关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 q?0&0
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% 1. 描述 T+5H2]yy) ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (I1^nrDP. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 E|VTbEYG ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =$kSn\L,
Ob|tA 2. 系统 gPpk0LZi
7<5=fYbr 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
B-$ps=G+z 3. 透镜系统组件编辑 Fdx4jc13w
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *>lXCx
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /EZ -
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [&p/7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 %W2
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wI[J> 9Qn }%,LV]rGEZ 4. 光线追迹系统分析器-选项 O3p<7`K<4 A{Y/eG8 -ozcK
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hi ),PfAV
■ 可以选择选取光线的方法: gp^xl>E
— 在x-y-网格 R8j\CiV17
— 六边形 m]VOw)mBF
— 自由选取 drB$q[Ak9
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3`njQvI\ XE:bYzH 5. 系统的3维视图 h& Ezhv2 9@
^*\s S"Ag7i 6. 其他系统参数 P[P]oT.N
■ 系统由单色平面波照明 sFRQFX0XoY ■ 照明波长266.08nm @WzrrCpj ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: A^7}:[s20 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C7MCMM|S — 一个虚拟屏位于焦平面 :1!k*5 — 光束尺寸探测器置于焦平面 ENZYrWl
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 }Szs9-Wns 3=^B
&AB 1KI5tf>>p arn7<w0 iuoZk5O 7. 光线追迹系统分析器的结果 ]Mgxv>zRbs |
Fk9ME 光线经过整个光学系统的三维视图
w`>g^_xsg 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$4>x4* %T~LK=m kO8oH8Vt .!g }vX/55 (0S;eM& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {mB &xz:b DcNwtts /h K/t;
■ VirtualLab可用于计算点列图。 \.MPjD
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 esHcE{GNOS
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 m)xz_Plc
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 A}0u-W
.v#Tj|w^ 9. 焦平面上的结果 +C`zI~8
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 EceD\}
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Ccy0!re
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ]iH~1 [
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 G/_9!lE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 W0N*c*k -F';1D!l% 10. 总结 ]*yUb-xY ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wO*x0$ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |6zx
YuX ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,V #r ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4k=LVu]Kcr