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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) 7fTg97eF :6k DUFj} 内容简介 @oc%4~zl Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 rD
U6 5j 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 (F
' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 i`nw"8 Q%VR@[`\ [`-O-?=
kq.h\[ 目录 ^\kHEM|5v Preface 1 ,Ho.O7H 内容简介 2 OZ14-}Lr5 目录 i *;yMD-= 1 引言 1 jKV?!~/F 2 光学薄膜基础 2 I;Fy
k70w; 2.1 一般规则 2 7RFkHME 2.2 正交入射规则 3 V1 #aDfiW 2.3 斜入射规则 6 I+d(r"N1 2.4 精确计算 7 Hr*Pi3 dSI 2.5 相干性 8 MVv^KezD 2.6 参考文献 10 >;r05,mc 3 Essential Macleod的快速预览 10 2-c0/?_4 4 Essential Macleod的特点 32 2T%f~yQ^ 4.1 容量和局限性 33 y^46z(I 4.2 程序在哪里? 33 S=amj cC 4.3 数据文件 35 :;WDPRx 4.4 设计规则 35 @OY-(cW 4.5 材料数据库和资料库 37 BI^]juH-c 4.5.1材料损失 38 5"~^;O 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )$4DH:WN 4.5.2 材料库 41 5t#]lg[06' 4.5.3导出材料数据 43 71&+dC 4.6 常用单位 43 jh&vq=PH 4.7 插值和外推法 46 pvU oed\ 4.8 材料数据的平滑 50 NP'DuzC 4.9 更多光学常数模型 54 `h3}"js 4.10 文档的一般编辑规则 55 Jo$Dxa
z 4.11 撤销和重做 56 []3}(8yxGb 4.12 设计文档 57 de47O 4.10.1 公式 58 *>$)#?t 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @CI6$ 4.10.3 沉积密度 59 A":b_!sW 4.10.4 平行和楔形介质 60 W8h\ s { 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
5g>kr<K 4.10.4 性能 61 p}7&x[fTLk 4.10.5 保存设计和性能 64 xi. KD 4.10.6 默认设计 64 K/+C6Y? 4.11 图表 64 rK) 4.11.1 合并曲线图 67 aB!Am +g 4.11.2 自适应绘制 68 I8;[DP9 4.11.3 动态绘图 68 "]V|bz o0a 4.11.4 3D绘图 69 ZKPkx~,U[ 4.12 导入和导出 73 Hbc&.W;g7[ 4.12.1 剪贴板 73 Fh$&puF2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 NT/B4'_@ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 kK|+W, 4.13 背景 77 m e{SVG{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 O9)}:++T 4.15 生成Rugate 84 aBi:S3 qk 4.16 参考文献 91 AV3,4u 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Ka\b_P& 5.1 Jobs 92 xG/qDc 5.2 创建一个新Job(工作) 93 AK?j1Pk 5.3 输入材料 94 Z x%@wH~ 5.4 设计数据文件夹 95 #e>MNc
'z 5.5 默认设计 95 J3^Z PW 6 细化和合成 97 -JK4-Hg 6.1 优化介绍 97 Vdk+1AX 6.2 细化 (Refinement) 98 A'(F%0NF6 6.3 合成 (Synthesis) 100 zL8A?G)=M 6.4 目标和评价函数 101 E}&jtMRUt 6.4.1 目标输入 102 Nb/%>3O@ 6.4.2 目标 103 S9oGf 6.4.3 特殊的评价函数 104 D~&e.y/gHN 6.5 层锁定和连接 104 as!j 0j% 6.6 细化技术 104 <j3HT"^[D 6.6.1 单纯形 105 C
P{h+yCj 6.6.1.1 单纯形参数 106 9'h^59 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Asu"#sd 6.6.2.1 Optimac参数 108 5K~6` 6.6.3 模拟退火算法 109 :K:gyVrC 6.6.3.1 模拟退火参数 109 )6+W6: 6.6.4 共轭梯度 111 x's-UO"^ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 cSk}53 6.6.5 拟牛顿法 112 TLgVuY 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
+'.Q- 6.6.6 针合成 113 K*FAngIB 6.6.6.1 针合成参数 114 e*s{/a?, 6.6.7 差分进化 114 I0RWdOK8K 6.6.8非局部细化 115 dxWw%_Q 6.6.8.1非局部细化参数 115 zUqDX{I8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 L9oZ7 o 6.7.1 细化 116 $8r:&Iw 6.7.2 合成 117 3k^jR1 6.8 参考文献 117 ?9TogW>W 7 导纳图及其他工具 118 64fG,b 7.1 简介 118 EdpR| z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6u7wfAf 7.2.1 四分之一波长规则 119 3IFU{0a` 7.2.2 导纳图 120 q|J] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 _yUFe& 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 P7-3Vf_L 7.5 斜入射导纳图 141 )zo ;r!eP 7.6 对称周期 141 !d(V7`8 7.7 参考文献 142 `f]O 8 典型的镀膜实例 143 %A3Jd4DH 8.1 单层抗反射薄膜 145 3(5Y-.aK}^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 z?,5v`,t2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 e_TDO 8.4 W-膜层 148 9G~P)Z!0 8.5 V-膜层 149 EA.U>5Fq 8.6 V-膜层高折射基底 150 SZvsJ) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 N{g=Pf?I} 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 KK</5Aw9p 8.9 四层抗反射薄膜 153 DAW%?(\, 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 qa6~N3* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 <!^Z|E 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \.]
U 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 n}{cs 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 l1WVt} 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {'!~j!1'j 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 v<1;1m 8.17 1/4波长堆栈 162 p~IvkW>ln) 8.18 陷波滤波器 163 ^ a:F*<D 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 'Iu(lpF& 8.20 褶皱 165 `2B+8,{% 8.21 消偏振分光器1 169 *Y Ox`z!R 8.22 消偏振分光器2 171 ?*,q#ZkA9W 8.23 消偏振立体分光器 172 g 7X>i: 8.24 消偏振截止滤光片 173 /
yCV-L2J 8.25 立体偏振分束器1 174 FhGbQJ?[3 8.26 立方偏振分束器2 177 > R=YF*t 8.27 相位延迟器 178 X6RM2 8.28 红外截止器 179 B|v
fkX2f 8.29 21层长波带通滤波器 180 CR<l"~X 8.30 49层长波带通滤波器 181 qM+T Wp 8.31 55层短波带通滤波器 182 xh0!H|
R 8.32 47 红外截止器 183 EcU9Tm`h 8.33 宽带通滤波器 184 o;fQ,rP% 8.34 诱导透射滤波器 186 TL>e[PBO 8.35 诱导透射滤波器2 188 Q"O _h 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 K#jm6Xh?E 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Cb.Aw! 8.35 增益平坦滤波器 193 B_>
Fd& 8.38 啁啾反射镜 1 196 YC~+r8ME$j 8.39 啁啾反射镜2 198 N5^:2ag 8.40 啁啾反射镜3 199 /NZR| 8.41 带保护层的铝膜层 200 x>cu<,e$d\ 8.42 增加铝反射率膜 201 sC>8[Jatd 8.43 参考文献 202 1Q<a+
l 9 多层膜 204 *"@P2F& 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 d9s"y?8 9.2 内部透过率 204 eW/Hn 9.3 内部透射率数据 205 _N6GV$Q 9.4 实例 206 ",a
fv{C 9.5 实例2 210 M5]wU 9.6 圆锥和带宽计算 212 xQQ6D 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 2.yzR DfZ 10 光学薄膜的颜色 216 5s;#C/ZZ 10.1 导言 216 W8)GT`\ 10.2 色彩 216 4"{q|~&=:$ 10.3 主波长和纯度 220 ]#`bYh^y 10.4 色相和纯度 221 sMZ \6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 [eImP
V] 10.6 色差 226 zC7;Zj*k 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ^#+9v 10.8 颜色渲染指数 234 q6q=,<T%S 10.9 色差计算 235 J#\/znT 10.10 参考文献 236 }U9e#>ex 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ;RXv%ML 11.1 短脉冲 238 \a<E3
< 11.2 群速度 239 Ex<loVIrP$ 11.3 群速度色散 241 N'4*L=Ut 11.4 啁啾(chirped) 245 .fgoEB,( 11.5 光学薄膜—相变 245 QeGU]WU{ 11.6 群延迟和延迟色散 246 '?\Hm'8 11.7 色度色散 246 b+kb7 11.8 色散补偿 249 V5=Injs* 11.9 空间光线偏移 256 fYwumx`J 11.10 参考文献 258 ^VA)vLj@ 12 公差与误差 260 3'8~H]<W 12.1 蒙特卡罗模型 260 il:""x7^y 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 4WLB,<b} 12.2.1 误差工具 267 =uHTpHR 12.2.2 灵敏度工具 271 h<?Vzl 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _b+3;Dy 12.2.2.2 灵敏度分布 275 sviGS&J9h 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _$r+*nGDz 12.3 参考文献 276 W*P/~U= 13 Runsheet 与Simulator 277 {|qz> 13.1 原理介绍 277 [=Xvp z 13.2 截止滤光片设计 277
'{),gV. 14 光学常数提取 289 kM.zX|_ 14.1 介绍 289 ;(z0r_p<q 14.2 电介质薄膜 289 by-B).7 14.3 n 和k 的提取工具 295 44!bwXz8 14.4 基底的参数提取 302 L;Nm"[` 14.5 金属的参数提取 306 rKO[;]_* 14.6 不正确的模型 306 wuPx6hCl 14.7 参考文献 311 T7[ItLZ 15 反演工程 313 VQ+Xh 15.1 随机性和系统性 313 6b@:La 15.2 常见的系统性问题 314 TtHqdKL 15.3 单层膜 314 &",pPuq 15.4 多层膜 314 (i { 15.5 含义 319 0 ~VniF^ 15.6 反演工程实例 319 By"
=]|Q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 9T)-|fja_ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 zT.qNtU% 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 nP] ~8ViS 16.1 光学性质的热致偏移 329 gVO[R6C5C 16.2 应力工具 335 $cc]pJy"} 16.3 均匀性误差 339 Q~nc:eWD 16.3.1 圆锥工具 339 >xT8[ 16.3.2 波前问题 341 .QW89e,O3 16.4 参考文献 343 pbJs3uIR 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 -FwOX~s/' 17.1 引言 345 SwLul4V 17.2 操作数 345 TeQpmhN 18 如何在Function中编写脚本 351 7Y:1ji0l 18.1 简介 351 @`)A) 18.2 什么是脚本? 351 |[8&5[); 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 <f1Pj 18.4 基础 352 O",:0< 18.4.1 Classes(类别) 352 4\3Z$%2^LZ 18.4.2 对象 352 Ve<l7U; 18.4.3 信息(Messages) 352 t=5K#SX} 18.4.4 属性 352 g$~ktr+% 18.4.5 方法 353 UE5T%zd / 18.4.6 变量声明 353 &0~E+
9b 18.5 创建对象 354 $0
eyp]XC\ 18.5.1 创建对象函数 355 u`3J2,. 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 V |)3l7IC< 18.5.3 丢弃对象 356 YhRES]^ 18.5.4 总结 356 >2TDYB|; 18.6 脚本中的表格 357 hIE$u t + 18.6.1 方法1 357 hvkLcpE 18.6.2 方法2 357 gh#9< 18.7 2D Plots in Scripts 358 >:WnCkbp 18.8 3D Plots in Scripts 359 Hz `aj 18.9 注释 360 '(r/@%=U 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,E<(K8 18.11 一个更高级的脚本 362 /^SIJS@^`> 18.12 <esc>键 364 [2:Q.Zj 18.13 包含文件 365 vvwNJyU- 18.14 脚本被优化调用 366 E9i
M-Lw 18.15 脚本中的对话框 368 A}W)La\
18.15.1 介绍 368 Z_Qs^e$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 x4Q*~,n 18.15.3 输入框函数 370 a"@k11 18.15.4 自定义对话框 371 $hXhq*5|c 18.15.5 对话框编辑器 371 nep0<& |