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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 q?0&0  
    gHWsKE  %  
    1. 描述 T+5H2]yy)  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 (I1^nrDP.  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 E|VTbE YG  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =$kSn\L,  
    Ob|tA  
    2. 系统 gPpk0LZi  
    7<5=fYb r  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    B-$ps=G+z  
    3. 透镜系统组件编辑 Fdx4jc13w  
    ZzT"u1,&  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *>lXCx  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /E Z -  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [&p/7  
    包括序列光学表面和光学介质。 %W2 o`W$  
    wI[J>9Qn  
    }%,LV]rGEZ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 O3p<7`K<4  
    A{Y/eG8  
    -ozcK  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hi ),PfAV  
    可以选择选取光线的方法: gp^xl>E  
    — 在x-y-网格 R8j\CiV17  
    — 六边形 m]VOw)mBF  
    — 自由选取 drB$q [Ak9  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    3`njQvI\  
    XE:bYzH  
    5. 系统的3维视图 h& Ezhv2  
    9@ ^*\s  
    S"Ag7i  
    6. 其他系统参数 P[P]oT.N  
    系统由单色平面波照明 sFRQFX0XoY  
    照明波长266.08nm @Wzr rCpj  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: A^7}:[s20  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C7MCMM|S  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 :1!k*5  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ENZYrWl  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 }Szs9-Wns  
    3=^B &AB  
    1KI5tf>>p  
    arn7<w0  
    i uoZk5O  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ]Mgxv>zRbs  
    | Fk9ME  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    w `>g^_xsg  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $4>x4*  
    %T~LK=m  
    kO8oH8Vt  
    .!g  
    }vX/55  
    (0 S;eM&  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {mB &xz:b  
    DcNwtts  
    /h K/t;  
    VirtualLab可用于计算点列图。  \.MPjD  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 esHcE{GNOS  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 m)xz_Plc  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 A}0u-W  
    .v#Tj|w^  
    9. 焦平面上的结果 +C`zI~8  
    >L88`  
    `g,i `<  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 EceD\}  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Ccy0!re  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ]iH~ 1[  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 G/_9!lE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    W0 N*c*k  
    -F';1D!l%  
    10. 总结 ]*yUb-xY  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 w O*x0$  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |6zx YuX  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,V # r  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4k=LVu]Kcr  
     
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