-QrC>3xZR 建模目的:如何将矩形
光栅界面和转变点列界面(Transition Point List Inerface)进行组合,以构建复杂
结构光栅,并进行近场分析和内部场分析
/|IPBU 5 工具箱:光栅工具箱
Rff F:,b 关键词:矩形光栅界面 转变点列界面 近场分析 内部场分析
*.DC(2:o! 组合光栅结构
参数:
图1:光栅参数示意图 WMSJU/-P
lN,?N{6s 使用VirtualLab光栅工具箱进行建模
q,vWu(. kAki9a(=! 1) 操作如下图(1)(2):解决方案(Solutions)/光栅工具箱(Grating Toolbox)/二维光栅
仿真(2D Grating Simulations)/自定义光栅光路流程图(General Grating Light Path Diagram),生成光栅光路图, 如下图(3)
(1)
j3gDGw; (2)
(N7uaZ?Z (3) 23s;O))
图2:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤1)示意图 iwotEl0*{
S#7YJ7
K"N 2) 双击

,进入光栅编辑窗口(Edit General Grating 2D)/结构与功能子窗口(Structure/Function),确定基板
材料和厚度,并选择堆栈界面。
E>!=~ 7. 图3:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤2)示意图 ={qcDgn~C
c0qp-=^&. 3) 进入堆栈界面,即堆栈编辑窗口(Edit),通过添加(Add)按钮依次添加平面(Plane Interface),矩形光栅界面(Rectarngular Grating Interface)以及转变点列界面(Transition Point List Interface)以构建矩形组合光栅。
5(3O/C{?~ (1)
xN 1P# 
(2) o~Se[p
(3)
图4:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤3)示意图 E/P~HE{
<+`%=r)4 4) 点击

,进入矩形光栅编辑窗口(Edit Rectangular Grating Interface),输入光栅一的结构参数,并将其位置横向移动(Lateral Shift)1 µm,如下图所示
M:S-%aQ_<y 图5:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤4)示意图 F (*B1J2_g
\|]mClj# 5) 点击

,进入转变点列界面(Transition Point List Interface)编辑窗口(Edit Transition Point List Interface),输入光栅二和光栅三两种光栅结构参数:
NRi5 Vp2= &Y{^yb (1) 通过点击添加数据(Add Datum)增加转变点(transition points),并给该点对应的横向位置(x-Position)和高度(Height)赋值,以形成所需转变点序列。
T @ c~ql f"ZlJV a (2) 按照图6(2)所示设置所有转变点,然后将插值方法(Interpolation Method)设置为常量区间(Constant Interval)。将横向区域上限(Upper Limit)设置为2 µm,并设置大小与形状(Size and Shape) 为2 µm x 2µm 长方形(Rectangular)。
T5S4,.o9W >STtX6h (3) 进入周期化标签(Periodization),选择使用周期化设置(Use Periodization),并将周期设置为2 µm x 2µm。可观察到z-方向,即高度方向最小值(Boundary Minimum)为-800 nm。
J|`0GDSn (1)
+yGQt3U 0MG>77 
(2)
(3)
图6:使用VirtualLab光栅工具箱进行建模步骤5)示意图 XLNbV?
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