.6.2.1 Optimac参数 108 '@TI48 J+ 6.6.3 模拟退火算法 109 qL|
5-(P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 JI"/N`-?;b 6.6.4 共轭梯度 111 rH_Jh}Y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 yGiP[d|tRc 6.6.5 拟牛顿法 112 k6Ihc?HL 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 TMJ9~"IO 6.6.6 针合成 113 ZXsYn 6.6.6.1 针合成参数 114 )O3jQ_q= 6.6.7 差分进化 114 y" ^yYO 6.6.8非局部细化 115 G02ox5X 6.6.8.1非局部细化参数 115 $!G` D= 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V+lRi"m?| 6.7.1 细化 116 Q,.By& 6.7.2 合成 117 '>3`rsu 6.8 参考文献 117 [p ii 7 导纳图及其他工具 118 jfUJ37zNZr 7.1 简介 118 ]9jZndgC 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &<au/^F 7.2.1 四分之一波长规则 119 =fl%8"%N& 7.2.2 导纳图 120 ll^DY
hx} 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 (I4y[jnD 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :peqr!I+K 7.5 斜入射导纳图 141 }Y Q:6I 7.6 对称周期 141 .APVjqG 7.7 参考文献 142 S%kS#U${| 8 典型的镀膜实例 143 +W9]ED 8.1 单层抗反射薄膜 145 S5N@\ x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 %>Bko,ET 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 q
IM 8.4 W-膜层 148 T2wv0sHlt 8.5 V-膜层 149 _J,xT 8.6 V-膜层高折射基底 150 1otspOy 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 A 4j<\xL 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 nfX12y_SXL 8.9 四层抗反射薄膜 153 K;x~&G0= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 uPkb, :6~Z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _gKu8$o=- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ~%s}S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 iJ)0Y~ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 o/cr{>"N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 I"1CgKYK^+ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 "tL2F*F"6X 8.17 1/4波长堆栈 162 -#aZF2z 8.18 陷波滤波器 163 =}v ;1m 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1Bg_FPu 8.20 褶皱 165 vU!8`x) 8.21 消偏振分光器1 169 %[`a 8.22 消偏振分光器2 171 xuUx4,Z 8.23 消偏振立体分光器 172 tMFsA`ng 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^av6HFQ 8.25 立体偏振分束器1 174 'wZ_4XjD 8.26 立方偏振分束器2 177 EMlIxpCn: 8.27 相位延迟器 178 ?,07;>& 8.28 红外截止器 179 T C8`JU=wV 8.29 21层长波带通滤波器 180 Vl<9=f7[ 8.30 49层长波带通滤波器 181 RN[]Jt#6 8.31 55层短波带通滤波器 182 .x}gg\ 8.32 47 红外截止器 183 W"Q!|#;l. 8.33 宽带通滤波器 184 *Y%Jl
o 8.34 诱导透射滤波器 186 +TN^NE 8.35 诱导透射滤波器2 188 =&7@<vBpy 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Ox qguT, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 zAs&%OjG 8.35 增益平坦滤波器 193 )eYDQA>J 8.38 啁啾反射镜 1 196 ES}. xZ#~ 8.39 啁啾反射镜2 198 A
WHU' 8.40 啁啾反射镜3 199 )KY:m |Z 8.41 带保护层的铝膜层 200 m'x;,xfY&F 8.42 增加铝反射率膜 201 |]W2EV ,b 8.43 参考文献 202 } ptMjT{9 9 多层膜 204 .9h)bf+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 uZIJoT 9.2 内部透过率 204 !msNEE@[ 9.3 内部透射率数据 205 exDkq0u] 9.4 实例 206 LA4<#KP 9.5 实例2 210 +Ok%e.\ZM 9.6 圆锥和带宽计算 212 oNM?y:O 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 eLfvMPVo 10 光学薄膜的颜色 216 |g-b8+.=] 10.1 导言 216 KX3KM!* 10.2 色彩 216 >72JV;W] 10.3 主波长和纯度 220
!tNd\}@ 10.4 色相和纯度 221 ;..o7I 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 sJZ!sznn 10.6 色差 226 W7=V{}b+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 kl}Xmw{tJ 10.8 颜色渲染指数 234 9(, @aZ 10.9 色差计算 235 w?LrJ37u 10.10 参考文献 236 /ty?<24ko 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 P)6lu8zQ 11.1 短脉冲 238 g"hJ{{< 11.2 群速度 239 E m{aM 11.3 群速度色散 241 _A+w#kiv> 11.4 啁啾(chirped) 245 &@v<nO- 11.5 光学薄膜—相变 245 3[IJhR[ 11.6 群延迟和延迟色散 246 qlsQ|/'D 11.7 色度色散 246 ?&X6:KJQ 11.8 色散补偿 249 Tu m_aI 11.9 空间光线偏移 256 `tEo]p 11.10 参考文献 258 bRo|uJ:d 12 公差与误差 260 nJZ6?
V 12.1 蒙特卡罗模型 260 jQh^WmN 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 sL^yB 12.2.1 误差工具 267 +K~NV?c 12.2.2 灵敏度工具 271 "Fnq>iR- 12.2.2.1 独立灵敏度 271 }-DE`c 12.2.2.2 灵敏度分布 275 a|_p,_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 @f1*eo5f 12.3 参考文献 276 {i [y9 13 Runsheet 与Simulator 277 \7v)iG|#G& 13.1 原理介绍 277 q]% T:A= 13.2 截止滤光片设计 277 #8h;Bj 14 光学常数提取 289 v?:: |{ 14.1 介绍 289 ?1I GYyu! 14.2 电介质薄膜 289 BR5BJX 14.3 n 和k 的提取工具 295 `>lzlEhKV 14.4 基底的参数提取 302 BiwieF4x 14.5 金属的参数提取 306 K^[#]+nQ 14.6 不正确的模型 306 $_;e>*+x 14.7 参考文献 311 ZC0-wr\ 15 反演工程 313 %O[N}_XHEh 15.1 随机性和系统性 313 Uh6 '$0 15.2 常见的系统性问题 314 FMw&( 15.3 单层膜 314 3=0E!e 15.4 多层膜 314 PWr(*ZP>hI 15.5 含义 319 39i9wrP 15.6 反演工程实例 319 9N8I
ip]w 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #*%q'gyHT 15.6.2 反演工程提取折射率 327 4Xj4|Rw% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 0(TTw(; 16.1 光学性质的热致偏移 329
nY%5cJ`" 16.2 应力工具 335 1bnBji 16.3 均匀性误差 339 s1N?/>lmB 16.3.1 圆锥工具 339 N)2f7j4C& 16.3.2 波前问题 341 &a0r%L()X 16.4 参考文献 343 'tgKe!-@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6IcNZ!j98 17.1 引言 345 `:NaEF?Sj 17.2 操作数 345
!YL..fb 18 如何在Function中编写脚本 351 _qwQ;!9 18.1 简介 351 fxcc<h4 18.2 什么是脚本? 351 fV>CZ^=G 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ~&dyRtW4 18.4 基础 352 [Nm4sI11 18.4.1 Classes(类别) 352 %r\n%$@_ 18.4.2 对象 352 =wWpP-J& 18.4.3 信息(Messages) 352 :M3oUE{ 18.4.4 属性 352 D/y bFk 18.4.5 方法 353 rqPo)AL 18.4.6 变量声明 353 sic"pn],U 18.5 创建对象 354 <xpph
t< 18.5.1 创建对象函数 355 o G*5f 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 :ue:QSt(u 18.5.3 丢弃对象 356 }|OaL*|u 18.5.4 总结 356 &)wiKh"$ 18.6 脚本中的表格 357 nQX+pkJ 18.6.1 方法1 357 zE T^T5>: 18.6.2 方法2 357 x&sI=5l 18.7 2D Plots in Scripts 358 H9XvO 18.8 3D Plots in Scripts 359 K7knK 18.9 注释 360 Kb#4ILA 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 !LMN[3M_ 18.11 一个更高级的脚本 362 j l.p'$Fbn 18.12 <esc>键 364 q%n6K 18.13 包含文件 365 VZr>U*J[: 18.14 脚本被优化调用 366 H<hVTc{K 18.15 脚本中的对话框 368 !%+2Yifna 18.15.1 介绍 368 e~%
;K4 18.15.2 消息框-MsgBox 368 8I20*# 18.15.3 输入框函数 370 P9Yy9_a|x 18.15.4 自定义对话框 371 E907fX[R~ 18.15.5 对话框编辑器 371 =uk0@hy9b 18.15.6 控制对话框 377 XgN` 7!Z 18.15.7 更高级的对话框 380 :K`ESq!8u 18.16 Types语句 384 O4\Z!R60g 18.17 打开文件 385 )UgX3+@ 18.18 Bags 387 ,u }XWV 18.13 进一步研究 388 $n^MD_1! 19 vStack 389 omO
S=d!o 19.1 vStack基本原理 389 ZRxZume<f
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ptatzp]c# 19.3 五棱镜 393 b5$JfjI 19.4 光束距离 396 lt^\ 19.5 误差 399 `e9$,h|4 19.6 二向分色棱镜 399 cMyiW$; 19.7 偏振泄漏 404 1wzqGmjmt 19.8 波前误差—相位 405 7Dzuii?1 19.9 其它计算参数 405 P./V6i<: 20 报表生成器 406 0nn okN^ 20.1 入门 406 t"hYcnC 20.2 指令(Instructions) 406 C*U'~qRK 20.3 页面布局指令 406 2XTPBZNe 20.4 常见的参数图和三维图 407 tO7v4 20.5 表格中的常见参数 408 `p;eIt 20.6 迭代指令 408 s+Fi @lg, 20.7 报表模版 408 )vmA^nU> 20.8 开始设计一个报表模版 409 j?y LDLj 21 一个新的project 413 ~!s-o|N_\ 21.1 创建一个新Job 414 ur
:i)~wXn 21.2 默认设计 415 t*@2OW`! 21.3 薄膜设计 416 ~$'\L 21.4 误差的灵敏度计算 420 tQZs.1=z 21.5 显色指数计算 422 rG#Z=*b% 21.6 电场分布 424 Q-ni| 后记 426 G+B~Ix- 有兴趣可以扫码加微联系 Cm$.<CV
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