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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ON q=bI*  
    c$AwJhl^]  
    1. 描述 VY]L<4BfGL  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4b<>gpQ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 +#=l{_Z,ZJ  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 dRu|*s  
    %FSY}65  
    2. 系统 rUOl+p_47  
    TF7~eyLg  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Tn"/EO^N  
    3. 透镜系统组件编辑 V<W$ h`  
    v>oWk:iJP  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (yxHXO9N  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2B`#c}PP  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pxgVYr.  
    包括序列光学表面和光学介质。 Y24H` s1u/  
    22_%u=p-|  
    J rgpDZ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 E3P2  
    ?@LqrKj 11  
    3X#)PX9b){  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wOU\&u|  
    可以选择选取光线的方法: ^j>w<ljzz  
    — 在x-y-网格 #yi&-9B  
    — 六边形 @kmOz(  
    — 自由选取 2ms@CQy(00  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    6<>T{2b:(p  
    >Ndck2@  
    5. 系统的3维视图 nlsif  
    6L4<c+v_  
    *%;+3SV  
    6. 其他系统参数 >jH%n(TcC  
    系统由单色平面波照明 UD}#c:I  
    照明波长266.08nm ~&\}qz3  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: io^ L[  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (W'.vEl  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 fq,LXQ#G  
    光束尺寸探测器置于焦平面 m&!4*D  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4k4 d%  
    hiBZZ+^[  
    &K@ RTgb  
    rD":Gac  
    ]sL)[o  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 + 2?=W1`  
    qOM"?av  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    !wNj;ST*  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    |ryV7VJ8  
    @})]4H  
    !eE;MaS>  
    W _JGJV.^f  
    bjCO@t  
    %ok??_}$}q  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 P|' eM%  
    eF=cMC  
    uzgQ_  
    VirtualLab可用于计算点列图。 s. ]<r5v7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 DITo.PU  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kACgP!~/1  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 S;L=W9=wby  
    *JT,]7>  
    9. 焦平面上的结果 4M,Q{G|e  
    E 8LA+dKN:  
    7xU6Ll+p  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +0Z,#b  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 OPe3p {]  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm aTLu7C\-e  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ZlG|U]mM5  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Q!*}^W  
    rU!QXg]uD  
    10. 总结 mi]bS  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 F :p9y_W  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R!Lh ~~@{(  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 'JK"3m}nT  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 l2Pry'3  
     
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