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均匀化的概念 |H+Wed| ^a1^\X.~ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： :Z z
'1C • 微透镜阵列 n=ux5M • 衍射扩散器 Z/;aT -N • 计算机生成的全息图 iW /}# • 相位板 *=7U4W • 单元阵列 {jX2}
6f*CvW 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 N' `A?&2ru
光学仿真和设计包括: ;BIY^6,7e • 衍射 Hg$lXtn] • 干涉 sp*v?5lW • 空间和时间相干度 5N&?KA- • 像差 ~La>?:g <+ • 偏振 "!%l/_p? • 光强 fx>4
'y3!fN =h 应用 X(-4<B
';=O 0)u 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： %n: k# • 信息显示 7{ I0s;R • 测量系统 M1iS(x • 室内照明 QW(Mz Hg • 汽车 8q}q{8 • 军事 "5w a91* • 光刻
O+Y6N
u ($ !z^h 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 ` v@m-j6 优点Benefits b 7?hI
Y\?"WGL)p 微光学元件的照明系统有以下几大优点： v<( • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. <;Zmjeb+# • 产生任意的二维图案. 9e,0\J • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. [}0haTYc4 • 非常紧凑的照明系统. -fHy -Oh  Y^EcQzLw 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： "]b<uV
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. F SW_<%
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布.
DwE[D]7o
• 可以产生一般的二维图案. S2GxV/E
• 单色光和白光的整形. F%D.zvKN
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. ~;{; ,8!)
衍射扩散器 ]R f [y
GM f
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： 'XP7"
N47O
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. V7f q4O^:
• 生成任意的二维图案. IE/^\ M
• 仅用于单色LED或准分子激光. A1>OY^p3%
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 G.a b ql
单元阵列 XXcl{1Kp!@
mQ 26K~
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： UJ7*j%XQz_
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ZyPVy
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. hVAn>_(
• 产生任意的二维图案. !1 H# 6
• 用于单色光和白光. W^LY'ypT
 Tc`=f'pP)4
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 EF }\brD1
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