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?FDJqJM 内容简介 R#LGFXUj Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >uW^.e "F 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 C[0MA ,^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !mae^A1 g/B\ObY 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Rdj8*f 目录 PJ;.31u Preface 1 cdDY]"k 内容简介 2 l.uN$B 目录 i ->3uOF!q 1 引言 1 &t_A0z 2 光学薄膜基础 2 yWmrdvL 2.1 一般规则 2
[9J:bD 2.2 正交入射规则 3 $$\V2%v 2.3 斜入射规则 6 OOfyGvs 2.4 精确计算 7 }pKv. 2.5 相干性 8 ~W3:xnBEk 2.6 参考文献 10 FvAbh]/4 3 Essential Macleod的快速预览 10 '(T mV#3 4 Essential Macleod的特点 32 BPh".R J 4.1 容量和局限性 33 -EVs@:3]j 4.2 程序在哪里? 33 eX@v7i,} 4.3 数据文件 35 @ "0uM?_)- 4.4 设计规则 35 fw:7U%MGv 4.5 材料数据库和资料库 37 HS(U4 4.5.1材料损失 38 !. p 4.5.1材料数据库和导入材料 39 V&g)m.d:n 4.5.2 材料库 41 !"`Jqs 4.5.3导出材料数据 43 G~S))p 4.6 常用单位 43 df^0{gNHx 4.7 插值和外推法 46 <8*A\& 4.8 材料数据的平滑 50 :q(D(mK 4.9 更多光学常数模型 54 . Jptj 4.10 文档的一般编辑规则 55 %uj[ ` 4.11 撤销和重做 56 9@Q&B+! 4.12 设计文档 57 X:U=MWc> 4.10.1 公式 58 "~_$T@^k> 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 3Fgz)*Gu] 4.10.3 沉积密度 59 JV&Zwbu 4.10.4 平行和楔形介质 60 )=y.^@UT@ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ?THa5%8f 4.10.4 性能 61 O/(3 87= U 4.10.5 保存设计和性能 64 LNaeB(z" 4.10.6 默认设计 64 dV)Y,Yx0${ 4.11 图表 64 z}iSq$ 4.11.1 合并曲线图 67 Qg[heND 4.11.2 自适应绘制 68 n%n'1AUP: 4.11.3 动态绘图 68 .l7j8} 4.11.4 3D绘图 69 q)vK`\Y 4.12 导入和导出 73 |y klT 4.12.1 剪贴板 73 RXUA!=e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4{Q$!O> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 CcBQo8!G 4.13 背景 77 axOi5 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3xP~~j;7 4.15 生成Rugate 84 3\,MsoAl 4.16 参考文献 91 K4_~ruhr 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 XMomFW_@ 5.1 Jobs 92 U[IQ1AEr 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Ih(:HFRMq6 5.3 输入材料 94 :2 _0L 5.4 设计数据文件夹 95 Ob7zu"zr 5.5 默认设计 95 _cR6ik zW( 6 细化和合成 97 #,t2*tM 6.1 优化介绍 97 K1/
U
(A 6.2 细化 (Refinement) 98 L7X7Zt8% 6.3 合成 (Synthesis) 100 "v@);\-V 6.4 目标和评价函数 101 "&@gX_% 6.4.1 目标输入 102 xT:qe 6.4.2 目标 103 4tbw*H5!5 6.4.3 特殊的评价函数 104 C(f$!~M4b 6.5 层锁定和连接 104 uPI v/&HA 6.6 细化技术 104 <_=JMA5 6.6.1 单纯形 105 a:=q8Qy 6.6.1.1 单纯形参数 106 m"5{D*| 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ~azF+}x90N 6.6.2.1 Optimac参数 108 _2wAaJvA 6.6.3 模拟退火算法 109 f KFnCng 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ${wU+E* 6.6.4 共轭梯度 111 0Ulxp 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ii|uGxEc 6.6.5 拟牛顿法 112 W^^K0yn`@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 >/(i3) 6.6.6 针合成 113 eVJ= .?r 6.6.6.1 针合成参数 114 O5g}2 6.6.7 差分进化 114 J>><o:~@ 6.6.8非局部细化 115 wYZy e^7 6.6.8.1非局部细化参数 115 2O?Vr"
A 6.7 我应该使用哪种技术? 116 /7c2OI=\ 6.7.1 细化 116 >_rzT9gX& 6.7.2 合成 117 sGXp}{E9 6.8 参考文献 117 fx]\)0n 7 导纳图及其他工具 118 OD{5m(JwL 7.1 简介 118 3yeK@>C 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ) ~ l\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ,lrYl!, 7.2.2 导纳图 120 V*~1,6N[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 aeEw# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 O]c=Yyl 7.5 斜入射导纳图 141 `6|i&w:b 7.6 对称周期 141 d\v$%0 7.7 参考文献 142 b{Z^)u2X 8 典型的镀膜实例 143 xR\D(FLVS 8.1 单层抗反射薄膜 145
m"96:v 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 "9c.C I 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }@3Ud'
Y 8.4 W-膜层 148 h`z2!F4 8.5 V-膜层 149 H+S~ bzz 8.6 V-膜层高折射基底 150 aQz|!8Is 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 <9Lv4`]GU5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 t#fs:A7P?} 8.9 四层抗反射薄膜 153 %4?SY82 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 &{X{36 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 m-:8jA? 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 vpZu.#5c 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
EJWOXxU 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 :iP>z}h 8.15十五层宽带抗反射膜 159 G3 Idxs 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Mfnlue]( 8.17 1/4波长堆栈 162 FZ[@])B 8.18 陷波滤波器 163 jA20c(O 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^n\9AE3 8.20 褶皱 165 \(.nPW]9 8.21 消偏振分光器1 169 BNAguAxWo 8.22 消偏振分光器2 171 {DKXn`V 8.23 消偏振立体分光器 172 @5{.K/s 8.24 消偏振截止滤光片 173 4M;sD;3 8.25 立体偏振分束器1 174 tebWj>+1c 8.26 立方偏振分束器2 177 !^c:'I>~ 8.27 相位延迟器 178 o0,UXBx 8.28 红外截止器 179 YD/B')/ s 8.29 21层长波带通滤波器 180 '5|Q<5!o 8.30 49层长波带通滤波器 181 ]_^"|RJ 8.31 55层短波带通滤波器 182
zjluX\ 8.32 47 红外截止器 183 .b=M5JsyV 8.33 宽带通滤波器 184 r1[E{Tpz 8.34 诱导透射滤波器 186 U%mkhWn 8.35 诱导透射滤波器2 188 (z8]FT 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 -/(DPx 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 _hAj2%SL 8.35 增益平坦滤波器 193 M/::`yJQu 8.38 啁啾反射镜 1 196 an*]62 l 8.39 啁啾反射镜2 198 mF6@Y[/B 8.40 啁啾反射镜3 199 .ujs`9d_- 8.41 带保护层的铝膜层 200 <7_ |Q 8.42 增加铝反射率膜 201 %JP&ox|^& 8.43 参考文献 202 47)+'` 9 多层膜 204 t,--V|7- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 yj}bY?4I 9.2 内部透过率 204 J6@(X8w{j 9.3 内部透射率数据 205 KKx&UKjV 9.4 实例 206 t*Z .e.q+ 9.5 实例2 210 .4S^nP 9.6 圆锥和带宽计算 212 }};j2 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 J6*\>N5W 10 光学薄膜的颜色 216 "_ PH "W 10.1 导言 216 <Um1h:^ 10.2 色彩 216 E5,%J 10.3 主波长和纯度 220 LVR;&Z>j 10.4 色相和纯度 221 LG/=+[\{E 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]Ks]B2Osz 10.6 色差 226 lKh2LY=j 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 d&PE,$XC 10.8 颜色渲染指数 234 HMEs8. 10.9 色差计算 235 gmF_~"^34 10.10 参考文献 236
D\45l 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 SeRK7Q&_ 11.1 短脉冲 238 <r_P?
lZW 11.2 群速度 239 ,$MWk(S 11.3 群速度色散 241 cM> G>Yzo 11.4 啁啾(chirped) 245 8!`7- 11.5 光学薄膜—相变 245 ,(@Y%UW: 11.6 群延迟和延迟色散 246 L:t)$iF5+ 11.7 色度色散 246 ^D]7pe 11.8 色散补偿 249 F"B<R~ 11.9 空间光线偏移 256 yiv RpSL 11.10 参考文献 258 "v\ bMuS 12 公差与误差 260 K^z5x#Yj 12.1 蒙特卡罗模型 260 }AMYU>YE= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 n&2=6$*,k 12.2.1 误差工具 267 eeI9[lTw 12.2.2 灵敏度工具 271 |kBg8).B 12.2.2.1 独立灵敏度 271 )o
" SB1 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .-C+0L1j 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _H^^2#wc/ 12.3 参考文献 276 ),D`ZRXS 13 Runsheet 与Simulator 277 h8iaJqqvJ 13.1 原理介绍 277 C;58z5*, 13.2 截止滤光片设计 277 i#@ v_^ q 14 光学常数提取 289 %9~kA5Qj 14.1 介绍 289 ?;AL F 14.2 电介质薄膜 289 uJ|5Ve 14.3 n 和k 的提取工具 295 >0g`U 14.4 基底的参数提取 302 PK.h E{R 14.5 金属的参数提取 306 (x1"uy7_ 14.6 不正确的模型 306 3&a*] 14.7 参考文献 311 C)&gL=O*$ 15 反演工程 313 ((RpT0rP\ 15.1 随机性和系统性 313 o5*74Mv 15.2 常见的系统性问题 314 GM9]>"#o\ 15.3 单层膜 314 Pjj;.c 7_j 15.4 多层膜 314 y0&V$uv/ 15.5 含义 319 3IU$ 15.6 反演工程实例 319 0btmao- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 oSu|Yn 15.6.2 反演工程提取折射率 327 32iWYN 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 xvdnEaWe$ 16.1 光学性质的热致偏移 329 By"^ Z`EP4 16.2 应力工具 335 G(7\<x: 16.3 均匀性误差 339 (zM+7tJH 16.3.1 圆锥工具 339 #RLch 16.3.2 波前问题 341 TeGLAt
16.4 参考文献 343 k<j)?_=` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 *FLTz(T 17.1 引言 345 5x1%oC 17.2 操作数 345 Vne.HFXA 18 如何在Function中编写脚本 351 <750-d! 18.1 简介 351 eBYaq!t
k 18.2 什么是脚本? 351 U"%8"G0) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 #/XK&(X 18.4 基础 352 I).^,%>Z) 18.4.1 Classes(类别) 352 P5
<85t 18.4.2 对象 352 Ow($\, 18.4.3 信息(Messages) 352 +NzD/.gq 18.4.4 属性 352 _,K>u6N& 18.4.5 方法 353 (7Ca\H3$ 18.4.6 变量声明 353 ,h^;~|GT 18.5 创建对象 354 Op$J"R 18.5.1 创建对象函数 355 ZAnO$pA 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 F"@'(b 18.5.3 丢弃对象 356 {6=H/g=:i 18.5.4 总结 356 <-oRhi4 18.6 脚本中的表格 357 kGBl)0pr`x 18.6.1 方法1 357 m|Q&Lphb8 18.6.2 方法2 357 |$|n V^y 18.7 2D Plots in Scripts 358 D)/XP 18.8 3D Plots in Scripts 359 z5o9\.y({ 18.9 注释 360 (PT?h>|St 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ("P mB?20 18.11 一个更高级的脚本 362 w_z^5\u0 18.12 <esc>键 364 'bY|$\I 18.13 包含文件 365 BorfEv} SN 18.14 脚本被优化调用 366 u7y7 18.15 脚本中的对话框 368 w3?t})PB& 18.15.1 介绍 368 @=zBF'<.9 18.15.2 消息框-MsgBox 368 6 peM4X 18.15.3 输入框函数 370 4K?H-Jco 18.15.4 自定义对话框 371 g!kRa.`u1 18.15.5 对话框编辑器 371 We+FP9d % 18.15.6 控制对话框 377 KJvJUq 18.15.7 更高级的对话框 380 G/RheH
G 18.16 Types语句 384 W%jX- 18.17 打开文件 385 rbJ)RN^. 18.18 Bags 387 ;~1/eF 18.13 进一步研究 388 S>ylA U;N 19 vStack 389 :#&U95EC0 19.1 vStack基本原理 389 %ucmJ-<y# 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 o j4)7{ 19.3 五棱镜 393 j>Bk; f| 19.4 光束距离 396 tL4]6u 19.5 误差 399 I#6'
NZ 19.6 二向分色棱镜 399 zH\;pmWiN9 19.7 偏振泄漏 404 pt|$bU7 19.8 波前误差—相位 405 ~PAbLSL*u 19.9 其它计算参数 405 VV}fW"_ND 20 报表生成器 406 4oaP"T@6 20.1 入门 406 HOQ
_T4 20.2 指令(Instructions) 406 3v3Va~fm` 20.3 页面布局指令 406 `zsk*W1GA 20.4 常见的参数图和三维图 407 (XIq?c1T 20.5 表格中的常见参数 408 d<cbp[3F 20.6 迭代指令 408 [\M?8R$) 20.7 报表模版 408 AU?YZEAei 20.8 开始设计一个报表模版 409 R^O)fL 0_ 21 一个新的project 413 }Yl8Q>t 21.1 创建一个新Job 414 ZwrYss 21.2 默认设计 415 [t=+$pf(- 21.3 薄膜设计 416 Ky~~Cd$ 21.4 误差的灵敏度计算 420 ^fiRRFr[ 21.5 显色指数计算 422 ib=^tK 21.6 电场分布 424 y2% ^teXk 后记 426 d=OO(sf
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