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; 4l-M2 内容简介 WFRsSp2 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 b$dBV}0 L 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "oHp.$+K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 /9P^{OZ;y ::v;)VdX+* 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 'y< t/qo 目录 7,f:Qi@g Preface 1 !;TR2Zcn 内容简介 2
ccRlql( 目录 i =Y/}b\9`T 1 引言 1 JR])xPI` 2 光学薄膜基础 2 ~KJ,SLzhx9 2.1 一般规则 2 *3!(*F@M, 2.2 正交入射规则 3 vf6`s\6 2.3 斜入射规则 6 KuIkul9^% 2.4 精确计算 7 E=}6X9X 2.5 相干性 8 $|rCrak; 2.6 参考文献 10 =n)JJS94 3 Essential Macleod的快速预览 10 L^6"'# 4 Essential Macleod的特点 32 NS
h%t+XU] 4.1 容量和局限性 33 P`7ojXy 4.2 程序在哪里? 33 7F"3 <U@J 4.3 数据文件 35 BO[+E'2 4.4 设计规则 35 $I\))*a 4.5 材料数据库和资料库 37 fDL3:%D 4.5.1材料损失 38 9*BoYFw92* 4.5.1材料数据库和导入材料 39 jMTRcj];( 4.5.2 材料库 41 ,<7"K& 4.5.3导出材料数据 43 f+{c1fb>s 4.6 常用单位 43 0Wjd-rzc, 4.7 插值和外推法 46 5BrU'NF 4.8 材料数据的平滑 50 )>ug{M%g 4.9 更多光学常数模型 54 f;e_04K 4.10 文档的一般编辑规则 55 , - QR 4.11 撤销和重做 56 u9esdOv 4.12 设计文档 57 $Vo/CZW7 4.10.1 公式 58 #E*@/ p/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 i:C.8hmAE 4.10.3 沉积密度 59
-PcS( 4.10.4 平行和楔形介质 60 >Kz_My9 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 d,zp`S 4.10.4 性能 61 mfj4`3:NV 4.10.5 保存设计和性能 64 s.f`.o 4.10.6 默认设计 64 ll^Th > 4.11 图表 64 r3n=<l!Jr 4.11.1 合并曲线图 67 =9kj?
u~
4.11.2 自适应绘制 68 W/#KX}4 4.11.3 动态绘图 68 f+*J
ue 4.11.4 3D绘图 69 ;7;zhJs1t 4.12 导入和导出 73 2b; rr 4.12.1 剪贴板 73 i6-wf Gs; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 X(4s;i 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 v]B0!k&4. 4.13 背景 77 ^RY n8I 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _cW_u?0X: 4.15 生成Rugate 84 t.3Ct@wK 4.16 参考文献 91 83mlZ1jQz 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *!._Ais,\ 5.1 Jobs 92 pw0Px 5.2 创建一个新Job(工作) 93 u)<Ysx8G 5.3 输入材料 94 *rS9eej 5.4 设计数据文件夹 95 8:Z@ lp^ 5.5 默认设计 95 ck(CA(_ 6 细化和合成 97 ;n%]*v 6.1 优化介绍 97 qzuQq94k 6.2 细化 (Refinement) 98 *54>iO-
c 6.3 合成 (Synthesis) 100 F% F
c+? 6.4 目标和评价函数 101 3$GY,B 6.4.1 目标输入 102 *LY~l 6.4.2 目标 103 aO~si= 6.4.3 特殊的评价函数 104 8
m%>:}o 6.5 层锁定和连接 104 43vGgGW 6.6 细化技术 104 Xjs21-t% 6.6.1 单纯形 105 QH@Q\
@, 6.6.1.1 单纯形参数 106 0!9?H1> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 #pS]k<o%1 6.6.2.1 Optimac参数 108 `,F&y{A 6.6.3 模拟退火算法 109 Dj-\))L 6.6.3.1 模拟退火参数 109 P5'iYahCq_ 6.6.4 共轭梯度 111 #G'S
ve? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 7P3<o!YA 6.6.5 拟牛顿法 112 sN}s61 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 tQNk=}VR7r 6.6.6 针合成 113 bYwI==3 6.6.6.1 针合成参数 114 qZT 4+&y 6.6.7 差分进化 114
`_NnQ% 6.6.8非局部细化 115 /#S4espE 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,Y+r<; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ET >S 6.7.1 细化 116 hQgk.$g 6.7.2 合成 117 V_)5Af3wY 6.8 参考文献 117 8m#}S\m 7 导纳图及其他工具 118 ,pQ'w7 7.1 简介 118 ?noETH z) 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 \iFMU# 7.2.1 四分之一波长规则 119 {]t\`fjrg 7.2.2 导纳图 120 c8bca` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;n( #b8r9 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 \_*?R,$3Y, 7.5 斜入射导纳图 141 1g~Dm}m 7.6 对称周期 141 (cOND/S 7.7 参考文献 142 {AU` }*5 8 典型的镀膜实例 143 J~_L4*Jw 8.1 单层抗反射薄膜 145 9[epr+f 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 R9b/?*%=9 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }<(
"0jC 8.4 W-膜层 148 l _kg3e4 8.5 V-膜层 149 otmIu` h 8.6 V-膜层高折射基底 150 4_6W s$x 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 d-6sC@PB 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 P?Gd}mdX?m 8.9 四层抗反射薄膜 153 ql#{=oGDnA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2.fyP"P
L 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 mhHA!:Y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 VTy,43< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 G"T;l"TAt8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 dCf'\@<< 8.15十五层宽带抗反射膜 159 I3}HNGvU 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 SeRK7Q&_ 8.17 1/4波长堆栈 162 8k+q7 8.18 陷波滤波器 163 ^]#Ptoz^(l 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 p\\P50(- 8.20 褶皱 165 r+{!@`dYi 8.21 消偏振分光器1 169 Vze!/ED 8.22 消偏振分光器2 171 )#b}qc#` 8.23 消偏振立体分光器 172 _Ep{|]:gw 8.24 消偏振截止滤光片 173 >\6jb&,%O 8.25 立体偏振分束器1 174 h3UZ|B0= 8.26 立方偏振分束器2 177 O+(. 29 8.27 相位延迟器 178 x[GFX8h(k6 8.28 红外截止器 179 Y0P}KPD 8.29 21层长波带通滤波器 180 Ak\D6eHcB 8.30 49层长波带通滤波器 181 !^Z[z[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 bik] JIM 8.32 47 红外截止器 183 r)9i1rI+ 8.33 宽带通滤波器 184 N27K 8.34 诱导透射滤波器 186 E>l#0Zw 8.35 诱导透射滤波器2 188 HobGl0<y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 gZ`#tlA~ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ~,1-$#R 8.35 增益平坦滤波器 193 <eud#v 8.38 啁啾反射镜 1 196 gqO%^b)6 8.39 啁啾反射镜2 198 r
48;_4d)D 8.40 啁啾反射镜3 199 7})!>p ) 8.41 带保护层的铝膜层 200 IEIxjek 8.42 增加铝反射率膜 201 +,vJ7 8.43 参考文献 202 #GDh/t2@ 9 多层膜 204 wRV`v$*6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 E5Snl#Gl\0 9.2 内部透过率 204 =#POMK".6 9.3 内部透射率数据 205 J]=aI>Ow 9.4 实例 206 l(krUv 9.5 实例2 210 ,z0~mN 9.6 圆锥和带宽计算 212 UijuJ(Tle 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 QN2*]+/h 10 光学薄膜的颜色 216 ;i-D~Np| 10.1 导言 216 &geOFe}R 10.2 色彩 216 -tK;RQYax 10.3 主波长和纯度 220 .swgXiRvs 10.4 色相和纯度 221 >n$EeJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 , IMT '* 10.6 色差 226 _Ssv:xc, 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 hIzPy3 10.8 颜色渲染指数 234 .^9/ 0.g8t 10.9 色差计算 235 lk+=26> 10.10 参考文献 236 [kp7LA"` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \K_!d]I { 11.1 短脉冲 238 D:6x*+jah) 11.2 群速度 239 JX2
| 11.3 群速度色散 241 ;8%@Lan 11.4 啁啾(chirped) 245 %`s9yRk9>E 11.5 光学薄膜—相变 245 dp// p)B> 11.6 群延迟和延迟色散 246 }'w^<:RSy 11.7 色度色散 246 wEo-a< ( 11.8 色散补偿 249 wNf*/?N 11.9 空间光线偏移 256 p@N Er,GB 11.10 参考文献 258 H z< M 12 公差与误差 260 yN WbI0a 12.1 蒙特卡罗模型 260 /k3n{?$/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 <2TB9]2. g 12.2.1 误差工具 267 *]>OCGsr 12.2.2 灵敏度工具 271 4Ow
Vt& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 3$kv%uf{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 MeK\eZ\ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 (W}i287 12.3 参考文献 276 PU@U@ 13 Runsheet 与Simulator 277 M*T# 5 13.1 原理介绍 277 *2m&?,nJ 13.2 截止滤光片设计 277 !3X%5=#L4 14 光学常数提取 289 Fb<\(#t 14.1 介绍 289 g6a3MJV` 14.2 电介质薄膜 289 u
UVV>An 14.3 n 和k 的提取工具 295 {L2Gb(YLW 14.4 基底的参数提取 302 <8z[,X}bM 14.5 金属的参数提取 306 bcx{_&1p 14.6 不正确的模型 306 %BYlbEx 14.7 参考文献 311 B'BbTI, 15 反演工程 313 uy*x~v*I] 15.1 随机性和系统性 313 <,]CVo 15.2 常见的系统性问题 314 1^H<+0 15.3 单层膜 314 DRmh(T 15.4 多层膜 314 B|q3;P 15.5 含义 319 6'sFmC 15.6 反演工程实例 319 $qyM
X[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4Igs\x{i 15.6.2 反演工程提取折射率 327 5@&i:vs5y 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @Ozf}}# 16.1 光学性质的热致偏移 329 .pu`\BW> 16.2 应力工具 335 T=p}By3a 16.3 均匀性误差 339 ##+8GLQM 16.3.1 圆锥工具 339 }HQT@&= 16.3.2 波前问题 341 OAnn`*5Up 16.4 参考文献 343 vM4`u5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 oWaIjU0 17.1 引言 345 j
n&9<"W 17.2 操作数 345 K/.hJ 18 如何在Function中编写脚本 351 MIyLQ 18.1 简介 351 gZ=9Y:$ 18.2 什么是脚本? 351 I\4`90uBN 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 _ L:w;Oy9T 18.4 基础 352 Xi`U`7?D(= 18.4.1 Classes(类别) 352 `_{'?II 18.4.2 对象 352 3L!&~'.Ro 18.4.3 信息(Messages) 352 d<cbp[3F 18.4.4 属性 352 W2.1xNWO 18.4.5 方法 353 )
ImIPSL 18.4.6 变量声明 353 xY}j8~k 18.5 创建对象 354 #pn AK 18.5.1 创建对象函数 355 0@/E%T1c" 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 BRok 89 18.5.3 丢弃对象 356 N, +g/o\f 18.5.4 总结 356 hG3$ ]i9 18.6 脚本中的表格 357 E,?aBRxy 18.6.1 方法1 357 czsoD)N 18.6.2 方法2 357 <.%8j\j( 18.7 2D Plots in Scripts 358 X'Il:SK 18.8 3D Plots in Scripts 359 N*oJ$:# 18.9 注释 360 ,'{B+CHoS 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Eq.zCD8A 18.11 一个更高级的脚本 362 Pc
?G^
Xol 18.12 <esc>键 364 3\l9Sf=M| 18.13 包含文件 365 3LnyQ 18.14 脚本被优化调用 366 Mw7UU1 ei 18.15 脚本中的对话框 368 j<-o{6r 18.15.1 介绍 368 Jz8#88cY 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ZC-evy 18.15.3 输入框函数 370 o>rlrqr?_ 18.15.4 自定义对话框 371 8uD%]k=#! 18.15.5 对话框编辑器 371 oW1olmpp= 18.15.6 控制对话框 377 eS%6hUb 18.15.7 更高级的对话框 380 (>lqp%G~ 18.16 Types语句 384 ZTz(NS
EK 18.17 打开文件 385 ^p%+r B.j[ 18.18 Bags 387 ,^[37/S 18.13 进一步研究 388 /%'7sx[p
19 vStack 389 w3|.4hS 19.1 vStack基本原理 389 90696v. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 "1 TM 19.3 五棱镜 393 I:)#U[tn0 19.4 光束距离 396 eOO*gM= 19.5 误差 399 WjxBNk'f 19.6 二向分色棱镜 399 F88SV6 19.7 偏振泄漏 404 \bmboNe 19.8 波前误差—相位 405 q$*_C kT 19.9 其它计算参数 405 Ps 5wQaS 20 报表生成器 406 NW
Qu-]P 20.1 入门 406 UdgI<a~`k6 20.2 指令(Instructions) 406 }nERQq&A 20.3 页面布局指令 406 ]`U?<9~Ob 20.4 常见的参数图和三维图 407 1,D
^, 20.5 表格中的常见参数 408 nE$ V<Co} 20.6 迭代指令 408 ?O^:j!C6 20.7 报表模版 408 T<,tC" 20.8 开始设计一个报表模版 409 APm[)vw#f 21 一个新的project 413 J3E:r_+ 21.1 创建一个新Job 414 `,=p\g|D 21.2 默认设计 415 xyCcd= 21.3 薄膜设计 416 -+Ji~;b 21.4 误差的灵敏度计算 420 I}3K,w/7mi 21.5 显色指数计算 422 %cjav 21.6 电场分布 424 NGGd6V%'- 后记 426 Nxk'!:
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