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s$;v )w$ 内容简介 J7H1<\=cJb Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8Vx'sJ>r4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 B^
h!F8DC 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 W$W7U|Z9y+ fg2}~02n 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Xs`/q}R 目录 oKUJB.PF Preface 1 01J.XfCd6 内容简介 2 d 9|u~3 目录 i /T?['#:r-) 1 引言 1 <M=K!k 2 光学薄膜基础 2 BN=,>-O% 2.1 一般规则 2 |b@-1 2.2 正交入射规则 3 2neiUNT 2.3 斜入射规则 6 C..O_Zn{g 2.4 精确计算 7 KQk;:1hW 2.5 相干性 8 F[lHG,g- 2.6 参考文献 10 +ad 2 3 Essential Macleod的快速预览 10 W\"cp[b 4 Essential Macleod的特点 32 p8Pvctc 4.1 容量和局限性 33 WVVqH_ 4.2 程序在哪里? 33 5%9&
7 4.3 数据文件 35 0F"xU1z, 4.4 设计规则 35 ^vzNs>eJ 4.5 材料数据库和资料库 37 d(tq;2- 4.5.1材料损失 38 3E#acnqn* 4.5.1材料数据库和导入材料 39 GB0] |z5 4.5.2 材料库 41 a 3HS!/ 4.5.3导出材料数据 43 B|8(}Ciqx 4.6 常用单位 43 J4<- C\=4 4.7 插值和外推法 46 1\1o65en 4.8 材料数据的平滑 50 (t <Um
Vd 4.9 更多光学常数模型 54 KjLj 4.10 文档的一般编辑规则 55 %P?W^mI 4.11 撤销和重做 56 %FwLFo^v 4.12 设计文档 57 -" DI,o 4.10.1 公式 58 hHdC/mR
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 E|No$QO) 4.10.3 沉积密度 59 +s`n]1HC 4.10.4 平行和楔形介质 60 $
_ gMJ\{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ruoiG?:T 4.10.4 性能 61 UXd\Q'' 4.10.5 保存设计和性能 64 aFLm, 4.10.6 默认设计 64 419t"1b 4.11 图表 64
djk 4.11.1 合并曲线图 67 2rA`y8g(L 4.11.2 自适应绘制 68 c1c0b|B!U 4.11.3 动态绘图 68 `jP6;i 4.11.4 3D绘图 69 !d ZHG
R 4.12 导入和导出 73 *-2u0 %
4.12.1 剪贴板 73 K%S k{' 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 T\OLysc 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :z.<||T 4.13 背景 77 C6GYhG] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /q8n_NR 4.15 生成Rugate 84 2Ddrxc>48 4.16 参考文献 91 srUpG&Bcx
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 <#:"vnm$j 5.1 Jobs 92 k)4
5.2 创建一个新Job(工作) 93 qUCiB} 5.3 输入材料 94 <MY_{o8d 5.4 设计数据文件夹 95 pmfyvkLS 5.5 默认设计 95 .a$][Jny 6 细化和合成 97 t0/fF'GZD 6.1 优化介绍 97 .x}ImI 6.2 细化 (Refinement) 98
BVG 3 T 6.3 合成 (Synthesis) 100 !IP[C?(nB 6.4 目标和评价函数 101 9v^MZ^Y{ 6.4.1 目标输入 102 NX$$4<A1 6.4.2 目标 103 8He^j5 6.4.3 特殊的评价函数 104 ]U]{5AA6 6.5 层锁定和连接 104 &FGz53fd4 6.6 细化技术 104 7)~/`w)P 6.6.1 单纯形 105 lv,<[Hw1 6.6.1.1 单纯形参数 106 &AC-?R|Dp 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 an.)2*u 6.6.2.1 Optimac参数 108 "#(]{MY 6.6.3 模拟退火算法 109 U1dz:OG> 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Z|E( !"zE9 6.6.4 共轭梯度 111 BB9Z?} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 B\9ymhx;g% 6.6.5 拟牛顿法 112 s(F^P 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 8xlj:5;(w 6.6.6 针合成 113 ?$9C[Kw` 6.6.6.1 针合成参数 114 LDO@$jg 6.6.7 差分进化 114 JQ!D8Ut 6.6.8非局部细化 115 s\_
,aI 6.6.8.1非局部细化参数 115 R:zjEhH) 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Q']:k}y 6.7.1 细化 116 zS]Yd9;X1 6.7.2 合成 117 OE WIP 6.8 参考文献 117 5{VrzzOK} 7 导纳图及其他工具 118 az\;D\\ 7.1 简介 118 #NwlKZ- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 U_Id6J]8 7.2.1 四分之一波长规则 119 [[ HXOPaV 7.2.2 导纳图 120 ^<7)w2ns 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 >PfYHO 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $wAVM/u& 7.5 斜入射导纳图 141 Jy{A1i@4~s 7.6 对称周期 141 a'rN&*P 7.7 参考文献 142 | \ C{R 8 典型的镀膜实例 143 j?#S M!f 8.1 单层抗反射薄膜 145 &$|k<{j[<f 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 =2#
C{u. 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 0O|T\E8e 8.4 W-膜层 148 Z'hW;^e%_z 8.5 V-膜层 149 ^7V9\Q9 8.6 V-膜层高折射基底 150 hBOI:4u[ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {C[<7ruF 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 XQ.JzzY$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 b>Iqk 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 0l!@bj 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 \@3i=! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 pu=Q;E_f[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 RV.*_FG 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 -%NT)o 8.15十五层宽带抗反射膜 159 xLP yV&j- 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;q59Cr 75 8.17 1/4波长堆栈 162 Ay22-/C|@ 8.18 陷波滤波器 163 W1i Kn 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 $*{PUj 8.20 褶皱 165 /)e&4.6 8.21 消偏振分光器1 169 ~W_m<#K( 8.22 消偏振分光器2 171 @I_A\ U{ 8.23 消偏振立体分光器 172 2(Vm0E 8.24 消偏振截止滤光片 173 ; P&Ka 8.25 立体偏振分束器1 174 y/'2WO[ 8.26 立方偏振分束器2 177 0,{Dw9W: 8.27 相位延迟器 178 HFB2ep7N 8.28 红外截止器 179 Zm4IN3FGLv 8.29 21层长波带通滤波器 180 ?S36)oZzg 8.30 49层长波带通滤波器 181 gQCkoQi:j 8.31 55层短波带通滤波器 182 i\XOk! 8.32 47 红外截止器 183 uL1e? 8.33 宽带通滤波器 184 3W5|Y@0 8.34 诱导透射滤波器 186 pdngM8n 8.35 诱导透射滤波器2 188 b(&2/|hd 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 o5-oQ_j 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 V#'sH 8.35 增益平坦滤波器 193 &>ii2% 4 8.38 啁啾反射镜 1 196 (>%Ddj6_> 8.39 啁啾反射镜2 198 LsS/Sk 8.40 啁啾反射镜3 199 kVCSFF* 8.41 带保护层的铝膜层 200 uI}S9 8.42 增加铝反射率膜 201 z;xp1t@ 8.43 参考文献 202 I QS| 9 多层膜 204 f
nX!wN 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 7
g8SK 9.2 内部透过率 204 7%c9 nY 9.3 内部透射率数据 205 U"v(9m@
9.4 实例 206 k3da*vwE 9.5 实例2 210 _>9|"seR 9.6 圆锥和带宽计算 212 a]>gDDF 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 3?|Fn8dQR. 10 光学薄膜的颜色 216 4L 85~l 10.1 导言 216 q&B'peT 10.2 色彩 216 Zrr3='^s 10.3 主波长和纯度 220 ZT5t~5W 10.4 色相和纯度 221 u-=S_e 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 G|Yw
a= 10.6 色差 226 L= O,OS+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 v7&e,:r2E@ 10.8 颜色渲染指数 234 tKjPLi71 10.9 色差计算 235 3;zJ\a.+ 10.10 参考文献 236 -v'7;L0K 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 mL?9AxO 11.1 短脉冲 238 >_!pg<{, 11.2 群速度 239 ClCb.Ozj4 11.3 群速度色散 241 @NWjYHM[` 11.4 啁啾(chirped) 245 E ~<SEA 11.5 光学薄膜—相变 245 YAv-5 11.6 群延迟和延迟色散 246 s#/JMvQ# 11.7 色度色散 246 QXY-?0RO# 11.8 色散补偿 249 ^o+2:G5z} 11.9 空间光线偏移 256 q(M[ij 11.10 参考文献 258 pk%I98! Jy 12 公差与误差 260 5"u-oE& 12.1 蒙特卡罗模型 260 =QHW>v 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8 k9(iS 12.2.1 误差工具 267 IAf,TKfe 12.2.2 灵敏度工具 271 ^hv 12.2.2.1 独立灵敏度 271 DmEmv/N= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Oh9wBV 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 6a[D]46y,2 12.3 参考文献 276 ,> A9OTSN\ 13 Runsheet 与Simulator 277 ;{
u{FL 13.1 原理介绍 277 "IA[;+_" 13.2 截止滤光片设计 277 !MSz%QcO 14 光学常数提取 289 PX65Z|~>_ 14.1 介绍 289 <6Q]FH!6 14.2 电介质薄膜 289 O`~G'l&@T 14.3 n 和k 的提取工具 295 PwU}<Hrl] 14.4 基底的参数提取 302 r483"k(7 14.5 金属的参数提取 306 y:WRpCZoa 14.6 不正确的模型 306 6^F"np{w 14.7 参考文献 311 JP)/
O! 15 反演工程 313 #Z;ziM: 15.1 随机性和系统性 313 v%n'_2J =^ 15.2 常见的系统性问题 314 s\_-` [B0 15.3 单层膜 314 $,otW2:) 15.4 多层膜 314 -l8n0P1+ 15.5 含义 319 5\8Ig f> 15.6 反演工程实例 319 UeV2`zIg` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zYO+;;*@ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 qUA&XUJ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Vh$~]>t:f 16.1 光学性质的热致偏移 329 BoYWx^VHx^ 16.2 应力工具 335 M >P-0IC 16.3 均匀性误差 339 E@^`B9;Q7 16.3.1 圆锥工具 339 ;Xg6'yxJ 16.3.2 波前问题 341 KT~J@];Fb 16.4 参考文献 343 kU$P?RD 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5<w"iqZ\?N 17.1 引言 345 A\ds0dUE 17.2 操作数 345 "(5A5> 18 如何在Function中编写脚本 351 fqZqPcT0 18.1 简介 351 S1(. AI~ 18.2 什么是脚本? 351 \!j{&cJ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o)F^0t 18.4 基础 352 |C?<!6.QmV 18.4.1 Classes(类别) 352 RKFj6u 18.4.2 对象 352 ~j}di^<{ 18.4.3 信息(Messages) 352 c) Zid1 18.4.4 属性 352 jG)fM? 18.4.5 方法 353 u:&gp 18.4.6 变量声明 353 | V Ps5 18.5 创建对象 354 g#ubxC7t< 18.5.1 创建对象函数 355 z #c)Q 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 <\!+J\YTA 18.5.3 丢弃对象 356 Zm& X $U 18.5.4 总结 356 H8.U#% 18.6 脚本中的表格 357 +Wh0Of 18.6.1 方法1 357 |0:<Z( 18.6.2 方法2 357 D@*<p h= 18.7 2D Plots in Scripts 358 5jD2%"YUV 18.8 3D Plots in Scripts 359 s<Pk[7`* 18.9 注释 360 Bm2"} = 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 qFp }+s 18.11 一个更高级的脚本 362 r7o63] 18.12 <esc>键 364 8X!^ 2B}J 18.13 包含文件 365 KZUB{Y^) 18.14 脚本被优化调用 366 QyQ&xgS 18.15 脚本中的对话框 368 x~C%Hp*# 18.15.1 介绍 368 \72(d 18.15.2 消息框-MsgBox 368 u!?cKZw 18.15.3 输入框函数 370
hz{=@jX 18.15.4 自定义对话框 371 uq~$HXdc 18.15.5 对话框编辑器 371 &+;z`A'|8 18.15.6 控制对话框 377 +F$c_
\> 18.15.7 更高级的对话框 380 4<fKB& |