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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 bD<hzOa  
     ~en'E  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ((T6z$:hA  
     -I.BQ  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 !<= ^&\A  
     kWbD?i-  
    所需工具箱子：光栅工具箱 OTD<3Q q  
     O1Nya\^g<I  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 p61F@=EL  
     g-DFcwO,V  
    建模任务 &{ZTtK&JF  
    O ~D]C  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 FC#t}4as  
    Oz-@e%8L  
    u$ff %`E  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 = PIarUJ  
     3.w &e0Es  
    !n|4w$t"V  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 U~O*9  
     O]80";Uv  
    Yge}P:d9  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     z@U5  
    ]+d> ;$O  
    I\P w`  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 e|eWV{Dsz  
    x bD]EC  
    W3w$nV  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 uQiW{Kja2  
    ,$bK)|pGV  
    jh"YHe/X  
    X线偏振光模拟结果：
    *&tv(+P  
    MQq!<?/  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 .05x=28n%  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 mO&zE;/[  
    Vu;z|L  
    ,L-G-V+  
    Y线偏光模拟结果 0`Y"xN`'i  
    }TRVCF1  
    1;JH0~403  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >Do P2]  
    结论： /-&2>4I  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。     n..R'vNj  
     
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    离线二牛26
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗？y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗？
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