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简介 oSTGs@EK C+2*m=r 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 wYS4#7 `ZNzDr 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 N<O^%!bu R @YV-8;hO 本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) r=s2wjk .}]5y4UQ. 概述 OSsdB%bIu` uvZ|6cM 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 kjjO<x?&* VxaJ[s3PQ& 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 Pm
V:J9 zq(AN< YHg4WW$ 72luTR Q 图1 Lumerical 通过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 5f}wQ aq[kKS` 如图 2 所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 }6ec2I%`o m< |