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]AC!R{H 内容简介 fAM4Q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 y5Wqu9C\Io 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1xdESorX( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~R?dDL E"1;i 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ul=a\;3x#| 目录 /IJ9_To Preface 1
~\:j9cC 内容简介 2 Kpp*^ 目录 i ilRm}lU|x 1 引言 1 KYRm
Ui# 2 光学薄膜基础 2 -6~dJTm[t 2.1 一般规则 2 WQLHjGehe 2.2 正交入射规则 3 !Zyx$2K 2.3 斜入射规则 6 vzyI::f? 2.4 精确计算 7 i3 l #~ 2.5 相干性 8 K!D_PxV 2.6 参考文献 10 G\:psx/ 3 Essential Macleod的快速预览 10 3n84YX{ 4 Essential Macleod的特点 32 L >Ez- 4.1 容量和局限性 33 rGn5QV 4.2 程序在哪里? 33 ngkeJ)M0$ 4.3 数据文件 35 vBnKu 4.4 设计规则 35 ]~
#+b> 4.5 材料数据库和资料库 37 61+pryW%g 4.5.1材料损失 38 Y0L5W;iM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 D=82$$ 4.5.2 材料库 41 2 -p 4.5.3导出材料数据 43 [zh4W*K_cq 4.6 常用单位 43 X6Nm!od' 4.7 插值和外推法 46 }* B qi7E> 4.8 材料数据的平滑 50 WJY4>7}{B@ 4.9 更多光学常数模型 54 V^Mf4!A(y 4.10 文档的一般编辑规则 55 "x.6W! 4.11 撤销和重做 56 Y( V3PnH 4.12 设计文档 57 yYG3/Z3u5 4.10.1 公式 58 zh{@?k 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 uzVG q!'H 4.10.3 沉积密度 59 |`k1zc)9 4.10.4 平行和楔形介质 60 38*'8=Y#> 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 0?6If+AC 4.10.4 性能 61 {7K'<ti 4.10.5 保存设计和性能 64 \=EY@*= 4.10.6 默认设计 64 3I;xU(rv 4.11 图表 64 w]W`R. 4.11.1 合并曲线图 67 38w.sceaT 4.11.2 自适应绘制 68 0279g 4.11.3 动态绘图 68 (pT(&/\8 4.11.4 3D绘图 69 /jjW/lr 4.12 导入和导出 73 xqQ~| 4.12.1 剪贴板 73 \8> 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 2|0Qk& 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 }DDVGs[ 4.13 背景 77 R8=I)I-8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 SLQ\Y%F 4.15 生成Rugate 84 Q{.{#G 4.16 参考文献 91 {8!ZKlB 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 f!M[awj% 5.1 Jobs 92 pB g|n=^ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 WA]%,6 5.3 输入材料 94 wVvqw/j*f 5.4 设计数据文件夹 95 l50|`
6t 5.5 默认设计 95 Xr@l+zr 6 细化和合成 97 93E, 6.1 优化介绍 97 %k3NT~ 6.2 细化 (Refinement) 98 o~OwE7H)A 6.3 合成 (Synthesis) 100 [):{5hMA 6.4 目标和评价函数 101 6?3/Ul} 6.4.1 目标输入 102 i\kTm?BQZ 6.4.2 目标 103 _DPB?)!x 6.4.3 特殊的评价函数 104 L;1$xI8tx 6.5 层锁定和连接 104 05l0B5'p 6.6 细化技术 104 3bbp>7V! 6.6.1 单纯形 105 dN$ 1$B^k 6.6.1.1 单纯形参数 106 3W7;f! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Kcscz, 6.6.2.1 Optimac参数 108 ZdE>C 6.6.3 模拟退火算法 109 #dva0%-1 6.6.3.1 模拟退火参数 109 HG{&U:>) 6.6.4 共轭梯度 111 o}9M`[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Veb+^& 6.6.5 拟牛顿法 112 d] b~)!VW 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 pY+.SuM 6.6.6 针合成 113 iGG6Myp- 6.6.6.1 针合成参数 114 zAeGkP ~K 6.6.7 差分进化 114 V,>+G6e 6.6.8非局部细化 115 ,{.zh&=4 6.6.8.1非局部细化参数 115 Ys"|</;dbj 6.7 我应该使用哪种技术? 116 "C_T]%'Wm 6.7.1 细化 116 1% $d D2 6.7.2 合成 117 Zu\p;!e 6.8 参考文献 117 nc3sty1` 7 导纳图及其他工具 118 |ZvNH ~! 7.1 简介 118 RL?u n}Qa 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ZWf-X 7.2.1 四分之一波长规则 119 6B7< 7.2.2 导纳图 120 DJmoW 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !UBy%DN~k 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 V~/.Y&WN 7.5 斜入射导纳图 141 YniZ(
~^K 7.6 对称周期 141 Ze-MAt 7.7 参考文献 142 U8CWz!;Qz 8 典型的镀膜实例 143 GE%2/z p 8.1 单层抗反射薄膜 145 -'I _*fu 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ]vm\3=@}9 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Ihdu1]~R{ 8.4 W-膜层 148 q:vz?G 8.5 V-膜层 149 /h/6&R0l 8.6 V-膜层高折射基底 150 Q Oz9\,C 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3LKB; 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ykxbX 8.9 四层抗反射薄膜 153 w+q?T 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 , p_G/OU
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ,`;jvY~Ec 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 =kd YN5R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ! mm5I#s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 D+f'*| 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ddoST``G 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
M{]e5+ 8.17 1/4波长堆栈 162 .
3GnZR,L 8.18 陷波滤波器 163 kGpV;F==* 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 UE^D2 u 8.20 褶皱 165 W@l+ciZ_ 8.21 消偏振分光器1 169 3DH.4@7P 8.22 消偏振分光器2 171 p?;-!TUv 8.23 消偏振立体分光器 172 s0r"N7~ 8.24 消偏振截止滤光片 173 1 ojhh7< 8.25 立体偏振分束器1 174 5 d+<EF+N 8.26 立方偏振分束器2 177 Z)/6??/R 8.27 相位延迟器 178 ,:^
N[b 8.28 红外截止器 179 N;<//, 8.29 21层长波带通滤波器 180 \ZS\i4 8.30 49层长波带通滤波器 181 JL.5QzA 8.31 55层短波带通滤波器 182 Yrpxy.1=F5 8.32 47 红外截止器 183 hL0]R,t;' 8.33 宽带通滤波器 184 &ik$L!iX 8.34 诱导透射滤波器 186 U|8[#@r 8.35 诱导透射滤波器2 188 F<5nGx cC 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !6Q`>s] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 r:-WzH(Ms 8.35 增益平坦滤波器 193 3wZ(+<4i 8.38 啁啾反射镜 1 196 X:Q$gO?[4 8.39 啁啾反射镜2 198 Y&s2C%jT 8.40 啁啾反射镜3 199 6)ycmu;!$ 8.41 带保护层的铝膜层 200 U h.Sc:trA 8.42 增加铝反射率膜 201 ;+
G9- 8.43 参考文献 202 s;J\Kc?"| 9 多层膜 204 va5FxF*% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4b4QbJ$ 9.2 内部透过率 204 rR]-RX( 9.3 内部透射率数据 205 k^^:;OR 9.4 实例 206 6yI}1g 9.5 实例2 210 X/Y#U\ 9.6 圆锥和带宽计算 212 71O3O7 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 }kE87x' 10 光学薄膜的颜色 216 =2,0Wo]$ 10.1 导言 216 `@|w>8bMz{ 10.2 色彩 216 %,|ztH/ Q 10.3 主波长和纯度 220 !qA8Zky_ 10.4 色相和纯度 221 :M j_2 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 }~Q5Y3]#~ 10.6 色差 226 noC?k }M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 kJk xx*:u 10.8 颜色渲染指数 234 W/r^ugDV 10.9 色差计算 235 G
AQ
'Ti1! 10.10 参考文献 236 t+Z`n(> 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6^;^rUlm 11.1 短脉冲 238 dv7<AJ 11.2 群速度 239 bD<qNqX$ 11.3 群速度色散 241
-4flV D 11.4 啁啾(chirped) 245 nLy#|C 11.5 光学薄膜—相变 245 [9V]On 11.6 群延迟和延迟色散 246 w(BH247` 11.7 色度色散 246 .$Bwb/a 11.8 色散补偿 249 `5'2Hg+ 11.9 空间光线偏移 256 .+E#q&= 11.10 参考文献 258 Ax!Gu$K2o 12 公差与误差 260 <tbZj=*O/o 12.1 蒙特卡罗模型 260 kX[fy7rVt 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 0Q~@F3N-\> 12.2.1 误差工具 267 .0|=[| 12.2.2 灵敏度工具 271 %M&3VQ9w 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Rg* J} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \cQ .|S 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 DA"}A`HfI 12.3 参考文献 276 B8m_'!;; 13 Runsheet 与Simulator 277 "+|L_iuNQ 13.1 原理介绍 277 Y-p<qL|_ 13.2 截止滤光片设计 277 (ZP87Gz 14 光学常数提取 289 [$a<b/4 14.1 介绍 289 PJgp+u< 14.2 电介质薄膜 289 Bux'hc 14.3 n 和k 的提取工具 295 }"zC
>eX& 14.4 基底的参数提取 302 |NrrTN?> 14.5 金属的参数提取 306 phP>3f.T 14.6 不正确的模型 306 !QEL"iJ6M' 14.7 参考文献 311 f:xWu- 15 反演工程 313 #Qbl=o4 15.1 随机性和系统性 313 k\N4@UK 15.2 常见的系统性问题 314 (][LQ6Pc 15.3 单层膜 314 :Q@)*kQH 15.4 多层膜 314 0oU=RbC 15.5 含义 319 ;/LD)$_ 15.6 反演工程实例 319 X=~V6m 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 [pgZbOIN37 15.6.2 反演工程提取折射率 327 [VSU"AJY 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 v-`h>J!Nx 16.1 光学性质的热致偏移 329 7@~tVxB; 16.2 应力工具 335 7Kf}O6nE 16.3 均匀性误差 339 cDV^8 R 16.3.1 圆锥工具 339 :0^s0l 16.3.2 波前问题 341 2cf' ,cv@8 16.4 参考文献 343 'v&}( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 sR=/%pVN 17.1 引言 345 cxP6-tV% 17.2 操作数 345 T_#,
A0 G 18 如何在Function中编写脚本 351 f h<*8w0H 18.1 简介 351 >dQ K.CG 18.2 什么是脚本? 351 4MW ]EQ- 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Zk?
= 18.4 基础 352 XnUO*v^] 18.4.1 Classes(类别) 352 o6}n8U}bk 18.4.2 对象 352 uDuF#3
+" 18.4.3 信息(Messages) 352 V"RpH, 18.4.4 属性 352 A^Cj1:, 18.4.5 方法 353 jo98
jA< 18.4.6 变量声明 353 !.Zt[ g} 18.5 创建对象 354 -5>NE35Cto 18.5.1 创建对象函数 355 UUtbD&\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G&9#*<F$c 18.5.3 丢弃对象 356 \ijMw 18.5.4 总结 356 ?o[L7JI 18.6 脚本中的表格 357 %_gho 18.6.1 方法1 357 BC/_:n8O 18.6.2 方法2 357 1n%8j*bJq 18.7 2D Plots in Scripts 358 y,m2(V 18.8 3D Plots in Scripts 359 }zMf7<C 18.9 注释 360 8SmjZpQ? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (P@Y36j>N 18.11 一个更高级的脚本 362 #y; yN7W 18.12 <esc>键 364 ;Zut@z4\ 18.13 包含文件 365 g]$
4~"|. 18.14 脚本被优化调用 366 Hs?zq 18.15 脚本中的对话框 368 6*XM7'n 18.15.1 介绍 368 Q9>U1]\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 h##WA=1QZ 18.15.3 输入框函数 370 py<_HyJ 18.15.4 自定义对话框 371 k%Vv?{g 18.15.5 对话框编辑器 371 raB+,Oi$G 18.15.6 控制对话框 377 3$p#;a:=n 18.15.7 更高级的对话框 380 (ku5WWJ 18.16 Types语句 384 ,x_Z JL 18.17 打开文件 385 eD;6okdP 18.18 Bags 387 XutF"9u 18.13 进一步研究 388 :FQ1[X1xm 19 vStack 389 D`o<,Y 19.1 vStack基本原理 389 rT7^-B* 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 |V&G81sM 19.3 五棱镜 393 3h=8"lRc 19.4 光束距离 396 pyB~M9Bp/ 19.5 误差 399 Cmd329AH 19.6 二向分色棱镜 399 46,j9x 19.7 偏振泄漏 404 KL3<Iz] 19.8 波前误差—相位 405 r%=[},JQ 19.9 其它计算参数 405 Q~,YbZ-7 20 报表生成器 406
<!'M} s 20.1 入门 406 VWf %v 20.2 指令(Instructions) 406 Dy9\O77> 20.3 页面布局指令 406 HFtf 20.4 常见的参数图和三维图 407 Of7+/UV 20.5 表格中的常见参数 408 )pgrl 20.6 迭代指令 408 -|_ir-j 20.7 报表模版 408 t/p $ 20.8 开始设计一个报表模版 409 'Z8aPHD 21 一个新的project 413 IF_D Z 21.1 创建一个新Job 414 ;4~U,+Av 21.2 默认设计 415 nkY@_N 21.3 薄膜设计 416 ;+_8&wbqW 21.4 误差的灵敏度计算 420 3fkk
[U 21.5 显色指数计算 422 PEXq:TA 21.6 电场分布 424 SN">gmY+ 后记 426 8b&uU [ 有兴趣可以扫码加微联系 l I-p_K
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