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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 #N\kMJ l$l
NDLk+n 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 R%iyNK,
&VtTUy } 要求工具箱：光栅工具箱 xwG=&+66
4 f/2gI1@B 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 [eI{vH{ _y{z%- 一、模拟任务： `MFw2nu@t 二、光栅的描述 Ld>y Fb(`
6tXx --Nh 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 .-t#wXEi
NqcmjHvy 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 a]^hcKo4
fNOsB^Y 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 p$^}g:
1qXqQA 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” T-x1jC!B'
?CKINN 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 7g1" s1~or
vKYdYa\
1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 \ } ,=" '6Dt@^-PZ ZGrjb22M %O-RhB4q 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm &R QQVki3 c%-s_8zvi VF1)dd 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm `WvNN>R 4/;
X- !<\"XxK+ l 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm X^mv sY (CKx
s
I@ i1RU5IRy|j 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm V XEA.Mko ;4<CnC** MkJ}dncg* 5. 参数运行 t]1j4S"pm
N\XZ=t^h( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 hM
g
_fvbVX 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 C
9IKX 1{\{'EP{ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 /5M@>A^ ?' G!},jO*" t/z]KdK P ?d`?Ss;v 7. 总结 W70J2
Q l8E9~h 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 q
H&7Q{
weC RhA 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 (5[|h
])paU8u 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 R~u0!
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