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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ew13qpt)<L  
    [HRry2#s  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 0ge"ISK  
    "_LDs(&  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜  H7`JqS  
    968<yO]  
    所需工具箱子:光栅工具箱 jeKqS  
    !,Ou:E?Bb  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 @nC][gNv  
    Cz1Q@<)  
    建模任务 :B^YK].  
    mu#I F'|b  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 z3n273W>6  
    ZmLA4<  
    U0ZT9/4  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ro&/  
    .uh>S!X, ]  
    GHs,,J;  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 { l E\y9  
    /)%$xi  
    C VXz>oM  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    gGaA;YW1  
    CpE LLA<  
    "[wkjNf%  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ojc m%yd  
    f|v5i tO2  
    W u C2 LM  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 qjBF]3%t%  
    WyA`V C  
    <E2n M,  
    X线偏振光模拟结果:
    0 ~a9gBG  
    |o@xWs@m  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 vpg*J/1[  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 0hN gr'  
    ~=P#7l\o1  
    /"J3hSR  
    Y线偏光模拟结果 +$uQ_ve  
    >g>L>{  
    s![Di  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 }'KHF0   
    结论: KgH_-REN  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    Y5ZBP?P  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?