关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 HXQ
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Lv:;} 1. 描述 )S|&3\ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 SnGXEQ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dp*E#XCr1 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 c=4z+_K
<ua! ]~ 2. 系统 NdM \RD_R FdS'0#$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
*:Y9&s^6j 3. 透镜系统组件编辑 :Oi}X7\
B1z7r0Rm,
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 eY3<LVAX
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4+F@BxpB
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 C@9K`N[*
■ 包括序列光学表面和光学介质。 !>6`+$=U
(%*~5%l\ OZ2faf 4. 光线追迹系统分析器-选项 E^x/v_,$w! gyOAvx 5YQJNP
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %=i/MFGX
■ 可以选择选取光线的方法: 6Bn}W ?
— 在x-y-网格 -;GB Xq
— 六边形 qex::Qf
— 自由选取 yUg'^SEbLk
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 dXDuO 5)p!}hWs 5. 系统的3维视图 x=V3_HI/} 7E R!>l+
Lcf] 6. 其他系统参数 m0JJPBp ■ 系统由单色平面波照明 qmq#(%Z <W ■ 照明波长266.08nm be>KG ZU0 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: BqDOo(%1) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 , 4@C% — 一个虚拟屏位于焦平面 \;!g@?CA — 光束尺寸探测器置于焦平面 NtQ#su$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +l>X Z /cx
Ei6I- )9kp[hY 9oVprd>%@ g7Z3GUCGL 7. 光线追迹系统分析器的结果 U
sV?} h BzZJ/jn 光线经过整个光学系统的三维视图
/@6T~XY M 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
sUpSXG-W/@ ?r^>Vk} vJuL+'[i W7.QK/@ Wfh+D[^ \Z625jt 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 FUZ`ST+OL RHuc#b0 T,v5cc:nO
■ VirtualLab可用于计算点列图。 `6o5[2V
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }*vO&J@z
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 M[^EHa<i
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
|7b@w;q,D
ePTN^#|W 9. 焦平面上的结果 h~k+!\
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.'S_9le
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 u(4o#m
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 d>x(Bj6
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm [<VyH.
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 je=XZ's,i~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Q$~_'I7~Mz }dG>_/3 10. 总结 "qw.{{:tf ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "Fqrk>Q~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 jYsg'Rl ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 XF99h&;9 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 p
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