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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) ? m
DI# ~) i<#QW'R ( 内容简介 $g>IyT[ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
YtmrRDQs 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 jIJ~QpNE 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Y3Yz)T}UkS A^USBv+9` }\B><E{G
;ub;lh 3 目录 HiZ*+T.B Preface 1 ItNz}4o|d 内容简介 2 uvkz'R= 目录 i Te"ioU?. 1 引言 1 p{r}?a 2 光学薄膜基础 2 v[1aWv: 2.1 一般规则 2 H\ F:95 2.2 正交入射规则 3 >qnko9 V 2.3 斜入射规则 6 0X6YdW _2X 2.4 精确计算 7 ua3~iQj- 2.5 相干性 8 ztcp/1jIvS 2.6 参考文献 10 >g1~CEMN# 3 Essential Macleod的快速预览 10 :CG`t?N9M 4 Essential Macleod的特点 32 d,k!qjf=r 4.1 容量和局限性 33 V?6a8lJ 4.2 程序在哪里? 33 75T%g!c# 4.3 数据文件 35 _kef0K6 4.4 设计规则 35 ?:Uv[|S#> 4.5 材料数据库和资料库 37 6]K_m(F 4.5.1材料损失 38 ;`0%t$@- 4.5.1材料数据库和导入材料 39 em%4Ap 4.5.2 材料库 41 fK>L!=Q 4.5.3导出材料数据 43 xQ7l~O
b 4.6 常用单位 43 n(1l}TJy 4.7 插值和外推法 46 0q()|y?} 4.8 材料数据的平滑 50 3c-GY:VkLM 4.9 更多光学常数模型 54 _>&X\`D 4.10 文档的一般编辑规则 55 T<n 4.11 撤销和重做 56 X_q\S g 4.12 设计文档 57 W!Gq.M
4.10.1 公式 58 xQ f* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 bQgc8/ 4.10.3 沉积密度 59 ?+))}J5N\ 4.10.4 平行和楔形介质 60 |mZxfI 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 p_RsU`[ 4.10.4 性能 61 NVkV7y X] 4.10.5 保存设计和性能 64 .]8ZwAs=& 4.10.6 默认设计 64 zfJT,h-{ 4.11 图表 64 z O-z%y 4.11.1 合并曲线图 67 /CrSu 4.11.2 自适应绘制 68 5AFJC? 4.11.3 动态绘图 68 x[
SDl(<@; 4.11.4 3D绘图 69 ?g_3 [Fk 4.12 导入和导出 73 OIGY` 4.12.1 剪贴板 73 .73X3`P25 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 G<L;4nA) 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 {5Q!Y&N.% 4.13 背景 77 S,88*F(<^q 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 x+\`gK5 4.15 生成Rugate 84 ju8>:y8 4.16 参考文献 91 Tf>bX_L? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 u+9hL4 5.1 Jobs 92 )HEa<P^kJl 5.2 创建一个新Job(工作) 93 )*$lp'~7N 5.3 输入材料 94 A7%)~z< 5.4 设计数据文件夹 95 )*u8/U 5.5 默认设计 95 d-oMQGOklb 6 细化和合成 97 %Hu5K>ZNYp 6.1 优化介绍 97 mVj9 ,q0 6.2 细化 (Refinement) 98 9Gvd&U 6.3 合成 (Synthesis) 100 a1T'x~ ' 6.4 目标和评价函数 101 sU=H&D99 6.4.1 目标输入 102 Na<pwC 6.4.2 目标 103 CXH&U@57{ 6.4.3 特殊的评价函数 104 ))qy;Q, 6.5 层锁定和连接 104 esJ~;~[@(r 6.6 细化技术 104 l|u>Tb|V 6.6.1 单纯形 105 })'B<vq 6.6.1.1 单纯形参数 106 0j^Kgx 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 atj(eg 6.6.2.1 Optimac参数 108 XgZD%7 6.6.3 模拟退火算法 109 N:^n('U&j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 AzPu) 6.6.4 共轭梯度 111 0Fq}
N 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 v_yw@ 6.6.5 拟牛顿法 112 irZ])a 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 D ;RiGW4 6.6.6 针合成 113
\__i 6.6.6.1 针合成参数 114 {4l8}w 6.6.7 差分进化 114 +V2F#fI/ 6.6.8非局部细化 115 A@`}c,G 6.6.8.1非局部细化参数 115 kBS9tKBWg 6.7 我应该使用哪种技术? 116 n3WlZ!$ 6.7.1 细化 116 ::`HQ@^ 6.7.2 合成 117 %mW{n8W3{ 6.8 参考文献 117 !M(xG%M-V 7 导纳图及其他工具 118 ~-k9%v` 7.1 简介 118 28-RC>,@} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 EAUEQk?9 7.2.1 四分之一波长规则 119 X;$+,&M" 7.2.2 导纳图 120 e+EQ]<M 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 a,,ex i 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 j;zM{qu_ 7.5 斜入射导纳图 141 GC-5X`Sq 7.6 对称周期 141 cTifC1Pf 7.7 参考文献 142 hDDn,uzpd 8 典型的镀膜实例 143 I^.Om]) 8.1 单层抗反射薄膜 145 /WcG{Wdp 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 6bg
;q(*7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7g^]:3f! 8.4 W-膜层 148 !aUs>1i 8.5 V-膜层 149 (g]!J_Z" 8.6 V-膜层高折射基底 150 ,~U>'&M; 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ./Xz}<($8 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Ov@gh
kr 8.9 四层抗反射薄膜 153 KYm0@O>; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2DA]i5
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }dX*[I 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 X0HZH?V+ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \
#F 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 HZE#Ab*L 8.15十五层宽带抗反射膜 159 :
$1?i) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 G[ PtkPSJ 8.17 1/4波长堆栈 162 L(6d&t'|-R 8.18 陷波滤波器 163 AYBns]! 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 &ANf!*<\E 8.20 褶皱 165 >>r(/81S 8.21 消偏振分光器1 169 h'llK6_) 8.22 消偏振分光器2 171 yZY \MB/ 8.23 消偏振立体分光器 172 ^e,. 8.24 消偏振截止滤光片 173 B`)BZ,#p 8.25 立体偏振分束器1 174 bIDj[-CDG 8.26 立方偏振分束器2 177 Q-oktRK 8.27 相位延迟器 178 ),%%$G\ 8.28 红外截止器 179 fUWG*o9 8.29 21层长波带通滤波器 180 bW427B0 8.30 49层长波带通滤波器 181 P8:dU(nlW 8.31 55层短波带通滤波器 182 ,&A7iO 8.32 47 红外截止器 183 au(D66VO 8.33 宽带通滤波器 184 C^Yb\N}S 8.34 诱导透射滤波器 186 C}j"Qi` 8.35 诱导透射滤波器2 188 ZDJ`qJ8V 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 P= BZ+6DS 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 KfEx"94 8.35 增益平坦滤波器 193 ,<_A2t 2 8.38 啁啾反射镜 1 196 &J]K3w1p 8.39 啁啾反射镜2 198 =j_4S< 8.40 啁啾反射镜3 199 |*xA8&/ 8.41 带保护层的铝膜层 200 nF]W,@u"h 8.42 增加铝反射率膜 201 ?=msH=N<l 8.43 参考文献 202 >h9IM$2 9 多层膜 204 Tk[ $5u*, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 oSKXt}sh 9.2 内部透过率 204 p<FzJ 9.3 内部透射率数据 205 nc29j_Id 9.4 实例 206 oCv.Ln1;Z 9.5 实例2 210 x8B}ZIbT9 9.6 圆锥和带宽计算 212 r|8d
4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 n38p !oS 10 光学薄膜的颜色 216 @i_FTN 10.1 导言 216 sE<V5`Z= 10.2 色彩 216 Q$W 10.3 主波长和纯度 220 $)i")=Hy 10.4 色相和纯度 221 05#1w#i 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &BLJT9Frx 10.6 色差 226 (8DC}kckE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 k"%~"9 10.8 颜色渲染指数 234 eKgBy8tNS0 10.9 色差计算 235 -);Wfs 10.10 参考文献 236 +o{R _ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #Vt%@*
i 11.1 短脉冲 238 B]wk+8SMY. 11.2 群速度 239 2wg5#i 11.3 群速度色散 241 W\,s:6iqz 11.4 啁啾(chirped) 245 1=c\Rr9] 11.5 光学薄膜—相变 245 9L?.m& 11.6 群延迟和延迟色散 246 Fyx|z'4b 11.7 色度色散 246 M)+H{5bt 11.8 色散补偿 249 `AtBtjs RV 11.9 空间光线偏移 256 ^mDe08.
%b 11.10 参考文献 258 0S_~ \t 12 公差与误差 260 %XDc,AR[ 12.1 蒙特卡罗模型 260 8W(*~}ydYY 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ~H_/zK6e 12.2.1 误差工具 267 TER=*"! 12.2.2 灵敏度工具 271 )9G[dDeC 12.2.2.1 独立灵敏度 271 %N6A+5H 12.2.2.2 灵敏度分布 275 kZ
.gO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 l/GGCnO/ 12.3 参考文献 276 KP^V>9q 13 Runsheet 与Simulator 277 jD]~ AwRJ 13.1 原理介绍 277 E0=)HTtS 13.2 截止滤光片设计 277 qJs<#MQ2 14 光学常数提取 289 wu!59pL 14.1 介绍 289 sqwGsO$# 14.2 电介质薄膜 289 zkrM/ @p# 14.3 n 和k 的提取工具 295 @f~RdO3 14.4 基底的参数提取 302 UgNu`$m+ 14.5 金属的参数提取 306 [A~xy'T 14.6 不正确的模型 306 |bHelD| 14.7 参考文献 311 {SPq$B_VR 15 反演工程 313 z+wA
rPxc 15.1 随机性和系统性 313 FaSf7D`C 15.2 常见的系统性问题 314 ]=I@1B;_m 15.3 单层膜 314 (,Q7@s 15.4 多层膜 314 'Cfl*iNb 15.5 含义 319 P>C~
i:4n 15.6 反演工程实例 319 LVfF[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 WIT>!|w_ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ~9]hV7y5C 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 .Wj;%| 16.1 光学性质的热致偏移 329 A]0
St@ 16.2 应力工具 335 o Q2Fjj 16.3 均匀性误差 339 )h4f\0 16.3.1 圆锥工具 339 QB uMJm 16.3.2 波前问题 341 =pO^7g 16.4 参考文献 343 jDfC=a]) 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &*,#5. 17.1 引言 345 i2Qz4 $z 17.2 操作数 345 ->-KCd1b 18 如何在Function中编写脚本 351 Nq[uoaT 18.1 简介 351 <tNBxa$gS 18.2 什么是脚本? 351 KIf dafRL 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 w^|*m/h|@u 18.4 基础 352 /GN<\_o=q 18.4.1 Classes(类别) 352 -q1??u 18.4.2 对象 352 |(E
FY\ 18.4.3 信息(Messages) 352 oXh#a8 18.4.4 属性 352 \BTODZ:h 18.4.5 方法 353 uAJx.>$b 18.4.6 变量声明 353 6+|do+0Icg 18.5 创建对象 354 9igiZmM 18.5.1 创建对象函数 355 m)t;9J5 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Y-_`23x` 18.5.3 丢弃对象 356 jh%Eq+#S 18.5.4 总结 356 Fn;SF4KOm 18.6 脚本中的表格 357 V)HG(k 18.6.1 方法1 357 @ $ ;q; 18.6.2 方法2 357 QUc= &5 % 18.7 2D Plots in Scripts 358 VU(v3^1" 18.8 3D Plots in Scripts 359 %KhI>O< 18.9 注释 360 ?%-DfCS 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 vXf!G`D 18.11 一个更高级的脚本 362 JN-y)L/> 18.12 <esc>键 364 H?vdr:WlTN 18.13 包含文件 365 EzM
?Nft 18.14 脚本被优化调用 366 ZF9z~9 18.15 脚本中的对话框 368 XkE`U5. 18.15.1 介绍 368 l'-Bu( 18.15.2 消息框-MsgBox 368 5h=}j 18.15.3 输入框函数 370 .+3g*Dv{& 18.15.4 自定义对话框 371 Q:G4Z9Kt 18.15.5 对话框编辑器 371 kW Ml 18.15.6 控制对话框 377 |&+o^ 18.15.7 更高级的对话框 380 9k'7832u 18.16 Types语句 384 &tLgG4pd 18.17 打开文件 385 2ozax)GY 18.18 Bags 387 XH 4 18.13 进一步研究 388 nLZTK&7} 19 vStack 389 z,[Hli*0 19.1 vStack基本原理 389 ; ; OAQ` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 {l1.2! 19.3 五棱镜 393 .Ni\\ 19.4 光束距离 396 TCwFPlF| 19.5 误差 399 X;
\+<LE 19.6 二向分色棱镜 399 BQE|8g'&T 19.7 偏振泄漏 404 ~*&H$6NJS 19.8 波前误差—相位 405 n?!">G 19.9 其它计算参数 405 jKAEm 20 报表生成器 406 jjRi*^d9 20.1 入门 406 B
dj!ia;H 20.2 指令(Instructions) 406 dC3o9 20.3 页面布局指令 406 h,u,^ r 20.4 常见的参数图和三维图 407 i/;\7n 20.5 表格中的常见参数 408 1y@i}<9F 20.6 迭代指令 408 Xv5wJlc!d 20.7 报表模版 408 {Qf=G|Ah 20.8 开始设计一个报表模版 409 <s31W3<v 21 一个新的project 413 p?%y82E 21.1 创建一个新Job 414 wj$<t'MN 21.2 默认设计 415 `_Zg3_K.dS 21.3 薄膜设计 416 36&e.3/# 21.4 误差的灵敏度计算 420 J9--tJ?[>o 21.5 显色指数计算 422 ;s = l52 21.6 电场分布 424 T\6dm/5 后记 426 Y|F9}hj( 5,lEx1{_ 价格:598元有兴趣可以扫码加微咨询 XSwl Tg T9E+\D 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 z [}v{ (?1y4M 目 录 ~OYiq}g JQ_sUYh~3 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 >^?u
.gM3 第1章 介绍 ..........................................................1 b;B%q$sntC 第2章 软件安装 ..................................................... 3 X6w6%fzOH> 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 $u6"*| 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 $t'MSlF 第5章 软件结构 ............................................................... 21 \j}ZB<.> 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 d`=MgHz 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 hohfE3rd 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 Zgp4`)}: 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 8+Lm's=W* 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 !3c\NbU 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 [x=s(:qy 第12章 优化和综合 ..................................................................120 e9Wa<i8 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 )Yh+c=6
? 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 &.)^
%Tp\z 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 <Uk}o8E 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 ehGLk7@7& 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 c)6m$5] 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 lne4-(DJ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 ,a{P4Bq 第20章 运行表单 .................................................................... 251 RtkEGxw*^ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 '2A)}uR 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 G/y5H;<9M 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 P[G)sA_" 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 0I-9nuw,^; 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 g>E LGG|Q 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 xk9%F?) 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 5 Aw"B 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 <6%?OJhp 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 4B8oO :_`F{rDB 价 格:400元
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