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*BF5B\[r? 内容简介 )
wtVFG Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 zxTcjC)y 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 J\^ZRu_K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ouL/tt_~ ^mz&L|h 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 p%pM3<p 目录 _~ZNX+4 Preface 1 mtSOygd 内容简介 2 4|9M8ocR 目录 i .'k]]2%ILp 1 引言 1 X`JWYb4 2 光学薄膜基础 2 |2z?8lx 2.1 一般规则 2 a|Io)Qhr 2.2 正交入射规则 3 7=(rk 2.3 斜入射规则 6 pC2ZN 2.4 精确计算 7 u.ubw(vv 2.5 相干性 8 qpjtF' 2.6 参考文献 10 W ZdEfY{ 3 Essential Macleod的快速预览 10 :vZ8n6J[ 4 Essential Macleod的特点 32 kv{uf$X*ve 4.1 容量和局限性 33 YNyaz\L 4.2 程序在哪里? 33 i`U:uwW` 4.3 数据文件 35 (99P9\[p 4.4 设计规则 35 (&HAjB 4.5 材料数据库和资料库 37 Q\|72NWS 4.5.1材料损失 38 ufyqfID 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ()a(PvEO 4.5.2 材料库 41 |h$*z9bsf 4.5.3导出材料数据 43 yV[9 ( 4.6 常用单位 43 5#3/ 4.7 插值和外推法 46 G-
wQ
weJ9 4.8 材料数据的平滑 50 [!H2i
p- 4.9 更多光学常数模型 54 AlT41v~6 4.10 文档的一般编辑规则 55 2[6>h) 4.11 撤销和重做 56 &D0suK# 4.12 设计文档 57 zO8`xrN! 4.10.1 公式 58 ~b;l08 < 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 &~gqEl6RF 4.10.3 沉积密度 59 |W4
\ 4.10.4 平行和楔形介质 60 5mxHOtvtWM 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 D#Fe\8!l 4.10.4 性能 61 y"q7Gx*^j 4.10.5 保存设计和性能 64 Elth xj 4.10.6 默认设计 64 x dDR/KS 4.11 图表 64 x}o]R 4.11.1 合并曲线图 67 OjO$.ecT 4.11.2 自适应绘制 68 ;sJUTp5\h 4.11.3 动态绘图 68 Hbwjs?Vq?] 4.11.4 3D绘图 69 7xz~%xC. 4.12 导入和导出 73 1&N|k;#QS 4.12.1 剪贴板 73 $Lg%CY 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 rw_T&>! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 LoZ8;VU 4.13 背景 77 :a$ZYyD 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Q -;ltJ 4.15 生成Rugate 84 94C)63V 4.16 参考文献 91 *AX)QKQ@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 U U!M/QJ 5.1 Jobs 92 tk3%0XZH 5.2 创建一个新Job(工作) 93 bU'{U0lM 5.3 输入材料 94 M7z>ugk" 5.4 设计数据文件夹 95 ER,,K._?B 5.5 默认设计 95 wUkLe-n,dE 6 细化和合成 97 ]=ar&1}J 6.1 优化介绍 97 $T* ##kyE9 6.2 细化 (Refinement) 98 9Br2}!Ny 6.3 合成 (Synthesis) 100 \%\b*OO 6.4 目标和评价函数 101 &X0/7)*"v 6.4.1 目标输入 102 _\yrR.HIa 6.4.2 目标 103 q@ !p 6.4.3 特殊的评价函数 104 qT]Bl+h2 6.5 层锁定和连接 104 fq-$u;~h 6.6 细化技术 104 G#n99X@- 6.6.1 单纯形 105 #k? Rl 6.6.1.1 单纯形参数 106 SR>Sq2cW0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %4QCUc*lr 6.6.2.1 Optimac参数 108 h.0Y!'? 6.6.3 模拟退火算法 109 ?3
J 6.6.3.1 模拟退火参数 109 }gi>Z 6.6.4 共轭梯度 111 cGSoAK 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9HMW!DSK` 6.6.5 拟牛顿法 112 N!6{c~^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 $s2Ty1 6.6.6 针合成 113 i(.c<e{v~ 6.6.6.1 针合成参数 114 Yo0%5 noz 6.6.7 差分进化 114 +kCVi 6.6.8非局部细化 115 fM8kS 6.6.8.1非局部细化参数 115 dIv/.x/V 6.7 我应该使用哪种技术? 116 '>FJk`iI 6.7.1 细化 116 :&$4&\_F 6.7.2 合成 117 oiAU}iK: 6.8 参考文献 117 u:H@]z(x 7 导纳图及其他工具 118 6w{^S~rqo 7.1 简介 118 q|m8G 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 :@g@jcbYq` 7.2.1 四分之一波长规则 119 Zrfp4SlZZ 7.2.2 导纳图 120 g3{)AX[Uy 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M52kau 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^EU&6M2 7.5 斜入射导纳图 141 6suB!XF; 7.6 对称周期 141 R`=IYnoOA 7.7 参考文献 142 GEP YSp 8 典型的镀膜实例 143 'qLk"
8.1 单层抗反射薄膜 145 AEkgm^t.{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 |7WzTz 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 J)(H-xvV 8.4 W-膜层 148 ko!38BH`/ 8.5 V-膜层 149 :K{`0U&l5 8.6 V-膜层高折射基底 150 GV)#>PL 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 /b@0HL? 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 @Zd+XWFw 8.9 四层抗反射薄膜 153 [ANit0-~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 L]0+u\( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +AyQ4Q(-o 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Y%qhgzz?/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 q p|T,D% 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 aq"E@fb 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )<4o"R:* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;nj 'C1 8.17 1/4波长堆栈 162 [$?S9)Xd 8.18 陷波滤波器 163 n);2b\& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 `u:U{m 8.20 褶皱 165 0<{/T*AU: 8.21 消偏振分光器1 169 O89<IXk 8.22 消偏振分光器2 171 c}vy9m$B_ 8.23 消偏振立体分光器 172 5WP[-J) 8.24 消偏振截止滤光片 173 'N=' B<^;% 8.25 立体偏振分束器1 174 Hk2@X( 8.26 立方偏振分束器2 177 x=1G|<z% 8.27 相位延迟器 178 [OG-ZcNu? 8.28 红外截止器 179 wd*T"V3 8.29 21层长波带通滤波器 180 v)N6ZOj*C 8.30 49层长波带通滤波器 181 pvy;L[c 8.31 55层短波带通滤波器 182 M;zRf3S 8.32 47 红外截止器 183 -j3 -H& 8.33 宽带通滤波器 184 3~I<f^K4 8.34 诱导透射滤波器 186 @babgP, 8.35 诱导透射滤波器2 188 ~'fa,XZ< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _1y|#o 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 g/+M&k$ 8.35 增益平坦滤波器 193 aC3\Hs 8.38 啁啾反射镜 1 196 iBJ*6orz 8.39 啁啾反射镜2 198 )2YU| 8.40 啁啾反射镜3 199 ^.kas7< 8.41 带保护层的铝膜层 200 * VW\ 8.42 增加铝反射率膜 201 .j88=t0
8.43 参考文献 202 spO?5# 9 多层膜 204 +KFK.. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 uNXh"? 9.2 内部透过率 204 M#S8x@U 9.3 内部透射率数据 205 ZM;EjS1 9.4 实例 206 1b3Lan_2 9.5 实例2 210 |nry^zb 9.6 圆锥和带宽计算 212 q*{"6"4( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Cy6[p 10 光学薄膜的颜色 216 3{M IBMA 10.1 导言 216 ?2EzNN cS 10.2 色彩 216 n^&QOII@> 10.3 主波长和纯度 220 V<4)'UI?k9 10.4 色相和纯度 221 vp mSzh 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 vA`[#(C 10.6 色差 226 mSQ!<1PM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =Bo0Oei 10.8 颜色渲染指数 234 )CR8-z1` 10.9 色差计算 235 qWE"vI22M 10.10 参考文献 236
L$jyeFB5 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ,7%(Jj$
^ 11.1 短脉冲 238 ^"buF\3L 11.2 群速度 239 HwST^\Ao 11.3 群速度色散 241 I}:>M!w 11.4 啁啾(chirped) 245 '3hvR4P 11.5 光学薄膜—相变 245 bMSF-lQ 11.6 群延迟和延迟色散 246 GMNf#;x 11.7 色度色散 246 BM&'3K_y 11.8 色散补偿 249 eHnC^W}|s 11.9 空间光线偏移 256 |=%$7b\C 11.10 参考文献 258 *c3o&-ke9 12 公差与误差 260 6@F Z,e 12.1 蒙特卡罗模型 260
vN4X%^:( 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ["L?t ^*G 12.2.1 误差工具 267 yp*kMC,3 12.2.2 灵敏度工具 271 Ue,"CQ6H 12.2.2.1 独立灵敏度 271 V|a59[y? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 WLh_b)V| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =u;q98r 12.3 参考文献 276 D3^v[>E2 13 Runsheet 与Simulator 277 ,MvvW{EY 13.1 原理介绍 277 HPCA,*YR` 13.2 截止滤光片设计 277 hcf>J6ZLT 14 光学常数提取 289 T2(+HI2 14.1 介绍 289 hR`dRbBi% 14.2 电介质薄膜 289
El+]}D" 14.3 n 和k 的提取工具 295 QM _~w\ 14.4 基底的参数提取 302 %xk]y&jv 14.5 金属的参数提取 306 5N|77AAxK 14.6 不正确的模型 306 "R30oA#m 14.7 参考文献 311 }Ql;% 7 15 反演工程 313 )7`~U"r 15.1 随机性和系统性 313 ]g)%yuox9F 15.2 常见的系统性问题 314 (6A{6_p 15.3 单层膜 314 @%fkW"y: 15.4 多层膜 314 /KV@Ce\ 15.5 含义 319 GYs4#40 15.6 反演工程实例 319 kU^@R<Fo 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0y ;gi3W 15.6.2 反演工程提取折射率 327 {MEU|9@
Y 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 <_Lo3WGwc 16.1 光学性质的热致偏移 329 9,>M/_8> 16.2 应力工具 335 2'}2r ~6 16.3 均匀性误差 339 4Sl^cKb$7 16.3.1 圆锥工具 339 :m~lgb< 16.3.2 波前问题 341 LaIif_fie^ 16.4 参考文献 343 Ebk@x=E 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .ev]tu2N 17.1 引言 345 d)AkA\neWo 17.2 操作数 345 p,0 \NUC 18 如何在Function中编写脚本 351 D2mB4 18.1 简介 351 s`TBz8QO$ 18.2 什么是脚本? 351 ujSzm=_P 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 So 5{E4[ 18.4 基础 352 x-QP+M`Pu 18.4.1 Classes(类别) 352 *K 7L5. 18.4.2 对象 352 FG(`&S+, 18.4.3 信息(Messages) 352 tO0+~Wm 18.4.4 属性 352 )-
\w 18.4.5 方法 353 XDWERvIj 18.4.6 变量声明 353 x~z 2l#ow 18.5 创建对象 354 rTJWftH! 18.5.1 创建对象函数 355 >@|<1Fx| 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Nl8Cctrf 18.5.3 丢弃对象 356 3HiW1*5W 18.5.4 总结 356 N?Z?g_a8 18.6 脚本中的表格 357 lu}[XN 18.6.1 方法1 357 I"!{HnSG` 18.6.2 方法2 357 pJ(l=a 18.7 2D Plots in Scripts 358 .edZKmC6 18.8 3D Plots in Scripts 359 ^
Q}1&w% 18.9 注释 360 -,tYfQ;: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 :tgTYIF 18.11 一个更高级的脚本 362 ][mc^eI0s| 18.12 <esc>键 364 {+EPE2X=C 18.13 包含文件 365 = V , _ 18.14 脚本被优化调用 366 pWp2{G^XB 18.15 脚本中的对话框 368 {3Rax5Ty 18.15.1 介绍 368 I6fpXPP). 18.15.2 消息框-MsgBox 368 h.^DRR^S 18.15.3 输入框函数 370 WWLVy( 18.15.4 自定义对话框 371 E6gEP0b 18.15.5 对话框编辑器 371 V Y3{1Dlf 18.15.6 控制对话框 377 ]3,0
8JW= 18.15.7 更高级的对话框 380 +g[B &A!d+ 18.16 Types语句 384 w;(gi 18.17 打开文件 385 :&%;s*-9 18.18 Bags 387 9|`@czw 18.13 进一步研究 388 yM2&cMHH~ 19 vStack 389 ChGM7uu2 19.1 vStack基本原理 389 m [g}vwS 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ""d>f4,S 19.3 五棱镜 393 Y Pc< 19.4 光束距离 396 EHHxCq? 19.5 误差 399 "=(;l3-o 19.6 二向分色棱镜 399 E-D5iiF 19.7 偏振泄漏 404 _ XZ=4s 19.8 波前误差—相位 405 B`aAvD`7 19.9 其它计算参数 405 {+:XVT_+ 20 报表生成器 406 *
2%e.d3"M 20.1 入门 406 ^IH1@ 20.2 指令(Instructions) 406 {p
0'Lc<3n 20.3 页面布局指令 406 4QNR_w 20.4 常见的参数图和三维图 407 MDPM OA 20.5 表格中的常见参数 408 3Y-v1.^j 20.6 迭代指令 408 E'8Bw7Tz 20.7 报表模版 408 f zO8by 20.8 开始设计一个报表模版 409 0 l@P]_qq` 21 一个新的project 413 -/%jeDKp 21.1 创建一个新Job 414 ([*t. 21.2 默认设计 415 Ji[g@# 21.3 薄膜设计 416 HqBPY[;s 21.4 误差的灵敏度计算 420 ][nUPl 21.5 显色指数计算 422 NO^t/(Z 21.6 电场分布 424 u2]g1XjeG 后记 426 DZRxp,
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