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k&ooV4#f6 内容简介 9nN1f@Y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )I&.6l!#
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ;p+'?%Y} 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 d#E&,^@M n1PptR 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 =dPokLXn 目录 XHU$&t`7>g Preface 1 se x\dg< 内容简介 2 k4iiL<| 目录 i _CHzwNU 1 引言 1 Z$/76 2 光学薄膜基础 2 ai-s9r'MI? 2.1 一般规则 2 _e@8E6#ce 2.2 正交入射规则 3 ZxNTuGOB: 2.3 斜入射规则 6 srf}+>u& 2.4 精确计算 7 t}eyfflZ 2.5 相干性 8 R1H^CJ=v0 2.6 参考文献 10 d9$RmCHe} 3 Essential Macleod的快速预览 10 pA*C|g
4 Essential Macleod的特点 32 K#+?oFo: 4.1 容量和局限性 33 5Rl\& G\ 4.2 程序在哪里? 33 \<pr28
4.3 数据文件 35 d#v@NuO6
h 4.4 设计规则 35 J> 4.5 材料数据库和资料库 37 Gt.'_hf Js 4.5.1材料损失 38 cuN ]}=D 4.5.1材料数据库和导入材料 39 W+&5G(z~ 4.5.2 材料库 41 QP%_2m>yhl 4.5.3导出材料数据 43 '|4+<# 4.6 常用单位 43 }AS/^E 4.7 插值和外推法 46 #Kb /tOp1 4.8 材料数据的平滑 50 i"G'#n~e 4.9 更多光学常数模型 54 B)Y[~4o 4.10 文档的一般编辑规则 55 wS}c\!@<, 4.11 撤销和重做 56 R `tJ7MB 4.12 设计文档 57 2'@m'4-N 4.10.1 公式 58 V^,gpTyv* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S[K5ofV 4.10.3 沉积密度 59 6&x\!+]F8 4.10.4 平行和楔形介质 60 tkctwjD 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 2Xl+}M.:Y 4.10.4 性能 61 -iiX!@ 4.10.5 保存设计和性能 64 !ekByD 4.10.6 默认设计 64 kumV|$Y?kA 4.11 图表 64 >T[/V3Z~K 4.11.1 合并曲线图 67 b11I$b
# 4.11.2 自适应绘制 68 s-IE}I?; 4.11.3 动态绘图 68 Y2DL%'K^ 4.11.4 3D绘图 69 D<J'\mo 4.12 导入和导出 73
^f,4=- 4.12.1 剪贴板 73 i]c{(gd` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 NTt4sWP!I 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;NA5G:eQ 4.13 背景 77 G^Gs/-
f 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 #p(c{L! 4.15 生成Rugate 84 @l CG)Ix< 4.16 参考文献 91 =v<w29P(g 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,7s>#b' 5.1 Jobs 92 NAD^10 5.2 创建一个新Job(工作) 93 A1p~K*[[ 5.3 输入材料 94 iW6O9~ 5.4 设计数据文件夹 95 \na$Sb+ 5.5 默认设计 95 ;$iT]S 6 细化和合成 97 CC=I|/mBM 6.1 优化介绍 97 "zcAYg^U 6.2 细化 (Refinement) 98 7
{92_xRL 6.3 合成 (Synthesis) 100 U:*rlA@_. 6.4 目标和评价函数 101 ?r !kKMZ 6.4.1 目标输入 102 "zq'nV= 6.4.2 目标 103 :=B.)]F.) 6.4.3 特殊的评价函数 104 =Q9^|& 6 6.5 层锁定和连接 104 G%s O{k7 6.6 细化技术 104 K F'fg
R 6.6.1 单纯形 105 :\~>7VFg 6.6.1.1 单纯形参数 106 Z@euO~e~ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 J6CSu7Voa 6.6.2.1 Optimac参数 108 q(qm3OxYo 6.6.3 模拟退火算法 109 W_wC"?A% 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \r
IOnZ.WK 6.6.4 共轭梯度 111 |>(Vo@ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \Hp!NbnF$ 6.6.5 拟牛顿法 112 n=-vOa% 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 fc~fjtqwvz 6.6.6 针合成 113 7;p/S#P: 6.6.6.1 针合成参数 114 !ldEy#"X 6.6.7 差分进化 114 2;sTSGDG 6.6.8非局部细化 115 U1:m=!S;x 6.6.8.1非局部细化参数 115 o*204BGB 6.7 我应该使用哪种技术? 116 rS>.!DiYr, 6.7.1 细化 116 ,C6( 6.7.2 合成 117 i]<@ 6.8 参考文献 117
|WaWmp(pQ 7 导纳图及其他工具 118 qK$O /g, 7.1 简介 118 zmQQ/7K 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 `mcb0 7.2.1 四分之一波长规则 119 }m<+tn3m 7.2.2 导纳图 120 Z><+4
' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 fa]8v6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Dl.<(/ 7.5 斜入射导纳图 141 ~EmK;[Z 7.6 对称周期 141 J?{sTj"KB 7.7 参考文献 142 iY`[dsT 8 典型的镀膜实例 143 \'=svJ
8.1 单层抗反射薄膜 145 =A5i84y.2u 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 9%kO%j,3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 tfHr'Qy BC 8.4 W-膜层 148 qf K
gNZ 8.5 V-膜层 149 Srw`vql{( 8.6 V-膜层高折射基底 150 cl`kd)"v 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <!t;[ie?y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 AM?ZhM 8.9 四层抗反射薄膜 153 #.u&2eyqQ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 JQ
?8yl
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Z<|x6% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1g=T"O&= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 b6;MTz*k> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ew]&~:$Ki 8.15十五层宽带抗反射膜 159 +mG"m hF 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 R1hmJ 8.17 1/4波长堆栈 162 kK6t|Yn& 8.18 陷波滤波器 163 UHV"<9tk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x%)oL:ue 8.20 褶皱 165 !|9@f$Jv 8.21 消偏振分光器1 169 z*VK{O)o 8.22 消偏振分光器2 171 jKcl{', 8.23 消偏振立体分光器 172 "$5cKbJ 8.24 消偏振截止滤光片 173 k_1;YOBF 8.25 立体偏振分束器1 174 \|vo@E 8.26 立方偏振分束器2 177 w?_'sP{pd 8.27 相位延迟器 178 Bs3&yEq( 8.28 红外截止器 179 cC9Zc#aK 8.29 21层长波带通滤波器 180 43=)akJi 8.30 49层长波带通滤波器 181 \*5z0A9)5) 8.31 55层短波带通滤波器 182
9Pvv6WyKy 8.32 47 红外截止器 183 L 8.33 宽带通滤波器 184 \1?'JdN 8.34 诱导透射滤波器 186 pQZ`dS\ 8.35 诱导透射滤波器2 188 fM&
fqI 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 iqoMQ7% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 2I suBX\[ 8.35 增益平坦滤波器 193 2ETv H~23 8.38 啁啾反射镜 1 196 "KCG']DF 8.39 啁啾反射镜2 198 yz>S($u 8.40 啁啾反射镜3 199 o=![+g 8.41 带保护层的铝膜层 200 asQ^33g z 8.42 增加铝反射率膜 201 "\lOOp^- 8.43 参考文献 202 w$]wd`N} 9 多层膜 204 }] 1C=~lC 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 {qSMJja !t 9.2 内部透过率 204 ?]*"S{Cq v 9.3 内部透射率数据 205 o]]tH 9.4 实例 206 _`*G71PS 9.5 实例2 210 a_VWgPVdDS 9.6 圆锥和带宽计算 212 s,mt%^x[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 rw
2i_,.*~ 10 光学薄膜的颜色 216 Jzp|#*~$E 10.1 导言 216 |A|K); 10.2 色彩 216 1#|lt\T 10.3 主波长和纯度 220 wKpD++k 10.4 色相和纯度 221 tJ7tZ~Ak 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 7^!iGhI]r 10.6 色差 226 r~|7paX! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $WRRCB/A6 10.8 颜色渲染指数 234 U0W2 10.9 色差计算 235 hZ|0<u 10.10 参考文献 236 [Tvdchl OC 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 lkp$rJ#6 11.1 短脉冲 238 >,Zn~8&Z 11.2 群速度 239 c<Ud[x. 11.3 群速度色散 241 %<|<%~l& 11.4 啁啾(chirped) 245 mU[ 11.5 光学薄膜—相变 245 $E8}||d 11.6 群延迟和延迟色散 246 i}f" 'KW 11.7 色度色散 246 3C;;z 11.8 色散补偿 249 IW}Wt{'m 11.9 空间光线偏移 256 ?{L'd 11.10 参考文献 258 Ai:,cY5% 12 公差与误差 260 ]R^xO;g' 12.1 蒙特卡罗模型 260 Rb^G~82d? 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 1(i%nX<U 12.2.1 误差工具 267 8X? EB6=c 12.2.2 灵敏度工具 271 ;eW)&qzK 12.2.2.1 独立灵敏度 271 t,A=B(W 12.2.2.2 灵敏度分布 275 X-CoC
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 WXf[W 12.3 参考文献 276 m}beT~FT_ 13 Runsheet 与Simulator 277 cUw$F{|W 13.1 原理介绍 277 yr.sfPnJK 13.2 截止滤光片设计 277 $EdL^Q2KAy 14 光学常数提取 289 Y!ypG- 14.1 介绍 289 }:s.m8LC5n 14.2 电介质薄膜 289 s|[qq7 14.3 n 和k 的提取工具 295 1bDXv,nD 14.4 基底的参数提取 302 k O.iJcZg 14.5 金属的参数提取 306 *k?y+}E_f 14.6 不正确的模型 306 v@fy*T\3 14.7 参考文献 311 |v#rSVx 15 反演工程 313
# xX 15.1 随机性和系统性 313 Uu Zjf9} 15.2 常见的系统性问题 314 M D&7k,! 15.3 单层膜 314 wq8&2(|Fc 15.4 多层膜 314 JZ>
(h 15.5 含义 319 T}"[f/:N/ 15.6 反演工程实例 319 9@nd>B 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 {=,I>w]T|W 15.6.2 反演工程提取折射率 327 l&Y'5k_R 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 vr6YE;Rs 16.1 光学性质的热致偏移 329 @W, <8 16.2 应力工具 335 mM{cH= 16.3 均匀性误差 339 ?O]RQXsZ2 16.3.1 圆锥工具 339 $:A80(#+ 16.3.2 波前问题 341 R$QhuxT| 16.4 参考文献 343 \W\*'C8q\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^/}&z |