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均匀化的概念 QZ6M,\ >3bpa<M_ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： VltWY'\Wu; • 微透镜阵列 l|K8+5L • 衍射扩散器 >M!>Hl/ • 计算机生成的全息图 ofSOy1
• 相位板 >Cf`F{X' U • 单元阵列 %%_90t
arB$& s 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 SXT/9FteZ
光学仿真和设计包括: u/zC$L3B( • 衍射 S `[8TZ
• 干涉 kC+A7k6 • 空间和时间相干度 #0R;^#F/ • 像差 ;V; 4# • 偏振 H(AYtnvB • 光强 Zy#r<j]T
(3-G< E 应用
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<7p2OPD 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： lG{J • 信息显示 uYl ?Q • 测量系统 h<j04fj • 室内照明 pM=vW{"I/ • 汽车 gW, ET • 军事 ]oY~8HW • 光刻 A T% 0i
"mOoGy, ( 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 V THDGBU 优点Benefits +Lyh F2
d0xV<{,- 微光学元件的照明系统有以下几大优点： [9L(4F20 • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ^R\blJQ<^ • 产生任意的二维图案. &K4o8Qz • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. Ue% 0.G|<W • 非常紧凑的照明系统. }O>IPRZ  JDP#t A3 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： R0|X;3
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. X bg7mj9c
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. t
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• 可以产生一般的二维图案. 2c~^|@
• 单色光和白光的整形. ZN?(lt)u9
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 936t6K&
衍射扩散器 qg|+BIi Uz
6->b(B V
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： ufo?ZFq@$L
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. P~#jvm!
• 生成任意的二维图案. <L`R!}
• 仅用于单色LED或准分子激光. q&M;rIo ?
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 $ p0s
单元阵列 OY)x
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性：
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• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. 2 rH6ap
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. |&'*Z\*ya
• 产生任意的二维图案. u-W=~EO5#
• 用于单色光和白光. 25TEbp[dy
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 3S9~rLrn?
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