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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 j> +x |!k
n fq 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 hUcG3IOBf
N' t* e Ci 要求工具箱：光栅工具箱 Mje6Q
O$E3ry +? 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 9l@VxX68M +iir]"8 一、模拟任务： 5v=%pQbY 二、光栅的描述 .%h. b6^
9;k_"@A6 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ny| ni\6
l&(,$RmYp 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 d%\ {,
p}hOkx4R\ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 p-GlGEt_X
*T*=~Y4kE 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” @H"~/ m_o
3 ~0Z.!O 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 |Ma"B4
Pq>r|/~_ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 PCH&eTKN ~&[Wqn@MZ .vj`[?T }a,j1r_Hl& 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm }xn\.M:ic v9( ->X' 'xm _oGWE 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm #Sr_PEo
_ rJ4 O_a5/ '^'vafs-/@ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm IExo#\0'6 $*V:; -H a?.hvI 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 2i;G3"\ k]!Fh^O~, 3*"$E_% 5. 参数运行 Gy
hoo'<
w?d~c*4+ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 >t&Frw/Bl
#:_qo 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 $J>GCY !jL|HwlA 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ,di'279| $ -[V )]h 8bLA6qmM\ + pZ, RW.D 7. 总结 cJd~UQ<k
-@X?~4Idz 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。
jhjb)r.
"rOe J~4 X 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 S Cs@Q
S# Tc{@e 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 n#[-1 (P
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