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%},S#5L3 内容简介 ks` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 0R^(rE"2# 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 U+}9X^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 1.d9{LO [- :c/=fWM% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 my\oC^/9 目录 Ynh4oWUp Preface 1 wM&x8 < 内容简介 2 Sdu@!<?B 目录 i OFAqP1o{$ 1 引言 1 O>):^$-K% 2 光学薄膜基础 2 uu/7Ie 2.1 一般规则 2 ;eEtdoy 2.2 正交入射规则 3 [t=+$pf(- 2.3 斜入射规则 6 eEZlVHM;O 2.4 精确计算 7 ToXFMkwY 2.5 相干性 8 m=l3O:~J 2.6 参考文献 10 C%7)sLWjJS 3 Essential Macleod的快速预览 10 +n~rM'^4/ 4 Essential Macleod的特点 32 ps;o[gB@5 4.1 容量和局限性 33 AkQFb2|ir 4.2 程序在哪里? 33 -Aym+N9 4.3 数据文件 35 v5bb|o[{K 4.4 设计规则 35 \C\y'H5 4.5 材料数据库和资料库 37 6o23#JgN 4.5.1材料损失 38 KZ/^gR\d 4.5.1材料数据库和导入材料 39 "7g8 d 4.5.2 材料库 41 tZBE& :l 4.5.3导出材料数据 43 WoG 4.6 常用单位 43 o|n0?bThS- 4.7 插值和外推法 46 8;Bwz RtgT 4.8 材料数据的平滑 50 "uERa(i 4.9 更多光学常数模型 54 UlZ)|Ya<M 4.10 文档的一般编辑规则 55 *8eh%3_$h 4.11 撤销和重做 56 ]T$w7puaJ 4.12 设计文档 57 | BWK"G 4.10.1 公式 58 NP`ll0s 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 krY.Cc] 4.10.3 沉积密度 59 U~@B%Msb
L 4.10.4 平行和楔形介质 60 s+G9L)b' 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 |N.q[>^R 4.10.4 性能 61 -@?>nLQb 4.10.5 保存设计和性能 64 ]1$AAmQH 4.10.6 默认设计 64 DQXx}%Px 4.11 图表 64 U1tPw`0h 4.11.1 合并曲线图 67 0~5}F^8[L 4.11.2 自适应绘制 68 u"$HWB~@z 4.11.3 动态绘图 68 05zdy-Fb 4.11.4 3D绘图 69 QN5N hs 4.12 导入和导出 73 0`zq*OQ 4.12.1 剪贴板 73 5fv6RQD 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =umS^fJ5` 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Z+Zh;Ms 4.13 背景 77 F<<H [,%0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 f3|=T8"t 4.15 生成Rugate 84 ~OfKn1D 4.16 参考文献 91 !H.lVA 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;]o^u.PC 5.1 Jobs 92 \:28z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 UZ0O
j5B. 5.3 输入材料 94 ,fLe%RP 5.4 设计数据文件夹 95 G?(:Z= 5.5 默认设计 95 {D.0_=y~2 6 细化和合成 97 pMrfi}esx 6.1 优化介绍 97 e+aQ$1^t 6.2 细化 (Refinement) 98 9Dkgu^` 6.3 合成 (Synthesis) 100 $
$+z^%'_ 6.4 目标和评价函数 101 2Rt ZTn 6.4.1 目标输入 102 o?8j*] 6.4.2 目标 103 g
0=t9J 6.4.3 特殊的评价函数 104 5mBk[{ 6.5 层锁定和连接 104 f
8U;T$) 6.6 细化技术 104 YR#1[fe*_ 6.6.1 单纯形 105 6-}9m7# Y 6.6.1.1 单纯形参数 106 "FD~XSRL 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 l,8|E 6.6.2.1 Optimac参数 108 (P_+m# 6.6.3 模拟退火算法 109 aa!c>"g6 6.6.3.1 模拟退火参数 109 v:b%G?o 6.6.4 共轭梯度 111 +fmZ&9hFNJ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 8b
$7# 6.6.5 拟牛顿法 112 b6VAyTa 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 }DwXs` M7 6.6.6 针合成 113 vsR&1hs 6.6.6.1 针合成参数 114 )E|Bb=% 6.6.7 差分进化 114 9`b3=&i\ 6.6.8非局部细化 115 :oQaN[3>_ 6.6.8.1非局部细化参数 115 :W55JD' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ]e9kf$' 6.7.1 细化 116 3e:y?hpeL 6.7.2 合成 117 b*7i&q'H 6.8 参考文献 117 Su~`jRN$ 7 导纳图及其他工具 118 }zi6 F. 7.1 简介 118 (~4AG \ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [ j_jee 7.2.1 四分之一波长规则 119 B dUyI_Ks: 7.2.2 导纳图 120 q3t@)+l>* 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 b87d'# . 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 `^x^=
og' 7.5 斜入射导纳图 141 Pd?YS!+S 7.6 对称周期 141 \zU R9h 7.7 参考文献 142 FUqiP(A 8 典型的镀膜实例 143 vF1$$7k 8.1 单层抗反射薄膜 145 uNDkK o<M 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 T9 1Iz+j 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Q=E6ZxH5; 8.4 W-膜层 148 |,crQ'N' 8.5 V-膜层 149 vJ s/ett 8.6 V-膜层高折射基底 150 G})mw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
=>U~ligu 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 }M@ pdE 8.9 四层抗反射薄膜 153 shRvwE[ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 > im4'- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >#Yq&@G 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 yO)Qg*r 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 >'eqOZM 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Lj#6K@u@Z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 c1f6RCu$b 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 uB?YJf .T@ 8.17 1/4波长堆栈 162 fr7/%{s 8.18 陷波滤波器 163 E7,\s
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ,b8AB_yw 8.20 褶皱 165 f.{0P-Np 8.21 消偏振分光器1 169 [S% 8.22 消偏振分光器2 171 xHmc8G$zu 8.23 消偏振立体分光器 172 WF]:?WE% 8.24 消偏振截止滤光片 173 8~bPoWP 8.25 立体偏振分束器1 174 d>}%A
] 8.26 立方偏振分束器2 177 spf}{o 8.27 相位延迟器 178 i8]r}a 8.28 红外截止器 179 ~tWBCq 6 8.29 21层长波带通滤波器 180 POf \l 8.30 49层长波带通滤波器 181 k dqH36&< 8.31 55层短波带通滤波器 182 dK-G%5)r 8.32 47 红外截止器 183 w K+2;*bI 8.33 宽带通滤波器 184 pfG:PrZ 8.34 诱导透射滤波器 186 {+ m)*3~w 8.35 诱导透射滤波器2 188 mTt 9 o9E 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 U8dwb 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?{n#j,v! 8.35 增益平坦滤波器 193 Cn,dr4J[ 8.38 啁啾反射镜 1 196 6eBQ9XV 8.39 啁啾反射镜2 198
J' ;tpr 8.40 啁啾反射镜3 199 LImD]e` 8.41 带保护层的铝膜层 200 )c*~Y=f 8.42 增加铝反射率膜 201 C<pF13*4 8.43 参考文献 202 Kr<O7t0X 9 多层膜 204 cGDA0#r 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 W*)>Tr)o 9.2 内部透过率 204 ;J:YNup 9.3 内部透射率数据 205 OCd[P1Y] 9.4 实例 206 9/{g%40B^ 9.5 实例2 210 <:p&P 9.6 圆锥和带宽计算 212 J]%P
fWV 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
tnsYY 10 光学薄膜的颜色 216 )gR&Ms4 10.1 导言 216 >TE&myZ?* 10.2 色彩 216 9H<:\-: 10.3 主波长和纯度 220 q&+GpR 10.4 色相和纯度 221 w NPZ[V: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Og["X0j 10.6 色差 226 V3-LVgM% 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 j6\{j#q 10.8 颜色渲染指数 234 Yv{AoL~ 10.9 色差计算 235 ,UP6.C14 10.10 参考文献 236 ,Ya&M@^Z 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 DN!EsQ6 11.1 短脉冲 238 pyN PdEy 11.2 群速度 239 i55']7+0 11.3 群速度色散 241 oyHjdPdY# 11.4 啁啾(chirped) 245 m'S-h'a 11.5 光学薄膜—相变 245 HdGy$m` 11.6 群延迟和延迟色散 246 @/9>
/?JP 11.7 色度色散 246 {>i'Pb0mG| 11.8 色散补偿 249 6V8"[0U 11.9 空间光线偏移 256 W]
lFwj 11.10 参考文献 258 L3/ua
12 公差与误差 260 /A>/]2( 12.1 蒙特卡罗模型 260 GVg0)} 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8z+ CYeV 12.2.1 误差工具 267 0I.7I#'3O 12.2.2 灵敏度工具 271 .8,lhcpY 12.2.2.1 独立灵敏度 271 kqyY:J 12.2.2.2 灵敏度分布 275 w<'mV^S 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 A}%sF MA 12.3 参考文献 276 {U4%aoBd8 13 Runsheet 与Simulator 277 Oz+>I^Q 13.1 原理介绍 277 q[+]; 13.2 截止滤光片设计 277 3
-5^$-7_ 14 光学常数提取 289 \dP2xou= 14.1 介绍 289 9;@6iv 14.2 电介质薄膜 289 Fv3fad@x 14.3 n 和k 的提取工具 295 m1(rAr1 14.4 基底的参数提取 302 T# 8O: 14.5 金属的参数提取 306 $GcVC (] 14.6 不正确的模型 306 # wG}T
.* 14.7 参考文献 311 rUj]6j=e 15 反演工程 313 rc$G0O 15.1 随机性和系统性 313 G6I>Ry[2? 15.2 常见的系统性问题 314 b[/-lNrc 15.3 单层膜 314 UCl,sn 15.4 多层膜 314 `=FfzL 15.5 含义 319 s Ce{V*ua 15.6 反演工程实例 319 \}cEHLq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 /{Nx%PqL 15.6.2 反演工程提取折射率 327 i |C'_gw`n 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Jo2:0<VL 16.1 光学性质的热致偏移 329 <%|2yPb] 16.2 应力工具 335 M*t{?o/t; 16.3 均匀性误差 339 D@!#79:) 16.3.1 圆锥工具 339 ^Zg"`&E 16.3.2 波前问题 341 chxO*G 16.4 参考文献 343 vmL0H)q 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 %POoyH@D} 17.1 引言 345 ]/U)<{6 17.2 操作数 345 ' (ql7 18 如何在Function中编写脚本 351 /Wt<[g# 18.1 简介 351 ab6KK$s 18.2 什么是脚本? 351 1}'|HAu 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 G6L'RP 18.4 基础 352 LA1UD+S 18.4.1 Classes(类别) 352 "/wZt c 18.4.2 对象 352 +Ge-!&.;A 18.4.3 信息(Messages) 352 'b%S3)} 18.4.4 属性 352 p*vEVo 18.4.5 方法 353 |o6B:NH,rg 18.4.6 变量声明 353 3^C 18.5 创建对象 354 hv8V=Z'Q 18.5.1 创建对象函数 355 @<;0h| 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 w;)@2} 18.5.3 丢弃对象 356 ^hLAMaR 18.5.4 总结 356 10t9Qv/ 18.6 脚本中的表格 357 H htAD Y 18.6.1 方法1 357 .%.J Q 18.6.2 方法2 357 HPT$)NeNc 18.7 2D Plots in Scripts 358 `Fnt#F} 18.8 3D Plots in Scripts 359 EE-jU<>| 18.9 注释 360 fsb_*sh& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 %i$]S`A} 18.11 一个更高级的脚本 362 e0qU2 18.12 <esc>键 364 66!cfpM 18.13 包含文件 365 S }mqK|! 18.14 脚本被优化调用 366 K8f;AK 18.15 脚本中的对话框 368 xV}-[W5sr' 18.15.1 介绍 368 $SA8$!: 18.15.2 消息框-MsgBox 368 SBZqO'}7 18.15.3 输入框函数 370 Fn1|Wt* 18.15.4 自定义对话框 371 }GRZCX> 18.15.5 对话框编辑器 371 )BmK'H+l 18.15.6 控制对话框 377 *+rO3% ;t 18.15.7 更高级的对话框 380 a;8q7nC 18.16 Types语句 384 XhhV7J_F 18.17 打开文件 385 N8_
c%6GE 18.18 Bags 387 cba~ 18.13 进一步研究 388 Y?ouB 19 vStack 389 =*_T;;E 19.1 vStack基本原理 389 ?%(: 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :VGvL"Kro 19.3 五棱镜 393 &3#19v7/ 19.4 光束距离 396 7&-B6Y4 19.5 误差 399 Q!9AxM2K 19.6 二向分色棱镜 399 /-4rcC 19.7 偏振泄漏 404 ,*!HN
& 19.8 波前误差—相位 405 &>,c..Ke 19.9 其它计算参数 405 t4X:I&l-M: 20 报表生成器 406 -C1,$mkj 20.1 入门 406 j]~;|V5Z 20.2 指令(Instructions) 406 INt]OPD 20.3 页面布局指令 406 W"MwpV 20.4 常见的参数图和三维图 407 gE;r;#Jt4 20.5 表格中的常见参数 408 `v)
:|Q 20.6 迭代指令 408 .W>LEz' 20.7 报表模版 408 l3[2b
Qx 20.8 开始设计一个报表模版 409 x/7kcj!O 21 一个新的project 413 mhpaPin*JS 21.1 创建一个新Job 414 ,aq0Q<}~lc 21.2 默认设计 415 mqUn3F3 21.3 薄膜设计 416 -!4Mmp"2@u 21.4 误差的灵敏度计算 420 u]RI,3Z 21.5 显色指数计算 422 7.}Vvg#G 21.6 电场分布 424 F`))qCgg] 后记 426 \2]M&n GT
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