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`o- <, 内容简介 uy28=BE Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 gI$`d?[0{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 0L-g'^nn 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 MA QY/s~F .Zm } 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Xm+3`$< 目录 Y'":OW#oN Preface 1 bpCe&*\6K 内容简介 2 &cejy>K 目录 i 0|k[Wha# 1 引言 1 "TCbO`mg 2 光学薄膜基础 2 jYx( 2.1 一般规则 2 s_+XSH[=f 2.2 正交入射规则 3 >}tG^ )os 2.3 斜入射规则 6 1e%Xyqb 2.4 精确计算 7 D*b|(Oi 2.5 相干性 8 +OP' / 2.6 参考文献 10 %Q01EjRes 3 Essential Macleod的快速预览 10 ?XrTZ{5' 4 Essential Macleod的特点 32 vCr$miZ 4.1 容量和局限性 33 )^xmy6k 4.2 程序在哪里? 33 5Wjp_^!e
4.3 数据文件 35 `2+52q<FO 4.4 设计规则 35 JB}h}nb 4.5 材料数据库和资料库 37 8zv6Mx 4.5.1材料损失 38 1EzA@3:{ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [^P2Kn 4.5.2 材料库 41 D~);:}}> 4.5.3导出材料数据 43 ioQlC4Y 4.6 常用单位 43 #J9XcD{1 4.7 插值和外推法 46 Jx7^|A 4.8 材料数据的平滑 50 x=+H@YO\ 4.9 更多光学常数模型 54 |]^! 4[!U 4.10 文档的一般编辑规则 55 =v;@w$# 4.11 撤销和重做 56 $9$NX/P 4.12 设计文档 57 -I<`!kH* 4.10.1 公式 58 CKx}.<_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ,\"gN5[$( 4.10.3 沉积密度 59 7qp|Msf}, 4.10.4 平行和楔形介质 60 I<f M8t.Y> 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 X ^)5O>>|t 4.10.4 性能 61 5T*7HC[ 4.10.5 保存设计和性能 64 +[qy HTcG 4.10.6 默认设计 64 QJ'C?hn 4.11 图表 64 Cl=ExpX/O 4.11.1 合并曲线图 67 SesO$=y 4.11.2 自适应绘制 68 {%dQV#'c 4.11.3 动态绘图 68 H%V[%
T4= 4.11.4 3D绘图 69 7?@v}%w 4.12 导入和导出 73 ~d]7 Cl 4.12.1 剪贴板 73 /GNYv* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 zc5_;!t 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 F*u;'K 4.13 背景 77 S6I8zk)Z4 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "Y6mM_flq 4.15 生成Rugate 84 r6<}S( 4.16 参考文献 91 6= D;K.! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 A5\S0l$Q 5.1 Jobs 92 ?U[AE -* 5.2 创建一个新Job(工作) 93 9wzYDKN} 5.3 输入材料 94 '-_PO|} 5.4 设计数据文件夹 95 -0Ek&"=Z^ 5.5 默认设计 95 stScz#! 6 细化和合成 97 BGS6uV4^> 6.1 优化介绍 97 .Dz /MSl 6.2 细化 (Refinement) 98 bv0 %{u& 6.3 合成 (Synthesis) 100 pe-d7Ou
P 6.4 目标和评价函数 101 =nl,5^ 6.4.1 目标输入 102 J!>oC_0]8 6.4.2 目标 103 J %t1T]y~ 6.4.3 特殊的评价函数 104 {I
,' 6.5 层锁定和连接 104 {DR+sE 6.6 细化技术 104 a;sZNUSn 6.6.1 单纯形 105 ,\ i q'}i 6.6.1.1 单纯形参数 106 V8/o@I{U[ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 mBF?+/l 6.6.2.1 Optimac参数 108 |iI`p-L9 6.6.3 模拟退火算法 109 t+tGN\q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 @AFLF X] 6.6.4 共轭梯度 111 ;f?bb*1 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ' wEP:} 6.6.5 拟牛顿法 112 `y(3:##p 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &}ow-u9c3 6.6.6 针合成 113 ,??|R`S 6.6.6.1 针合成参数 114 O(VV-n7U 6.6.7 差分进化 114 MvCBgLN 6.6.8非局部细化 115 Q\Eq(2p 6.6.8.1非局部细化参数 115 j(rFORT 6.7 我应该使用哪种技术? 116 /(w5S',EL 6.7.1 细化 116 ()Z$j,2 6.7.2 合成 117 w~`P\i@ 6.8 参考文献 117 Yp8$0KK 7 导纳图及其他工具 118 w,&RHQB 7.1 简介 118 G[mYx[BTz 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 %k~=iDk@ 7.2.1 四分之一波长规则 119 _\6-] 7.2.2 导纳图 120 x8^Dhpr6 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Hs9uDGWp 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 7%tn+ 7.5 斜入射导纳图 141 ]KmYPrCl0 7.6 对称周期 141 DbDpdC; 7.7 参考文献 142 {!w]t?h 8 典型的镀膜实例 143 bF.Aj8ZQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 k`d 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 R*U>T$ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 31}6dg8?n 8.4 W-膜层 148 eP)RP6ON{ 8.5 V-膜层 149 |7 argk+ 8.6 V-膜层高折射基底 150 vc<8ApK3V 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 rr*IIG&.5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 eNNK;xXe# 8.9 四层抗反射薄膜 153 lxeolDl 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 U*Q$:%72vO 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 TS;MGi0`} 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 B\6\QQ;rUo 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 pJmn;XbME 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 l}m@9 ~oC 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @!S5FOXipZ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 /N$T[ 8.17 1/4波长堆栈 162 $I.'7
&h; 8.18 陷波滤波器 163 qnOAIP:0 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 MKbW^: 8.20 褶皱 165 ;3w W)gL1 8.21 消偏振分光器1 169 g
{00i 8.22 消偏振分光器2 171 j/sZ:Q 8.23 消偏振立体分光器 172 )XD_Yq@E 8.24 消偏振截止滤光片 173 X/Ae-1! 8.25 立体偏振分束器1 174 z:w7e0 8.26 立方偏振分束器2 177 O_E[FE:+ 8.27 相位延迟器 178 (qaY,>je]D 8.28 红外截止器 179 PKP(:3| 8.29 21层长波带通滤波器 180 yEH30zSt 8.30 49层长波带通滤波器 181 5yry$w$G) 8.31 55层短波带通滤波器 182 1&dWt_\ 8.32 47 红外截止器 183 [P^ .=F 8.33 宽带通滤波器 184 &ha39&I 8.34 诱导透射滤波器 186 rA9"CN 8.35 诱导透射滤波器2 188 Agl[Z>Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 4u<oe_n 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (*|hlD~ 8.35 增益平坦滤波器 193 k?_Miqr 8.38 啁啾反射镜 1 196 "2 Kh2[K 8.39 啁啾反射镜2 198 O:1YG$uKa 8.40 啁啾反射镜3 199 -G{}8GM 8.41 带保护层的铝膜层 200 c[4Z_5B 8.42 增加铝反射率膜 201
hp)3@&T 8.43 参考文献 202 ]86U-`p 9 多层膜 204 u|+O%s TQ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 GSypdEBj+w 9.2 内部透过率 204 U:_&aY_ 9.3 内部透射率数据 205 BsxQW`>^y 9.4 实例 206 LNe-]3wB 9.5 实例2 210 ,9=a(j" 9.6 圆锥和带宽计算 212 |S/nq_g] 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 "BK&C6] 10 光学薄膜的颜色 216 =>4,/g3 10.1 导言 216 KX{ S8_ 10.2 色彩 216 <CeDIX t 10.3 主波长和纯度 220 4/$]wK` 10.4 色相和纯度 221 (}'0K? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 pZXva9bE 10.6 色差 226 cd\0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 oM J5; 10.8 颜色渲染指数 234 z55P~p 10.9 色差计算 235 wL~
dZ!,J 10.10 参考文献 236 w!h!%r 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zg[ksny 11.1 短脉冲 238 Qd$d*mwg: 11.2 群速度 239 gVA$P 11.3 群速度色散 241 3HWI; 11.4 啁啾(chirped) 245 rNdap*. 11.5 光学薄膜—相变 245 QH;1* 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^lf)9 `^U 11.7 色度色散 246 _Nlx)Y R 11.8 色散补偿 249 |NL$? %I 11.9 空间光线偏移 256 B|#"dhT 11.10 参考文献 258 DT;Hr4Z8^" 12 公差与误差 260 zcDVvP 12.1 蒙特卡罗模型 260 {=pf#E= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *ZAue. 12.2.1 误差工具 267 iYR8sg[' # 12.2.2 灵敏度工具 271 BJ1txdxvS 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8MV=? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 D}Z].c@E 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 't2"CPZ 12.3 参考文献 276 @32JMS< 13 Runsheet 与Simulator 277 hK?uGt
d? 13.1 原理介绍 277 Xrc0RWXB8 13.2 截止滤光片设计 277 A6=
Um%T 14 光学常数提取 289 hK3?m.>"g 14.1 介绍 289 1:XT r 14.2 电介质薄膜 289 NJwcb=* 14.3 n 和k 的提取工具 295 Jk 0;<2j 14.4 基底的参数提取 302 EX=Q(} 9F< 14.5 金属的参数提取 306 )FYz*:f>& 14.6 不正确的模型 306 _=}Efy7 14.7 参考文献 311 )Yy`$` 15 反演工程 313 eE+zL~CE 15.1 随机性和系统性 313 Sm{idky)[ 15.2 常见的系统性问题 314 Bzw~OB{!=J 15.3 单层膜 314 6l<q 15.4 多层膜 314 *q\Ve)E} 15.5 含义 319 8W9kd"=U 15.6 反演工程实例 319 ^F/N-!}q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ">j}!n
8J 15.6.2 反演工程提取折射率 327 NN>,dd3T 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 zvL;.U 16.1 光学性质的热致偏移 329 ^/U-(4O05* 16.2 应力工具 335 b[%sKl 16.3 均匀性误差 339 @/g%l1$` 16.3.1 圆锥工具 339 amK"Z<V F 16.3.2 波前问题 341 /z.Y<xOc 16.4 参考文献 343 nZ0-
Kb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 i]JD::P_H 17.1 引言 345 =]K;" 17.2 操作数 345 S=*rWh8)%< 18 如何在Function中编写脚本 351 lQ
{k 18.1 简介 351 qk<(iVUO 18.2 什么是脚本? 351 cQ} ,q+GR~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
:?S1#d_ 18.4 基础 352 ~xerZQgc 18.4.1 Classes(类别) 352 5hF
iK
K7 18.4.2 对象 352 4"nb>tA 18.4.3 信息(Messages) 352 KmG*`Es 18.4.4 属性 352 SxI='z_S.f 18.4.5 方法 353 n6Je5fE 18.4.6 变量声明 353 `q@5d&d`j 18.5 创建对象 354 {N42z0c 18.5.1 创建对象函数 355 W2?6f: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 >hHjDYjbf 18.5.3 丢弃对象 356 gdPv,p19L 18.5.4 总结 356 O~?H\2S 18.6 脚本中的表格 357 ?Z9C}t] 18.6.1 方法1 357 c6.S jV 18.6.2 方法2 357 |`B*\\ 1 18.7 2D Plots in Scripts 358 Up*1j:_O 18.8 3D Plots in Scripts 359 K%h9'}pq>1 18.9 注释 360 FrT.<3 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 '#LbIv4 18.11 一个更高级的脚本 362 ZfsM($|a 18.12 <esc>键 364 z~f Zg6 18.13 包含文件 365 .0+=#G> 18.14 脚本被优化调用 366 T#KF@8'- 18.15 脚本中的对话框 368 6Lj=%& 18.15.1 介绍 368 {Rc mjI7 18.15.2 消息框-MsgBox 368 HqC
1Dkw 18.15.3 输入框函数 370 X$Eg(^L a 18.15.4 自定义对话框 371 ldk (zAB. 18.15.5 对话框编辑器 371 q$RJ3{Sf 18.15.6 控制对话框 377 Hj(ay48 18.15.7 更高级的对话框 380 {| ~ 18.16 Types语句 384 m.!n|_}] 18.17 打开文件 385 >n3w'b 18.18 Bags 387 r{2V`h1/| 18.13 进一步研究 388 Ya~*e;CW2 19 vStack 389 oHh~!#u 19.1 vStack基本原理 389 +5~5BZP 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 9BR/zQ2 19.3 五棱镜 393 @N+ }cej 19.4 光束距离 396
h.T]J9;9 19.5 误差 399 9lXjB_wG> 19.6 二向分色棱镜 399 jR1t&UD3Y 19.7 偏振泄漏 404 ', +YWlW 19.8 波前误差—相位 405 ^EtBo7^t
19.9 其它计算参数 405 <KY \sb9 20 报表生成器 406 ZW+M<G 20.1 入门 406 Q+bZZMK5,U 20.2 指令(Instructions) 406 0ndk=V 20.3 页面布局指令 406 ={g.Fn(_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 _UP=zW 20.5 表格中的常见参数 408 ={~?O&Jh 20.6 迭代指令 408 r7|_Fm Qf 20.7 报表模版 408 S:5vC{ 20.8 开始设计一个报表模版 409 lQ&"p+n 21 一个新的project 413 mv1g2f+ 21.1 创建一个新Job 414 py|ORVN(Z 21.2 默认设计 415
Z2P DT 21.3 薄膜设计 416 +>b m~6 21.4 误差的灵敏度计算 420 k]>1@t 21.5 显色指数计算 422 I'h|7y\ 21.6 电场分布 424 TwfQq` 后记 426 l 7T@<V 有兴趣可以扫码加微联系 dMd2a4
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