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摘要 x1|5q/I [77]0V7 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 C3G?dZKv2 CImB,AXS
FnvN 4h{S gG*O&gQY 寻找组件内部光场分析器: FMM b1\z&IdC -x:Wp*,
DS=kSkW^&5 +M-' K19 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 ag:#82C wAF>C[ <\ l.;y`cs 评估模式 \X
Nb 9- AWh{dM =y0!-y )WwysGkqol 评估区域 3P^eD:)
w T~ /Bf No=f&GVg u32wS$*8 光栅类型 dm8veKW'l ;yBq'_e3 m-, ' O4]Ss}ol 光栅表面的采样 AH`tkPd IR5 S-vO y;;^o6Gnw hy
W4= 光栅表面的采样 X
H{5E4P PM[6U# zw\"!=r^
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