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cUM_ncYOP 内容简介 =F[lg?g Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Ns~g+C9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ;_bq9x 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 h9Z[z73_a }wG|%Y#+r 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 'Aet{A=9 目录 g`{Dxb,t Preface 1 ;>/ipnx 内容简介 2 ZpTi:3> 目录 i jDp]R_i 1 引言 1 *vXDuhQ 2 光学薄膜基础 2 p}r yKW\cJ 2.1 一般规则 2 9<~,n1b>x 2.2 正交入射规则 3 {Ot[WF 2.3 斜入射规则 6 5D-BIPn=JV 2.4 精确计算 7 >+f'!*%7He 2.5 相干性 8 =_pmy>_z 2.6 参考文献 10 (Z'WR 3 Essential Macleod的快速预览 10 HMQ'b(a' 4 Essential Macleod的特点 32 }kv) IJ 4.1 容量和局限性 33 'iGMn_& 4.2 程序在哪里? 33 +}\29@{W 4.3 数据文件 35 8|Q4-VK<! 4.4 设计规则 35 l [x%I 4.5 材料数据库和资料库 37 d^_itC;-, 4.5.1材料损失 38 n<+~ zQ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 zH'!fhcy 4.5.2 材料库 41 QZ:v 4.5.3导出材料数据 43 UT% #K % 4.6 常用单位 43 yh4jRe?f 4.7 插值和外推法 46 89ZDOji?O 4.8 材料数据的平滑 50 yCZ2^P!a 4.9 更多光学常数模型 54 !__D}k, 4.10 文档的一般编辑规则 55 JJ)y2 4.11 撤销和重做 56 bQ
i<0|S 4.12 设计文档 57 d7\k gh 4.10.1 公式 58 US"2O!u 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !+%Az*ik 4.10.3 沉积密度 59 /;[}=JL<Q 4.10.4 平行和楔形介质 60 L>i<dD{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 T R+Q4Y: 4.10.4 性能 61 fWqv3nY^ 4.10.5 保存设计和性能 64 0LZ=`tI 4.10.6 默认设计 64 JIB?dIN
1 4.11 图表 64 G)4ZK#wz 4.11.1 合并曲线图 67 '[ @F% 4.11.2 自适应绘制 68 [`cdlx?Eh 4.11.3 动态绘图 68 w
5!ndu 4.11.4 3D绘图 69 m`[oT\ 4.12 导入和导出 73 |2[S/8g! 4.12.1 剪贴板 73 ;,()wH 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 \IO$+Guh 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 SxnIX/]J 4.13 背景 77 t00\yb^vJ8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4o)(d=q 4.15 生成Rugate 84 .ou!g&xu 4.16 参考文献 91 1y_fQ+\2A 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 O-y6!u$6& 5.1 Jobs 92 hw EZj`9 5.2 创建一个新Job(工作) 93 s@.`"TF.7 5.3 输入材料 94 5B8V$ X 5.4 设计数据文件夹 95 Fc34Y0_A 5.5 默认设计 95 />2A<{6\=P 6 细化和合成 97 0\8*S3,q 6.1 优化介绍 97 $,xtif0 6.2 细化 (Refinement) 98 /8 e2dw:
\ 6.3 合成 (Synthesis) 100 Kx(76_XD 6.4 目标和评价函数 101 V=G b>_d 6.4.1 目标输入 102 a!TBk=P 6.4.2 目标 103 V[BY/<z)A 6.4.3 特殊的评价函数 104 !C9ps]6 6.5 层锁定和连接 104 3ybK6!g`[ 6.6 细化技术 104 wrZ7Sr!/V 6.6.1 单纯形 105 >!:$@!6L 6.6.1.1 单纯形参数 106 ,6S_&<{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 i}v}K'` 6.6.2.1 Optimac参数 108 34/]m/2NZK 6.6.3 模拟退火算法 109 mf
Wz@=0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 aYv'H 6.6.4 共轭梯度 111 z v L>(R 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =F",D= 6.6.5 拟牛顿法 112 uzzWZ9Tv 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 0A#9C09 6.6.6 针合成 113 ~u O:tL 6.6.6.1 针合成参数 114 U.zRIhA] 6.6.7 差分进化 114 B,BOzpb( 6.6.8非局部细化 115 y^EF<<\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 4Zv.[V]iOO 6.7 我应该使用哪种技术? 116 N (:E K 6.7.1 细化 116 >o0&:h|>$' 6.7.2 合成 117 .(P@Bl]XJ 6.8 参考文献 117 X~IRpzC 7 导纳图及其他工具 118 w~cq%% 7.1 简介 118 mG}^'?^K 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 uMiD*6,$< 7.2.1 四分之一波长规则 119 \Y>#^b? 7.2.2 导纳图 120 }5TfQV6 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 PMz{8
F 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8|S1|t, 7.5 斜入射导纳图 141 Y:tW] 7.6 对称周期 141 `g4Ekp'Rp[ 7.7 参考文献 142 1`2);b{@ 8 典型的镀膜实例 143 n6}E4Eno 8.1 单层抗反射薄膜 145 '0])7jq 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {|7OmslC@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 a `[?,W:q 8.4 W-膜层 148 m<,y-bQ*( 8.5 V-膜层 149 .dg 4gr\D 8.6 V-膜层高折射基底 150 u@:=qd=\ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 WcZo+r 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 +[ZMrTW!0C 8.9 四层抗反射薄膜 153 Z,N7nMJf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 &dwI8@& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >~^mIu_BH 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;QvvU[eb 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ?C#F?N0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 s$DT.cvO 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Gct&}]3pm 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \U<F\i 8.17 1/4波长堆栈 162 j"D0nG, 8.18 陷波滤波器 163 H(5ui`' s 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 DS[l,x 8.20 褶皱 165 'EH 8.21 消偏振分光器1 169 "x=@,*Bk 8.22 消偏振分光器2 171 xRTg
[ 8.23 消偏振立体分光器 172 [#
tT o;q 8.24 消偏振截止滤光片 173 /RXk[m- 8.25 立体偏振分束器1 174 >r4Y\"/j 8.26 立方偏振分束器2 177 %xbz&'W, 8.27 相位延迟器 178 S7#^u`'Q_^ 8.28 红外截止器 179 63y':g 8.29 21层长波带通滤波器 180 a dz;N;rIY 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?O.6 r" 8.31 55层短波带通滤波器 182 kw-Kx4 ) 8.32 47 红外截止器 183 v#<+n{B 8.33 宽带通滤波器 184 W O \lny! 8.34 诱导透射滤波器 186 v%l|S{>( 8.35 诱导透射滤波器2 188 *"wD&E? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 L2/<+Zw 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 pn_gq~5ng 8.35 增益平坦滤波器 193 NkjQyMF 8.38 啁啾反射镜 1 196 ''\cBM!
8.39 啁啾反射镜2 198 -SC2Zgi)A 8.40 啁啾反射镜3 199 }v(H
E%~} 8.41 带保护层的铝膜层 200 m|?"
k38 8.42 增加铝反射率膜 201 CgT QGJ}- 8.43 参考文献 202 <g|nmu)o$ 9 多层膜 204 zx]M/=7,V# 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L[[H\ 9.2 内部透过率 204 zm)CfEF
8 9.3 内部透射率数据 205 [(e`b 9.4 实例 206 WX[dM
}L 9.5 实例2 210 ,n,7.m.D 9.6 圆锥和带宽计算 212 I!0 $%
]F 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 r^o}Y 10 光学薄膜的颜色 216 -WHwz m 10.1 导言 216 i]^*J1a 10.2 色彩 216 tB(X`A.| 10.3 主波长和纯度 220 ywsz"/=@ 10.4 色相和纯度 221 [9W&1zY 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ?;.+A4 10.6 色差 226 Z]> e & N 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 YWBP'Mo 10.8 颜色渲染指数 234 Z5^,!6 10.9 色差计算 235 I}Gl*@K&O 10.10 参考文献 236 s)7`r6w 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ;Wrd=)Ka 11.1 短脉冲 238 HjF'~n 11.2 群速度 239 aid)q&AcQ 11.3 群速度色散 241 T?}=k{C] 11.4 啁啾(chirped) 245 $,@ rKRY 11.5 光学薄膜—相变 245 c,s<q j 11.6 群延迟和延迟色散 246 VT~
^:-] 11.7 色度色散 246 CYic_rF$ 11.8 色散补偿 249 %!hA\S 11.9 空间光线偏移 256 8'_
]gfF 11.10 参考文献 258 1.OXkgh 12 公差与误差 260 );.<Yf{c 12.1 蒙特卡罗模型 260 [?r\b 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8#JyK+NU 12.2.1 误差工具 267 Pc:'>,3!V3 12.2.2 灵敏度工具 271 x?k |i}Q 12.2.2.1 独立灵敏度 271 WaO;hy~us 12.2.2.2 灵敏度分布 275 %^@0tT 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 E=U^T/ 12.3 参考文献 276 ~|d?o5W 13 Runsheet 与Simulator 277 Q ]koj!mMl 13.1 原理介绍 277 P6Z,ci17 13.2 截止滤光片设计 277 ^J=txsx 14 光学常数提取 289 C g,w6<7 14.1 介绍 289 21J82M 14.2 电介质薄膜 289 Y?SJQhN6W 14.3 n 和k 的提取工具 295 '
xq5tRg> 14.4 基底的参数提取 302 =|t1eSzc 14.5 金属的参数提取 306 Vblf6qaBs 14.6 不正确的模型 306 ea;c\84_N 14.7 参考文献 311 eMMiSO!3 15 反演工程 313 :QY 9p T 15.1 随机性和系统性 313 gYIYA"xN` 15.2 常见的系统性问题 314 !~DkA7i 55 15.3 单层膜 314 @[N~;> 15.4 多层膜 314 ,3TD $2};. 15.5 含义 319 ]tV{#iIJ* 15.6 反演工程实例 319 3mn-dKe(( 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 /]58:euR 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H_$f
v_ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 46JP1 16.1 光学性质的热致偏移 329 n7<-lQRaxZ 16.2 应力工具 335 ~bQ:gArk 16.3 均匀性误差 339 @)B5^[4(; 16.3.1 圆锥工具 339 NNV.x7 16.3.2 波前问题 341 L.&Vi"M <@ 16.4 参考文献 343 T{2//$T? 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 r,@|Snv) 17.1 引言 345 -PuVI5L< 17.2 操作数 345 2MrR|hLx 18 如何在Function中编写脚本 351 fO|u(e
18.1 简介 351 ]o[HH_`s@ 18.2 什么是脚本? 351 &%51jM< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 d`*vJ#$>2 18.4 基础 352 ;{u#~d} 18.4.1 Classes(类别) 352 e"09b<69 18.4.2 对象 352 ({62GWnn_ 18.4.3 信息(Messages) 352 }{PtQc6RL! 18.4.4 属性 352 Eu_0n6J 18.4.5 方法 353 nr6[rq 18.4.6 变量声明 353 ^8t*WphZC 18.5 创建对象 354 h v+i{Z9!] 18.5.1 创建对象函数 355 AYtcN4\/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 l1j 18.5.3 丢弃对象 356 5{=MUU=
18.5.4 总结 356 x?$Y<=vT 18.6 脚本中的表格 357 g4932_tC 18.6.1 方法1 357 m=y)i]=1 18.6.2 方法2 357 dz DssAHy 18.7 2D Plots in Scripts 358 g9`ytWmM 18.8 3D Plots in Scripts 359
Hh/#pGf2 18.9 注释 360 4}b:..Ku 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 W#/Ol59 18.11 一个更高级的脚本 362 S!c@6&XJm? 18.12 <esc>键 364 !SNtJi$;v 18.13 包含文件 365 XBBRB<l) 18.14 脚本被优化调用 366 t)ry)[Dxv 18.15 脚本中的对话框 368 &Vm[5XW 18.15.1 介绍 368 T{Q& |