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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 a]%>7yr4  
    3A)Ec/;~  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 okSCM#&:[2  
    OO  /Pc  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 w}:&+B:  
    3B6"T;_  
    所需工具箱子:光栅工具箱 v9S1<|jN  
    {klyVb  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 9+"\7MHw  
    ?T\_"G  
    建模任务 g0M9v]c  
    XL2iK)A  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 *(*3/P4D  
    qR>"r"Fq  
    ~L3]Wa.  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 0f]LOg  
    D@ R>gqb  
    S mjg[  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 \}9GK`oR  
    q7-.-k<dQ  
    ye^l~  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    mO~A}/je  
    yw{;Qm2\7  
    A"W}l)+X  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 0//B+.#  
    _5l3e7YN  
    yG%<LP2p@f  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 & ~*qTojj  
    szG0?e  
    MRZ/%OZ.  
    X线偏振光模拟结果:
    kIlK"=  
    [ta3sEPjs  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 S`v+rQjW  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 D/7hVwMw:  
    {;[W'Lc  
    2ij/!  
    Y线偏光模拟结果 wg0hm#X  
    e|&}{JP{[  
    WUesTA>  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 L^Q q[>  
    结论: 5J0Sc  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    mE+  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?