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u]]mbER*t# 内容简介 4~hP25q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Rhw+~gd*F 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 gb}ov** 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 *9`k$' /74)c~.W 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |`+ (O 目录 cmY `$= Preface 1 lQ4$d{m` 内容简介 2 *g4Uo{ 目录 i J8[aVG 1 引言 1 7'ws: #pC 2 光学薄膜基础 2 -<tTT 2.1 一般规则 2 #fXy4iL l 2.2 正交入射规则 3 Pu'lp
O 2.3 斜入射规则 6 qVvnl 2.4 精确计算 7 z$VVt?K 2.5 相干性 8 ?iL-2I3* 2.6 参考文献 10 (Sj<>xgd 3 Essential Macleod的快速预览 10 N5tFEV'G 4 Essential Macleod的特点 32 c]|Tg9AW 4.1 容量和局限性 33 8[a N5M] 4.2 程序在哪里? 33 uI3oPP> $ 4.3 数据文件 35 VS65SxHA 4.4 设计规则 35 #(Yd'qKo 4.5 材料数据库和资料库 37 GbvbGEG 4.5.1材料损失 38 v2YU2-X[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 SUL\|z`5 4.5.2 材料库 41 7(H?3)%0 4.5.3导出材料数据 43 X3y28 %R 4.6 常用单位 43 ler$HA%F] 4.7 插值和外推法 46 BT
f 4.8 材料数据的平滑 50 I,r0K] 4.9 更多光学常数模型 54 `*i:z' 4.10 文档的一般编辑规则 55 !.O;SG 4.11 撤销和重做 56 }$a*XY1 4.12 设计文档 57 <<9|*Tz 4.10.1 公式 58 8/~@3-9EK 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 T
^/\Rr 4.10.3 沉积密度 59 Wq<HsJd/ 4.10.4 平行和楔形介质 60
af/0e}- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~x J#NC+ 4.10.4 性能 61 Z'd]oNF 4.10.5 保存设计和性能 64 2N.!#~_2 D 4.10.6 默认设计 64 s1X?]A 4.11 图表 64 Ctk1\quz 4.11.1 合并曲线图 67 $]a*ZHd;2& 4.11.2 自适应绘制 68 gU?M/i2 4.11.3 动态绘图 68 gGs"i]c 4.11.4 3D绘图 69 }x_:v!G 4.12 导入和导出 73 w~n+hhMF 4.12.1 剪贴板 73 %xC}#RDf 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %V(U]sbV 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 K'[kl' 4.13 背景 77 -JclEp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1TgD;qX 4.15 生成Rugate 84 @J6V, 4.16 参考文献 91 UAC"jy1D 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ^ JU#_ 5.1 Jobs 92 z\K-KD{Ad 5.2 创建一个新Job(工作) 93 `*B6T7p1 5.3 输入材料 94 6hHMxS^o 5.4 设计数据文件夹 95 =vL
>&$ 5.5 默认设计 95 LVy (O9g 6 细化和合成 97 5K=>x< 6.1 优化介绍 97 @2+'s;mUV 6.2 细化 (Refinement) 98 (62Sc] 6.3 合成 (Synthesis) 100 w(Q{;RNM; 6.4 目标和评价函数 101 ~6[3Km|2 6.4.1 目标输入 102 ]zI*}(adu 6.4.2 目标 103 9zpOp-K6 6.4.3 特殊的评价函数 104 :GM3n$ 6.5 层锁定和连接 104 V7k!;0u
v 6.6 细化技术 104 (7X^z&2 6.6.1 单纯形 105 P R_|
8H| 6.6.1.1 单纯形参数 106 I"D}amuv 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 !{A#\~, 6.6.2.1 Optimac参数 108 UxnZA5Lk* 6.6.3 模拟退火算法 109 i~m;Ah,# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 p)~EG=p 6.6.4 共轭梯度 111 c >xHaA:V 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 TR:4$92:H 6.6.5 拟牛顿法 112 U \F ?{/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 }50s\H._C 6.6.6 针合成 113 5+/XO>P1m| 6.6.6.1 针合成参数 114 )%hW3w 6.6.7 差分进化 114 ~;oaW<" 6.6.8非局部细化 115 mC'<Ov<eJ 6.6.8.1非局部细化参数 115 O/oLQoH 6.7 我应该使用哪种技术? 116 r$,Xv+} 6.7.1 细化 116 Pe@*')o* 6.7.2 合成 117 ^,Ft7 JAn 6.8 参考文献 117 &InFC5A 7 导纳图及其他工具 118 H$6;{IUz~ 7.1 简介 118 D#d/?\2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 E/ ^N
7.2.1 四分之一波长规则 119 ,oJ$m$(Lj 7.2.2 导纳图 120 k
jx<;##R8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 6vg` 8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {7EpljH@ 7.5 斜入射导纳图 141 Wyb+K)Tg 7.6 对称周期 141 D+Z2y1 7.7 参考文献 142 t*Z4&Sy^ 8 典型的镀膜实例 143 2xv[cpVi 8.1 单层抗反射薄膜 145 $/Llzpvny 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 QF$s([ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 f/sLQdK, 8.4 W-膜层 148 _*wlK;` 8.5 V-膜层 149 HzAw
rC 8.6 V-膜层高折射基底 150 s=<65 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 xQNGlVipZ@ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 v
`;Hd8 8.9 四层抗反射薄膜 153 O*>`md?MH 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 M'@ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ].@8/. rg 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 zuJ@@\75 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :bqUA(k 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 RvyCc!d 8.15十五层宽带抗反射膜 159 r(g#3i4Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 9x#Tj/5% 8.17 1/4波长堆栈 162 )~ ^`[` 8.18 陷波滤波器 163 pwA~?$B1 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 K#R|GEwr 8.20 褶皱 165 `X(H,Q}*; 8.21 消偏振分光器1 169 /wi/i*;A 8.22 消偏振分光器2 171 $?DEO[p. 8.23 消偏振立体分光器 172 NOl/y@# 8.24 消偏振截止滤光片 173 D=M'g}l 8.25 立体偏振分束器1 174 D_BdvWSxj 8.26 立方偏振分束器2 177 qU ,{jD$ 8.27 相位延迟器 178 8k^1:gt^ 8.28 红外截止器 179 Pje1,B q 8.29 21层长波带通滤波器 180 sRC?l_n; 8.30 49层长波带通滤波器 181 =0>[-:Z 8.31 55层短波带通滤波器 182 ]<u%jTQREd 8.32 47 红外截止器 183 Tz7|OV_W$ 8.33 宽带通滤波器 184 aX*7tRn_% 8.34 诱导透射滤波器 186 v|nt(-JX 8.35 诱导透射滤波器2 188 y]uBVn'u 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 )qRE['M 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 %Lp#2?* 8.35 增益平坦滤波器 193 88l{M[B2 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,hCbx#h 8.39 啁啾反射镜2 198 Q>WnSm5R 8.40 啁啾反射镜3 199 dA0o{[o= 8.41 带保护层的铝膜层 200 dlwOmO'Bm) 8.42 增加铝反射率膜 201 Xvxrz{ 8.43 参考文献 202 wNMA)S 9 多层膜 204 4H`B]Zt7 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 zG<>-?q~' 9.2 内部透过率 204 m[hHaX 9.3 内部透射率数据 205 e]V7
7oc 9.4 实例 206 Wli!s~c5Fo 9.5 实例2 210 (w
Q,($@ 9.6 圆锥和带宽计算 212 <,J O 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?8q4texf[ 10 光学薄膜的颜色 216 ogoEtKi 10.1 导言 216 B+2.:Zn6 10.2 色彩 216 /Y[ b8f 10.3 主波长和纯度 220 nE4rB\ 10.4 色相和纯度 221 Z*.rv t 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 \+<=O` 10.6 色差 226 3w+ +F@( 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 G9CL}=lJ, 10.8 颜色渲染指数 234 0"iQHi 10.9 色差计算 235 8Y;2.Z`Rz 10.10 参考文献 236 tZ:fh p 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 BfQ#5 11.1 短脉冲 238 0bjZwC4J 11.2 群速度 239 +[pJr-k 11.3 群速度色散 241 vhN6_XD 11.4 啁啾(chirped) 245 7/dp_I}cO 11.5 光学薄膜—相变 245 }+F@A`Bm& 11.6 群延迟和延迟色散 246 vX$|/74 11.7 色度色散 246 3lgD,_& 11.8 色散补偿 249 i"n1E@
11.9 空间光线偏移 256 8x9;3{R 11.10 参考文献 258 /Ur]U
w 12 公差与误差 260 :d@RN+U 12.1 蒙特卡罗模型 260 `8;\}6:"1 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )a$sx} 12.2.1 误差工具 267 m
[BV{25 12.2.2 灵敏度工具 271 P,k=u$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ZC)m&V1 12.2.2.2 灵敏度分布 275 T )bMHk 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 U \jFB*U 12.3 参考文献 276 Srrzj-9^)K 13 Runsheet 与Simulator 277 )~#3A@ 13.1 原理介绍 277 }1NNXxQ 13.2 截止滤光片设计 277 * K0aR! 14 光学常数提取 289 _w7yfZLv+ 14.1 介绍 289 yg"FF:^T 14.2 电介质薄膜 289 K\5/ ||gi 14.3 n 和k 的提取工具 295 Q1x=@lXR 14.4 基底的参数提取 302 la`f@~Bbr1 14.5 金属的参数提取 306 XKvH^Z4h{l 14.6 不正确的模型 306 kM3#[#6$! 14.7 参考文献 311 YyC$\HH6 15 反演工程 313 8[oZ>7LMzC 15.1 随机性和系统性 313 v5*JBW+c* 15.2 常见的系统性问题 314 AdRK )L 15.3 单层膜 314 :v^Od W 15.4 多层膜 314 }q:4Zh'l! 15.5 含义 319 "f-HOd\= 15.6 反演工程实例 319 5B;;{GR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 VRUA<x 15.6.2 反演工程提取折射率 327 V|pO";%>, 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 aQ0pYk~( 16.1 光学性质的热致偏移 329 OOzXA%<%c 16.2 应力工具 335 D~ 7W 16.3 均匀性误差 339 :%IB34e 16.3.1 圆锥工具 339 c>wne\(5H 16.3.2 波前问题 341 [vxHsY3z 16.4 参考文献 343 KuMH,rXF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 2FEi-m} 17.1 引言 345 2W;2._ 17.2 操作数 345 "fu@2y4^ 18 如何在Function中编写脚本 351 %ejq|i7 18.1 简介 351 &,$N|$yK}| 18.2 什么是脚本? 351 _[N*k" 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 mH )i 18.4 基础 352 Z5[g[Q 18.4.1 Classes(类别) 352 {}BAQ9|q 18.4.2 对象 352 18>v\Hi< 18.4.3 信息(Messages) 352 lOHW9Z 18.4.4 属性 352 lDZ~ 18.4.5 方法 353 [$Jsel<T= 18.4.6 变量声明 353 dHtEyF 18.5 创建对象 354 b
T** y?2 18.5.1 创建对象函数 355 ~F>'+9?Sn 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 vHb^@z= 18.5.3 丢弃对象 356 -a7BVEFts 18.5.4 总结 356 [x
-<O:r=P 18.6 脚本中的表格 357 W4)bEWO+q 18.6.1 方法1 357 5JS*6|IbD{ 18.6.2 方法2 357 DDZnNSo<JQ 18.7 2D Plots in Scripts 358 l6.&<0pLT 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,vuC0{C^ 18.9 注释 360 UtHloq(r 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;dTxQ_: 18.11 一个更高级的脚本 362 mcxD#+H 3 18.12 <esc>键 364 }U|Vpgd! 18.13 包含文件 365 Y.%Vvg4z3 18.14 脚本被优化调用 366 _Zxo<}w}y 18.15 脚本中的对话框 368 }Zfi/ ^0U 18.15.1 介绍 368 *O7PH1G 18.15.2 消息框-MsgBox 368 'Qg.D88 18.15.3 输入框函数 370 ?h,.1Tb 18.15.4 自定义对话框 371 GF*uDJ Kp 18.15.5 对话框编辑器 371 T75N0/teS 18.15.6 控制对话框 377 "_:6v64Gx 18.15.7 更高级的对话框 380 \+k~p:d_8 18.16 Types语句 384 ^,`
L!3 18.17 打开文件 385 \ZBz]rh* 18.18 Bags 387 BqtN= 18.13 进一步研究 388 kR{$&cE^ 19 vStack 389 Q<(aU{ 19.1 vStack基本原理 389 $dug"[ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 *T:jR 19.3 五棱镜 393 ){KrBaGa4 19.4 光束距离 396 @?&
i 19.5 误差 399 BJ{?S{"6%G 19.6 二向分色棱镜 399 l)V646-O,~ 19.7 偏振泄漏 404 *E-MJCv 19.8 波前误差—相位 405 u/FC\xJc 19.9 其它计算参数 405 w{GEWD{& 20 报表生成器 406 VOT9cP^6 20.1 入门 406 co'qVsOiH 20.2 指令(Instructions) 406 olK*uD'` 20.3 页面布局指令 406 !(y(6u# 20.4 常见的参数图和三维图 407 ovaX_d)cU 20.5 表格中的常见参数 408 Q+Eqaz` 20.6 迭代指令 408 D!i|KI/ 20.7 报表模版 408 juxAyds 20.8 开始设计一个报表模版 409 >2NsBS( 21 一个新的project 413 (Z8wMy&: 21.1 创建一个新Job 414 ^MVOaV65 21.2 默认设计 415 P1<McQ 21.3 薄膜设计 416 u\km_e 21.4 误差的灵敏度计算 420 rw?wlBEG% 21.5 显色指数计算 422 .ZM0cwF 21.6 电场分布 424 1[\I9dv2 后记 426 WN o+%
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