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摘要 v~W;&{ S,udpQ7 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 ^ UhqV"[7k f`K#=_Kq7
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Cz k {vd1,HZ 寻找组件内部光场分析器: FMM IP-M)_I -e?n4YO*\
nr8#;D qT:`F 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 2^75|Q ;CoD5F! |/c-~|% 评估模式 n5efHJU ;Jb%2?+=! m(dW["8D p&0 G 评估区域
/J Y6S 7/fJQM bD3 dT>(+ ?)-anoFyVW 光栅类型 !>wu7u- 9eE
FX7 ?B)e8i<[f ,1-idpnX 光栅表面的采样 DHyQ:0q \d:Uq5d)0 \}<J>R@ ^y93h8\y 光栅表面的采样 nB[B
FVkU &B1!,joH~ 7L6^IK
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