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U|YIu!^ 内容简介 Au[H!J Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 'du{ky 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 etD8S KD 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (Tbw@BFk cpe/GvD5] 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7O^'?L<C' 目录 o9 g0fC Preface 1 vb1Gz]~)> 内容简介 2 \}9GK`oR 目录 i q7-.-k<dQ 1 引言 1 ET:B" 2 光学薄膜基础 2 tw?\bB 2.1 一般规则 2 [T>a}}@ 2.2 正交入射规则 3 e/nc[ 2.3 斜入射规则 6 VsTa!V^~ 2.4 精确计算 7 S-D=-{@ 2.5 相干性 8 w=K!U] 2.6 参考文献 10 CDRkH)~$ 3 Essential Macleod的快速预览 10 hq[RU&\ 4 Essential Macleod的特点 32 o*}--d?S 4.1 容量和局限性 33 %I>-_el 4.2 程序在哪里? 33 *
U#@M3g. 4.3 数据文件 35 ^V5g[XL2 4.4 设计规则 35 )?qH#>mD6 4.5 材料数据库和资料库 37 o;\c$|TNU 4.5.1材料损失 38 IP
e"9xb 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ocbNf'W; 4.5.2 材料库 41 B6hd*f 4.5.3导出材料数据 43 wO&2S-;_K 4.6 常用单位 43 FY(C<fDRo{ 4.7 插值和外推法 46 F>!gwmn~ 4.8 材料数据的平滑 50 BMlu>, 4.9 更多光学常数模型 54 ]Y%U5\$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 Y#[>j4<T 4.11 撤销和重做 56 xO nW~Z 4.12 设计文档 57 ~3F\7%Iqc 4.10.1 公式 58 M(+;AS?; 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 IQ3]fLb 4.10.3 沉积密度 59 MG6y 4.10.4 平行和楔形介质 60 ))z1T 8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 IX]K"hT 4.10.4 性能 61 y7x[noGtR 4.10.5 保存设计和性能 64 #vnJJ#uI|> 4.10.6 默认设计 64 057$b!A-a 4.11 图表 64 FA#?+kd 4.11.1 合并曲线图 67 jh|4Y( 4.11.2 自适应绘制 68 nL[zXl 4.11.3 动态绘图 68 ?*ni5\y5o 4.11.4 3D绘图 69 -jJw wOm 4.12 导入和导出 73 vs|_l!n3 4.12.1 剪贴板 73 `4N{x.N 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 C"=^(HU 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Nr(3!- 4.13 背景 77 [q5N 4&q\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 :a#pzEK 4.15 生成Rugate 84 1G6MO 4.16 参考文献 91 pPX ~pPIj2 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q%Fc?d9 5.1 Jobs 92 $4j$c|S! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 iNxuQ7~ 5.3 输入材料 94 'z}Hg
* 5.4 设计数据文件夹 95 [=xJh?*P 5.5 默认设计 95 ju= +!nGUa 6 细化和合成 97 zJJ6"9sl 6.1 优化介绍 97 {g7[3WRy 6.2 细化 (Refinement) 98 W18I"lHeh 6.3 合成 (Synthesis) 100 H^e0fm
6.4 目标和评价函数 101 yXdJ5Me(T 6.4.1 目标输入 102 49("$! 6.4.2 目标 103 ,%a7sk<5k 6.4.3 特殊的评价函数 104 xn)eb#r 6.5 层锁定和连接 104 O^AF+c\n 6.6 细化技术 104 qXQ/M] 6.6.1 单纯形 105 1p[Z`m*9 6.6.1.1 单纯形参数 106 V>2mzc 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 U=G^wL 6.6.2.1 Optimac参数 108 .PhH|jrCW^ 6.6.3 模拟退火算法 109 Lk-%I? 6.6.3.1 模拟退火参数 109 eyiGe1^C 6.6.4 共轭梯度 111 /W,K% s] 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 >nnjLrI 6.6.5 拟牛顿法 112 aeBA`ry"B 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 3Q@HP;< 6.6.6 针合成 113 vj23j[!| 6.6.6.1 针合成参数 114 5"]t{-PD 6.6.7 差分进化 114 5* d 6.6.8非局部细化 115 4p%=8G| 6.6.8.1非局部细化参数 115 P=j89-e 6.7 我应该使用哪种技术? 116 j+_pF<$f: 6.7.1 细化 116 _Wjd`* 6.7.2 合成 117 F9|\(St & 6.8 参考文献 117 f~3_Rv! 7 导纳图及其他工具 118 1YklPMx6 7.1 简介 118 mu1Lg s$; 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 l-N4RCt h 7.2.1 四分之一波长规则 119 [uh$\s7 7.2.2 导纳图 120 _(q|W3 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 r95l.v 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 e[lRY>Pe5 7.5 斜入射导纳图 141 $6c8<!B_ 7.6 对称周期 141 Z{|U!tn 7.7 参考文献 142 BK_x5mGu3 8 典型的镀膜实例 143 cN{-&\
6L 8.1 单层抗反射薄膜 145 *1Lkde@|{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Uv-xP(X 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 UO&
p2 8.4 W-膜层 148 Y68T&swD 8.5 V-膜层 149 r="wd 8.6 V-膜层高折射基底 150 J:YFy-[w( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 `+!GoXI 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 z'G~b[kG4n 8.9 四层抗反射薄膜 153 I#]$H#}Av 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 f8Xe%"< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 =/k*w#j 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 mkCv
f 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Y2DR
oQ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 4I>I 8.15十五层宽带抗反射膜 159 0#}@-e 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _%)v9}D 8.17 1/4波长堆栈 162 DO!?]" 8.18 陷波滤波器 163 mxYsP6& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 dJh T}"x 8.20 褶皱 165 !KUV,>L 8.21 消偏振分光器1 169 rf% E+bh4 8.22 消偏振分光器2 171 :(,Eq? 8.23 消偏振立体分光器 172 ugM,wT&~Y 8.24 消偏振截止滤光片 173 BVx: JiA 8.25 立体偏振分束器1 174 4s!rrDN 8.26 立方偏振分束器2 177 p2|BbC\N 8.27 相位延迟器 178 kQRkby 8.28 红外截止器 179 0;Y|Ua[G+~ 8.29 21层长波带通滤波器 180 w,\#)<boyb 8.30 49层长波带通滤波器 181 J^@0Ff;=5^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 u/5I;7cb 8.32 47 红外截止器 183 DR`d^aBWQ 8.33 宽带通滤波器 184 *3hqz<p4: 8.34 诱导透射滤波器 186 }ug|&25D 8.35 诱导透射滤波器2 188 "tgaFtC=w 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 5-L?JD4& 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 W9{>.E? 8.35 增益平坦滤波器 193 NXvu}&H 8.38 啁啾反射镜 1 196 {]\QUXH 8.39 啁啾反射镜2 198 5Pis0fa 8.40 啁啾反射镜3 199 MorR&K 8.41 带保护层的铝膜层 200 5@$b@jTd 8.42 增加铝反射率膜 201 {*8'bNJ 8.43 参考文献 202 x}G["ZU}v] 9 多层膜 204 P`'Nv 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4#?OxvH 9.2 内部透过率 204 xzFV] 9.3 内部透射率数据 205 %Dg]n4f 9.4 实例 206 Kq|L:Z 9.5 实例2 210 &~+lXNXF 9.6 圆锥和带宽计算 212 Vwp fkD` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 V4GcW|P4y 10 光学薄膜的颜色 216 N\IdZX%u 10.1 导言 216 fiSc\C ~ 10.2 色彩 216 g?ID}E~< 10.3 主波长和纯度 220 X[:&p|g] 10.4 色相和纯度 221 .c'EXuI7), 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 W@w#A] 10.6 色差 226 +_gPZFpbx 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 f i-E_ 10.8 颜色渲染指数 234 Be{7Rj v 10.9 色差计算 235 Oo<^~d2= 10.10 参考文献 236 .~0A*a 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 8CxC`*L( 11.1 短脉冲 238 lm}mXFf# 11.2 群速度 239 d%Zt]1$ 11.3 群速度色散 241 dA[Z\ 11.4 啁啾(chirped) 245 00'R1q4 11.5 光学薄膜—相变 245 e,qc7BJzK 11.6 群延迟和延迟色散 246 >3
Q%Yn 11.7 色度色散 246 Y@._dliM 11.8 色散补偿 249 B*A{@)_ 11.9 空间光线偏移 256 D+/27# 11.10 参考文献 258 Pew-6u" 12 公差与误差 260 d-g&TSGd 12.1 蒙特卡罗模型 260 T~UKWAKX} 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 w%Tcx^: 12.2.1 误差工具 267
Vkdchc 12.2.2 灵敏度工具 271 ~/J:p5?L 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4,kT4_&, 12.2.2.2 灵敏度分布 275 n%I%O7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Bry\"V"'g 12.3 参考文献 276 $D8eCjUm 13 Runsheet 与Simulator 277 ( Kh<qAP_n 13.1 原理介绍 277 +Sk ; 13.2 截止滤光片设计 277 `d,hP"jBc 14 光学常数提取 289 Vd[[< 14.1 介绍 289 aDuO!?Cm 14.2 电介质薄膜 289 ?<\K!dA 14.3 n 和k 的提取工具 295 ^1M :wXr 14.4 基底的参数提取 302 _8 b)Xx@5 14.5 金属的参数提取 306
:\1:n 14.6 不正确的模型 306 ~qm<~T_0 14.7 参考文献 311 ;Y#~2eYCz 15 反演工程 313 T_O\L[]p* 15.1 随机性和系统性 313 2~+_T 15.2 常见的系统性问题 314 r#wMd9]) 15.3 单层膜 314 0n+Wv@/ 15.4 多层膜 314 +Gi~VW. 15.5 含义 319 ygr[5Tl 15.6 反演工程实例 319 Q*mzfsgr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 OwrzD~ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ob2H7! 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 y\b.0-z 16.1 光学性质的热致偏移 329 T<06y3sN 16.2 应力工具 335 .vG_ \-@ 16.3 均匀性误差 339 pb_+_(/c 16.3.1 圆锥工具 339 IC>OxYg* 16.3.2 波前问题 341 gT*0WgB 16.4 参考文献 343 ce&)djC7U 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 E~]8>U?V 17.1 引言 345 4lH$BIAW 17.2 操作数 345 K:fK!/ 18 如何在Function中编写脚本 351 >I AwNr 18.1 简介 351 $QmP'
< 18.2 什么是脚本? 351 e!b?SmNN 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?J,hv'L] 18.4 基础 352 3}}~( 18.4.1 Classes(类别) 352 a02;Zl 18.4.2 对象 352 GEXT8f(7 18.4.3 信息(Messages) 352 ET1/oG<@ 18.4.4 属性 352 HJ]\VP9Zb 18.4.5 方法 353 mV0F^5 18.4.6 变量声明 353 lq=|= 18.5 创建对象 354 M0DdrL/
L 18.5.1 创建对象函数 355 |&WeXVH E 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 x F7C1g( 18.5.3 丢弃对象 356 4]RGLN 18.5.4 总结 356 jftoqK-
p 18.6 脚本中的表格 357 6W."hPP 18.6.1 方法1 357 *;. l/ 18.6.2 方法2 357 Ath^UKO" 18.7 2D Plots in Scripts 358 1tU}}l 18.8 3D Plots in Scripts 359 ;AK;% 18.9 注释 360 J6/Mm7R 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 tpj({
18.11 一个更高级的脚本 362 $w`QQ^\ 18.12 <esc>键 364 S',i 18.13 包含文件 365 S/v+7oT 18.14 脚本被优化调用 366 7$x~}*u 18.15 脚本中的对话框 368 q}*"0r 18.15.1 介绍 368 ?I&ha-." 18.15.2 消息框-MsgBox 368 (nfra,' 18.15.3 输入框函数 370 2KMLpO&De 18.15.4 自定义对话框 371 lg1yj}br 18.15.5 对话框编辑器 371 O=
PFr" 18.15.6 控制对话框 377 y^_'g2H 18.15.7 更高级的对话框 380 S3]Cz$ 18.16 Types语句 384 TDXLxoC? 18.17 打开文件 385 qN}kDT 18.18 Bags 387 2
|w;4 18.13 进一步研究 388 I
<`9ANe 19 vStack 389 G=a.Wff 19.1 vStack基本原理 389 2j8^Z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 )nU%}Z 19.3 五棱镜 393 % Uybp 19.4 光束距离 396 @gc lks/M 19.5 误差 399 _S5\5[^ 19.6 二向分色棱镜 399 a(&!{Y1bt 19.7 偏振泄漏 404 (qT_4b~ 19.8 波前误差—相位 405 |9ro&KA 19.9 其它计算参数 405 b}4k-hZL 20 报表生成器 406 evryk,x 20.1 入门 406 ~(kIr?^ 20.2 指令(Instructions) 406 }q9;..oL 20.3 页面布局指令 406 !4d6wp" 20.4 常见的参数图和三维图 407 p%
ESp& 20.5 表格中的常见参数 408 4&;.>{:; 20.6 迭代指令 408 ;%P$q9*C 20.7 报表模版 408 b{qeu$G R 20.8 开始设计一个报表模版 409 Z\6&5r= 21 一个新的project 413 BUB#\v#a 21.1 创建一个新Job 414 c0jdZ#H 21.2 默认设计 415 xevG)m 21.3 薄膜设计 416 -Qx:-,.a 21.4 误差的灵敏度计算 420 j|gv0SI_
w 21.5 显色指数计算 422 } r^@Xh 21.6 电场分布 424 'bp*hqG[ 后记 426 r(NfVQF
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