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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 OQh36BM  
    AOaf,ZF 8  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 'c<@SVF{Zz  
    m~Dq0 T  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 0OMyE9jJJ  
    XjwTjgL<  
    所需工具箱子:光栅工具箱 m`c(J1Et  
    Xklp6{VH9  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 4[!&L:tR  
    >~$ S!  
    建模任务 ZX.VzZS  
    ':!;6v|L  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 9_ Qm_  
    00G[ `a5  
    r`cCHZo/V  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 V]PTAhc  
    +WwQ!vWWd  
    U<r<$K  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 *k'9 %'<  
    F ,{nG[PL  
    T"Q4vk,3*J  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    BsB}noN}  
    A}\Rms 2  
    )}c$n  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 0{PK]qp7  
    ,h]N*Z-I"  
    _jZDSz|Yb  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 nwN<Q\]S  
    z6G^BaT'  
    (7ew&u\Li  
    X线偏振光模拟结果:
    ~ilbW|s?=k  
    oqDW}>.  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 J&a887  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 /p>"|z  
    ]jHB'Y  
    8`VMdo9  
    Y线偏光模拟结果 +nMgQOs  
    XtfL{Fy|T  
    Y+?bo9CES!  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 v,|;uc+  
    结论: )X^nzhZ2O"  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    9$DVG/  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?