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均匀化的概念 3G|fo4g mp3_ n:R? VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： 8T
)ELhTj • 微透镜阵列 I>F h*2 • 衍射扩散器 Cpv%s 1M • 计算机生成的全息图 \'Kj.EO{?$ • 相位板 *%'7~58ObS • 单元阵列 $i~`vu*
C /XyDbH 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 B
Rj KV
光学仿真和设计包括: .oN
Sg.jG • 衍射 PJ:5Lb< • 干涉 _4B iF?1 • 空间和时间相干度 9= $,] M • 像差 ]},Q`n>$ • 偏振 s
FYJQ90it • 光强 U]
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p+UHJ& 应用 DeQ'U!?+N
<D;Q8 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： Prz +kPP • 信息显示 SLOYlRGCi • 测量系统 h=r <
B\Pa • 室内照明 6@;L$QYY-V • 汽车 42wC ."A • 军事 Tc5OI' -V • 光刻 1"B9Z 6jf
<sYw%9V 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 A<X :K
nl 优点Benefits dQ`ZrWd_U
ur,"K' w 微光学元件的照明系统有以下几大优点： # s
R0* • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. {^5 <{j3e • 产生任意的二维图案. p2DNbY\] • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. @3TkD_B& • 非常紧凑的照明系统. j I2gi1 ,a  mYOdBd 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
SOQ-D4q
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： >c\v&k>6.
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. Sb9=$0%\
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. r 2F
• 可以产生一般的二维图案. /0&:Yp=>
• 单色光和白光的整形. 5QFXj)hR+4
 A.C278^O8
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. \g:qQ*.
衍射扩散器 w$[ D s
`N WgETf^#
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： +;wqX]SD &
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. ^r$iN %&~
• 生成任意的二维图案. 9 eN2)a/
• 仅用于单色LED或准分子激光. SAE '?_
 s.I1L?s1w?
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ,{ L;B
单元阵列 FDd>(!>
G9y12HV
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： L8w76|
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. ]1|Ql*6y,
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. kl3S~gE4@
• 产生任意的二维图案. 6n6VEwYj
• 用于单色光和白光. m`\i +
 <,4R2'
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 fov=Yd!
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