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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 +a;j>hh  
    >sq9c/}X  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 5Tq 3L[T5;  
    ]=Q'1%  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 +/tD$  
    k=[R o  
    所需工具箱子:光栅工具箱 \=~Ap#Mpc4  
    % e(,PL  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 gK'MUZ()  
    `OWB@_u5  
    建模任务 sYzG_* )  
    <[bDNe["?  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 hAdEq$  
    D~}4N1  
    bUNp>H>L  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 $nW>]S\|  
    (Lp-3Xx  
    {ig@Iy~DT  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Hw Is7  
    t +_G%tv  
    {)M4h?.2  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    =|V3cM4'  
    c/u;v69r  
    cD\Qt9EI  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 )Jc>l;G(M  
    \ gN) GR  
    ?cJ$=  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 DuWP)#kg  
    R[(,wY_1  
    |Yx8Ez  
    X线偏振光模拟结果:
    eIO}/npT]Q  
    #[8gH>7  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ch&r.  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 i0P+,U  
    u0,~pJvX  
    +38t82%YWo  
    Y线偏光模拟结果 /c7j@=0  
    5^xt/vYa)  
    Wwz>tE  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kU /?#s  
    结论: L81"W`?  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    (7IF5g\  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?