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`/HUV&i"S 内容简介 -hkQ2[Ew# Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ' B 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ='TE,et@d 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 }du XC[ 6 wH~kTU2br 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 YC_1Ks 目录 jE#O>3+. Preface 1 xoOJauSX1 内容简介 2 /m!Cc/Hv 目录 i iS5W>1] 1 引言 1 u*qV[y5Bl 2 光学薄膜基础 2 0oEOre3^% 2.1 一般规则 2 3s"0SLS4 2.2 正交入射规则 3 "zIFxDR# 2.3 斜入射规则 6 -{`@=U 2.4 精确计算 7 w`l{LHrR 2.5 相干性 8 JWA@+u*k 2.6 参考文献 10 BL 3gKx.' 3 Essential Macleod的快速预览 10 8u!"#S#>a 4 Essential Macleod的特点 32 o[E_Ge}g8 4.1 容量和局限性 33 D1nq2GwS 4.2 程序在哪里? 33 U35AX9/ 4.3 数据文件 35 0@2mXO9f" 4.4 设计规则 35 ;(}V"i7Hu 4.5 材料数据库和资料库 37 ={hX}"*D 4.5.1材料损失 38 vP+@z-O 4.5.1材料数据库和导入材料 39 .(Qx{r$ 4.5.2 材料库 41 6i0A9SN 4.5.3导出材料数据 43 k1VT /u 4.6 常用单位 43 j[Uxa 4.7 插值和外推法 46 7} jWBK 4.8 材料数据的平滑 50 !45.puL0 4.9 更多光学常数模型 54 s&GJW@
| 4.10 文档的一般编辑规则 55 1".v6caW 4.11 撤销和重做 56 0j C3fT!n 4.12 设计文档 57 <, 3ROo76 4.10.1 公式 58 )G7=G+e; 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 m~uOXb 4.10.3 沉积密度 59 XNgDf3T 4.10.4 平行和楔形介质 60 (MHAJ]Rx 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `gKf#f 4.10.4 性能 61 ]:34kE}e5 4.10.5 保存设计和性能 64 @(C1_ 4.10.6 默认设计 64 2 1PFR:lP7 4.11 图表 64 M@W[Bz 4.11.1 合并曲线图 67 I7^zU3]Ul 4.11.2 自适应绘制 68 @|'5n 4.11.3 动态绘图 68 "*O4GPj 4.11.4 3D绘图 69 WL{(Ob 4.12 导入和导出 73 ZIdA\_c 4.12.1 剪贴板 73 hVUP4 A 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 cwV]!=RtO 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 BPr^D0P 4.13 背景 77 c)0amM 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <LRey%{q 4.15 生成Rugate 84 e$Y[Z{T5 4.16 参考文献 91 S>.F_Jl 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,C {*s$ 5.1 Jobs 92 %7g:}O$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 fh^lO ^ 5.3 输入材料 94 rxme(9M 5.4 设计数据文件夹 95 vy,&N^P 5.5 默认设计 95 DQwGUF'( 6 细化和合成 97 TE )gVE] 6.1 优化介绍 97 p\{-t84n 6.2 细化 (Refinement) 98 ;+1RUv 6.3 合成 (Synthesis) 100 t*@z8<H 6.4 目标和评价函数 101 eiJ2NwR\w 6.4.1 目标输入 102 pWu LfX 6.4.2 目标 103 fIGFHZy, 6.4.3 特殊的评价函数 104 SR*wvQnOx 6.5 层锁定和连接 104 7 h y&-< 6.6 细化技术 104 Z/rTVAs@r 6.6.1 单纯形 105 |y<),j6 6.6.1.1 单纯形参数 106 Z!0]/ mCE8 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 c%*($)# 6.6.2.1 Optimac参数 108 LI)!4(WH 6.6.3 模拟退火算法 109 w:'dhr': 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %P;Q|v6/| 6.6.4 共轭梯度 111 -*2Mf Mh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 i@NqC;~; 6.6.5 拟牛顿法 112 CQ;]J=|<_ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 HG'{J ^t 6.6.6 针合成 113 XBQ\_2> 6.6.6.1 针合成参数 114 20rkKFk* 6.6.7 差分进化 114 Yl;^ k0ZI 6.6.8非局部细化 115 q2:K4 6.6.8.1非局部细化参数 115 f.GETw 6.7 我应该使用哪种技术? 116 zY+Fl~$S 6.7.1 细化 116 Z`3ufXPNlO 6.7.2 合成 117 V#ev-\k}@ 6.8 参考文献 117 /J)l /oI 7 导纳图及其他工具 118 Hqh6:RuL 7.1 简介 118 W0jZOP5_.$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 fri0XxF 7.2.1 四分之一波长规则 119 4(l?uU$ 7.2.2 导纳图 120 BK,sc'b 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `bKA+c,f 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 yk2 !8 7.5 斜入射导纳图 141 >\ST-7[^L 7.6 对称周期 141 :ug4g6;#H0 7.7 参考文献 142 27ckdyQx 8 典型的镀膜实例 143 1xf=_F0`& 8.1 单层抗反射薄膜 145 ENh!N4vbO 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 |_u8mV 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 l:]Nn%U(> 8.4 W-膜层 148 ^% Q|s#w. 8.5 V-膜层 149 ~tB;@e 8.6 V-膜层高折射基底 150 iA_8(Yo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 (eCFWmO 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 SvvUkQ#1w 8.9 四层抗反射薄膜 153 a'\By?V]
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 n3MWs);5 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;jK#[*y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5W
=(+Q>C 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @&1Wyp 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Q
'(ihUq*k 8.15十五层宽带抗反射膜 159 aKF*FFX 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &p<(_|Af 8.17 1/4波长堆栈 162 =\ )IaZ
8.18 陷波滤波器 163 J` {6l 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 nRhrWS 8.20 褶皱 165 6) \dBOz 8.21 消偏振分光器1 169 x}$e}8|8YL 8.22 消偏振分光器2 171 o-7>eE}+ 8.23 消偏振立体分光器 172 KRsAv^'] 8.24 消偏振截止滤光片 173 ,(G%e 8.25 立体偏振分束器1 174 A{o 'z_zC 8.26 立方偏振分束器2 177 i54md$Q^ 8.27 相位延迟器 178 ?(KvQK|d4 8.28 红外截止器 179 9+Y D!y 8.29 21层长波带通滤波器 180 V%HS\<$h 8.30 49层长波带通滤波器 181 k6IG+:s 8.31 55层短波带通滤波器 182 C-P06Q] 8.32 47 红外截止器 183 ;@ WV-bLe 8.33 宽带通滤波器 184 +?RGta'%k 8.34 诱导透射滤波器 186 @D`zKYwX1 8.35 诱导透射滤波器2 188 VS?@y/\In 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &ntBU]<q 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 V9x8R 8.35 增益平坦滤波器 193 ~!%0Z9>ap 8.38 啁啾反射镜 1 196 &A!KJ. 8.39 啁啾反射镜2 198 NnxM3* 8.40 啁啾反射镜3 199 UkR3}{i 8.41 带保护层的铝膜层 200 cTZ)"^z! 8.42 增加铝反射率膜 201 aI#4H+/ 8.43 参考文献 202 ^c9ThV.v 9 多层膜 204 <2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 hQJWKAf,/ 9.2 内部透过率 204 Tc
ZnmN 9.3 内部透射率数据 205 yt.c5>B^ 9.4 实例 206 >e5zrgV 9.5 实例2 210 dhRJg"vrQ 9.6 圆锥和带宽计算 212 jeN1eM8WI 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ioIv=qGdiP 10 光学薄膜的颜色 216 @%i>XAe#0 10.1 导言 216 %/0gWG 10.2 色彩 216 Zcd7*EBdx 10.3 主波长和纯度 220 0yof u 10.4 色相和纯度 221 <Mgf]v.QS 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 g"t^r3 10.6 色差 226 6i@ub%qq 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 {ctwo X[; 10.8 颜色渲染指数 234 EHf)^]Z 10.9 色差计算 235 d5xxb _oE 10.10 参考文献 236 ]H 2R 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 993d/z|DX 11.1 短脉冲 238 }F{=#Kqn^ 11.2 群速度 239 vrcE]5(:s 11.3 群速度色散 241 FuP}Kec 11.4 啁啾(chirped) 245 M1=_^f=&. 11.5 光学薄膜—相变 245 Md(JIlh3 11.6 群延迟和延迟色散 246 *M!kA65' 11.7 色度色散 246 <A~GW
'HB 11.8 色散补偿 249 J6|JWp 11.9 空间光线偏移 256 jW5iqU"{* 11.10 参考文献 258 |1V2tx 12 公差与误差 260 SfI*bJo>V 12.1 蒙特卡罗模型 260 7u%a/ < 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Gj6. Iv 12.2.1 误差工具 267 dXP6"V@iI 12.2.2 灵敏度工具 271 <Ry$7t, 12.2.2.1 独立灵敏度 271 n85r^W 12.2.2.2 灵敏度分布 275 g5R,% 6 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 z}5<$K_U 12.3 参考文献 276 yKDZ+3xK] 13 Runsheet 与Simulator 277 \y*j4 0 13.1 原理介绍 277 ;/Q6i
13.2 截止滤光片设计 277 M'u=H 14 光学常数提取 289 _@prmSc 14.1 介绍 289 _om[VKJd 14.2 电介质薄膜 289 QFzFL-H~N 14.3 n 和k 的提取工具 295 u( 9X 14.4 基底的参数提取 302 Z\!rH"8 14.5 金属的参数提取 306 ]bfqcmh< 14.6 不正确的模型 306 %8Yyj{^!( 14.7 参考文献 311 ``-k{C#F 15 反演工程 313 G.ud1,S# 15.1 随机性和系统性 313 qz:]-A 15.2 常见的系统性问题 314 :VFTVmr 15.3 单层膜 314 #{>uC&jD 15.4 多层膜 314 t{ H1u 15.5 含义 319 Ygx,t|?7 15.6 反演工程实例 319 }N| \ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 oWD)+5.] 15.6.2 反演工程提取折射率 327 N *1 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 <3Fz>}V32 16.1 光学性质的热致偏移 329 ?>)yKa# U 16.2 应力工具 335 _?Ckq 16.3 均匀性误差 339 E._hg+
(Hi 16.3.1 圆锥工具 339 =, TS MV 16.3.2 波前问题 341 b]K>vhQV 16.4 参考文献 343 I7b i@t 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 a>(~ C'(< 17.1 引言 345 BvI 0v: 17.2 操作数 345 QRagz,c 18 如何在Function中编写脚本 351 'fl(N2t 18.1 简介 351 28+HKbgK 18.2 什么是脚本? 351 &E]"c]i+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Bt6xV<jD 18.4 基础 352 EOQaY 18.4.1 Classes(类别) 352 ~*kK4]lP 18.4.2 对象 352 +{0=<2(EC 18.4.3 信息(Messages) 352 =SL^>HS.fo 18.4.4 属性 352 I}ndRDz[ 18.4.5 方法 353 Cg*kN"8q 18.4.6 变量声明 353 }6@%((9E2 18.5 创建对象 354 (k#t}B[ 18.5.1 创建对象函数 355 0/*X=5 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 #8E?^d 18.5.3 丢弃对象 356 ^@N`e1 18.5.4 总结 356 lR[z<2w\ 18.6 脚本中的表格 357 m>O2t- 18.6.1 方法1 357 5IO3 % p? 18.6.2 方法2 357 D0KELAcY 18.7 2D Plots in Scripts 358 bx]14}6 18.8 3D Plots in Scripts 359 a^x
0 l 18.9 注释 360 1V\1]J/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 +ruj 18.11 一个更高级的脚本 362 4zwif& 18.12 <esc>键 364 ZgK@Fl*k 18.13 包含文件 365 0*{@E%9 18.14 脚本被优化调用 366 rSbQ}O4V 18.15 脚本中的对话框 368 6iyt2qkh 18.15.1 介绍 368 G*=H;Upi 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ?Cc$] 18.15.3 输入框函数 370 LsnXS9_ 18.15.4 自定义对话框 371 gi
'^qi2 18.15.5 对话框编辑器 371 #W.bZ]&WA 18.15.6 控制对话框 377 hOV_Oqe4? 18.15.7 更高级的对话框 380 BHIM'24bp 18.16 Types语句 384 )biX8yqhR 18.17 打开文件 385 P0Aas)! 18.18 Bags 387 '2j~WUEmg 18.13 进一步研究 388 cUYX1a)8 19 vStack 389 KM E XT$p 19.1 vStack基本原理 389 @!Y.935/0 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 z{AM2Z 19.3 五棱镜 393 l; */M.B 19.4 光束距离 396 9.jG\i 19.5 误差 399 cFe V?a 19.6 二向分色棱镜 399 qP@L(_=g 19.7 偏振泄漏 404 p~ mN2x ] 19.8 波前误差—相位 405 &(GopWR`e 19.9 其它计算参数 405 yM W'-\ 20 报表生成器 406 ;A`IYRzt 20.1 入门 406 g+VRT,r 20.2 指令(Instructions) 406 [+yGDMLs 20.3 页面布局指令 406 T$f:[ye]Z 20.4 常见的参数图和三维图 407 PZ~`O 20.5 表格中的常见参数 408 F1zT )wW 20.6 迭代指令 408 E`U&Z 20.7 报表模版 408 V#+126 20.8 开始设计一个报表模版 409 3{I=.mUUm 21 一个新的project 413 Z+OAs0}mV 21.1 创建一个新Job 414 0oXK&Z 21.2 默认设计 415 5R&x{jf$ 21.3 薄膜设计 416 f;&` 9s| 1 21.4 误差的灵敏度计算 420 }3LBbG0Bw 21.5 显色指数计算 422 Fa6H(L3 21.6 电场分布 424 r{bgTG 后记 426 '3IkPy1Uz
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