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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 . ]8E7  
    q SejLh6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 A?*o0I  
    ZY56\qcY  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 X.TI>90{  
    =-o'gL  
    所需工具箱子:光栅工具箱 EbZdas!l  
    wI5Yn h  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 uZi.HG{<)  
    ;2m<CSv!D  
    建模任务 1+7GUSIb  
    I_q~*/<h  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 P6Mhbmt9*  
    ]LZ`LL'#Y_  
    Hp|}~xjn  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 j.:h5Y^N  
    =@)d5^<5F  
    %AW4.3()8  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 AE@NOM7u  
    &Sp -w?kM  
    1JEnnqu  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    5#E |R  
    5%}wV,Y  
    6yy;JQAke  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }!i` 0p  
    gf+d!c(/  
    J# kl 7  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 =\t /u  
    ]/cd;u  
    @d&/?^dp6  
    X线偏振光模拟结果:
    RB?V7uX  
    %5\3Aw  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Yif*"oO  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 k6Cn"2q <  
    T$= 4O9G  
    J`*iZvW#Bx  
    Y线偏光模拟结果 C_LvZ=  
    [ REf>_R  
    ; "3+YTtp  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 *xR 2)u  
    结论: 8Q)@  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    `8\Ja$ =  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?