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$3:O}X> 内容简介 Xx=c'j< Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $pYT#_P!/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 t3FfPV!P" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 PQ`~qM:3st Eza B}BLQ9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 vKcc|# 目录 3h>56{P Preface 1 pksF|VS 内容简介 2 =jW=Z$3q 目录 i K6;
s xF 1 引言 1 VA@t8H, 2 光学薄膜基础 2 81/t)Cp 2.1 一般规则 2 AU/L_hg 2.2 正交入射规则 3 $tFmp) 2.3 斜入射规则 6 lG!We'? 2.4 精确计算 7 #~>ykuq 2.5 相干性 8 r4FGz!U 2.6 参考文献 10 #MI4 `FZ 3 Essential Macleod的快速预览 10 94xRKQ} 4 Essential Macleod的特点 32 aMycvYzH 4.1 容量和局限性 33 (cEjC`] 4.2 程序在哪里? 33 m%G:|`f7 4.3 数据文件 35 xr'gi(.o 4.4 设计规则 35 p:8&&v~I 4.5 材料数据库和资料库 37 K#<cuHGC 4.5.1材料损失 38 vd}Y$X 4.5.1材料数据库和导入材料 39 2 K&5Kt/ 4.5.2 材料库 41 L]|[AyNu 4.5.3导出材料数据 43 *wVWyC 4.6 常用单位 43 j_2yTz"G- 4.7 插值和外推法 46 q+/7v9 4.8 材料数据的平滑 50 TbPTgE * 4.9 更多光学常数模型 54 ag\xwS#i5H 4.10 文档的一般编辑规则 55 Rr/sxR|0_ 4.11 撤销和重做 56 ?#rejA: 4.12 设计文档 57 3BWYSJ| 4.10.1 公式 58 gu~F(Fb' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ,Rh6(I 4.10.3 沉积密度 59 \9GJa"xA` 4.10.4 平行和楔形介质 60 QCvz| ) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 tE]0
#B)D< 4.10.4 性能 61 @z!|HLD+ 4.10.5 保存设计和性能 64 kX)Xo`^Ys 4.10.6 默认设计 64 C:WXI;*cr 4.11 图表 64 b/eJEL 4.11.1 合并曲线图 67 M@b:~mI[sw 4.11.2 自适应绘制 68 [b<AQFh<c 4.11.3 动态绘图 68 $8"G9r 4.11.4 3D绘图 69 chr^>%Q_ 4.12 导入和导出 73 [Q5>4WY 4.12.1 剪贴板 73 3"ii_#1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !.nyIA( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &n)=OConge 4.13 背景 77 wZ_k]{J 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 eJ3w}"?9s 4.15 生成Rugate 84 aX'R&R 4.16 参考文献 91 @1UC9}> 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 E 9LKVs} 5.1 Jobs 92 .0b$mSV[ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,XJ
Xw(LM 5.3 输入材料 94 wNX2* 5.4 设计数据文件夹 95 n%J{Tcn6 5.5 默认设计 95 Ur/+nL{ 6 细化和合成 97 KkJK5dZo 6.1 优化介绍 97 ^mA ^7jB 6.2 细化 (Refinement) 98 XpLK0YI 6.3 合成 (Synthesis) 100 V"T48~Ue 6.4 目标和评价函数 101 MvLmEmKb}\ 6.4.1 目标输入 102 Pl}> 6.4.2 目标 103 !\ckUMZ\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 */ ~_ 3 6.5 层锁定和连接 104 CPto?=*A 6.6 细化技术 104 0+]ol:i 6.6.1 单纯形 105 V#Hg+\{d 6.6.1.1 单纯形参数 106 ~F
,mc. 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 YFF\m{# 6.6.2.1 Optimac参数 108 ).BZPyV< 6.6.3 模拟退火算法 109 $ MN1:ih 6.6.3.1 模拟退火参数 109 EqV]/0-\ 6.6.4 共轭梯度 111 wInJ!1 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 xElHYh(\ 6.6.5 拟牛顿法 112 dF?:&oP] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 YF]W<ZpY 6.6.6 针合成 113 *}hx9:9\B 6.6.6.1 针合成参数 114 ^s_BY+# 6.6.7 差分进化 114 {O4y Y=G 6.6.8非局部细化 115 rk$$gXg9/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 .D~ZE94@ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 /i${ [1 6.7.1 细化 116 P}AfXgr 6.7.2 合成 117 xMdbS4 &! 6.8 参考文献 117 M+mO4q6 7 导纳图及其他工具 118 'k?%39 7.1 简介 118 uTemAIp
$u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 yO7xAb 7.2.1 四分之一波长规则 119 jI-\~ 7.2.2 导纳图 120 '_nJ DM 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 01 vEt 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 \
nIz5J}3 7.5 斜入射导纳图 141 zj ?^,\{A 7.6 对称周期 141 ubpVrvu@ 7.7 参考文献 142 I(cy<ey+e 8 典型的镀膜实例 143 errT7&@,A 8.1 单层抗反射薄膜 145 zPC&p{S> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 x2^Yvgc- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ^X&n-ui
8.4 W-膜层 148
)N8[@ 8.5 V-膜层 149 8b^v@|)N 8.6 V-膜层高折射基底 150 zSpL^:~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 vbDSNm#Yv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _x.<Zc\x 8.9 四层抗反射薄膜 153 j"8 f,er 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {Q&@vbw' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 qMk"i@" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 m_
|:tU(t 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dKOW5\H' 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 .3{PgrZ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 yEaim~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Ly?%RmHK 8.17 1/4波长堆栈 162 9rB,7%@EL 8.18 陷波滤波器 163 +x7b9sHJ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -FAAP&LG 8.20 褶皱 165 @Gh?|d7bD 8.21 消偏振分光器1 169 O3?3XB> < 8.22 消偏振分光器2 171 "kE$2Kg 8.23 消偏振立体分光器 172 IEx`W;V]K 8.24 消偏振截止滤光片 173 (-RZ|VdYg 8.25 立体偏振分束器1 174 5pOb;ry")` 8.26 立方偏振分束器2 177 .=j]PckJO 8.27 相位延迟器 178 0I8w'/s_g9 8.28 红外截止器 179 @AXRKYQ{t 8.29 21层长波带通滤波器 180 w3l+BUn:X 8.30 49层长波带通滤波器 181 J?yNZK$WqN 8.31 55层短波带通滤波器 182 f{b$Y3 8.32 47 红外截止器 183 [r_YQ*+ej 8.33 宽带通滤波器 184 x6, #Jp 8.34 诱导透射滤波器 186 DNP%]{J 8.35 诱导透射滤波器2 188 ZB+N[VJs) 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 X&B2&e; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 X-tc Ud 8.35 增益平坦滤波器 193 <Ae1YHUY 8.38 啁啾反射镜 1 196 sXD.*D 8.39 啁啾反射镜2 198 &a'H vQV 8.40 啁啾反射镜3 199 #E[{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 _TB,2 R 8.42 增加铝反射率膜 201 1;; is 8.43 参考文献 202 CXb-{|I}d 9 多层膜 204 4K_ fN 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 %n^jho5 9.2 内部透过率 204 ]BY^.!Y 9.3 内部透射率数据 205 l3d^V&Sk 9.4 实例 206 0Zt=1Tv 9.5 实例2 210 EFb1Y{u^\! 9.6 圆锥和带宽计算 212 %gF; A* 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 XHX\+&6 10 光学薄膜的颜色 216 *5SOXrvhu6 10.1 导言 216 [d(@lbV0 10.2 色彩 216 IZ<d~ [y 10.3 主波长和纯度 220 u7rA8u|TO 10.4 色相和纯度 221 Jj<UtD+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 TRQ@=. 10.6 色差 226 QB<9Be@e 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9#:b+Amzz 10.8 颜色渲染指数 234 2"31k2H[ 10.9 色差计算 235 N;<.::x 10.10 参考文献 236 K$S:V=y%r7 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `MMh"# xN 11.1 短脉冲 238 &3
QdQn, 11.2 群速度 239 *Q?ZJS~ 11.3 群速度色散 241 h0YIPB 11.4 啁啾(chirped) 245 n:hHm, 11.5 光学薄膜—相变 245 8PWx>}XPt 11.6 群延迟和延迟色散 246 6g/ <FM 11.7 色度色散 246 NVEjUt/ 11.8 色散补偿 249 ?o@5PL 11.9 空间光线偏移 256 ubC(%Y_k 11.10 参考文献 258 2OXcP!\Y 12 公差与误差 260 ZI'MfkEZ* 12.1 蒙特卡罗模型 260 fS08q9,S / 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Dc,h(2 12.2.1 误差工具 267 d$>TC(E=t 12.2.2 灵敏度工具 271 jOJ$QT 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4!'1o`8vs 12.2.2.2 灵敏度分布 275 UL81x72O 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 zTDB]z!A 12.3 参考文献 276 8|>$M 13 Runsheet 与Simulator 277 R{s&6 13.1 原理介绍 277 9H@I<`qGC 13.2 截止滤光片设计 277 |}~2=r z 14 光学常数提取 289 V SJGp` 14.1 介绍 289 OH` |
c 14.2 电介质薄膜 289 W|IMnK- 14.3 n 和k 的提取工具 295 1Sk=;Bic 14.4 基底的参数提取 302 T#;W5<" 14.5 金属的参数提取 306 3F5Y#[L` 14.6 不正确的模型 306 'j^A87\M_ 14.7 参考文献 311 d|GQZAEJEt 15 反演工程 313 oF1{/ERS 15.1 随机性和系统性 313 LRF_w)^[' 15.2 常见的系统性问题 314 gyqM&5b 15.3 单层膜 314 {Y>5 [gp 15.4 多层膜 314 =T73660 15.5 含义 319 V$y6=Q<c 15.6 反演工程实例 319 d~bZOy 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 q^:>sfd 15.6.2 反演工程提取折射率 327 s@USJ4# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 mR3)$! 16.1 光学性质的热致偏移 329 R+'$V$g\X 16.2 应力工具 335 k[TVu5R 16.3 均匀性误差 339 VMry$ 16.3.1 圆锥工具 339 tUS)1*{_ 16.3.2 波前问题 341 (G:A^z 16.4 参考文献 343 qPh
@Bl3 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^*CvKCS 17.1 引言 345 y v6V1gK 17.2 操作数 345 b2}>{Li0 18 如何在Function中编写脚本 351 8v$2*$ 18.1 简介 351 !VaKq_W 18.2 什么是脚本? 351 $;kFuJF 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Q5[x2 s_ d 18.4 基础 352 bve_*7CEM 18.4.1 Classes(类别) 352 20 <$f 18.4.2 对象 352 ]} D^?g^ 18.4.3 信息(Messages) 352 2nNBX2o&_ 18.4.4 属性 352 jZjWz1+ 18.4.5 方法 353 ,g69 ?w 18.4.6 变量声明 353 12 8aJ 18.5 创建对象 354 b3/@$x< 18.5.1 创建对象函数 355 j@N z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 V=$pXpro% 18.5.3 丢弃对象 356 F52%og~N 18.5.4 总结 356 9((BOq 18.6 脚本中的表格 357 icO$9c 18.6.1 方法1 357 kJQH{n+)R 18.6.2 方法2 357 r]h>Bb 18.7 2D Plots in Scripts 358 g=Gd| 18.8 3D Plots in Scripts 359 a
~s:f5S> 18.9 注释 360 e"Y ( 7< 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 YmrrZ&]q 18.11 一个更高级的脚本 362 v|!u]!JM 18.12 <esc>键 364 v'Y0|9c 18.13 包含文件 365 \9HpbCHr 18.14 脚本被优化调用 366 UB5CvM28 18.15 脚本中的对话框 368 nt 9LBea 18.15.1 介绍 368 PK C}!>2 18.15.2 消息框-MsgBox 368 (/mR
p 18.15.3 输入框函数 370 lN(|EI 18.15.4 自定义对话框 371 7aF'E1e'3 18.15.5 对话框编辑器 371 s3(mkdXv 18.15.6 控制对话框 377 a&^HvXO(>( 18.15.7 更高级的对话框 380 [b2KBww\ 18.16 Types语句 384 .<m${yU{3 18.17 打开文件 385 /M,C%.- 18.18 Bags 387 -_*ux! 18.13 进一步研究 388 L3/SIoqd 19 vStack 389 Zz,j,w0 Z 19.1 vStack基本原理 389 u%t/W0xi 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 AvmI<U 19.3 五棱镜 393 O{vVW9Q 19.4 光束距离 396 ojc m%yd 19.5 误差 399 f|v5itO2 19.6 二向分色棱镜 399 W
u C2LM 19.7 偏振泄漏 404 VyMFALSe]h 19.8 波前误差—相位 405 >(?}'pS8 19.9 其它计算参数 405 #&k`-@b5| 20 报表生成器 406 \m xi8Z
w 20.1 入门 406 w"Q/ 6#!K 20.2 指令(Instructions) 406 w@![rH6~F
20.3 页面布局指令 406 &@v&5EXOw 20.4 常见的参数图和三维图 407 T'ko =k 20.5 表格中的常见参数 408 <`Xt?K 20.6 迭代指令 408 ym_w09 20.7 报表模版 408 >g>L>{ 20.8 开始设计一个报表模版 409 s![Di 21 一个新的project 413 }'KHF0 21.1 创建一个新Job 414 KgH_-REN 21.2 默认设计 415 +=Y[RCXT 21.3 薄膜设计 416 r!N> FE 21.4 误差的灵敏度计算 420 h5o6G1ur 21.5 显色指数计算 422 nk*T
x 21.6 电场分布 424 Hhzi(<e^ 后记 426 (y^svXU}a
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