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简介 `
~m/ ^, =}'H] 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 dL4VcUS. gh[q*%# 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 X:`=\D vgtAJp+p* 本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) i03S9J um$U3'0e 概述 1t/c@YUTy L''VBY"? 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 r0k:RJP ~DxuLk6
s 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 l[5** ?# "wV 3v3cK1K@oE Y{e,I-"{ 图1 Lumerical 通过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 kb~
s,@p YY tVp_) 如图 2 所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 bt1bTo EmUt/] ]6v7iuvI :n~Mg{j3 图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 DC>?e[oOz I&15[:b=- 第 1 步:系统设置 (Lumerical) emJZ+:% `R
(N3 打开附件中的 ZAR 文件时,两个光栅文件会被提取到设置的路径中。第一个光栅如图 3 所示,它是耦入光栅中使用的二元光栅。该光栅是固定的,在优化过程中不会改变。 In%FOPO ]5*H/8Ke7
l8+1{6xP 7`L]aRS[ 图 3 耦入光栅结构为二元光栅。 D8w.r"ne c{D<+XM 第二个 .fsp 文件如图 4 所示,它是一个具有 7 个变量的平行四边形柱体。在优化期间,耦出中的每个区都将使用不同的变量组合集进行优化 。有关优化设置的更多信息将在优化设置部分中进行说明。 > (n/ z< |