哈哈，有人关注，真好！ = U3,P%
uQ9/ 7"S
我还不太了解显微镜，上面的表述可能有常识性错误，海涵海涵！ o5+N_5OE}E
B^(0>Da\
所谓积分散射显微镜呢，主要是针对超光滑表面的，表面粗糙度1A量级，比如微电子中的硅片，以及激光腔的反射片透射片等。 45` Gv
l7 D/ ]&
原理很简单，入射光打到样品表面，除了镜面反射之外，在各个方向（样品一侧的2派弧度内）都有微弱的散射光（Scattering），其强度分布可以从衍射理论推出，称为ARS分布；而把ARS在半球空间内积分，称为总积分散射（TIS），理论表明，TIS与样品表面粗糙度之间有个简单的关系，故可以通过测量TIS来得到样品的表面形貌。 wL 5p0Xl
IXp P.d
所谓非接触主要是针对原子力显微镜（AFM）来讲的，因为AFM是可以测量到1A量级的，但是会损伤表面。 k|l"Rh<\~
DBi3 j
注：A为10的-10次方米。 Rs; ,_
Tr}@fa
不知我讲清楚没有，欢迎大家继续讨论。
