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简介 8+5z -vd BG\g`NK}Z 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 Y]!8Ymuww@ (qG |.a 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 bL v_<\:m M@ t,P? 本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) kGR5!8$z TY6
D.ikA 概述
>G(M& c((^l& 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 BIovPvq;i ~?T*D* 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 kqxX! zX*+J"x >*r H Nf >U?HXu/TJr 图1 Lumerical 通过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 9)N/J\b BiI?eT+ 如图 2 所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 b~uz\%'3 9U$n;uA QbA+\ 9,g &EnvG 图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 eJD!dGa B]jN~CO? 第 1 步:系统设置 (Lumerical) M`^;h: DN^ H~y 7o_tg 打开附件中的 ZAR 文件时,两个光栅文件会被提取到设置的路径中。第一个光栅如图 3 所示,它是耦入光栅中使用的二元光栅。该光栅是固定的,在优化过程中不会改变。 <4V]>[{W WPLM*]6 2@ 4^ 81 yv2BbrYyy 图 3 耦入光栅结构为二元光栅。 0tV" X qo{2 CYG\+ 第二个 .fsp 文件如图 4 所示,它是一个具有 7 个变量的平行四边形柱体。在优化期间,耦出中的每个区都将使用不同的变量组合集进行优化 。有关优化设置的更多信息将在优化设置部分中进行说明。 (9R;a np qC<!!473 ? Ck< |