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均匀化的概念 I34|<3t$ k H.e"e VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： f ye=8
r • 微透镜阵列 <"GgqyRzv • 衍射扩散器 bS1 ?I@ • 计算机生成的全息图 8 ^ ujA • 相位板 PVC Fh$pnw • 单元阵列 9;ZaL7>
[>IV#6 $ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 n+'gVEBA
光学仿真和设计包括: tL>c@w#P v • 衍射 "j 2th. • 干涉 f/?uo sS • 空间和时间相干度 Y8 % bk2 • 像差 51sn+h<w • 偏振 _~QiQDq • 光强 bjO?k54I
><&>J gM 应用 ~W>3EJghR,
v,[E*q MN 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： |E}-j;( • 信息显示 ++gWyzD • 测量系统 (XU( e • 室内照明 M:5K4$>Kx • 汽车 `K%f"by • 军事 *!m\%*y{ • 光刻 85}S 8\_ u
K Y=$RO 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 "hbCP4 优点Benefits X21k7 Ls
"9^OT 微光学元件的照明系统有以下几大优点： ~LfFLC • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. G`oY(2U • 产生任意的二维图案. K!<3|d • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. _ ;!$1lM[ • 非常紧凑的照明系统. kgv29j?k ;  )w_hbU_Pb& 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： ;"9$LHH*
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. y0R9[ ;b07
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ~_]i'i i8
• 可以产生一般的二维图案. B>kVJK`X
• 单色光和白光的整形. .',d*H))E7
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. =mp"=%
衍射扩散器 <9/?+)
N0V` xrS
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： i"h~QEE
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. :#zVF[Y(2
• 生成任意的二维图案. 1G}\IK1+
• 仅用于单色LED或准分子激光. s}93nv*ez
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 `gS JEq
单元阵列 ?X'l& k>
L2Z-seE
光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： e` eh;@9p
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. \uyZl2=WWa
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. r @URs;O=
• 产生任意的二维图案. $lAQcG&Q
• 用于单色光和白光. T!2gOe
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ;[ q>
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