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CXd/M~:! 内容简介 G/4~_\YMq Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 6x iCTs0@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 S pIdw0 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 k@}g?X`8 w{89@ XRC 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 |f{(MMlj 目录 '
o(7@ Preface 1 U^
;H{S 内容简介 2 ;Q\MH t* 目录 i V)jF]u~g 1 引言 1 Ng|c13A= 2 光学薄膜基础 2 J. $U_k 2.1 一般规则 2 Xv2Q8-}w 2.2 正交入射规则 3 +<rWYF(ii/ 2.3 斜入射规则 6 'bn$"A"{o 2.4 精确计算 7 pKkBAr, 2.5 相干性 8 H$rNT/C 2.6 参考文献 10 rcUJOI 3 Essential Macleod的快速预览 10 vocWV/ 4 Essential Macleod的特点 32 9CPr/q9' 4.1 容量和局限性 33 RfQ*`^D 4.2 程序在哪里? 33 ;!pSYcT, 4.3 数据文件 35 Btyp=wfN[ 4.4 设计规则 35 $SfYO!n7Q 4.5 材料数据库和资料库 37 Dks"(0g 4.5.1材料损失 38 }e]tn) 4.5.1材料数据库和导入材料 39 t{Wu5<F: 4.5.2 材料库 41
|Sr
4.5.3导出材料数据 43 :CGh$d] + 4.6 常用单位 43 j]'ybpMT" 4.7 插值和外推法 46 '7JM/AcC#K 4.8 材料数据的平滑 50 A@ZsL 4.9 更多光学常数模型 54 >)6k)$x%% 4.10 文档的一般编辑规则 55 9}$'q$0R] 4.11 撤销和重做 56 :wY(</H 4.12 设计文档 57 IN?6~O
p 4.10.1 公式 58 e)f!2'LL 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 bBY7^k 4.10.3 沉积密度 59 ub9,Wd"^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 ")i_{C,b^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 (w1$m8`= 4.10.4 性能 61 j^m x , 4.10.5 保存设计和性能 64 O&evv8 6L 4.10.6 默认设计 64 vVf%wei^# 4.11 图表 64
;(
[^+_/ 4.11.1 合并曲线图 67 cCv@fks 4.11.2 自适应绘制 68 e/R$Sfj] 4.11.3 动态绘图 68 /3j3'~0 4.11.4 3D绘图 69 S7(tGD 4.12 导入和导出 73 :&J1#% t 4.12.1 剪贴板 73 GQ6~Si2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $ Gs|Z$( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 +wGFJLHJ 4.13 背景 77 5
51p*
B2 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 \[L| 4.15 生成Rugate 84 j5!pS xOC 4.16 参考文献 91 NX8.
\Pf# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 yV t8QF! 5.1 Jobs 92 Odr<fvV,> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 AHet,N 5.3 输入材料 94 ]ASTw(4 5.4 设计数据文件夹 95 6r)B|~,OA 5.5 默认设计 95 09J,!NN 6 细化和合成 97 0?*":o30 6.1 优化介绍 97 g3TqTs 6.2 细化 (Refinement) 98 >0S(se$ 6.3 合成 (Synthesis) 100 oT i$@q 6.4 目标和评价函数 101 U*\1d 6.4.1 目标输入 102 jE!?;} P1 6.4.2 目标 103 V|)nUsU 6.4.3 特殊的评价函数 104 `<(o;*&Gd 6.5 层锁定和连接 104 C}]143a/Q 6.6 细化技术 104 I]Ws
6.6.1 单纯形 105 [/U5M>#n 6.6.1.1 单纯形参数 106 4[rX\?^e 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 :'Tq5kE 6.6.2.1 Optimac参数 108 nZ4@g@e2 6.6.3 模拟退火算法 109 #Yx
/ubg6 6.6.3.1 模拟退火参数 109 8TCbEPS@Q 6.6.4 共轭梯度 111 Da
]zbz%% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 H8h,JBg5<F 6.6.5 拟牛顿法 112 >:|jds# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 o,!W,sx_ 6.6.6 针合成 113 x,Z:12H0 6.6.6.1 针合成参数 114 ,'byJlw_pv 6.6.7 差分进化 114 \RmU6(;IQ 6.6.8非局部细化 115 3j\Py'}; 6.6.8.1非局部细化参数 115 &H/3@A3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 tS[%C) 6.7.1 细化 116 z'}z4^35, 6.7.2 合成 117 ggUw4w/e 6.8 参考文献 117 Z9zsvg 7 导纳图及其他工具 118 .NMZHK?% 7.1 简介 118 b
q8nV 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 X4/3vY 7.2.1 四分之一波长规则 119 VKu|=m2vB 7.2.2 导纳图 120 U]"6KS
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 hy"=)n( 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {CQI*\O 7.5 斜入射导纳图 141 },,K6*P 7.6 对称周期 141 n!L}4Nmp 7.7 参考文献 142 bq z*90 8 典型的镀膜实例 143 !_?#f| 8.1 单层抗反射薄膜 145 KNSMx<GP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ; Z2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 T1uOp5_]B 8.4 W-膜层 148 Yq%r\[%* 8.5 V-膜层 149 6JD~G\$ 8.6 V-膜层高折射基底 150 }8Nr.gY 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 e|4U2\&3y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `FByME 8.9 四层抗反射薄膜 153 sM@1Qyv&0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 g3c,x kaO 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Oe&gTXo 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 p5#UH 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @VnK/5opS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 :U6Q==B$_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 j=Z;M1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 w%~Mg3| 8.17 1/4波长堆栈 162
m">2XGCn 8.18 陷波滤波器 163 j5m]zh5\J= 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <1E5[9
q 8.20 褶皱 165 O[ug7\cl+ 8.21 消偏振分光器1 169 6f&qtJQ<A 8.22 消偏振分光器2 171 uM2 .?>`X 8.23 消偏振立体分光器 172 oA4<AJ2 8.24 消偏振截止滤光片 173 ),I g u 8.25 立体偏振分束器1 174 *_eY +\j 8.26 立方偏振分束器2 177 4^k+wQU 8.27 相位延迟器 178 QoS]QY'bZ 8.28 红外截止器 179 s[}cj+0 8.29 21层长波带通滤波器 180 (
\7Yo^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 M8|kmF\B 8.31 55层短波带通滤波器 182 838@jip 8.32 47 红外截止器 183 ?'^yw C` 8.33 宽带通滤波器 184 .:iO$wjp5 8.34 诱导透射滤波器 186 #{zF~/Qq 8.35 诱导透射滤波器2 188 !$#8Z".{v{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 34t[]v|LD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Z+
)<FX 8.35 增益平坦滤波器 193 iM~qSRb#mJ 8.38 啁啾反射镜 1 196 8xYeaK 8.39 啁啾反射镜2 198 *P+8^t#Vp 8.40 啁啾反射镜3 199 h/7_I uD 8.41 带保护层的铝膜层 200 MG4(,"c! 8.42 增加铝反射率膜 201 J+YoAf`hi 8.43 参考文献 202 9.Yn]O 9 多层膜 204 8\m[Nuq5 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 =HHb ]JE 9.2 内部透过率 204 1Wz5Iv#Ez 9.3 内部透射率数据 205 0|FQIhVuY 9.4 实例 206 6bUcrw/#
p 9.5 实例2 210 NQ,2pM<*- 9.6 圆锥和带宽计算 212 #fxdZm, 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 EkEQFd 5g 10 光学薄膜的颜色 216 bqRO-\vO 10.1 导言 216 (w?W=guHu 10.2 色彩 216 )gNVJ 10.3 主波长和纯度 220 V0y_c^x 10.4 色相和纯度 221 2Y%E.){ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Hf9F:yH 10.6 色差 226 z}2 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 D>K=D" 10.8 颜色渲染指数 234 qIk(ei 10.9 色差计算 235 [wcp2g3Px 10.10 参考文献 236 p~dj-w 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Y{
w9D`} 11.1 短脉冲 238 PRN%4G 11.2 群速度 239 WR}<^ax 11.3 群速度色散 241 W"1=K]B 11.4 啁啾(chirped) 245 >{=~''d,w 11.5 光学薄膜—相变 245 K b
z|h,< 11.6 群延迟和延迟色散 246 m=%yZ2F; 11.7 色度色散 246 8C<%Y7)/ 11.8 色散补偿 249 M$2lK^2L 11.9 空间光线偏移 256
!}L
cJ 11.10 参考文献 258 Fy^MI*}BZ 12 公差与误差 260 t#=FFQOt 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]Yt,|CPe2 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?xtP\~ 12.2.1 误差工具 267 |%fM*F^7/ 12.2.2 灵敏度工具 271 DTCOhUIV 12.2.2.1 独立灵敏度 271 <[tU.nh 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9^^:Y3j 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 hmJa1fw= 12.3 参考文献 276 9l}G{u9a 13 Runsheet 与Simulator 277 %Q|Hvjk=E 13.1 原理介绍 277 [u7i)fn5? 13.2 截止滤光片设计 277 &U
yQ<O> 14 光学常数提取 289 $J]o\~Z J 14.1 介绍 289 Cm#[$T@C 14.2 电介质薄膜 289 "M=1Eb$6= 14.3 n 和k 的提取工具 295 Dh .<&ri
14.4 基底的参数提取 302 Ypw:Vp 14.5 金属的参数提取 306 $mF9os- 14.6 不正确的模型 306 VZr AZV^c 14.7 参考文献 311 /t_AiM,( 15 反演工程 313 "i;" 15.1 随机性和系统性 313 $
1v'CT 15.2 常见的系统性问题 314 q 1+{MPJ 15.3 单层膜 314 ![{0Yw
D 15.4 多层膜 314 <6!/B[!O= 15.5 含义 319 ^"EK:|Y4%K 15.6 反演工程实例 319 #~6au6LMC 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 SJ8|~,vL 15.6.2 反演工程提取折射率 327 wU/BRz8I 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7^DN8g"&\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 2q%vd=T 16.2 应力工具 335 br4 %(w(d 16.3 均匀性误差 339 &\AW}xp 16.3.1 圆锥工具 339 ,=`iQl3(y/ 16.3.2 波前问题 341 wak'L5GQE 16.4 参考文献 343 P6u%-# 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 zAO|{m<A2 17.1 引言 345 aYcc2N%C 17.2 操作数 345 GJn ~x 18 如何在Function中编写脚本 351 p]J0A ^VV 18.1 简介 351 2G)q?_Q4S 18.2 什么是脚本? 351 #iP5@:!Wm~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 +X!QH/ 8 18.4 基础 352 6Wc'5t3 18.4.1 Classes(类别) 352 n@y*~sG] 18.4.2 对象 352 7aJ:kumDZ 18.4.3 信息(Messages) 352 31~Rs?~f( 18.4.4 属性 352 0i/!nke. 18.4.5 方法 353 [K"&1h<> 18.4.6 变量声明 353 2t`d.s= 18.5 创建对象 354 ) (l=_[1Z5 18.5.1 创建对象函数 355 d @>1m:p 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 U$ 22 r b 18.5.3 丢弃对象 356 !r`/vQ# 18.5.4 总结 356 P2sM3C 18.6 脚本中的表格 357 dn:/8~B"X 18.6.1 方法1 357 {}N=pL8MS 18.6.2 方法2 357 <,I]=+A 18.7 2D Plots in Scripts 358 T {zz3@2? 18.8 3D Plots in Scripts 359 b0
y*} 18.9 注释 360
A!^gF~ 5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 s.XLC43Rs 18.11 一个更高级的脚本 362 @]X5g8h 18.12 <esc>键 364 _p\O!y 18.13 包含文件 365 P%Tffsl
18.14 脚本被优化调用 366 (5Sv$Xt 18.15 脚本中的对话框 368 q,*([yX 18.15.1 介绍 368 U$^ $7g 3 18.15.2 消息框-MsgBox 368 _e94 18.15.3 输入框函数 370 sL\W6ej 18.15.4 自定义对话框 371 @t<KS& 18.15.5 对话框编辑器 371 B),Z*lpC 18.15.6 控制对话框 377
+z?SKc 18.15.7 更高级的对话框 380 OzS/J;[PO[ 18.16 Types语句 384 %
n~
'UA 18.17 打开文件 385 .fD%*- 18.18 Bags 387 ?`U=Ps 18.13 进一步研究 388 W^N|+$g>H 19 vStack 389 .Fm@OQr 19.1 vStack基本原理 389 =w2_1F" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 EN{o3@ O' 19.3 五棱镜 393 !\/J|~XZ 19.4 光束距离 396 ;eT+Ly|{ 19.5 误差 399 m$}Jw< |