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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 53bM+  
    6e,Apj 0  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 zs4>/9O  
    _i-\mR_~  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 -_s%8l^  
    : @s8?eg  
    所需工具箱子:光栅工具箱 :}^Rs9 '  
    I9;xzES  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 n.@#rBKZ  
    pV8[l)J  
    建模任务 Cm^Yl p  
    TS1pR"6l  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 {&E?<D2_&  
    ?vvG)nW  
    PVhik@Yoh  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 B<Ol+)@,}  
    V)=Z6ti  
    z23#G>I&  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 VDG|>#[!  
    / HL_$g<  
    _wmI(+_  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    ti}f&w ICJ  
    aFyh,  
    pKq]X}[^c  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 *-6?  
    w#sq'vo4%  
    ?HV}mS[t  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 dIvy!d2l  
    =x1Wii$`  
    7 I@";d8~  
    X线偏振光模拟结果:
    5\xr?`VZ  
    ~}K{e  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ;I+H>$%jZ  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 !3@{U@*Z]  
    Je 31".  
    g>yry}>04%  
    Y线偏光模拟结果 M1EOnq4-  
    Q,~x#  
    F_v-}bbcFQ  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 *,&S',S-  
    结论: Kr]z]4.d@  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    I>aGp|4  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?