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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 I6av6t}  
    ,^< R{{{-A  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ZJJY8k `  
    ..5CC;B  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 f~R(D0@  
    2MIi=c:oqK  
    所需工具箱子:光栅工具箱 G j?t_Zln  
    7Q9 w?y~c  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 7S :\"A7  
    P3=G1=47U  
    建模任务 Iyn(?w  
    |SSSH  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 d&Zpkbh"  
    lfgq=8d  
    rXP,\ ]r+  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 8kIksy  
    ? :%@vM  
    *:7rdzn  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 +TL%-On  
    JPHL#sKyz  
    >uRI'24  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Dml;#'IF3  
    G~a ZJ,  
    ]s'as9s9  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 u&vf+6=9Dd  
    ,[KD,)3y  
    9W5lSX#^;  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 \V63qg[  
    T?0eVvM  
    "HIRTE;&  
    X线偏振光模拟结果:
    ^{`exCwM x  
    Nai2W<,  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 qe#tj/aZ  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 $a]`nLUa  
    1CZgb   
    TIDO@NwF  
    Y线偏光模拟结果 H*R"ntI?w  
     V}CG:9;  
    cV6D<,)  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 C}Cs8eUn  
    结论:  mq.`X:e  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    T!#GW/?  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?