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l.]wBH#RS 内容简介 .I EHjy\+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Z m%,L$F*L 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 glc<(V 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 mn=b&{')e TDbSK&w :s 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 q5S_B]| 目录 aeI0;u Preface 1 6$:Q]zR#'H 内容简介 2 IiRQ-,t1 目录 i &;pM<h 1 引言 1 z. X
hE \ 2 光学薄膜基础 2
[B`4I 2.1 一般规则 2 F-b]>3r 2.2 正交入射规则 3 8X.=
6M 2.3 斜入射规则 6 QcX\z\'vg 2.4 精确计算 7 qy.$5-e:[9 2.5 相干性 8 ra6\+M~}e 2.6 参考文献 10 jUKMDlH 3 Essential Macleod的快速预览 10 yGNpx3H
4 Essential Macleod的特点 32 2HSFMgy 4.1 容量和局限性 33 x7<NaMK\ 4.2 程序在哪里? 33 !hM`Oe`S 4.3 数据文件 35 h~]e~u V 4.4 设计规则 35 gE$Uv*Gj 4.5 材料数据库和资料库 37 4eB oR%2o 4.5.1材料损失 38 pnE]B0e 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %7 yQ0'P 4.5.2 材料库 41 g 8uq6U 4.5.3导出材料数据 43 t_xK?`` 4.6 常用单位 43 kaQNcMcq 4.7 插值和外推法 46 #:N#i 4.8 材料数据的平滑 50 5,oLl {S' 4.9 更多光学常数模型 54 _q1\8y 4.10 文档的一般编辑规则 55 Zk lpnL*! 4.11 撤销和重做 56 *P9" 1K+ 4.12 设计文档 57 $0K@=7ms 4.10.1 公式 58 T[xIn+w 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 0>BI[x@ 4.10.3 沉积密度 59 %qo.n v 4.10.4 平行和楔形介质 60 1\UU" 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 jSHFY]2 4.10.4 性能 61 0;T7fKj 4.10.5 保存设计和性能 64 o6; 4.10.6 默认设计 64 YkMFU'?[ 4.11 图表 64 +D4m@O 4.11.1 合并曲线图 67 P (7Q8i' 4.11.2 自适应绘制 68 DiOd!8Y 4.11.3 动态绘图 68 f OR9 N/ 4.11.4 3D绘图 69 mRC3w(W 4.12 导入和导出 73 ?Y
-;781 4.12.1 剪贴板 73 1U.X[}e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 "=
%"@"<) 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 gg rYf* 4.13 背景 77 {wA8!5Gu 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 =O"]e/CfO 4.15 生成Rugate 84 lEwQj[ k 4.16 参考文献 91 [^ r8P:Ad 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 'dh{q`#0 5.1 Jobs 92 Rvu5#_P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 _*?qOmf= 5.3 输入材料 94 b?KdR5 5.4 设计数据文件夹 95 r ~UDK]?V 5.5 默认设计 95 pO7OP"q1 6 细化和合成 97 :x[()J~N 6.1 优化介绍 97 o!~XYEXvUa 6.2 细化 (Refinement) 98 /bo=,%wJ[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 F1_,V?
6.4 目标和评价函数 101 5EVypw?]x 6.4.1 目标输入 102 <F&XT@ 6.4.2 目标 103 }riM- 6.4.3 特殊的评价函数 104 k'|yUJ, 6.5 层锁定和连接 104 k)Lhzr[
6.6 细化技术 104 MG.c`t/w 6.6.1 单纯形 105 c CDT27@ 6.6.1.1 单纯形参数 106 !',%kvJI 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "u4x#7n| 6.6.2.1 Optimac参数 108 #[x*0K-h 6.6.3 模拟退火算法 109 /D;ugc*3 6.6.3.1 模拟退火参数 109 CC"a2Hu/ 6.6.4 共轭梯度 111 DMsqTB` 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :w5g!G?z 6.6.5 拟牛顿法 112 )h 6 w@TF 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {*hvzS{1d 6.6.6 针合成 113 N2}Y8aR~ 6.6.6.1 针合成参数 114 Rzsu 7w 6.6.7 差分进化 114 4XVwi<) 6.6.8非局部细化 115 8'zl\:@N 6.6.8.1非局部细化参数 115 e4Qjx*[G 6.7 我应该使用哪种技术? 116 t CO?<QBE 6.7.1 细化 116 p6BDhT(RS 6.7.2 合成 117 @|t]9 6.8 参考文献 117 ^swj!da 7 导纳图及其他工具 118 f'5
6IT
7.1 简介 118 ^{=UKf{ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 `W+-0F@Y?@ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ~/JS_>e#6P 7.2.2 导纳图 120 W/t,7lPFb 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 D]"W|.6@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
<a=OiY 7.5 斜入射导纳图 141 +HUy,@^Pa 7.6 对称周期 141 CP2wg . 7.7 参考文献 142 S _U |w9q 8 典型的镀膜实例 143 J
%A= 8.1 单层抗反射薄膜 145 )7+z/y+[n 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 2(~Zl\ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 H{N},B 8.4 W-膜层 148 PknKzrEG:> 8.5 V-膜层 149 ~4Fz A,, 8.6 V-膜层高折射基底 150 2BF455e 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 yevJA?C4 v 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 T*#M'H7LSQ 8.9 四层抗反射薄膜 153 ^J hs/HV 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 /8l@ndZf 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 | Z7j
s" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 j[\:#/J 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `w>D6K+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 H}G 9gi 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )nj fqg 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 tl~ZuS/ 8.17 1/4波长堆栈 162 7 qn=W 8.18 陷波滤波器 163 z(%tu 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 wY%t# [T3 8.20 褶皱 165 6[R6P:v&'G 8.21 消偏振分光器1 169 8`)* ?Q9~ 8.22 消偏振分光器2 171 }xBO; 8.23 消偏振立体分光器 172 FF^h(Ea 8.24 消偏振截止滤光片 173 jz=V*p}6 8.25 立体偏振分束器1 174 LdOme[C1 8.26 立方偏振分束器2 177 Vfk"}k/do 8.27 相位延迟器 178 C_q2bI 8.28 红外截止器 179 D8~\*0-> 8.29 21层长波带通滤波器 180 c*zeO@AAn 8.30 49层长波带通滤波器 181 ND.(N'/O 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?#&[1.= u 8.32 47 红外截止器 183 4 Cd5-I 8.33 宽带通滤波器 184 `~VL&o1> 8.34 诱导透射滤波器 186 +p jB/#4 8.35 诱导透射滤波器2 188 '4#NVXVQm 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 +'93%/: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $iy!:Did 8.35 增益平坦滤波器 193 -^`s#0( y^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 yN `&oya 8.39 啁啾反射镜2 198 L.. 8.40 啁啾反射镜3 199 n<FUaR>q} 8.41 带保护层的铝膜层 200 AsuugcN* 8.42 增加铝反射率膜 201 tg 'g R 8.43 参考文献 202 -!5l4 9 多层膜 204 )[UYCx' 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 wexX|B^u 9.2 内部透过率 204 V"K.s2U^ 9.3 内部透射率数据 205 @Z#h?: 9.4 实例 206 VE*`Ji 9.5 实例2 210 gn.)_ 9.6 圆锥和带宽计算 212 .9z}S=ZK 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [hH>BEtm 10 光学薄膜的颜色 216 9mXmghoCO 10.1 导言 216 <1lB[:@%U 10.2 色彩 216 m*iSW]& 10.3 主波长和纯度 220 u^^jt(j 10.4 色相和纯度 221 rc>}3?o 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KI*bW e 10.6 色差 226 T1Z*>(M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 {0fQE@5@ 10.8 颜色渲染指数 234 wi.E$RckD 10.9 色差计算 235 '
i5}`\ 10.10 参考文献 236 AEWrrE 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 go6;_ 11.1 短脉冲 238 e8:O2!HW 11.2 群速度 239 `S?_=JIX 11.3 群速度色散 241 JS\]|~Gd 11.4 啁啾(chirped) 245 Jc5YGj 7 11.5 光学薄膜—相变 245 =2rdbq6R 11.6 群延迟和延迟色散 246 !U2<\!_ 11.7 色度色散 246 e~># M$ 11.8 色散补偿 249 >Q"3dw 11.9 空间光线偏移 256 Vx5fQ mx 11.10 参考文献 258 Uh1UZ
r 12 公差与误差 260 x@O)QaBN! 12.1 蒙特卡罗模型 260 !~7lY]_U 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 #7:ah
12.2.1 误差工具 267 "9Q_lVI|Q 12.2.2 灵敏度工具 271 %M8Q6 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4/3w
* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 YaQ5Z-c
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8~.8"gQ 12.3 参考文献 276 >bhF{*t#;y 13 Runsheet 与Simulator 277 vF@|cTRR) 13.1 原理介绍 277 g.;2N 9 13.2 截止滤光片设计 277 &ns??:\+T 14 光学常数提取 289 N;}X$b5Y @ 14.1 介绍 289 >OjK0jiPf 14.2 电介质薄膜 289 2p 7;v7)y 14.3 n 和k 的提取工具 295 zt|1tU: 14.4 基底的参数提取 302 yF|28KJ 14.5 金属的参数提取 306 r~,3 14.6 不正确的模型 306 Ag(JSVY 14.7 参考文献 311 ;<0~^,Xm 15 反演工程 313 Y37qjV 15.1 随机性和系统性 313 cL#zE 15.2 常见的系统性问题 314 QiVKaBS8 15.3 单层膜 314 `8\"3S 15.4 多层膜 314 Lew
2Z 15.5 含义 319 {m,LpI0wG 15.6 反演工程实例 319 sUxEm}z 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 s6;ZaU 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1`Bhis9X8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^
rO}'~( 16.1 光学性质的热致偏移 329 w9gfva$& 16.2 应力工具 335 !T~uxeZ/; 16.3 均匀性误差 339 ||7x51-yj 16.3.1 圆锥工具 339 jzi^OI7 16.3.2 波前问题 341 M#8_Qbvfk 16.4 参考文献 343 o:as}7/^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 $Grk{]nT 17.1 引言 345 qI74a F 17.2 操作数 345 |x _jpR 18 如何在Function中编写脚本 351 _IxYnm`pc 18.1 简介 351 Ib/e\+H\ 18.2 什么是脚本? 351 4Uwcc):f 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 zY4y]k8D* 18.4 基础 352 +^rt48${ y 18.4.1 Classes(类别) 352 "1DlusmCCB 18.4.2 对象 352 ?AI`,*^ 18.4.3 信息(Messages) 352 ka_R|xG\ 18.4.4 属性 352 0Uk;&a0s 18.4.5 方法 353 E(*CEW.V* 18.4.6 变量声明 353 Nh4&3"g| 18.5 创建对象 354 t|UM2h 18.5.1 创建对象函数 355 cvtn,Ml6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Yfz`or\@= 18.5.3 丢弃对象 356 {p(6bsn_#] 18.5.4 总结 356 !\Xrl) $j{ 18.6 脚本中的表格 357 SU~ljAF4 18.6.1 方法1 357 k$7Kz" 18.6.2 方法2 357 ,C'mE''x 18.7 2D Plots in Scripts 358 G/1V4-@ 18.8 3D Plots in Scripts 359 ]0}NF 18.9 注释 360 og*ti!Z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 `@<)#9'A 18.11 一个更高级的脚本 362 R?2T0^0 18.12 <esc>键 364 QT(]S>--n 18.13 包含文件 365 Y5mk*Q#q 18.14 脚本被优化调用 366 y]ya.YG 18.15 脚本中的对话框 368 ?,eq86-M 18.15.1 介绍 368 2kFP;7FO 18.15.2 消息框-MsgBox 368 --7@rxv 18.15.3 输入框函数 370 R:44Gv7 18.15.4 自定义对话框 371 VY!A]S" 18.15.5 对话框编辑器 371 `4qt mbj 18.15.6 控制对话框 377 PiNf;b^9 18.15.7 更高级的对话框 380 =u5( zaBe 18.16 Types语句 384 J
p0j 18.17 打开文件 385 S=`#X,Wo 18.18 Bags 387 LdX'V]ITh 18.13 进一步研究 388 v dU) 19 vStack 389 0 \o5+ 19.1 vStack基本原理 389 92/_!P>
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 FeZGPxc~ 19.3 五棱镜 393 W)odaab7 19.4 光束距离 396 >H]|R }h 19.5 误差 399 1#vi]CX 19.6 二向分色棱镜 399 [](] "r 19.7 偏振泄漏 404 OI^qX;#Kd 19.8 波前误差—相位 405 zhI"++ 19.9 其它计算参数 405 i6:O9Km 20 报表生成器 406 (+bt{Ma 20.1 入门 406 p$XvVzW#< 20.2 指令(Instructions) 406 .DhB4v& 20.3 页面布局指令 406 -JdNA2P
20.4 常见的参数图和三维图 407 M{XBmDfN 20.5 表格中的常见参数 408 7<93n`byM 20.6 迭代指令 408 XK@Ct eP" 20.7 报表模版 408 f(c#1AJE53 20.8 开始设计一个报表模版 409 .fNLhyd 21 一个新的project 413 CYhSCT!-? 21.1 创建一个新Job 414 >\s+A2P 21.2 默认设计 415 *HQ>tvUh 21.3 薄膜设计 416 D+4$l+\u 21.4 误差的灵敏度计算 420
VO,F[E~_ 21.5 显色指数计算 422 9f3rMPVh( 21.6 电场分布 424 Rw`64 L_ 后记 426 j<d,7
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