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4A_[PM 内容简介 PX<J&rx Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )XYv}U 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 QNpqdwu%h 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (=* cK-3 B2C$N0R# 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 =Ur}~w&H8 目录 /f|X(docI Preface 1 .6`9H 1 内容简介 2 joiL{ 目录 i d`
jjGEj 1 引言 1 0@H|n^Md# 2 光学薄膜基础 2 L#+q]j+ 2.1 一般规则 2 SjwyLc 2.2 正交入射规则 3 LIZRoG8 2.3 斜入射规则 6 ?TU }~} 2.4 精确计算 7 `C$:Yf]%nG 2.5 相干性 8 L$IQuy 2.6 参考文献 10 Q\
U:~g3 3 Essential Macleod的快速预览 10 E|6VX4`+ 4 Essential Macleod的特点 32 gx\&_)w N 4.1 容量和局限性 33 W9D86]3Y 4.2 程序在哪里? 33 r=X}%~_8X 4.3 数据文件 35 HN&Z2v 4.4 设计规则 35 2JJ"O|Ibz 4.5 材料数据库和资料库 37 mR}6r2O2\Q 4.5.1材料损失 38 li0i" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &?*V0luP) 4.5.2 材料库 41 c@/(B:@ 4.5.3导出材料数据 43 3b+d"`Y^S 4.6 常用单位 43 Hhari!RXC 4.7 插值和外推法 46 dt`{!lts' 4.8 材料数据的平滑 50 ^(|vsFzn 4.9 更多光学常数模型 54 m0c P ( 4.10 文档的一般编辑规则 55 W!?7D0q 4.11 撤销和重做 56 L:1^Kxg 4.12 设计文档 57 Y6Lf@}2(i 4.10.1 公式 58 XVvK2( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 RV5n,J 4.10.3 沉积密度 59 Cb9;QzBVA# 4.10.4 平行和楔形介质 60 2Fq<*pxAY
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4*e0 hWp 4.10.4 性能 61 D (h18 4.10.5 保存设计和性能 64 Bc6|n :;u 4.10.6 默认设计 64 V{^!BBQ
4.11 图表 64 7tcPwCc{ 4.11.1 合并曲线图 67 Lz:(6`S 4.11.2 自适应绘制 68 ~Uxsn@nLr 4.11.3 动态绘图 68 dVsE^jsL 4.11.4 3D绘图 69 >|twyb 4.12 导入和导出 73 5lm<% 4.12.1 剪贴板 73 .8y3O] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 |b|&XB_<]Z 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 TJ1+g
\ 4.13 背景 77 ^sVX)% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _c,'>aH= 4.15 生成Rugate 84 o9F/y=.r= 4.16 参考文献 91 [BT/~6ovrZ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /ew
Ukc8, 5.1 Jobs 92 XI9js{p 5.2 创建一个新Job(工作) 93 _ B5gR 5.3 输入材料 94 *{yK
8 5.4 设计数据文件夹 95 Up,vD)tG 5.5 默认设计 95 IaT$6\> 6 细化和合成 97 <j5NFJ9 6.1 优化介绍 97 jSwf*u 6.2 细化 (Refinement) 98 lhw ,J]0* 6.3 合成 (Synthesis) 100 4( 1(e 6.4 目标和评价函数 101 Xt#4/>dlR 6.4.1 目标输入 102 F$hYKT2| 6.4.2 目标 103 yb/%?DNQT 6.4.3 特殊的评价函数 104 t| 'N+-T3 6.5 层锁定和连接 104 %"af748!+D 6.6 细化技术 104 82]vkU 6.6.1 单纯形 105 opJMS6%r 6.6.1.1 单纯形参数 106 y^}6!>Ou: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 4=Krq6{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 TH$N5w% 6.6.3 模拟退火算法 109 7?kIVP1r 6.6.3.1 模拟退火参数 109 dVFf. 6.6.4 共轭梯度 111 aOiR l, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 )JNSZB 6.6.5 拟牛顿法 112 "B8"_D& 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ,iv|Pq$! 6.6.6 针合成 113 6+KHQFb&N 6.6.6.1 针合成参数 114 Hx\H $Y 6.6.7 差分进化 114 ~I799Xi 6.6.8非局部细化 115 e&qh9mlE 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,i,q!M{- 6.7 我应该使用哪种技术? 116 &ZX{R#[L 6.7.1 细化 116 rn=m\Gv
e 6.7.2 合成 117 [g Z"a* 6.8 参考文献 117 d R]Q$CJ 7 导纳图及其他工具 118 mBG=jI "xh 7.1 简介 118 3neIR@W 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 qg}O/K 7.2.1 四分之一波长规则 119 #~.w&~: 7.2.2 导纳图 120 t6A:ZmG_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
u*#ZXW 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 " $ew~;z 7.5 斜入射导纳图 141 f}@jFhr'< 7.6 对称周期 141 P b]3&!a 7.7 参考文献 142 \0H's{uek 8 典型的镀膜实例 143 9gEssTkts 8.1 单层抗反射薄膜 145 {s_+?<l 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 MiRdX#+Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 l$jxLZ 8.4 W-膜层 148 FA}_(Hf.[ 8.5 V-膜层 149 ?x0pe4^If 8.6 V-膜层高折射基底 150 Z KOXI%~Mc 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "luR9l,RRE 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Cc, `}SP 8.9 四层抗反射薄膜 153 /g$G_} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 CCX8>09 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 j$TwL; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 v,\R,{0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @j4U^"_QB 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 = 07]z@s 8.15十五层宽带抗反射膜 159 XbZ*& 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 k~|-gfFP 8.17 1/4波长堆栈 162 Izv+i*(dl 8.18 陷波滤波器 163 DS%\SrC 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 2*w:tT8+X 8.20 褶皱 165 }h}<!s 8.21 消偏振分光器1 169 X K5<Tg 8.22 消偏振分光器2 171 yj$TPe_BW 8.23 消偏振立体分光器 172 KPpHwcYxT 8.24 消偏振截止滤光片 173 [M%9_CfZOy 8.25 立体偏振分束器1 174 $\"9<o|h 8.26 立方偏振分束器2 177 o8Z[+; 8.27 相位延迟器 178 q;:6_Qr 8.28 红外截止器 179 Dr~=o% 8.29 21层长波带通滤波器 180 PccB] 8.30 49层长波带通滤波器 181 [*Z`Kc 8.31 55层短波带通滤波器 182 {h KjD"? 8.32 47 红外截止器 183 I
Nc^L 8.33 宽带通滤波器 184 _6Eu2|vM& 8.34 诱导透射滤波器 186 fbkd "7u 8.35 诱导透射滤波器2 188 wM_
6{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 tL+OCLF; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 %,iIpYx 8.35 增益平坦滤波器 193 5c;h& 8.38 啁啾反射镜 1 196 \i[BP 8.39 啁啾反射镜2 198 c0Dmq)HK? 8.40 啁啾反射镜3 199 D r9 ?2 8.41 带保护层的铝膜层 200 1H,g=Y4f% 8.42 增加铝反射率膜 201 q,2]5' 8.43 参考文献 202 5eA8niq# 9 多层膜 204 c=6Q%S 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 3<?XTv- 9.2 内部透过率 204 =U.
b% uC 9.3 内部透射率数据 205 Zh/Uu6 9.4 实例 206 "W#t;;9Wz 9.5 实例2 210 9 F^;! 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,b$2= JO'f 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |Cdvfk 10 光学薄膜的颜色 216 s:AkkkF 10.1 导言 216 z1!6%W_. 10.2 色彩 216 ;_:Oo l, 10.3 主波长和纯度 220 IAOcKQ3 10.4 色相和纯度 221 G^(}a]>9 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jb /8?7 10.6 色差 226 M]-VHI[&W 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 m ga6[E< 10.8 颜色渲染指数 234 i%#$* 10.9 色差计算 235 {NCF6Mk 10.10 参考文献 236 w18RA#Zo/ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Y?#i{ixX6n 11.1 短脉冲 238 F.)!3YE 11.2 群速度 239 /i)Hb`(S 11.3 群速度色散 241 I@l>w._. 11.4 啁啾(chirped) 245 T#O??3/%$1 11.5 光学薄膜—相变 245 SLhEc 11.6 群延迟和延迟色散 246 g8'DoHJ* 11.7 色度色散 246 jFerYv&K~ 11.8 色散补偿 249 `Vq`z]} 11.9 空间光线偏移 256 5v^L9!`@%v 11.10 参考文献 258 t?^9HP1b_ 12 公差与误差 260 gNx+>h`AF 12.1 蒙特卡罗模型 260 +/?iCmW 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :ZxLJK9x1 12.2.1 误差工具 267 @gSkROCdC) 12.2.2 灵敏度工具 271 Iwpbf Z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 hFvi5I-b 12.2.2.2 灵敏度分布 275 s{/qS3= 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ,kgF2K! 12.3 参考文献 276 yW.COWL=) 13 Runsheet 与Simulator 277 5A&y]5-Q` 13.1 原理介绍 277 5%
nt0dc 13.2 截止滤光片设计 277 Q;nAPS 14 光学常数提取 289 #\bP7a+ 14.1 介绍 289 a-n4:QT 14.2 电介质薄膜 289 [$ : 14.3 n 和k 的提取工具 295 tk/`%Q 14.4 基底的参数提取 302 /!Z^Y 14.5 金属的参数提取 306 `dJDucD 14.6 不正确的模型 306 gUB{Bh($Y 14.7 参考文献 311 83.E0@$ 15 反演工程 313
P
,K\ 15.1 随机性和系统性 313 ~DLIz g7p! 15.2 常见的系统性问题 314 ' eO/PnYW 15.3 单层膜 314 *rqm8z50a 15.4 多层膜 314 zzvlI66e 15.5 含义 319 jnoL2JR[=- 15.6 反演工程实例 319 !;>(ie\ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 # nfI% 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ^ua12f 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 C4$/?,K( 16.1 光学性质的热致偏移 329 .V%*{eHLL 16.2 应力工具 335 =:h3w#_c 16.3 均匀性误差 339 s0{
NsK> 16.3.1 圆锥工具 339 DM3B]Yl 16.3.2 波前问题 341 4FA|[An 16.4 参考文献 343 iUr xJh 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Y~oT)wTU 17.1 引言 345 lv:U%+A 17.2 操作数 345 Q2C)tVK+ 18 如何在Function中编写脚本 351 ~4
FDKUC 18.1 简介 351 a]1i/3/ 18.2 什么是脚本? 351 b?kPN:U#N/ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ~Sy-gaJ 18.4 基础 352 %OI4a5V*l 18.4.1 Classes(类别) 352 2
X<nn 18.4.2 对象 352 |#TXE|#ux 18.4.3 信息(Messages) 352 =cfm=+ 18.4.4 属性 352 v`)m">e*w 18.4.5 方法 353 i+~QDo(Pi 18.4.6 变量声明 353 Wp*sPZ 18.5 创建对象 354 6MrKi|'X@ 18.5.1 创建对象函数 355 ;]&-MFv# 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $P?{O3:V 18.5.3 丢弃对象 356 fkW(Dt, 18.5.4 总结 356 R!{7OkC 18.6 脚本中的表格 357 #t5juX9Ho9 18.6.1 方法1 357 X}apxSd" 18.6.2 方法2 357 >rwYDT#m] 18.7 2D Plots in Scripts 358 !C7<sZ`C 18.8 3D Plots in Scripts 359 uFe'$vI 18.9 注释 360 >=!AL,: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Pi%tsKk% 18.11 一个更高级的脚本 362 ug6r]0] 18.12 <esc>键 364 96W4c]NT 18.13 包含文件 365 u[t>Tg2R 18.14 脚本被优化调用 366 Tcs3>lJ} 18.15 脚本中的对话框 368 P$h;SK 18.15.1 介绍 368 ChIoR:y> 18.15.2 消息框-MsgBox 368 h}6b&m 18.15.3 输入框函数 370 =mJF_Ri 18.15.4 自定义对话框 371 ct\<;I(H 18.15.5 对话框编辑器 371 DN|vz}s 18.15.6 控制对话框 377 SY6r 8RK 18.15.7 更高级的对话框 380 @+0V& jc 18.16 Types语句 384 4GTrI@}3 18.17 打开文件 385 2nx8iA
18.18 Bags 387 9`&77+|;e 18.13 进一步研究 388 ^@ UjQ9[> 19 vStack 389 {gIEZ{ 19.1 vStack基本原理 389 w$% BlqN 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 W}k[slqZA 19.3 五棱镜 393 3^H/LWx`{] 19.4 光束距离 396 dKe@JQ+-z 19.5 误差 399 %EB;1 19.6 二向分色棱镜 399 +GPd 19.7 偏振泄漏 404 nB}e1
/_y 19.8 波前误差—相位 405 X0x_+b?
_ 19.9 其它计算参数 405 Qy%xL9 20 报表生成器 406 3qcpf: 20.1 入门 406 9R:(^8P8 20.2 指令(Instructions) 406 tD^a5qPh 20.3 页面布局指令 406 (v|`LmV 20.4 常见的参数图和三维图 407 8a!2zwUBV 20.5 表格中的常见参数 408 3It8&x: 20.6 迭代指令 408 Jh(mbD 20.7 报表模版 408 wKrdcWI,Z 20.8 开始设计一个报表模版 409 J<-Fua^ 21 一个新的project 413 iXnx1w 21.1 创建一个新Job 414 }JJ::*W2n 21.2 默认设计 415 DsG !S* 21.3 薄膜设计 416 [R$liN99z; 21.4 误差的灵敏度计算 420 .)nCOwR6p 21.5 显色指数计算 422 Wlxk 21.6 电场分布 424 Z[bv0Pr 后记 426 M->Kz{h?j
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