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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 yMZHUd  
    Cv>o.Bp|  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 OFGsjYLw  
    ( 7ws{)  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 -w;(cE  
    & SAH2xR  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Ku/~ N#  
    K. %U  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 2[B4f7  
    F,GN[f-  
    建模任务 TgTnqR@/  
    Aj9Ji"18za  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 rZojY}dWJ  
    ?sBh=Ds  
    ygS L  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 FG%j {_Ez  
    4Hb $0l  
    dI*'!wK  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 iB1i/l  
    p0{EQT`tMG  
    ?\/qeGW6G  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    1z*kc)=JF8  
    HPQ/~0$  
    kvGCbRC  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。  :Pq.,s  
    Fl{WAg  
    LF?P> 1%-  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 mPPk )qy  
    4KI [D{  
    _Mc>W0'5@  
    X线偏振光模拟结果:
    y/? &pKH^  
    p<`+sf}A:  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 WlV z,t'if  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 6  P`)%zj  
    VW@ x=m  
    kax\h  
    Y线偏光模拟结果 "PH6e bm  
    ciMM^ZRIb  
    ;pJ2V2 g8  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 4ZC!SgJo  
    结论: PzZZ>7_6S  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    V5D2\n3A  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?