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U~!97,|ic 内容简介 oI/@w Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 YtxBkKiJ2V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 h9&<-k 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %[&cy' ^ D?;K8a-l 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Uw<Lt"ls. 目录 >LwAG:Ud Preface 1 -L</,>p 内容简介 2 /$]dVvhX% 目录 i ir3iW*5k 1 引言 1 a}El!7RO0 2 光学薄膜基础 2 j#<#o:If 2.1 一般规则 2 K\,&wU 2.2 正交入射规则 3 ] l}8 2.3 斜入射规则 6 SDcD(G 2.4 精确计算 7 %pe7[/ 2.5 相干性 8 G2
xYa$&][ 2.6 参考文献 10 d cYUw] 3 Essential Macleod的快速预览 10 RkP7}ZA; 4 Essential Macleod的特点 32 t.485L% 4.1 容量和局限性 33 d\'M ~VQ 4.2 程序在哪里? 33 0JKbp*H 4.3 数据文件 35 ]%"Z[R 4.4 设计规则 35 %~ZOQ%c1 4.5 材料数据库和资料库 37 W5EB+b49KM 4.5.1材料损失 38 xBR2tDi% 4.5.1材料数据库和导入材料 39 8!S="_ 4.5.2 材料库 41 Y&]pC 4.5.3导出材料数据 43 %fK"g2: 4.6 常用单位 43 'hg, W] 4.7 插值和外推法 46 ?v8B;="#w 4.8 材料数据的平滑 50 YmNBtGhT 4.9 更多光学常数模型 54 }eULcgRG 4.10 文档的一般编辑规则 55 xAon:58m{ 4.11 撤销和重做 56 T1\.~]-msb 4.12 设计文档 57 Bn-%).-ED 4.10.1 公式 58 }7wQFKME 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !@p@u;djJ 4.10.3 沉积密度 59 @1^iWM j 4.10.4 平行和楔形介质 60 /'!F \ kz 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &*T57tE 4.10.4 性能 61 xa5I{<<U 4.10.5 保存设计和性能 64 AIN_.=]"? 4.10.6 默认设计 64 (B7M*e 4.11 图表 64 +8mfq\Y1 4.11.1 合并曲线图 67 7?Xfge%\ 4.11.2 自适应绘制 68 |JnJ=@-y 4.11.3 动态绘图 68 & i)p^AmM 4.11.4 3D绘图 69 m:ITyQ+ 4.12 导入和导出 73 rnEWTk7& 4.12.1 剪贴板 73 | t3_E 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 wvBJ?t, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 C4#'`8E 4.13 背景 77 <+
>y GPp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 DLJu%5F 4.15 生成Rugate 84 n)^B0DnIk 4.16 参考文献 91 MJ4+|riB 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;_1D-Mf 5.1 Jobs 92 ,^`+mP 5.2 创建一个新Job(工作) 93 f.,S-1D]h 5.3 输入材料 94 GwxfnCKi9 5.4 设计数据文件夹 95 KZsSTB6J 5.5 默认设计 95 !C&}e8M|eX 6 细化和合成 97 1g^N7YF 6.1 优化介绍 97 <Mxy&9}ic 6.2 细化 (Refinement) 98 Y{f;qbEQH' 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]@C&Q,~q 6.4 目标和评价函数 101
s@K|zOx 6.4.1 目标输入 102 '<4/Md[ 6.4.2 目标 103 ]M-j_("& 6.4.3 特殊的评价函数 104 -]A,SBs 6.5 层锁定和连接 104 F3;UH%L1 6.6 细化技术 104 _~-VH&g0R 6.6.1 单纯形 105 m7cp0+Peo 6.6.1.1 单纯形参数 106 m80Q Mosp 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 jaFBz&P/# 6.6.2.1 Optimac参数 108 u01x}Ff~6 6.6.3 模拟退火算法 109 `G@]\)-! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ?2aglj*"v, 6.6.4 共轭梯度 111 _ ?xORzO 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [?.k 8;k 6.6.5 拟牛顿法 112 65)/|j+ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 !J3g, p* 6.6.6 针合成 113 3tA6r 6.6.6.1 针合成参数 114 :BNqr[=b 6.6.7 差分进化 114 Nd%,V 6.6.8非局部细化 115 7??+8T#n* 6.6.8.1非局部细化参数 115 >E^sZmY[f- 6.7 我应该使用哪种技术? 116 s1?N&t8c 6.7.1 细化 116 mXAX%M U 6.7.2 合成 117 PI)lJ\ 6.8 参考文献 117 q~T*R<S 7 导纳图及其他工具 118 K\,)9:`t 7.1 简介 118 _RST[B.u6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 69p>?zn 7.2.1 四分之一波长规则 119 VK[^v; 7.2.2 导纳图 120 [K9l>O 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `!K(P- yB? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /hQTV!\u 7.5 斜入射导纳图 141 e)zE*9 7.6 对称周期 141 p?>(y 7.7 参考文献 142 @_J~zo 8 典型的镀膜实例 143 O>IY<]x>L 8.1 单层抗反射薄膜 145 bLhTgss]( 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 2ed$5.D 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 AD_")_B|i 8.4 W-膜层 148 nxS|] 8.5 V-膜层 149 AVF(YD<U 8.6 V-膜层高折射基底 150 ; {iX_% 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8LB,8*L^ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 *GH`u*C_ 8.9 四层抗反射薄膜 153 !9_HZ(W& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 7;2j^qPr 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 b8r?Dd"T8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 |D~mLs;& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 bC{}&a 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "3(""0Q 8.15十五层宽带抗反射膜 159 KLBU8% 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 iVTC"v 8.17 1/4波长堆栈 162 NjrF":'Y 8.18 陷波滤波器 163 PzMJ^H{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~:'tp28? 8.20 褶皱 165 .!e):&(8 8.21 消偏振分光器1 169 iyKAw
8.22 消偏振分光器2 171 Ye% e! 8.23 消偏振立体分光器 172 Tty_P, 8.24 消偏振截止滤光片 173 X ^8@T 8.25 立体偏振分束器1 174
c@7d4Jz 8.26 立方偏振分束器2 177 NvW`x 8.27 相位延迟器 178 _2xNio& 8.28 红外截止器 179 ,R#pQ
4 8.29 21层长波带通滤波器 180 YcOPqvQ 8.30 49层长波带通滤波器 181 j)xRzImu 8.31 55层短波带通滤波器 182 rofj&{w 8.32 47 红外截止器 183 I$7|?8 8.33 宽带通滤波器 184 #s>AiD 8.34 诱导透射滤波器 186 e=Ko4Ao2y 8.35 诱导透射滤波器2 188 JZI)jIh 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
U*(/eEtd- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9:
N[9;(' 8.35 增益平坦滤波器 193 Q6)Wh6Cm 8.38 啁啾反射镜 1 196 BbsgZ4 8.39 啁啾反射镜2 198 o@:${>jw 8.40 啁啾反射镜3 199 10R#}~D 8.41 带保护层的铝膜层 200 <+Eu.K& 8.42 增加铝反射率膜 201 -<H\VT%98 8.43 参考文献 202 ~tx|C3A`d 9 多层膜 204 Oy
EOb> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 \kWL:uU 9.2 内部透过率 204 K)b@,/ 5 9.3 内部透射率数据 205 \A7{kI 9.4 实例 206 W>TG!R 5 9.5 实例2 210 6Cw+ 9.6 圆锥和带宽计算 212 fE`p 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 !z?& 10 光学薄膜的颜色 216 }?G([s56 10.1 导言 216 sjGy=d{:oL 10.2 色彩 216 >x?x3 #SX 10.3 主波长和纯度 220
C 2t] 10.4 色相和纯度 221 la4
#2>#WZ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 cD.afy 10.6 色差 226 )|3BS` 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 wnUuoX( 10.8 颜色渲染指数 234 tV?- 10.9 色差计算 235 )R6h
1 10.10 参考文献 236 abMB- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 +pUG6.j% 11.1 短脉冲 238 ]31>0yj[Q 11.2 群速度 239 $40G$w 11.3 群速度色散 241 P* X^)R 11.4 啁啾(chirped) 245 ^^,cnDlm 11.5 光学薄膜—相变 245 d?:KEi-<7 11.6 群延迟和延迟色散 246 #qLsAw--Q 11.7 色度色散 246 'Em3;`/C*+ 11.8 色散补偿 249 Me 5Xd| 11.9 空间光线偏移 256 f$>KTb({B 11.10 参考文献 258 R7\T.;8+ 12 公差与误差 260 A1Ru&fd! 12.1 蒙特卡罗模型 260 *^y,Gg/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 B]2m(0Y>>v 12.2.1 误差工具 267 <+y%k~(" 12.2.2 灵敏度工具 271 ycq+C8J+Ep 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !$u:[T_8 12.2.2.2 灵敏度分布 275 0oK_u Y
4g 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 E)3Ah! 12.3 参考文献 276 :$6mS[@| 13 Runsheet 与Simulator 277 :+_uyp2V 13.1 原理介绍 277 Bnp\G h 13.2 截止滤光片设计 277 #| pn,/ 14 光学常数提取 289 Ztl?*zL 14.1 介绍 289 Mz7qC3Z 14.2 电介质薄膜 289 p40;@gUug 14.3 n 和k 的提取工具 295 'VpzB
s# 14.4 基底的参数提取 302 g^l~AR 14.5 金属的参数提取 306 FEH+ PKSc 14.6 不正确的模型 306 NufRd/q 14.7 参考文献 311 r01u3! 15 反演工程 313 ?B+]Ex(\B, 15.1 随机性和系统性 313 ^HhV?Iqg 15.2 常见的系统性问题 314 Sw.k,p*r 15.3 单层膜 314 mzf~qV^T 15.4 多层膜 314 &w!(.uDO 15.5 含义 319 _Z>ny& 15.6 反演工程实例 319 >P+oNY 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 M!YGv
15.6.2 反演工程提取折射率 327 A$g'/QM 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7}1Z7"? 16.1 光学性质的热致偏移 329 R]&lVXyH 16.2 应力工具 335 mxnu\@}( 16.3 均匀性误差 339 Spu>
ac 16.3.1 圆锥工具 339 enGZb& 16.3.2 波前问题 341 IG.!M@_ 16.4 参考文献 343 .],:pL9d 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 -zg 6^f_pW 17.1 引言 345 c(b2f-0!4 17.2 操作数 345 z6*r<>Bf+b 18 如何在Function中编写脚本 351 *(s0X[- 18.1 简介 351 k4d;4D? 18.2 什么是脚本? 351 wP7
E8' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 )[ QT?; 18.4 基础 352 DH7]TRCMZ) 18.4.1 Classes(类别) 352 {[4.<|26 18.4.2 对象 352 "!Qi$ ] 18.4.3 信息(Messages) 352 j.!5&^;u4 18.4.4 属性 352 e?7y$H- 18.4.5 方法 353 C);3GPp 18.4.6 变量声明 353 j[Jwa*GQP 18.5 创建对象 354 &^`[$LtYd 18.5.1 创建对象函数 355 H:nO\] 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 H|S hi / 18.5.3 丢弃对象 356 !K-qoBqKM 18.5.4 总结 356
2g~W})e 18.6 脚本中的表格 357 5yyc0UG 18.6.1 方法1 357 5)Z:J 18.6.2 方法2 357 q[Tl#*P?y 18.7 2D Plots in Scripts 358 ]u^ybW" 18.8 3D Plots in Scripts 359 l)e6*sDZ, 18.9 注释 360 |No9eZ8>. 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9?q ^yy 18.11 一个更高级的脚本 362 )(OGo`4Qz 18.12 <esc>键 364 HZ2f|Y|T 18.13 包含文件 365 riF-9
%i 18.14 脚本被优化调用 366 p"7]zq]' 18.15 脚本中的对话框 368 xS(VgP&YGO 18.15.1 介绍 368 Zt&
7p 18.15.2 消息框-MsgBox 368 f%3MDI 18.15.3 输入框函数 370 `,O"^zR)z 18.15.4 自定义对话框 371 !UR3`Xk 18.15.5 对话框编辑器 371 s",G
w]8 18.15.6 控制对话框 377 nq,:UYNJ 18.15.7 更高级的对话框 380 Rh!m1Q(- 18.16 Types语句 384 *0vRVlYf 18.17 打开文件 385 6"[J[7up 18.18 Bags 387 FJqg, 18.13 进一步研究 388 Jz4;7/ 19 vStack 389 /U,(u9bq 19.1 vStack基本原理 389 6B]i}nFH{+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 beBv|kI4 19.3 五棱镜 393 >(_2'c*[w 19.4 光束距离 396
n!sOKw 19.5 误差 399 /oZvm 19.6 二向分色棱镜 399 g##<d(e!} 19.7 偏振泄漏 404 JC`;hY 19.8 波前误差—相位 405 ~1XC5.*-
19.9 其它计算参数 405 #F6<N]i 20 报表生成器 406 .AQTUd(_ 20.1 入门 406 mG1!~}[ 20.2 指令(Instructions) 406 i1X!G|Awfv 20.3 页面布局指令 406 BUdO:fr 20.4 常见的参数图和三维图 407 :`K2?;DC8 20.5 表格中的常见参数 408 vM-kk:n7f 20.6 迭代指令 408 belBdxa{" 20.7 报表模版 408 Q@|"xKa 20.8 开始设计一个报表模版 409 7Le-f 21 一个新的project 413 d04gmc&* 21.1 创建一个新Job 414 {3SK|J` 21.2 默认设计 415 m^zD'] 21.3 薄膜设计 416 8#R%jjr%T 21.4 误差的灵敏度计算 420 t<"`gM^| 21.5 显色指数计算 422 MR: H3 21.6 电场分布 424 txm6[Io 后记 426 H]*B5Jv~
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