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简介 SJseP_- W6e,S[J^FY 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 b"Z$?5 ,M4G_U[ 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 SG5GJCkc
U(d K 本篇文章分为上下两个部分(点此查看上部分) ,下将详细描述“第3步:优化设置的内容”。(联系我们获取文章附件) .Yw $nkvp`A 概述 u-8b,$@Z>' q=EHB5!q 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 {V8yJ{.G J?oI%r7^ 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 _1c0pQ ^}3 W2$MH: j ~wtK(U Az+k8=? 图1 Lumerical通 过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 l i @: Z<yLu'48)A 如图2所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 S7B7'[ru +:IwP v>XAzA 6-fdfU 图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 }Wk^7[Y 3R}O3#lj, 第3步:优化设置(optiSLang) Q.U
wtH {Vw\#/, 3-2.参数系统 -ho%9LW%| 准备好 Python 代码后,我们就可以开始在 optiSLang 中进行优化了。第一步是在 optiSLang 中打开一个空文件,拖动求解器向导,放入 scenery 中,然后选择 Python 集成。 1*aO2dOq .jXD0~N8q \80W?9qj
&H4Y`xV^= 如下所示,会弹出向导窗口 ,显示 Python 代码。我们将首先通过右键单击变量(如 clen1)来设置参数,然后选择用作参数。我们将对从 clen1 到 power 的所有变量执行此操作。如下所示,所选变量将显示为左列“参数”。 Nf]h8d~ wHT]&fZ 8opd0'SNaB F3?PlH:Y 设置完参数后,我们应该测试 Python 代码是否可以成功运行。为此,我们应该打开 OpticStudio 并打开交互式扩展模式,如下所示。然后在求解器向导中,我们可以单击向下箭头并选择“Test run with inputs”,如下所示。如果它运行良好,您应该看到,在 OpticStudio 窗口中,交互式扩展的对话框将显示为“已连接”。 H@'f=Y*D I[l8@!0 TQ,KPf$0U FxFRrRRH@ 如果测试运行失败,其中一个可能的原因是 Python 环境不对。用户可以更改设置,如下所示,以查看是否可以解决问题。 qk{+Y O x),jc[/ !RXG{1: baO'FyCs9& 计算完成后(在我们的测试中大概需要 13 分钟),我们应该在日志中看到消息“Manual test run successfully processed”,如下所示。现在,如果我们转到***.opd文件夹(可以通过右键单击系统头并选择“show working directory”轻松访问),我们可以找到辐照分布被导出到文件夹 rjo1 “\Parametric_solver_system\design_data”中,这是 Python 代码中指定的路径。 d:L|BkQ7* hr/H vB m|M'vzu1 :~{Nf-y0`1 类似于对参数的设置,我们可以对结果做相同的操作。在这里,我们将右键单击 Python 代码中的变量“Uniformity”, “Contrast”, 和 “TotalPower”然后选择“Use as response”。然后,这 3 个变量将在 Responses 的右侧列中显示。 pBxyq"z Gp9:#L! }eK.\_t= q` 0wG3 向导的下一页要求用户定义每个参数的参考值和范围。参考值将只遵循我们在上一步中设置参数时的定义。范围由设计师决定,没有标准参考值。用户可以在下载链接中查看随附的 optiSLang 文件,作为在优化过程中确定范围的参考。请注意,此范围是绝对的。在优化过程中,参数不会突破边界。这与 Zemax OpticStudio 优化的设置不同。 4Zn" K}q mm:g9j d7]~t| S]x\Asj;w 在向导的下一页中,我们需要根据给定的响应设置条件。如下图所示,我们可以将响应拖到底部以设置约束或目标。在这种情况下,我们设置了 3 个目标,以最小化对比度、均匀性以及最大化总功率。我们还可以为对比度和总功率设置 2 个约束来告诉 optiSLang,避免一些极端情况,即结果是均匀的,而总功率极低,或者相反的情况。
Tb[1\ >Y6iLQ$X "g%=FH3e YAsE,M+ 最后一页不需要操作。单击“完成”按钮后,工作区中将显示参数系统。 cuoZ:Wh y2o~~te P?o|N<46 i",7<01 3-3.(可选)设置并行计算 di4>Ir~] 本节中的操作不是必须的。在这里,我们将展示如何在 optiSLang 端设置并行计算以加快优化速度。如果用户拥有多个 Lumerical FDTD 求解器许可证,则可以考虑这样做。要进行此设置,第一步是右键单击参数化系统块,选择“编辑”,然后将极限最大值并行设置为6或任何不大于 8的数字或 Lumerical FDTD 求解器许可证的总数量,如下所示。 v;o/M6GL5 BW x=Q ]ft}fU5C1 V sQ~Y,7 注意我们需要做同样的事情来右键单击 Python 节点并选择“编辑”。要设置详细信息,我们需要首先单击右上角的汉堡标记,检查属性和占位符,然后单击“确定”按钮。然后我们可以将最大并行设置为6,如下所示。请注意,我们还需要在窗口的下部将最大值并行设置为6。如果先设置此参数,上面的 MaxParallel 也会自动更改,但仔细检查它是否按预期设置更安全。 wj2z?0}o VK>Cf> 最后,建议检查 “Retry execution”,将重试次数设置为 20,并将尝试间隔延迟设置为 1000 毫秒。此设置可避免 optiSLang 尝试访问具有 1 个以上线程的同一 OpticStudio 实例的争用条件。 #8/pYQ; l<)k`lrMX4 I /z`) EXEB A&* 如果并行设置是多个,在运行 optiSLang 时,我们还需要打开相同数量的 OpticStudio 实例,那么 optiSLang 可以为每个实例创建一个线程。 ' 4.T1i, !dV2:`|+ 3-4.灵敏度以及优化设置 -d4|EtN 下一步是设置灵敏度分析。一般来说,灵敏度分析是一种找出对响应影响最大的最重要参数的方法,并生成显示响应和参数变化之间关系的最佳元模型,以更好地了解系统行为。 })yB2Q0 !T"jvDYH 灵敏度系统可以通过将向导拖动到参数化系统块来设置,如下所示。参数和条件将被复制,我们不需要再次设置。默认情况下,它将建议 AMOP 模型,我们可以保留此设置。AMOP 是一种迭代抽样方法,将设计采样到设计空间中,直到达到目标标准 – 最大设计或模型质量。因为本模型具有高度非线性,无法达到足够的模型质量,因此在下一阶段将进行实际运行优化。 EdTR]}8 +A-z>T( 1W'0h$5^" %PlA9@:IZ 类似地,我们将优化向导拖到 AMOP 模块中以进行优化。请注意,当它询问优化方法时,我们应该选择 Real Run,因为该系统永远不会有高质量的最佳预后元模型(MOP)。MOP 是在(Most and Will 2008)中提出的,它基于对最佳输入变量集和最合适的近似模型(多项式或具有线性或二次基的 MLS)的搜索。对于优化算法,建议使用进化算法,它适用于非常不均匀和不连续的解空间。 Y=ksrs>w \ RS
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vLs*}+f 3-5.开始优化 NHQi_U 用户只需打开一个 OpticStudio 并在交互式扩展模式下准备就绪即可。注意必须取消选中断开连接时自动关闭,如下所示。请注意,如果并行计算已设置为6,如上所述,用户将需要在此处打开相同数量的实例(例如6个),optiSLang 将同时访问所有实例。 [ 0z-X7=e b!JrdJO,DP )dfwYS*[n yHf:/8Z 当一切准备就绪后,我们可以单击按钮进行优化。 /liZ|K3A LDY3Ya`6m %j/}e>$"Nk WXQ+`OH7 在这个示例系统中,我们花了大约 2~3 天的时间在普通台式 PC 上运行此优化。 6E{(_i P?hB`5X 3-6.优化结果 )lH`a 通过双击进化算法块扩展的后处理可以找到优化结果,如下所示。 ]@uuB\u 4x-K0 lx<!*2
-^ 4+J>/ xiZ 下图中的红色标记设计称为帕累托边界。一般来说,帕累托边界显示了多个目标之间的权衡,即不存在一个设计在各项指标上均优于另一个的情况。这意味着所有这些设计都显示了多个标准的不同平衡。我们选择了 3 个结果,如下所示 。986号的对比度比946号高,同时看起来更均匀。这意味着这里使用的标准可以改进,以更好地匹配人类视觉。 Al+}4{Q+? 8 .t3`FGH >o1,Y& |