关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ON
q =b I*
c$AwJhl^] 1. 描述 VY]L<4BfGL ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4b<>gpQ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 +#=l{_Z,ZJ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 dRu|*s
%FSY}65 2. 系统 rUOl+p_47 TF7~eyLg 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Tn"/EO^N 3. 透镜系统组件编辑 V<W$h`
v>oWk:iJP
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (yxHXO9N
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2B`#c}PP
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pxgVYr.
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Y24H`
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22_%u=p-| JrgpDZ
4. 光线追迹系统分析器-选项 E3P2 ?@LqrKj11 3X#)PX9b){
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wOU\&u|
■ 可以选择选取光线的方法: ^j>w<ljzz
— 在x-y-网格 #yi&-9B
— 六边形 @kmOz(
— 自由选取 2ms@CQy(00
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6<>T{2b:(p >Ndck2@ 5. 系统的3维视图 nlsif 6L4<c+v_
*%;+3SV 6. 其他系统参数 >jH%n(TcC ■ 系统由单色平面波照明 UD}#c:I ■ 照明波长266.08nm ~&\} qz3 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: io^L[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (W'.vEl — 一个虚拟屏位于焦平面 fq,LXQ#G — 光束尺寸探测器置于焦平面 m&!4*D ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4k4 d% hiBZZ+^[ &K@ RTgb rD":Gac ]sL)[o 7. 光线追迹系统分析器的结果 +2?=W1` qOM" ?av 光线经过整个光学系统的三维视图
!wNj;ST* 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
|ryV7VJ8 @})]4H !eE;MaS> W _JGJV.^f bjCO@t %ok??_}$}q 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 P|'eM% eF=cMC u zgQ_
■ VirtualLab可用于计算点列图。 s.]<r5v7
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 DITo.PU
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kACgP!~/1
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
S;L=W9=wby
*JT,]7> 9. 焦平面上的结果 4M,Q{G|e
E8LA+dKN:
7xU6Ll+p
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +0Z,#b
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 OPe3p {]
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm aTL u7C\-e
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ZlG|U]mM5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Q!*}^W rU!QXg]uD 10. 总结 mi]bS
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 F :p9y_W ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 R!Lh~~@{( ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 'JK"3m}nT ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 l2Pry'3