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镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
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[技术]
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
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楼主
发表于: 2023-06-08
案例246.01:
镀膜
正弦
光栅
中光
衍射
的精确
模拟
OQh36BM
AOaf ,ZF 8
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。
'c<@SVF{Zz
m~Dq0 T
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜
0OMyE9jJJ
XjwTjgL<
所需工具箱子:光栅工具箱
m`c(J1Et
Xklp6{VH9
相关案例:G.001a,Scenario 104.01
4[!&L:tR
>~$ S!
建模任务
ZX.VzZS
':!;6v|L
加载例子
文件
‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。
9_ Qm_
00G[`a5
r`cCHZo/V
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。
V]PTAhc
+WwQ!vWWd
U<r<$K
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个
序列
的表面和
材料
添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。
*k'9 %'<
F ,{nG[PL
T"Q4vk,3*J
选择
光学
界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
BsB}noN}
A}\Rms2
)}c$n
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。
0{PK]qp7
,h]N*Z-I"
_jZDSz|Yb
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。
nwN<Q\]S
z6G^ BaT'
(7ew&u\Li
X线偏振光模拟结果:
~ilbW|s?=k
oqDW}>.
探测器
主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。
J&a887
在Ideal Plane Wave
光源
编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。
/p>"|z
]jHB'Y
8`VMdo9
Y线偏光模拟结果
+n MgQOs
XtfL{Fy|T
Y+?bo9CES!
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。
v,|;uc+
结论:
)X^nzhZ2O"
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
9$DVG/
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1楼
发表于: 2023-07-04
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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