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bgzT3KZ 内容简介 !Z+*",]_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 :YRzI(4J 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 =7J|KoKK 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 f>wW}- >DL-Q\U 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 A&}nRP9 目录 oQ-|\?{;A Preface 1 o7@4=m} 内容简介 2 q~g&hR}K 目录 i R.2KYhp, 1 引言 1 \MFWK#W 2 光学薄膜基础 2 %)6:eIS 2.1 一般规则 2 :AqnWy 2.2 正交入射规则 3 2=/g~rp* 2.3 斜入射规则 6 V=l Q}sBY 2.4 精确计算 7 sw qky5_K 2.5 相干性 8 Ti@P4:q
2.6 参考文献 10 XvzV
lKL 3 Essential Macleod的快速预览 10 Z_OqXo= 4 Essential Macleod的特点 32 dV2b)p4J 4.1 容量和局限性 33 Dpp52UnTE 4.2 程序在哪里? 33 Am=PUQF$ 4.3 数据文件 35 ]-s`# 4.4 设计规则 35
Uhx2 _ 4.5 材料数据库和资料库 37 B=Jd%Av 4.5.1材料损失 38 /w xxcq 4.5.1材料数据库和导入材料 39 : .w'gU_ 4.5.2 材料库 41 |z7Crz 4.5.3导出材料数据 43 8DS5< 4.6 常用单位 43 98%tws` 4.7 插值和外推法 46 "6NNId|Y 4.8 材料数据的平滑 50 ,cO)Sxj
4.9 更多光学常数模型 54 _467~5JkU 4.10 文档的一般编辑规则 55 1yRd10 4.11 撤销和重做 56 NMY!-Kv 5 4.12 设计文档 57 T#^6u) 4.10.1 公式 58 3]]6z K^i 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 zUgkY`]:BJ 4.10.3 沉积密度 59 >93{=+ 4.10.4 平行和楔形介质 60 +VW]%6+ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 N8(x), 4.10.4 性能 61 leYmVFE 4.10.5 保存设计和性能 64 }]GK@nn7 4.10.6 默认设计 64 L2O57rT2 4.11 图表 64 ?d#(ian 4.11.1 合并曲线图 67 C`_D{r 4.11.2 自适应绘制 68 #<>E+r+ 4.11.3 动态绘图 68 l3|>*szX 4.11.4 3D绘图 69 _,?H rL9 4.12 导入和导出 73 ;3}b&Z[N] 4.12.1 剪贴板 73 z'K7J'(R 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Cv7RCjMw 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 vlyNQ7"% 4.13 背景 77 XN%D`tbvJ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %LlKi5u] 4.15 生成Rugate 84 GeTCN 4.16 参考文献 91 ,ZW.P` 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _r)nbQm& 5.1 Jobs 92 `CouP-g. 5.2 创建一个新Job(工作) 93 RXvcy< 5.3 输入材料 94 dsoRPX']= 5.4 设计数据文件夹 95 U]&%EqLS 5.5 默认设计 95 }slEkpk?] 6 细化和合成 97 H t$%)j9 6.1 优化介绍 97 ]V\g$@ 6.2 细化 (Refinement) 98 S%|'
/cFo 6.3 合成 (Synthesis) 100 >%A=b}VS 6.4 目标和评价函数 101 ~a)20 6.4.1 目标输入 102 CA~S$H\" 6.4.2 目标 103 @WUCv7U 6.4.3 特殊的评价函数 104 t)b>f~ 6.5 层锁定和连接 104 sAj$U^Gp 6.6 细化技术 104 +eat,3Ji 6.6.1 单纯形 105 wQ95tN 6.6.1.1 单纯形参数 106 nI` 1@vB& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 t*$@QO 6.6.2.1 Optimac参数 108 !1]xKNp] 6.6.3 模拟退火算法 109 ON^u|*kO 6.6.3.1 模拟退火参数 109 !b
Km}1T 6.6.4 共轭梯度 111 o{eG6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3?<vnpN=5d 6.6.5 拟牛顿法 112 ?/ g(Y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 |9@;Muq; 6.6.6 针合成 113 S|i
//I%_ 6.6.6.1 针合成参数 114 Il[WXt<S 6.6.7 差分进化 114 3J{'|3x 6.6.8非局部细化 115 *+ayC{! 6.6.8.1非局部细化参数 115 ZGBcy}U(k 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ('Pd
GV4V 6.7.1 细化 116 "5FeP; 6.7.2 合成 117 2I5@zm
ea 6.8 参考文献 117 0
$r{h}[^c 7 导纳图及其他工具 118 aeIR}'H| 7.1 简介 118 xae7#d0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 +yk>jx 7.2.1 四分之一波长规则 119 '>8N'* 7.2.2 导纳图 120 >3/<goXk7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 c_i;' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 J=Z"sU= 7.5 斜入射导纳图 141 L!RLw4
7.6 对称周期 141 !`o=2b=N 7.7 参考文献 142 e~1??k.;= 8 典型的镀膜实例 143 ofV{SeD67 8.1 单层抗反射薄膜 145
}#1g; 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 x1Uj4*Au 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 u=5^xpI<D 8.4 W-膜层 148 wS*UXF&f 8.5 V-膜层 149 2zAS
\Y 8.6 V-膜层高折射基底 150 asb")NfIm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 fjf\/% 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jw
H)x 8.9 四层抗反射薄膜 153 {|50&]m 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 EJZ2V>\_-0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #Uo
9BM 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 fu/v1~X 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 oVs&r?\Z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 SExd-=G 8.15十五层宽带抗反射膜 159 z;LntQZp- 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 :%{8lanO 8.17 1/4波长堆栈 162 9tJiIr8i 8.18 陷波滤波器 163 #'8E%4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 a"}?{ 8.20 褶皱 165 Gg/K 8.21 消偏振分光器1 169 \
FA7 +Q 8.22 消偏振分光器2 171 5 gE 8.23 消偏振立体分光器 172 ^z_~e@U 8.24 消偏振截止滤光片 173 _d:l1jD 8.25 立体偏振分束器1 174 ,+f'%)s_x 8.26 立方偏振分束器2 177 2$|WXYY 8.27 相位延迟器 178 6j0!$q^ 8.28 红外截止器 179 Rv }e+5F 8.29 21层长波带通滤波器 180 Rgg(rF=K6 8.30 49层长波带通滤波器 181 Q\}5q3 8.31 55层短波带通滤波器 182 "gYn$4|R7* 8.32 47 红外截止器 183 4Xlq
Ym 8.33 宽带通滤波器 184 XB2[{XH, 8.34 诱导透射滤波器 186 \qKh9 8.35 诱导透射滤波器2 188
EP*"=_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 WEZ)7H 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 7aS`SF 8.35 增益平坦滤波器 193 .,I^) 8c 8.38 啁啾反射镜 1 196 uN2Ck 8.39 啁啾反射镜2 198 THC34u] 8.40 啁啾反射镜3 199 YFeF(k!!n 8.41 带保护层的铝膜层 200 rz5AIe>Hm 8.42 增加铝反射率膜 201 r1f## 8.43 参考文献 202 sSU p7V 9 多层膜 204 U*b1yxt 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 A@4sb
W_
9.2 内部透过率 204 edD1 9A 9.3 内部透射率数据 205 {wVj-w=<W 9.4 实例 206 Jsde+G,N 9.5 实例2 210 0CX2dk"UB^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 hX;JMQ915 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9l<f?OzAO 10 光学薄膜的颜色 216 0ZcvpR?G 10.1 导言 216 >UlAae44 10.2 色彩 216 TL'^@Y7X5 10.3 主波长和纯度 220 xvU@,bzz 10.4 色相和纯度 221 ROb2g|YXG 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -y]e`\+[ 10.6 色差 226 I54`}Npp 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 s1~&PH^ 10.8 颜色渲染指数 234 ,%Sf,h?"^ 10.9 色差计算 235 c{4Y?SSx 10.10 参考文献 236 mQwP-s 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 fRlO.!0( 11.1 短脉冲 238 3;v%78[&P 11.2 群速度 239 iTUOJ3V7i 11.3 群速度色散 241 ebv"`0K$ 11.4 啁啾(chirped) 245 %OT} r 11.5 光学薄膜—相变 245 4Kl{^2 11.6 群延迟和延迟色散 246 C[c^zn
11.7 色度色散 246 e:`d)GE 11.8 色散补偿 249 _98
%?0 11.9 空间光线偏移 256 7^bde<0 11.10 参考文献 258 S29k IJ 12 公差与误差 260 ;;f&aujSHD 12.1 蒙特卡罗模型 260 $- 4 Zi 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yUY* l@v] 12.2.1 误差工具 267 nA1059B
12.2.2 灵敏度工具 271 I
l2`c}9 12.2.2.1 独立灵敏度 271 N$I@]PL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 md
S`nhb 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 og$%`o:{ 12.3 参考文献 276 ))NiX^)8^ 13 Runsheet 与Simulator 277 {BI5lvx: 13.1 原理介绍 277 P70]Ju 13.2 截止滤光片设计 277 D^-6=@<3KD 14 光学常数提取 289 *h9S\Pv>j 14.1 介绍 289 nm}wdel" 14.2 电介质薄膜 289 }eLnTi{ 14.3 n 和k 的提取工具 295 z
Go*N,' 14.4 基底的参数提取 302 Kf>]M|G c 14.5 金属的参数提取 306 hW Va4 14.6 不正确的模型 306 99/`23YL 14.7 参考文献 311 _$vAitUe4S 15 反演工程 313 ;;{!wA+"D 15.1 随机性和系统性 313 3v?R"2\qS 15.2 常见的系统性问题 314 e6y,)W"WW2 15.3 单层膜 314 7Z7e}|
\W 15.4 多层膜 314 z]d2
rzV(_ 15.5 含义 319 4Rv.m*^ B 15.6 反演工程实例 319 40i]I@:JK 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 G[4$@{ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 W3~xjS"h 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 }bA@QEJ 16.1 光学性质的热致偏移 329 {wq~+O 16.2 应力工具 335 SSH 1Ge5| 16.3 均匀性误差 339
O86[`, 16.3.1 圆锥工具 339 8x /]H(J 16.3.2 波前问题 341 B K/_hNz 16.4 参考文献 343 \#%1t 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >JUOS2 17.1 引言 345 #fQ}8UxU, 17.2 操作数 345 +>*! 3x+sE 18 如何在Function中编写脚本 351 aFf(m- 18.1 简介 351 yR'%UpaE 18.2 什么是脚本? 351 g\~n5=-D 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 q1_iV.G< 18.4 基础 352 [PP&}.k4" 18.4.1 Classes(类别) 352 P7D__hoE 18.4.2 对象 352 W9M~2<
L 18.4.3 信息(Messages) 352 ?j^:jV 18.4.4 属性 352 Yk @/+PE 18.4.5 方法 353 2, R5mL$ 18.4.6 变量声明 353 6U(MHxY 18.5 创建对象 354 d,+a}eTP' 18.5.1 创建对象函数 355 Ax{C ^u 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 L<H zPg 18.5.3 丢弃对象 356 J)n^b 18.5.4 总结 356 Zog&:]P'F 18.6 脚本中的表格 357 dK d"2+fH 18.6.1 方法1 357 dh0n B 18.6.2 方法2 357 -F~"W@9r 18.7 2D Plots in Scripts 358 AU3>v 18.8 3D Plots in Scripts 359 ;&OVV+y 18.9 注释 360 PHU$<> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 MfG8=H2#| 18.11 一个更高级的脚本 362 GJj} |+| 18.12 <esc>键 364 eo&^~OVT 18.13 包含文件 365 7N4)T'B
18.14 脚本被优化调用 366 H63?Erh>a 18.15 脚本中的对话框 368 <sw fYT!N 18.15.1 介绍 368 ./@C 18.15.2 消息框-MsgBox 368 mV++7DY 18.15.3 输入框函数 370 H84Zg/ ^ 18.15.4 自定义对话框 371 G}LOQ7 18.15.5 对话框编辑器 371 8/"R&yAh 18.15.6 控制对话框 377 AOv>O52F/Q 18.15.7 更高级的对话框 380 oZ\zi> Y, 18.16 Types语句 384 #7Jvk_r9Y 18.17 打开文件 385 p>h}k_s 18.18 Bags 387 7RCVqc" 18.13 进一步研究 388 IylfMwLC 19 vStack 389 ;U[W $w[ 19.1 vStack基本原理 389 Ti>2N 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 BT|n+Y[ 19.3 五棱镜 393 (Qd@Q,@(s 19.4 光束距离 396 bltZQI| 19.5 误差 399 [PH56f 19.6 二向分色棱镜 399 S
N;1F 19.7 偏振泄漏 404 F5
7Kr5X 19.8 波前误差—相位 405 F0KNkL>&g 19.9 其它计算参数 405 ;nw}x4Y[ 20 报表生成器 406 CZ.HQc 20.1 入门 406
U92?e}=] 20.2 指令(Instructions) 406 Sh(XFUJ 20.3 页面布局指令 406 c F}9ldc 20.4 常见的参数图和三维图 407 FF~VV< |