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/J")S?. [u 内容简介 }\!&3^I Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 KP(RK4F 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 NifzZEX 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &-mPj82R 60c cQ7= 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 0pYO-@E 目录 :OT~xU==H Preface 1 6nRXRO 内容简介 2 .KSPr 目录 i Oc8]A=M12 1 引言 1 |]kcgLqj 2 光学薄膜基础 2 v1*Lf/ 2.1 一般规则 2 G}<%%U D 2.2 正交入射规则 3 I<PKwT/? 2.3 斜入射规则 6 //9Ro" 2.4 精确计算 7 ?=}~]A5N 2.5 相干性 8 M@ t,P? 2.6 参考文献 10 5Arx"=c 3 Essential Macleod的快速预览 10 'mx_]b^O 4 Essential Macleod的特点 32 c((^l& 4.1 容量和局限性 33 vs]#?3+ 4.2 程序在哪里? 33 O4H %x 4.3 数据文件 35 x =7hOI5u 4.4 设计规则 35 XMzL\Edo 4.5 材料数据库和资料库 37 9)N/J\b 4.5.1材料损失 38 iU]py 4.5.1材料数据库和导入材料 39 yyCx;
4.5.2 材料库 41 9U$n;uA 4.5.3导出材料数据 43 DG1C_hu
i 4.6 常用单位 43 $n>|9(K8 4.7 插值和外推法 46 vl+vzAd 4.8 材料数据的平滑 50 Q%:#xG5AmE 4.9 更多光学常数模型 54 ,QU2xw D[ 4.10 文档的一般编辑规则 55 lt%bGjk 4.11 撤销和重做 56 zOO:`^ m 4.12 设计文档 57 fS2 ^$"B| 4.10.1 公式 58 OY$P8y3MY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 N&ZIsaK,j 4.10.3 沉积密度 59 rBG8.E36J 4.10.4 平行和楔形介质 60 H]>b<Cs 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 2\
3}y( 4.10.4 性能 61 wa/
:JE 4.10.5 保存设计和性能 64 nu|paA 4.10.6 默认设计 64 gQHE2$i> 4.11 图表 64 @w:6m&KL9 4.11.1 合并曲线图 67 0NKo)HT 4.11.2 自适应绘制 68 aI @&x 4.11.3 动态绘图 68 m E<n=g= 4.11.4 3D绘图 69 HivmKn` 4.12 导入和导出 73
--Dd' 4.12.1 剪贴板 73 % heX06 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 m#y?k1GY 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 uEp
v l 4.13 背景 77 Z[+H$ =$% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 p%Zx<=f-_ 4.15 生成Rugate 84 #IH7WaN 4.16 参考文献 91 F=}-ngx8& 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 r2,AZ+4FP 5.1 Jobs 92 ai/VbV'| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 |/LCwq% 5.3 输入材料 94 h ]'VAt 5.4 设计数据文件夹 95 Q5R7se_ 5.5 默认设计 95 9AJMm1_ 6 细化和合成 97 }M%U}k]+@
6.1 优化介绍 97 bqBgq 6.2 细化 (Refinement) 98 &j2fh!\4 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^'"sFEV7RN 6.4 目标和评价函数 101 yj]\%3o<Z7 6.4.1 目标输入 102 "b6ZAgxv 6.4.2 目标 103 7vBB <\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 +;nADl+Q 6.5 层锁定和连接 104 {UX[SAQ 6.6 细化技术 104 etbB;!6 6.6.1 单纯形 105 $O|J8; "v 6.6.1.1 单纯形参数 106 X8U._/'N 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 'MEO?]Tf.^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 /*B^@G |]' 6.6.3 模拟退火算法 109 t-#Y6U}b+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 **jD&h7$s- 6.6.4 共轭梯度 111 dL9QYIfP 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {.
r/tV5IH 6.6.5 拟牛顿法 112 TRQX#))B 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 vF45tw 6.6.6 针合成 113 iRwqt-WZ 6.6.6.1 针合成参数 114 ?kvc`7> 6.6.7 差分进化 114 +*OY%;dQ7@ 6.6.8非局部细化 115 XO |U4#ya 6.6.8.1非局部细化参数 115 J(&a,w>p 6.7 我应该使用哪种技术? 116 (^h47kY 6.7.1 细化 116 2+G_Y> 6.7.2 合成 117 @=jcdn!\M 6.8 参考文献 117 #^IEQZgH 7 导纳图及其他工具 118 /?b<}am 7.1 简介 118 ^:0NKq\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7 R1;'/; 7.2.1 四分之一波长规则 119 x)@G+I\u 7.2.2 导纳图 120 |qra.\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M5OH-' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 m
.2)P~a 7.5 斜入射导纳图 141 !/0XoIf" 7.6 对称周期 141 F*WWv&\X 7.7 参考文献 142 h 9V9.' 8 典型的镀膜实例 143 N"~P` H![x 8.1 单层抗反射薄膜 145 r1cB<-bJ#' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 C._I\:G^ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 K%h83tm+ 8.4 W-膜层 148 b2;Weu3WN 8.5 V-膜层 149 ^=)? a;V 8.6 V-膜层高折射基底 150 )i; y4S 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 i,/|H]Mzr 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [ @>8Qhw 8.9 四层抗反射薄膜 153 Py(l+Ik`> 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {rr
ED 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Yyl2J#$! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 x9PEYhL? 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ZiDmx-X 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (bo{vX 8.15十五层宽带抗反射膜 159 h+$1+Es 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 tq9t(0EL 8.17 1/4波长堆栈 162 8<u_ wt@ 8.18 陷波滤波器 163
ZMJ\C|S: 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 tZ1iaYbvV 8.20 褶皱 165 9s)YPlDz 8.21 消偏振分光器1 169 Dbr(Wg 8.22 消偏振分光器2 171 lkp!S3, 8.23 消偏振立体分光器 172 kl[bDb1p 8.24 消偏振截止滤光片 173 ?Gr<9e2Eo 8.25 立体偏振分束器1 174 #m9V)1"wB 8.26 立方偏振分束器2 177 zx{\SU 8.27 相位延迟器 178 6m21Y8N 8.28 红外截止器 179 =Feavyx 8.29 21层长波带通滤波器 180 5}e-~- 8.30 49层长波带通滤波器 181 GpF, =: 8.31 55层短波带通滤波器 182 C78d29 8.32 47 红外截止器 183 e*vSGT$KgL 8.33 宽带通滤波器 184 ihH!"HH+ 8.34 诱导透射滤波器 186 GMOv$Tn-_L 8.35 诱导透射滤波器2 188 ]\P 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 [AR$Sw60 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?AY596 8.35 增益平坦滤波器 193 V&KH{j/P 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,=>O/!s 8.39 啁啾反射镜2 198 nngL,-v#F 8.40 啁啾反射镜3 199 fE)+9! 8.41 带保护层的铝膜层 200 Yl1@gw7 8.42 增加铝反射率膜 201 u
` 9Eh; 8.43 参考文献 202 9>le-}~ 9 多层膜 204 +C\?G/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (m3p28Q? 9.2 内部透过率 204 #:Cr'U 9.3 内部透射率数据 205 y>8!qVX 9.4 实例 206 ~"EkX 9.5 实例2 210 1;L!g*!E 9.6 圆锥和带宽计算 212 F>A-+]X3o 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 z!Jce}mx 10 光学薄膜的颜色 216 OAw/ 10.1 导言 216 e5fJN)+a 10.2 色彩 216 S%&l(=0X 10.3 主波长和纯度 220 :'GTCo$3 10.4 色相和纯度 221 |c 8p{) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >!? f6
{\| 10.6 色差 226 ,`+y4Z6`W2 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (U/[i.r5Cj 10.8 颜色渲染指数 234 ;
@Gm@d 10.9 色差计算 235 {LJCY<IGq 10.10 参考文献 236 dJNYuTZ' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 F$F5N1< 11.1 短脉冲 238 m!;mEBL{ 11.2 群速度 239 tvRa.3 11.3 群速度色散 241 ?\\
]u 11.4 啁啾(chirped) 245 Vzbl*Zmx 11.5 光学薄膜—相变 245 FG#E?G 11.6 群延迟和延迟色散 246 *o"F.H{#N 11.7 色度色散 246 i8HSYA 11.8 色散补偿 249 WlZ[9,:p1 11.9 空间光线偏移 256 '{( n1es 11.10 参考文献 258 ,{z$M 12 公差与误差 260 7\{<AM?* 12.1 蒙特卡罗模型 260 N@)4H2_u \ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *+p'CfsSka 12.2.1 误差工具 267 kV6>O C&^ 12.2.2 灵敏度工具 271 wm2Q(l*HH 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _IpW& 12.2.2.2 灵敏度分布 275 "{{xH*ij' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 VdK-2O(.- 12.3 参考文献 276 0TA/ExJ-LT 13 Runsheet 与Simulator 277 5-u=ZB%p 13.1 原理介绍 277 &2?kD{ 13.2 截止滤光片设计 277 JI\u -+BE 14 光学常数提取 289 zO)9(%LS 14.1 介绍 289 d G:=tf&1R 14.2 电介质薄膜 289 B)^]V<l(w 14.3 n 和k 的提取工具 295 6dq U4 14.4 基底的参数提取 302 Uk*s`Y 14.5 金属的参数提取 306 miN(a; Q2P 14.6 不正确的模型 306 N;[w`d'# 14.7 参考文献 311 3'&]v6| 15 反演工程 313 uF(-h~ 15.1 随机性和系统性 313 uvA}7L{UO 15.2 常见的系统性问题 314 E) z g,7Y 15.3 单层膜 314 =~aJ]T}( 15.4 多层膜 314 &]z2=\^e 15.5 含义 319 u%*;gu"2 15.6 反演工程实例 319 /[EI0~P 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 M6?Q w= 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9@vY(k k 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,9+@\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 0W=IuPDU 16.2 应力工具 335 i,RK0q?> 16.3 均匀性误差 339 C t SAo\F 16.3.1 圆锥工具 339 PVtQ&m$y 16.3.2 波前问题 341 HmX(=Y 16.4 参考文献 343 L
YH9P-5H 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 EKoCm)}d 17.1 引言 345 QT-rb~ 17.2 操作数 345 *Li;:b"t 18 如何在Function中编写脚本 351 n!tC z<v 18.1 简介 351 lXz<jt@5 18.2 什么是脚本? 351 R`$Odplh> 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 )O7 Mfr 18.4 基础 352 MCYrsgg} 18.4.1 Classes(类别) 352 $fh?(J 18.4.2 对象 352 ((?^B
18.4.3 信息(Messages) 352 C2`END; 18.4.4 属性 352 7CQ48LH] 18.4.5 方法 353 TUk1h\.q 18.4.6 变量声明 353 l{y~N 18.5 创建对象 354 zxsnrn;| 18.5.1 创建对象函数 355 o^AK@\e:^Z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 7z+NR&'M$ 18.5.3 丢弃对象 356 St(7@)gvY 18.5.4 总结 356 zizrc.g/Yg 18.6 脚本中的表格 357 :W'1Q2 18.6.1 方法1 357 ZMx<:0ai 18.6.2 方法2 357 1[}VyP6 e 18.7 2D Plots in Scripts 358 =CqLZ$10 18.8 3D Plots in Scripts 359 bTn-Pg){ 18.9 注释 360 v4S|&m 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 !J6k\$r 18.11 一个更高级的脚本 362 -i;#4@^ t
18.12 <esc>键 364 Ajq<=y`NzV 18.13 包含文件 365 e1'_] 18.14 脚本被优化调用 366 n
~
=]/ 18.15 脚本中的对话框 368 #~ >0Dr 18.15.1 介绍 368 &t6L8[#yd 18.15.2 消息框-MsgBox 368 #FeM.k6 18.15.3 输入框函数 370 fd)}I23Q' 18.15.4 自定义对话框 371 ;xj^*b 18.15.5 对话框编辑器 371 |:EUh 18.15.6 控制对话框 377 X#Hs{J~@p 18.15.7 更高级的对话框 380 $%!]tNGS 18.16 Types语句 384 \s)j0F)
18.17 打开文件 385 -aec1+o 18.18 Bags 387 ,D#~%kq~ 18.13 进一步研究 388 _/PjeEm
$p 19 vStack 389 q|Ga
19.1 vStack基本原理 389 7W 4[1 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 KWd]?e) 19.3 五棱镜 393 ,NVQ C= 19.4 光束距离 396 EW YpYMkm 19.5 误差 399 Pw+cpM8< 19.6 二向分色棱镜 399 t4 aa5@r 19.7 偏振泄漏 404 ,{]>U'- 19.8 波前误差—相位 405 ="XxS|Mq3 19.9 其它计算参数 405 X}S<MA` 20 报表生成器 406 |~uCLf> 20.1 入门 406 G`TO[p]q 20.2 指令(Instructions) 406 [Si`pPvl 20.3 页面布局指令 406 )C <sj 20.4 常见的参数图和三维图 407 hL&z"_` 20.5 表格中的常见参数 408 7MBz&wE^f 20.6 迭代指令 408 U${dWxC 20.7 报表模版 408 4S+P]U*jW 20.8 开始设计一个报表模版 409 LnM+,cBz 21 一个新的project 413 tn:tM5m 21.1 创建一个新Job 414 j1>1vD-`T 21.2 默认设计 415 C
!uwD 21.3 薄膜设计 416 UXe @c@3 21.4 误差的灵敏度计算 420 G;`+MgJ) 21.5 显色指数计算 422 ^gD&Nb |