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这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过光栅的二维截面。在这种情况下,线栅的横截面呈梯形,它位于衬底上,被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 !_-sTZ 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。 .n&
Cq+U; S偏振光照明的近场强度 P偏振光照明的近场强度 Sja{$zL+W 后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 v;]I^Kq 1m<?Q&|m$ 参数扫描 3R%UPT0> JV]u(PL Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表,显示了反射和透射衍射级次的强度: Q|=
Q]$d omv6_DdZ 在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时,线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系: V l~Y s'aV q B
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