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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要  fOKAy'  
                                             [,;O$j}  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 nv(6NV  
    \ [M4[Qlq  
    建模任务 *v: .]_;  
    t8;nP[`  
    系统构建块-扫描源                                                     -O r\  
    |Bv,*7i&  
    How to Set Up a Scanning Source :T>OJ"p  
                                                                                   eYn/F~5-  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 0W_u"UY$c  
    {%RwZ'  
    系统构建块-参数耦合 W<TfDEEa  
       &OkPO|  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 7VdxQ T  
                                                                                       !aJ6Uf%R  
    系统构建块-失真分析仪 }[PC YnS  
                                                                               A;6ew4  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 C1qlB8(Wh>  
      @k#xr  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               l>hvWK[ ?I  
    U-$nwji  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         \/nSRAk  
    `Tk~?aY  
    *y` (^kyS  
     ``@e7~F{  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: yMmUOIxk\  
    q0['!G%["  
    Universal Detector e~9g~k]s  
                                                                                   YY$Z-u(  
    总结-组件… 5^CWF|  
    fQ -IM/z  
     b`Jsu!?{  
    系统观感   g706*o)h  
     glkH??S  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 !/! Fc'A  
    ux 17q>G  
     bweAmSs  
    性能评估-点位偏差 e? |4O< @  
    Gv[(0  
                                       TN08 ,:k  
    性能评估-光斑直径测量                                                       YUyYVi7clq  
    QF22_D<.}J  
    H;DjM;be  
    nU6UjC|3  
    |TF6&$>d  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 r Cz,XYV  
    >7 cDfv"  
    VirtualLab Fusion技术 3{Zd<JYg4-  
             \ NKw,`/  
     
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