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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 HXQ } B$V  
    Lv:;}  
    1. 描述 )S|&3\  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 SnG XEQ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dp*E#XCr1  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 c=4z+_K  
    <ua! ]~  
    2. 系统 NdM \RD_R  
    FdS'0#$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    *:Y9&s^6j  
    3. 透镜系统组件编辑 :Oi}X7\  
    B1z7r0Rm,  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 eY3<LVAX  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 4+F@BxpB  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 C@9K`N[*  
    包括序列光学表面和光学介质。 !>6`+$=U  
    (%*~5%l\  
    OZ2faf  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 E^x/v_,$w!  
    gyOAvx  
    5YQJNP  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %=i/MFGX  
    可以选择选取光线的方法: 6Bn}W ?  
    — 在x-y-网格 -;GB Xq  
    — 六边形 qex::Qf  
    — 自由选取 yUg'^SEbLk  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    dX DuO  
    5)p!}hWs  
    5. 系统的3维视图 x=V3_HI/}  
    7E R!>l+  
    Lcf]  
    6. 其他系统参数 m0JJPBp  
    系统由单色平面波照明 qmq#(%Z <W  
    照明波长266.08nm be>KG ZU0  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: BqDOo(%1)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 , 4@C%  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \;!g@?CA  
    光束尺寸探测器置于焦平面 NtQ#su$  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +l>X Z  
    /cx Ei6I-  
    )9kp[hY  
    9oVprd >%@  
    g7Z3GUCGL  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 U sV?}  
    h BzZJ/jn  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    /@6T~XY M  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    sUpSXG-W/@  
    ?r^>Vk}  
    vJuL+'[i  
    W7.QK/@  
    Wfh+D[^  
    \Z625jt  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 FUZ`ST+OL  
    RHuc#b0  
    T,v5cc:nO  
    VirtualLab可用于计算点列图。 `6o5[2V  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }*vO&J@z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 M[^EHa<i  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |7b@w;q,D  
    ePTN^#|W  
    9. 焦平面上的结果 h~k+!\  
    M|qJZ#{4>  
    .'S_9le  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 u(4o#m  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 d>x(Bj6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm [<VyH.  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 je=XZ's,i~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Q$~_'I7~Mz  
    }dG>_/3  
    10. 总结 "qw.{{:tf  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "Fqrk>Q~  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 jYsg'Rl  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 XF99h&;9  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 p i\SRDP  
     
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