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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    在线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 MbYgGE,LA  
    rJf{YUZe  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 tC1'IE-h  
    p?Ux1S  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 Se[=$W  
    tAjT-CXg  
    所需工具箱子:光栅工具箱 'Sd+CXS  
    +-t&li%F  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 &Pv$nMB$I  
    >nehyo:#  
    建模任务 ,eOZv=:  
    OFv-bb*YZ  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 r!{i2I|  
    @CR<&^s5V  
     nmL|v  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 XH0Vs.w  
    FLsJ<C~/~  
    o^uh3,.  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 t,w/L*r+w  
    &2y9J2aA  
    4u2_xbT  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    k|]l2zlT  
    4,)QV_?  
    mT j  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。  .;vd  
    TFbF^Kd#:d  
    Pa; *%7  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 v+C D{Tc  
    Z>NA 9:  
    w3>G3=b  
    X线偏振光模拟结果:
    oqK: 5|  
    >Zf*u;/dW$  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 HW6Cz>WxOW  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 bx".<q(  
    jNIz:_c-~  
    9 771D  
    Y线偏光模拟结果 (ke<^sv7!  
    iIo>]\Pw  
    w' 5W L  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 KA`)dMWL  
    结论: 4x/u$Ixzh=  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    [9p@uRE  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?