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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) |yp^T ;l0%yg/} 内容简介 " ;T
a8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0yMHU[):~ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 f
w)tWJVD 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 s`[V{1m, $nIE;idk d1t_o2
:M`~9MCRf 目录 lg ,% Preface 1 N:#$S$ 内容简介 2 aCIz(3^ 目录 i U#w0 E G 1 引言 1 `C-8zA 2 光学薄膜基础 2 -'WR9M?fq 2.1 一般规则 2 k
7@:e$7 2.2 正交入射规则 3 OR'e!{ 2.3 斜入射规则 6 I3sfOU 2.4 精确计算 7 YD9vWk\/ 2.5 相干性 8 [0kZyjCq@ 2.6 参考文献 10 2VX9FDrnk 3 Essential Macleod的快速预览 10 x{So 4 Essential Macleod的特点 32 P%vouC0W 4.1 容量和局限性 33 K$:btWSm 4.2 程序在哪里? 33 #u\~AO?h 4.3 数据文件 35 .A6pPRy e 4.4 设计规则 35 U;u4ey 4.5 材料数据库和资料库 37 Q[H4l({E 4.5.1材料损失 38 CQ Ei(ty 4.5.1材料数据库和导入材料 39 4"iI3y~Gw 4.5.2 材料库 41 H+gB| 4.5.3导出材料数据 43 V,[[#a)y 4.6 常用单位 43 "qZTgCOY2 4.7 插值和外推法 46 n<b}6L} 4.8 材料数据的平滑 50 0lOan 4.9 更多光学常数模型 54 zJUT<%[U 4.10 文档的一般编辑规则 55 _PwPLSg 4.11 撤销和重做 56 WHLTJ]OB 4.12 设计文档 57 S?D]P'< 4.10.1 公式 58 V! TGFo} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "^
dMCS@ 4.10.3 沉积密度 59 *qm>py`O 4.10.4 平行和楔形介质 60 HB.:/5\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 '%TD#!a 4.10.4 性能 61 ~rXLb: 4.10.5 保存设计和性能 64 'r -B%D= 4.10.6 默认设计 64 N693eN! 4.11 图表 64 P~x4h{~Gd 4.11.1 合并曲线图 67 MA%g-} 4.11.2 自适应绘制 68 AxO.adQE% 4.11.3 动态绘图 68 ]S@DVXH 4.11.4 3D绘图 69 wsAb8U C_ 4.12 导入和导出 73 YETGq- 4.12.1 剪贴板 73 I-kK^_0mV< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 5RY-.c4} 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 {`>pigo 4.13 背景 77 p -!/p# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ,#0#1k<Dm 4.15 生成Rugate 84 [3tU0BU" 4.16 参考文献 91 q 4Ok$~"I 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5;XU6Rz! 5.1 Jobs 92 c7tO'`q$e 5.2 创建一个新Job(工作) 93 $0~1;@`rQ6 5.3 输入材料 94 n#4T o;CS 5.4 设计数据文件夹 95 ?fc<3q" 5.5 默认设计 95 p"*xyex 6 细化和合成 97 ;xai JJK{ 6.1 优化介绍 97 )!
kl: 6.2 细化 (Refinement) 98 `bLJwJ7 6.3 合成 (Synthesis) 100 IRv/[|"L 6.4 目标和评价函数 101 7kMO);pO 6.4.1 目标输入 102 wjOJn] 6.4.2 目标 103 z'gJy 6.4.3 特殊的评价函数 104 V9>$M= 6.5 层锁定和连接 104 $HRl:KDdP~ 6.6 细化技术 104 T=g2gmo9 6.6.1 单纯形 105 5pff}Ru` 6.6.1.1 单纯形参数 106 #.,LWL] 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 N~?#Qh|ZnU 6.6.2.1 Optimac参数 108 "412w^5[T 6.6.3 模拟退火算法 109 }%y5<n*v\ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 nLrCy5R: 6.6.4 共轭梯度 111 &C?4'e 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 dtV7YPz4+ 6.6.5 拟牛顿法 112 _ vAc/_N 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 M%$-c3x 6.6.6 针合成 113 .`&k` 6.6.6.1 针合成参数 114 @FRas00)| 6.6.7 差分进化 114 >LVGNicQ 6.6.8非局部细化 115 .rl Lt5b% 6.6.8.1非局部细化参数 115 Z:,`hW*A6 6.7 我应该使用哪种技术? 116 (7??5gjh 6.7.1 细化 116 R|*Eg,1g - 6.7.2 合成 117 t7e7q"+/ 6.8 参考文献 117 WZviC_ 7 导纳图及其他工具 118 2f rwU~y 7.1 简介 118 &}#zG5eu 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <(45(6fQ 7.2.1 四分之一波长规则 119 S++jwP 7.2.2 导纳图 120 )3 '8T>^<K 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "|E'E"_1 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +'[/eW 7.5 斜入射导纳图 141 gL7rX a j 7.6 对称周期 141 aZq7(pen 7.7 参考文献 142 Fc^!="H 8 典型的镀膜实例 143 be(hY{y` 8.1 单层抗反射薄膜 145 F&7^M0x\ O 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 aR)w~s\6 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 "=2'O qp1 8.4 W-膜层 148 r( bA>L*mk 8.5 V-膜层 149 =8Z-ORW51 8.6 V-膜层高折射基底 150 #9HX"<5
8.7 V-膜层高折射率基底b 151 g6OPYUPg 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 {m_y< 8.9 四层抗反射薄膜 153 7T(&DOGZ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 S>s+ nqcP 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 zu,Yuq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 e?KzT5j: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Ns\};j?TU* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }>b@=5O 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Qs<L$"L1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 NLt"yD3t 8.17 1/4波长堆栈 162 `~NjBtQ 8.18 陷波滤波器 163 ?kF?
~\c 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 $gCN[%+j 8.20 褶皱 165 ^W~8)Rbf 8.21 消偏振分光器1 169 MieO1l 8.22 消偏振分光器2 171 m;ju@5X 8.23 消偏振立体分光器 172 $s"-r9@q 8.24 消偏振截止滤光片 173 m\MI 6/ 8.25 立体偏振分束器1 174 7ab'q&Y[ 8.26 立方偏振分束器2 177 #6C<P!]V 8.27 相位延迟器 178 u>*qDr*d 8.28 红外截止器 179 ONFx -U] 8.29 21层长波带通滤波器 180 [i_evsUj? 8.30 49层长波带通滤波器 181 6!([Hu#= * 8.31 55层短波带通滤波器 182 <s$Jj>< 8.32 47 红外截止器 183 !iK{q0 8.33 宽带通滤波器 184 _.I58r 8.34 诱导透射滤波器 186 }-Jo9dNs 8.35 诱导透射滤波器2 188 t~":'le`zr 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 C)QKodI 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 h\+8eeIl 8.35 增益平坦滤波器 193 lcVG<*gf- 8.38 啁啾反射镜 1 196 ;s+3#Py 8.39 啁啾反射镜2 198 Af}o/g 8.40 啁啾反射镜3 199 {4)d 8.41 带保护层的铝膜层 200 i9T<(sdK+ 8.42 增加铝反射率膜 201 (U\D7ItMG 8.43 参考文献 202 $Z8riVJ7j- 9 多层膜 204 ^UFNds'q 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 I6,||!sZ 9.2 内部透过率 204 ?6h~P:n. 9.3 内部透射率数据 205 e{^^u$C1.e 9.4 实例 206 +x<OyjY5?] 9.5 实例2 210 ,R=$qi| 9.6 圆锥和带宽计算 212 #c~-8= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 'lOQb) 10 光学薄膜的颜色 216 ]@ }o"Td 10.1 导言 216 ^oNcZK> 10.2 色彩 216 +Eel|)Z*Q 10.3 主波长和纯度 220 Y' 5X4Ks| 10.4 色相和纯度 221 _joW%`T8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 \S{ihS@J 10.6 色差 226 T&}KUX~Q/ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 XV,ce~ro[ 10.8 颜色渲染指数 234 XJk~bgO* 10.9 色差计算 235 ,k(B>O ~o 10.10 参考文献 236 U8@P/Z9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 N2lz{ 11.1 短脉冲 238 )}Cf6m} 11.2 群速度 239 s4 Vju/ 11.3 群速度色散 241 PF+Or 11.4 啁啾(chirped) 245 ZP-9KA$" 11.5 光学薄膜—相变 245 ,uO_C(G/i 11.6 群延迟和延迟色散 246
YdUcO.V 11.7 色度色散 246 I.`DBI#-f 11.8 色散补偿 249 6X$nZM|g, 11.9 空间光线偏移 256 &%eM 11.10 参考文献 258 a>+m_]*JZ 12 公差与误差 260 Pon0(:#1 12.1 蒙特卡罗模型 260 wB+F/]]|N 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 dCLNZq h6 12.2.1 误差工具 267 1[-`*Ph 12.2.2 灵敏度工具 271 Y@qugQM> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 N
x^JC_ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 f lt'~fe 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 +?{LLD*2e 12.3 参考文献 276 =\\rk,F 13 Runsheet 与Simulator 277 Bx.hFEL 13.1 原理介绍 277 =5:kV/p 13.2 截止滤光片设计 277 17w{hK4o8O 14 光学常数提取 289 Oi{J}2U 14.1 介绍 289 NdRE,HWd?$ 14.2 电介质薄膜 289 , 10+Sh 14.3 n 和k 的提取工具 295 -O?A" 14.4 基底的参数提取 302 aJc>"#+
o 14.5 金属的参数提取 306 7nM<P4\ 14.6 不正确的模型 306 Yk*_u}?# 14.7 参考文献 311 ISTAJ8"
D 15 反演工程 313 >)mF'w 15.1 随机性和系统性 313 c;=St1eoz 15.2 常见的系统性问题 314 =PnNett}a 15.3 单层膜 314 !#E-p?O. 15.4 多层膜 314 >4HB~9dKU 15.5 含义 319 9<"F3F0| 15.6 反演工程实例 319 IWwOP{ <ZQ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 mM_gOd 15.6.2 反演工程提取折射率 327 nhd.c2t\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =c]We:I 16.1 光学性质的热致偏移 329 TP Y&O{q 16.2 应力工具 335 0/cgOP!^ 16.3 均匀性误差 339 !A14\ 16.3.1 圆锥工具 339 {3!A\OR 16.3.2 波前问题 341 w[G-=>; 16.4 参考文献 343 O.aAa5^uh 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 y;O
6q206 17.1 引言 345 TaKCN 17.2 操作数 345 =YtK@+| i 18 如何在Function中编写脚本 351 2Ns<lh 18.1 简介 351 ONc#d'-L 18.2 什么是脚本? 351 Eh"Y<]$ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `G>|g^6%i 18.4 基础 352 ")fgQ3XZ 18.4.1 Classes(类别) 352 kjSzuqB 18.4.2 对象 352 SO~pe$c- 18.4.3 信息(Messages) 352 m
7+=w>o 18.4.4 属性 352 `2xt%kC 18.4.5 方法 353 >as+#rz1p 18.4.6 变量声明 353 5Iv" 18.5 创建对象 354 ADMeOdgca 18.5.1 创建对象函数 355 %H}M[_f 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 +^$;oG 18.5.3 丢弃对象 356 nYj7r*e[ 18.5.4 总结 356 FE06,i\{ 18.6 脚本中的表格 357 &d"scM5 18.6.1 方法1 357 :rvBx" 18.6.2 方法2 357 TdoH((nY 18.7 2D Plots in Scripts 358 E,4*a5Fi 18.8 3D Plots in Scripts 359 paxZlA
o 18.9 注释 360 _ CzAv% 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 T$V8n_; 18.11 一个更高级的脚本 362 va.Ve# N 18.12 <esc>键 364 6-nf+!#G 18.13 包含文件 365 eJEcLK3u 18.14 脚本被优化调用 366 LC0-O1 18.15 脚本中的对话框 368 &(20*Vn,O 18.15.1 介绍 368 t4-0mNBZt$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 FwQGxGZ 18.15.3 输入框函数 370 ;47 =x1ji 18.15.4 自定义对话框 371 YIYuqtnSJ 18.15.5 对话框编辑器 371 6p14BruV 18.15.6 控制对话框 377 wJ7Fnj>u% 18.15.7 更高级的对话框 380 =e6!U5
f 18.16 Types语句 384 v/`#Gu^P 18.17 打开文件 385 G2J4N2hu 18.18 Bags 387 v\XO?UEJ2 18.13 进一步研究 388 L_IvR 4:j~ 19 vStack 389 B^x}=Z4 19.1 vStack基本原理 389 Ft>, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ulk yP 19.3 五棱镜 393 P{8<U8E 19.4 光束距离 396 v)'Uoe"R% 19.5 误差 399 /{Z<!7u;U 19.6 二向分色棱镜 399 -"xC\R 19.7 偏振泄漏 404 I>>X-} 19.8 波前误差—相位 405 w1= f\ 19.9 其它计算参数 405 9O:-q[K** 20 报表生成器 406 K*"Fpx{M 20.1 入门 406 XJ3aaMh" 20.2 指令(Instructions) 406 1qwJPM 20.3 页面布局指令 406 V> Nw2u!! 20.4 常见的参数图和三维图 407 x2g=%K= 20.5 表格中的常见参数 408 &Fch{%S> 20.6 迭代指令 408 H"|oI|~ 20.7 报表模版 408 v/3Vsd 20.8 开始设计一个报表模版 409 kgRgHkAH~ 21 一个新的project 413 JRw)~Tg @ 21.1 创建一个新Job 414 LeMo")dk\ 21.2 默认设计 415 &s&Ha{(!w 21.3 薄膜设计 416 "ScY'< 21.4 误差的灵敏度计算 420 W-vEh 21.5 显色指数计算 422 et6@);F 21.6 电场分布 424 x4@IK|CE 后记 426 8#a2 kR<b }4xz, oN 价格:598元有兴趣可以扫码加微咨询 x]:B3_qR rE.z.r"O 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 qTnk>g_oS& T-lHlm 目 录 [2zS@p Eb\SK"8 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 n UD;y}}n 第1章 介绍 ..........................................................1 P Z+Rz1x 第2章 软件安装 ..................................................... 3 0I>[rxal 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 9 N@N U:M+ 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 6XGqZ!2 第5章 软件结构 ............................................................... 21 u[coWaPsZ 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 ,SoqVboRl 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 BoPJ;6?>} 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 X1lL@ `r.5 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 'FGf#l< 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 5> =Ia@I
第11章 表格窗口 ................................................................. 116 j;i7.B"[ 第12章 优化和综合 ..................................................................120 b/'RJQSAc 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 3 e<sNU? 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 A(qy>x-BI 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 gA:N>w&<X 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 %!Ak]|[7 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 E3o J;E 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 n4Eqm33 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 8w4cqr4m 第20章 运行表单 .................................................................... 251 iY4FOt7\ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 ZG)%vB2c 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Y,C3E>}Dq 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 +"2IQme5 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 9WsGoZPn 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 EX^j^#N 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 TZ%u;tBH: 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 iKuSk~ 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 H-1y2AQ 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 Ue)8g# N6_<[` 价 格:400元
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