哈哈,有人关注,真好! SM4`Hys;p
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我还不太了解显微镜,上面的表述可能有常识性错误,海涵海涵! _Tor9Tj
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所谓积分散射显微镜呢,主要是针对超光滑表面的,表面粗糙度1A量级,比如微电子中的硅片,以及激光腔的反射片透射片等。 (b<0=U
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原理很简单,入射光打到样品表面,除了镜面反射之外,在各个方向(样品一侧的2派弧度内)都有微弱的散射光(Scattering),其强度分布可以从衍射理论推出,称为ARS分布;而把ARS在半球空间内积分,称为总积分散射(TIS),理论表明,TIS与样品表面粗糙度之间有个简单的关系,故可以通过测量TIS来得到样品的表面形貌。 !uW*~u
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所谓非接触主要是针对原子力显微镜(AFM)来讲的,因为AFM是可以测量到1A量级的,但是会损伤表面。 \+O.vRc"M
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注:A为10的-10次方米。 =zK4jiM1
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不知我讲清楚没有,欢迎大家继续讨论。