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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 1JF>0ijU@
-59;Zn/ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 J9XV:)Yv#
,<<HkEMS 要求工具箱：光栅工具箱 e\ O&Xe
G33'Cgo:, 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 H Q` A.E2 _>i< ` k 一、模拟任务： T#D*B]oZ} 二、光栅的描述 !l~3K(&4
T*z y^w e 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 LGPg\g`
~0Xx] 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 2hE+Om^n
sH\ h{^ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #4ii!ev
Y\{&chuF 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” @r xfOc0J#
S")*~)N@ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 :hUt7/3c
JbW!V Y 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 psB9~EU&Q sr`)l& t? Tg/r V5@ka W 0 KS LxM 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm lZ5TDS _`q ei0 CB>O%m[1 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 7"$9js 2 19;F+%no# MI*@^{G 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm @4%x7%+[c LKI2R_|n #{suH7 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm
Mgc|># = )}5f'TK _dynqF8* 5. 参数运行 N1jJ (}{3
Xsv^GmP+ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 (vr
v -4
hPgDK.R' 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 $_b^p= ~Is-^k)y 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ulxy 4] h ^%2S,3*0 6yPh0n (X}Q'm$n\h 7. 总结 :H`Z.>K
50^ T \u 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 \[;Qq n0
%<Kw 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 !Zma\Ip
8WL*Pr 1I 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 I CB'?yZ,
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