微透镜阵列
微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性:
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面.
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布.
• 可以产生一般的二维图案.
• 单色光和白光的整形.
六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布.
衍射扩散器
衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质:
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次).
• 生成任意的二维图案.
• 仅用于单色LED或准分子激光.
4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓
单元阵列
光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性:
• 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上.
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射.
• 产生任意的二维图案.
• 用于单色光和白光.
由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像