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72&xEx 内容简介 #8%Lc3n Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 `+\+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 r_-iOxt~5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c3`X19'%fM ?X]7jH<iw; 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 i=o<\{iV: 目录 PLw;9^<
Preface 1 }PK8[N
内容简介 2 3E+u)f lmB 目录 i 31
QT 1 引言 1 A>xFNem 2 光学薄膜基础 2 x
a7x
2]~- 2.1 一般规则 2 (m-(5 CaJ 2.2 正交入射规则 3 #QXB2x<* 2.3 斜入射规则 6 [9Q2/V;Uk% 2.4 精确计算 7 [wjA8d. 2.5 相干性 8 oZmni9*SD 2.6 参考文献 10 JyjS#BWi 3 Essential Macleod的快速预览 10 R% l=NHB} 4 Essential Macleod的特点 32 IyL2{5 4.1 容量和局限性 33 [L{q 4.2 程序在哪里? 33 UCa(3p^V_ 4.3 数据文件 35 U9y[b82 4.4 设计规则 35 Mf<Pms\F 4.5 材料数据库和资料库 37 R}#?A%,* 4.5.1材料损失 38 <I&X[Sqp 4.5.1材料数据库和导入材料 39 J3oH^ 4.5.2 材料库 41 -Z-|49I/mN 4.5.3导出材料数据 43 w=rh@S] 4.6 常用单位 43 2Rc#{A 4.7 插值和外推法 46 ]pzf{8% 4.8 材料数据的平滑 50 8)\ ?6C 4.9 更多光学常数模型 54 /Pxt f~$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 KWLI7fTgj$ 4.11 撤销和重做 56 lN<vu# 4.12 设计文档 57 DKPX_:: 4.10.1 公式 58 X<OwB -N 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
ry*b"SO 4.10.3 沉积密度 59 %S.
_3`A 4.10.4 平行和楔形介质 60 Z0`Bn5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 VEkv
JX. 4.10.4 性能 61 ,@;", 4.10.5 保存设计和性能 64 ,?3r-bM 4.10.6 默认设计 64 ] L"jt8E 4.11 图表 64 d!D#:l3; 4.11.1 合并曲线图 67 *_}ft-*w 4.11.2 自适应绘制 68 ;*BG{rkr 4.11.3 动态绘图 68 f1rP+l-C< 4.11.4 3D绘图 69 0B>hVaj>- 4.12 导入和导出 73 7YV}F9h4 4.12.1 剪贴板 73 [1F.
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %d c=QSL 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 etMQy6E\ 4.13 背景 77 (oBvpFP33 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Tv_KdOv8 4.15 生成Rugate 84 hbl:~O&a/ 4.16 参考文献 91 g=0`^APql 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 %c<e`P; 5.1 Jobs 92 \uQ yp*P1s 5.2 创建一个新Job(工作) 93 p9 <XaJ} 5.3 输入材料 94 zVKbM3(^ 5.4 设计数据文件夹 95 ?NOc]'<(G 5.5 默认设计 95 y'((
tBWa! 6 细化和合成 97 ><V<}&:y$( 6.1 优化介绍 97 }^+E S^~ 6.2 细化 (Refinement) 98 J: vq)G\F 6.3 合成 (Synthesis) 100 I<L 6.4 目标和评价函数 101 CBN,~wzP* 6.4.1 目标输入 102 ]$oo1ssZ1 6.4.2 目标 103 o%;R4 s, 6.4.3 特殊的评价函数 104 `|)V]< 6.5 层锁定和连接 104 &b'IYoe 6.6 细化技术 104 > r1cW7 6.6.1 单纯形 105 9AF%Y:y 6.6.1.1 单纯形参数 106 8s16yuM 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Q"7vzri 6.6.2.1 Optimac参数 108 }$iKz*nx| 6.6.3 模拟退火算法 109 Y)H~*-vGu 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ,P ~jO 6.6.4 共轭梯度 111 d0``: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 td JA? 6.6.5 拟牛顿法 112 ', ~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 UCV1 { 6.6.6 针合成 113 4zKmoYt 6.6.6.1 针合成参数 114 I!1|);li 6.6.7 差分进化 114 L|ZxB7xk 6.6.8非局部细化 115 C$WUg<kcK' 6.6.8.1非局部细化参数 115 *lyy |3z 6.7 我应该使用哪种技术? 116 6i'GM`>w 6.7.1 细化 116 yhm6% 6.7.2 合成 117 %])U ( 6.8 参考文献 117 _}+Aw{7!r 7 导纳图及其他工具 118 zW#P
~zS 7.1 简介 118 v+d}
_rCT 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 CGw, RNV 7.2.1 四分之一波长规则 119 3MX&%_wUhB 7.2.2 导纳图 120 g?B4b7II 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 StLFq6BO 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =Ot|d #_ 7.5 斜入射导纳图 141 OD[q
u 7.6 对称周期 141 D[/h7Ha 7.7 参考文献 142 RK)1@Tz7! 8 典型的镀膜实例 143 f|f)Kys%5 8.1 单层抗反射薄膜 145 =EFCd=i 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Z<D8{&AjS 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 &~=FXe0S 8.4 W-膜层 148 5tx!LGOK 8.5 V-膜层 149 ES,T[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 sU Er?TZ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Yo%ph%e 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <qGxkV
8.9 四层抗反射薄膜 153 W{Uz#o
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 E<RPMd @a 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 VOJA}$ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;n,xu0/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 w1Txz4JqB 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 iq^F?$gFk 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Ef @ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )DB\du 8.17 1/4波长堆栈 162 H^ 'As;R 8.18 陷波滤波器 163 d!{]CZ"@ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 :A7\eN5 8.20 褶皱 165 MB7`'W 8.21 消偏振分光器1 169 @*Tql:Qcd^ 8.22 消偏振分光器2 171 x52#md-Z 8.23 消偏振立体分光器 172 w)N~u% 8.24 消偏振截止滤光片 173 )Cu2xRr^` 8.25 立体偏振分束器1 174 -wa"&Q 8.26 立方偏振分束器2 177 &NKb},~ 8.27 相位延迟器 178 t)|~8xpP 8.28 红外截止器 179 "7q!u,u 8.29 21层长波带通滤波器 180 }1
,\*)5 8.30 49层长波带通滤波器 181 Upa F>,kM 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?wP/l 8.32 47 红外截止器 183 `=V p 0tPI 8.33 宽带通滤波器 184 "%}24t% 8.34 诱导透射滤波器 186 Ptm=c6H(' 8.35 诱导透射滤波器2 188 '8Cg2v5&w 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {oSdVRI 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 dBw7l} 8.35 增益平坦滤波器 193 3{)!T;W d
8.38 啁啾反射镜 1 196 fUMjLA|*I< 8.39 啁啾反射镜2 198 !\VzX 8.40 啁啾反射镜3 199 {p.^E5& 8.41 带保护层的铝膜层 200 3n,jrX75u 8.42 增加铝反射率膜 201 d.|*sZ&3p 8.43 参考文献 202 nW)?cQ
I 9 多层膜 204 ZIN1y;dJ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /!?b&N/d) 9.2 内部透过率 204 EXMW, 9.3 内部透射率数据 205 kXV;J$1 9.4 实例 206 ~R&rQJJeJ 9.5 实例2 210 7Kf 9.6 圆锥和带宽计算 212 L{&>,ww 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Y'{}L@"t 10 光学薄膜的颜色 216 I
cASzSjYX 10.1 导言 216 :i4AkBNK 10.2 色彩 216 fMIRr5 10.3 主波长和纯度 220 D]o=I1O? 10.4 色相和纯度 221 NH;e|8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0W0GSDx 10.6 色差 226 )DmydyQ' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |8pSMgN 10.8 颜色渲染指数 234 "cyRzQ6EH 10.9 色差计算 235 =+LIGHIt 10.10 参考文献 236 Llkh
kq_ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 b@c(Nv 11.1 短脉冲 238 ic5af"/(\ 11.2 群速度 239 eR4ib-nS 11.3 群速度色散 241 p>,D F9W` 11.4 啁啾(chirped) 245
W[I$([ 11.5 光学薄膜—相变 245 #|K{txC
11.6 群延迟和延迟色散 246 0C;Js\>3] 11.7 色度色散 246 el U %Z9 11.8 色散补偿 249 WMHYOJR 11.9 空间光线偏移 256 (/At+MF3E 11.10 参考文献 258 ^KdT,^6T 12 公差与误差 260 v4Wq0>o 12.1 蒙特卡罗模型 260 #]dq^B~~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 WH4rZ }Z` 12.2.1 误差工具 267 )w~1VcnJEp 12.2.2 灵敏度工具 271 6fo\z2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g zlxkv-F{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ell14Iki 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 m62Zta 12.3 参考文献 276 9 Jw,ls 13 Runsheet 与Simulator 277 >|, <9z`D 13.1 原理介绍 277 oKYa? 13.2 截止滤光片设计 277 ?%`Ph ?BZl 14 光学常数提取 289 0Ix,c( % 14.1 介绍 289 $@@ii+W}\ 14.2 电介质薄膜 289 CuK>1_Dq 14.3 n 和k 的提取工具 295 u(FOSmNkN 14.4 基底的参数提取 302 g4=C]\1 14.5 金属的参数提取 306 k>F!S`a&m 14.6 不正确的模型 306 lX%-oRQ/os 14.7 参考文献 311 wm^1Fn-- 15 反演工程 313 VXiU5n^ 15.1 随机性和系统性 313 c]Gs{V]\ 15.2 常见的系统性问题 314
T*mR9 8i 15.3 单层膜 314 |$6Ten[B# 15.4 多层膜 314 Xq
)7Im}? 15.5 含义 319 _h4]gZ 15.6 反演工程实例 319 [<5/s$,i 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 w&f>VB~,1 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ZB|s/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 A9N8Hav 16.1 光学性质的热致偏移 329 V,rR*a&p 16.2 应力工具 335 C[<{>fl) 16.3 均匀性误差 339 fPHV]8Ft| 16.3.1 圆锥工具 339 n Bd]rak' 16.3.2 波前问题 341 V dvj*I 16.4 参考文献 343 ," 5HJA4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 h^_^)P+; 17.1 引言 345 Y@:l!4DI 17.2 操作数 345 T59FRX 18 如何在Function中编写脚本 351 ppRA%mhZ 18.1 简介 351 ~Er0$+q=Y; 18.2 什么是脚本? 351 cWyf04-? 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 lwfM>%%N 18.4 基础 352 :%33m'EV} 18.4.1 Classes(类别) 352 r>! @Z2%s 18.4.2 对象 352 QnOs8%HS- 18.4.3 信息(Messages) 352 n|? sNM<J3 18.4.4 属性 352 5x|$q kI 18.4.5 方法 353 IJKdVb~ 18.4.6 变量声明 353 n:B){'S 18.5 创建对象 354 %
>a
/m.$ 18.5.1 创建对象函数 355 k>Fw2!mA^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 pGD-K41O] 18.5.3 丢弃对象 356 :Cezk D& 18.5.4 总结 356 Xs|d#WbX 18.6 脚本中的表格 357 :R
+BC2x 18.6.1 方法1 357 g]JRAM 18.6.2 方法2 357 )7!,_r 18.7 2D Plots in Scripts 358 !~RK2d 18.8 3D Plots in Scripts 359 v FQ]>nX 18.9 注释 360 E+EcXf 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Nt_sV7zzb 18.11 一个更高级的脚本 362 KPDJ$,: 18.12 <esc>键 364 @aN~97
H\ 18.13 包含文件 365 cAGM|% 18.14 脚本被优化调用 366 S&-F(#CF^ 18.15 脚本中的对话框 368 #g@4c3um| 18.15.1 介绍 368 o3\^9-jmp 18.15.2 消息框-MsgBox 368 |A,.mOT 18.15.3 输入框函数 370 cUP1Uolvn 18.15.4 自定义对话框 371 \!jz1`]&{ 18.15.5 对话框编辑器 371 -hfkF+=U' 18.15.6 控制对话框 377 !-n*]C 18.15.7 更高级的对话框 380 <+r~?X_ 18.16 Types语句 384 A@?-"=h} 18.17 打开文件 385 rN7JJHV 18.18 Bags 387 'AWWdz 18.13 进一步研究 388 ~|, "w90 19 vStack 389 v!DK.PZbi 19.1 vStack基本原理 389 =bP<cC=3b 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 A' uaR? 19.3 五棱镜 393 mJd8?d 19.4 光束距离 396 THX% z
` 19.5 误差 399 5M9o(Z\AF 19.6 二向分色棱镜 399 >EA\KrjW 19.7 偏振泄漏 404 ZwY mR= 19.8 波前误差—相位 405 Avyer/{ 19.9 其它计算参数 405 q&3(yhx 20 报表生成器 406 W5Jy"]^I 20.1 入门 406 zsd<0^
p\{ 20.2 指令(Instructions) 406 i9rv8"0> 20.3 页面布局指令 406 ;5$ GJu( 20.4 常见的参数图和三维图 407 |;(P+Q4lB 20.5 表格中的常见参数 408 eHKb`K7C. 20.6 迭代指令 408 /E{tNd^S 20.7 报表模版 408 )mI>2<Z! 20.8 开始设计一个报表模版 409 IY[qWs 21 一个新的project 413 v8'XchJ 21.1 创建一个新Job 414 hyJ&~i0P{J 21.2 默认设计 415 (RrC<5" 21.3 薄膜设计 416 K0o${%'@7 21.4 误差的灵敏度计算 420 m+7%]$ 21.5 显色指数计算 422 )+Z.J]$O- 21.6 电场分布 424 @c"s6h& 后记 426 {*g{9`
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