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摘要 Ec| Gom? Y|J\,7CM 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 C=ni5R .lfKS!m2
s z I0 a,mO;m 寻找组件内部光场分析器: FMM bs!N~,6h 0es[!
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U0k: _aVrQ@9 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 ;cl\$TDL >TUs~ V6"<lK8" 评估模式 a'w~7y!} 2't<Hl1qN
tS,nO:+x brJ_q0@ 评估区域 hK9Trr wau FX7=81**4 b7g\wnV8z 7''l\3mIn 光栅类型 2?ac\c6" Z<ozANbk 9;s:Bo 5Jq~EB{" 光栅表面的采样 24"Trg\WK[ V|b9zHh IlsXj`!e ZzLmsTtzIu 光栅表面的采样 ep .AW'+ -frmvNJ F Rk.YnA_J6
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