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%tGO?JMkd 内容简介 vk^xT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _G@GpkSe> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 S,UDezxg 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 "!^"[mX4 I\ob7X'Xu! 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 A;M'LM- M 目录 _Fl9>C"u Preface 1 >kVz49j 内容简介 2 #X1ND 目录 i DTL.Bsc-. 1 引言 1 DvvK^+-~ 2 光学薄膜基础 2 )y$(AJx$ 2.1 一般规则 2 wmLs/:~ 2.2 正交入射规则 3 57c8xk[.2 2.3 斜入射规则 6 4tBYR9| 2.4 精确计算 7 :vbW 2.5 相干性 8 e\L8oOk#r 2.6 参考文献 10 ?e 4/p 3 Essential Macleod的快速预览 10 |CyE5i0 4 Essential Macleod的特点 32 XSLFPTDEc 4.1 容量和局限性 33 a:w#s}bL 4.2 程序在哪里? 33 @o`AmC.
8 4.3 数据文件 35 =Xr.'(U 4.4 设计规则 35 9%9#_?RW 4.5 材料数据库和资料库 37 ?Ir:g=RP* 4.5.1材料损失 38 @q)d 4.5.1材料数据库和导入材料 39 K$=zi}J W 4.5.2 材料库 41 wibNQ`4k 4.5.3导出材料数据 43 D&y7-/ 4.6 常用单位 43 0g8NHkM:2a 4.7 插值和外推法 46 T>W,'H 4.8 材料数据的平滑 50 S
f#
R0SA 4.9 更多光学常数模型 54 nxFBI D 4.10 文档的一般编辑规则 55 5{,<j\#L 4.11 撤销和重做 56 Mo|2}nf 4.12 设计文档 57 ~P-mC@C 4.10.1 公式 58 p!%pP}I 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 h<QY5=SF 4.10.3 沉积密度 59 ~k5W@`"W 4.10.4 平行和楔形介质 60 C3g_!dUs 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Nh+ H 9 4.10.4 性能 61 #RLt^$!H 4.10.5 保存设计和性能 64 X:{!n({r= 4.10.6 默认设计 64 f$QNg0v 4.11 图表 64 _+MJ%'>S 4.11.1 合并曲线图 67 :ShT|n7 4.11.2 自适应绘制 68 Ow,b^| 4.11.3 动态绘图 68 FS1z`wYP 4.11.4 3D绘图 69 )4 ;`^]F 4.12 导入和导出 73 8u]2xB=K 4.12.1 剪贴板 73 YS_;OFsd 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 e*1_ 8I#2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Vxt+]5X 4.13 背景 77 Z;"vW!%d 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 .=;
; 4.15 生成Rugate 84 47/iF97 4.16 参考文献 91 \~ wMfP8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 @C aG9] 5.1 Jobs 92 #g!.T g' 5.2 创建一个新Job(工作) 93 2Tppcj v 5.3 输入材料 94 |y!A&d=xYn 5.4 设计数据文件夹 95 <~=Vg 5.5 默认设计 95 k9F=8q 6 细化和合成 97 ]]yO1x$Kk 6.1 优化介绍 97 -UT}/:a 6.2 细化 (Refinement) 98 <gBA1oRz 6.3 合成 (Synthesis) 100 TD_Oo-+\ 6.4 目标和评价函数 101 Cgc\
ah 6.4.1 目标输入 102 93hxSRw 6.4.2 目标 103 PPsE${! 6.4.3 特殊的评价函数 104 poFg1 6.5 层锁定和连接 104 -s/ea~=R 6.6 细化技术 104 e96k{C`j0 6.6.1 单纯形 105 #X"@<l4F 6.6.1.1 单纯形参数 106 +"VP-s0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 hpk7 Anp 6.6.2.1 Optimac参数 108 8dhUBJ0_ 6.6.3 模拟退火算法 109 xkAK!uVy 6.6.3.1 模拟退火参数 109 $ME)#( 6.6.4 共轭梯度 111 a'IdYW0 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 U/BR*Zn]* 6.6.5 拟牛顿法 112 syK^<xa 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4KrL{Z+} 6.6.6 针合成 113 yV(\R 6.6.6.1 针合成参数 114 ehY5!D1Q 6.6.7 差分进化 114 Wm5dk9&x 6.6.8非局部细化 115 Xha..r 6.6.8.1非局部细化参数 115 qIqM{#' ^ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8\gjST* 6.7.1 细化 116 cN9t{.m 6.7.2 合成 117 %~S&AE- 6.8 参考文献 117 ReeH@.74 7 导纳图及其他工具 118 ~PNub E 7.1 简介 118 ;A!BVq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 @s^-.z 7.2.1 四分之一波长规则 119 L8 @1THY 7.2.2 导纳图 120 >&k-'`Nw 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pD]OT-8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 -Y;3I00( 7.5 斜入射导纳图 141 L j$;:/G 7.6 对称周期 141 `y* }lg T 7.7 参考文献 142 _wL BA^d^ 8 典型的镀膜实例 143 &jr3B;g!C 8.1 单层抗反射薄膜 145 Z EO WO 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^sg,\zD 'X 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ~y[7K{{ ;T 8.4 W-膜层 148 6S\8$ 8.5 V-膜层 149 tklH@'q 8.6 V-膜层高折射基底 150 HUO j0T 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ]M'=^32 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 M&
CqSd 8.9 四层抗反射薄膜 153 +d-NL?c 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 GowH]MO 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Dn }Jxu'( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ei5~& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 D|#E9OQzs 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 da~],MN 8.15十五层宽带抗反射膜 159 c6/=Gq{. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 W`*r>`krVJ 8.17 1/4波长堆栈 162 s&J]zb` 8.18 陷波滤波器 163 &
"B=/-( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 7vj2
`+r. 8.20 褶皱 165 9Lfv^V0 8.21 消偏振分光器1 169 Fea(zJ_ 8.22 消偏振分光器2 171 FNId; 8.23 消偏振立体分光器 172 @AuO`I@p= 8.24 消偏振截止滤光片 173 G<;*SYAb 8.25 立体偏振分束器1 174 PE 5G 8.26 立方偏振分束器2 177 eKqk= ( 8.27 相位延迟器 178 5i{j' {_(8 8.28 红外截止器 179 cPc</[x[W 8.29 21层长波带通滤波器 180 d8x;~RA 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,wdD8ZT'Ip 8.31 55层短波带通滤波器 182 jm r"D> 8.32 47 红外截止器 183 vgN&K@hJ 8.33 宽带通滤波器 184 $7A8/# 8.34 诱导透射滤波器 186 -RK- Fu<e 8.35 诱导透射滤波器2 188 efE.&] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 b*Q&CL 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 mU9kVx1+ 8.35 增益平坦滤波器 193 %GIr&V4| 8.38 啁啾反射镜 1 196 lCHO;7YHX 8.39 啁啾反射镜2 198 _2 osV[e 8.40 啁啾反射镜3 199 u,Kly<0j 8.41 带保护层的铝膜层 200 &XUiKnNW 8.42 增加铝反射率膜 201 njA#@fU 8.43 参考文献 202 Ef13Q]9| 9 多层膜 204 &Z|P2 dI 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 TrR8?- 9.2 内部透过率 204 g95`.V} 9.3 内部透射率数据 205 6/dI6C! 9.4 实例 206 DkAAV9* 9.5 实例2 210 @49S` 9.6 圆锥和带宽计算 212 )TM4R)r%)9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 QUQ'3 10 光学薄膜的颜色 216 1D!<'`)AY 10.1 导言 216 WvZ8/T'x 10.2 色彩 216 ^&Y#)II 10.3 主波长和纯度 220 ?p8_AL'RS 10.4 色相和纯度 221 gt w Q- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 D*|Bb? 10.6 色差 226 _ZkI)o 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 K8Y=S12Ti 10.8 颜色渲染指数 234 \mlqO[ S 10.9 色差计算 235 R]*K:~DM 10.10 参考文献 236 OY@ %p}l 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `%WU8Yv 11.1 短脉冲 238 R<N
]B 11.2 群速度 239 YLn?.sV{[0 11.3 群速度色散 241 {h`uV/5@` 11.4 啁啾(chirped) 245 hpL;bM' 11.5 光学薄膜—相变 245 zjoq6 11.6 群延迟和延迟色散 246 \=0Vi6!Mc 11.7 色度色散 246 Rr|VD@% 11.8 色散补偿 249 kt$jm)UI~l 11.9 空间光线偏移 256 rguC p}r 11.10 参考文献 258
c=.(!qdH 12 公差与误差 260 e'b(gD} 12.1 蒙特卡罗模型 260 85xR2 <: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 XAL1|]S 12.2.1 误差工具 267 -4_$lnw$ 12.2.2 灵敏度工具 271 aPbE;"
f 12.2.2.1 独立灵敏度 271 KRDmY+ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 "C0Q(dr/n 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 }Y36C.@H 12.3 参考文献 276 5iydZ 13 Runsheet 与Simulator 277 jPW#(3hoE 13.1 原理介绍 277 R`^_(yn> 13.2 截止滤光片设计 277 _/5H l` 14 光学常数提取 289 Aj+F
|l 14.1 介绍 289 i5,kd~%O 14.2 电介质薄膜 289 [Nbm|["q~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 r<Kx0`y 14.4 基底的参数提取 302 )gy!GK 14.5 金属的参数提取 306 j^rIH#V 14.6 不正确的模型 306 i9][N5\$ 14.7 参考文献 311 M{hg0/}sUW 15 反演工程 313 $,Yd>%Y 15.1 随机性和系统性 313 I,@6J(9 15.2 常见的系统性问题 314 6MdiY1Lr!K 15.3 单层膜 314 F;0}x;:> 15.4 多层膜 314 OMg<V 15.5 含义 319 2Dj%,gaR 15.6 反演工程实例 319 %UCr;H/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )iK6:s# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H-f X(9 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 LvUj9eVb/L 16.1 光学性质的热致偏移 329 ..'_o~Ka 16.2 应力工具 335 M, mvys$ 16.3 均匀性误差 339 xLH)P<^`C 16.3.1 圆锥工具 339 Jcm&RI"{ 16.3.2 波前问题 341 2{G:=U 16.4 参考文献 343 F,)%?<!I 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Z lzjVU/E 17.1 引言 345 g0ly 17.2 操作数 345 e|WJQd4+S 18 如何在Function中编写脚本 351 d-r@E3 18.1 简介 351 %
0+j?>#X 18.2 什么是脚本? 351 VrQmP 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 0o*8#i/)!3 18.4 基础 352 xw2[d+mB 18.4.1 Classes(类别) 352 $F+ L Ds 18.4.2 对象 352 eu|;eP-+d 18.4.3 信息(Messages) 352 e@*
EzvO 18.4.4 属性 352 o:P}Wg/NK 18.4.5 方法 353 {w^+\]tC 18.4.6 变量声明 353 s?,Ek 18.5 创建对象 354 #O}
,`[< 18.5.1 创建对象函数 355 .qZ~_xk d 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 zz4N5[" 18.5.3 丢弃对象 356 "v({, 18.5.4 总结 356 <oA7'|Bu< 18.6 脚本中的表格 357 7f!YoW;1 18.6.1 方法1 357 TOXfWEU3> 18.6.2 方法2 357 y^v6AM 18.7 2D Plots in Scripts 358 8=uu8-l8g 18.8 3D Plots in Scripts 359 3!oi +_ 18.9 注释 360 NDlF0f 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =wOm}V8N& 18.11 一个更高级的脚本 362 P?B;_W+~A. 18.12 <esc>键 364 =Bhe'.]QSx 18.13 包含文件 365 p &"`RS#Z 18.14 脚本被优化调用 366 (w/T-* 18.15 脚本中的对话框 368 "~7>\>UFh 18.15.1 介绍 368 eMY<uqdw 18.15.2 消息框-MsgBox 368 8sM|%<$=j 18.15.3 输入框函数 370 Ne{?:h.! 18.15.4 自定义对话框 371 OJ5#4qJ[ 18.15.5 对话框编辑器 371 $jI3VB 18.15.6 控制对话框 377 jun_QiU:2 18.15.7 更高级的对话框 380 *<jAiB,O* 18.16 Types语句 384 {NFr]LGOp 18.17 打开文件 385 :AF =<X*5 18.18 Bags 387 {rH@gz|@i 18.13 进一步研究 388 lc,tVe_ 19 vStack 389 7k9G(i[-+ 19.1 vStack基本原理 389 dP<=BcH>f 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 1o;J,dYu 19.3 五棱镜 393 ]X5 9 19.4 光束距离 396 _'>oXQJ 19.5 误差 399 B43HNs 19.6 二向分色棱镜 399 W=Mb 19.7 偏振泄漏 404 6dN7_v) 19.8 波前误差—相位 405 W;L7SF g) 19.9 其它计算参数 405 ke]Lw 20 报表生成器 406 9m<jcxla$ 20.1 入门 406 ],FMwCI 20.2 指令(Instructions) 406 `YLD`(\ 20.3 页面布局指令 406 :'3XAntZA 20.4 常见的参数图和三维图 407 ;/fF,L{c 20.5 表格中的常见参数 408 +*T7@1 20.6 迭代指令 408 : $Y9jR 20.7 报表模版 408 ")dH,:#S 20.8 开始设计一个报表模版 409 Ax?y 21 一个新的project 413 )ufg9"\ 21.1 创建一个新Job 414 oe
|)oTv 21.2 默认设计 415 w' OXlR 21.3 薄膜设计 416 ,dov<U[ia 21.4 误差的灵敏度计算 420 6) -X 21.5 显色指数计算 422 Jz.NHiLct1 21.6 电场分布 424 G!W[8UG 后记 426 y8L D7<1u 有兴趣可以扫码加微联系 ;8*`{F[
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