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,!>1A;~wT 内容简介 B,(zp#&yB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 MO%kUq|pg 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 :~wU/dEEiz 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ^~DDl$NH &|YJ?}, 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 = P@j*ix 目录 *LOUf7` Preface 1 [k{2)g 内容简介 2 PBOZ^%k 目录 i htu(R$GSM 1 引言 1
!XQq* 2 光学薄膜基础 2 rE?Fp 2.1 一般规则 2 U9(p ^ 2.2 正交入射规则 3 GyQ9we~ 2.3 斜入射规则 6 s9[547?` 2.4 精确计算 7 rHpxk 2.5 相干性 8 hF^y4v|5 2.6 参考文献 10 U#6<80Ke 3 Essential Macleod的快速预览 10 =berCV 4 Essential Macleod的特点 32 l|j}Ggen 4.1 容量和局限性 33 R5& R~1N 4.2 程序在哪里? 33 <! Z06 4.3 数据文件 35 05ovz
4.4 设计规则 35 YT~h1<se 4.5 材料数据库和资料库 37 O48*"Z1 4.5.1材料损失 38 bmQ-5SE 4.5.1材料数据库和导入材料 39 b <z)4 4.5.2 材料库 41 <44A*ux 4.5.3导出材料数据 43 %4,v2K 4.6 常用单位 43 D^)?*( 4.7 插值和外推法 46 z(eAhK}6? 4.8 材料数据的平滑 50 $(fhO 4.9 更多光学常数模型 54 6-Id{m x 4.10 文档的一般编辑规则 55 ),(HCzK` 4.11 撤销和重做 56 zff<#yK1 4.12 设计文档 57 ~-f"&@){,
4.10.1 公式 58 *W-:]t3CR 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 v}sk %f 4.10.3 沉积密度 59 952l1c! 4.10.4 平行和楔形介质 60 0sfb$3y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
$5\+QW 4.10.4 性能 61 bPA >xAH 4.10.5 保存设计和性能 64 2bu > j1h 4.10.6 默认设计 64
8/s?Gz 4.11 图表 64 p6X-P%s 4.11.1 合并曲线图 67 $*+IsP! 4.11.2 自适应绘制 68 *2>kic
aH 4.11.3 动态绘图 68 O9ar|8y 4.11.4 3D绘图 69 "cz'|z` 4.12 导入和导出 73 r(KAG"5 4.12.1 剪贴板 73 e+<'=_x { 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?/q\S 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :Z&<5 4.13 背景 77 $pJw
p{kN 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 '.{_
7U 4.15 生成Rugate 84 )F_nK f"a 4.16 参考文献 91 nArG
I}@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Ajm4q_ 5.1 Jobs 92 F%IvgXt5 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {I8C&GS 5.3 输入材料 94 Y/ I32@ 5.4 设计数据文件夹 95 B!1h"K5.($ 5.5 默认设计 95 tID=I0D 6 细化和合成 97 M(?0c}z 6.1 优化介绍 97 %JL P=( 6.2 细化 (Refinement) 98 nc^DFP 6.3 合成 (Synthesis) 100 apgR[=Oy 6.4 目标和评价函数 101 g.pR4Mf=Z 6.4.1 目标输入 102 h+ <Jv 6.4.2 目标 103 /B<QYvv 6.4.3 特殊的评价函数 104 uN4e n, 6.5 层锁定和连接 104 `\$EPUM 6.6 细化技术 104 y96HTQ32 6.6.1 单纯形 105 G8&/Ic 6.6.1.1 单纯形参数 106 |:]}u|O 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 H[RX~Xk2E 6.6.2.1 Optimac参数 108 yoH,4,! G 6.6.3 模拟退火算法 109 zbI|3 6.6.3.1 模拟退火参数 109 h [@}}6 6.6.4 共轭梯度 111 m*.+9 6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 jG{OLF6 ! 6.6.5 拟牛顿法 112 14DhJUV"b 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 %j@@J\G! 6.6.6 针合成 113 r{KQ3j9O 6.6.6.1 针合成参数 114 (H8JV1J 6.6.7 差分进化 114 _#qfe 6.6.8非局部细化 115 d ehK#8 6.6.8.1非局部细化参数 115 @b!W8c 6 6.7 我应该使用哪种技术? 116 dNf:I,<DCf 6.7.1 细化 116 Y5c[9\'\ 6.7.2 合成 117 03c8VKp'p 6.8 参考文献 117 Lg~ll$
U 7 导纳图及其他工具 118 ~ dk9 7Z8 7.1 简介 118 qOy0QZ#0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 U;j\FE^+> 7.2.1 四分之一波长规则 119 Sm{> 8e}UE 7.2.2 导纳图 120 < 0YoZSNGj 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 /;kSa}"Q 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Y]tbwOle 7.5 斜入射导纳图 141 Cu!]-c{ 7.6 对称周期 141 O7p=N8 V 7.7 参考文献 142 /+1(,S 8 典型的镀膜实例 143 3W%j^nM 8.1 单层抗反射薄膜 145 \ef:H&r 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 N=\weuED 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 VVDW=G 8.4 W-膜层 148 fW[ .Q0 8.5 V-膜层 149 +D2I~hC0' 8.6 V-膜层高折射基底 150 LmytO$?2( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ac\( [F- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0*_E'0L8e 8.9 四层抗反射薄膜 153 `?O0) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^qzH(~g{M 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 K?Sy?Kz 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,Ha <lU2K 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U(LLIyZv 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =t`cHs29 8.15十五层宽带抗反射膜 159 i\O^s ] 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 h-kmZ<p|^ 8.17 1/4波长堆栈 162 C T\@>!'f 8.18 陷波滤波器 163 fY6~Z
BvK 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 xP,b/T#a 8.20 褶皱 165 NWP!V@WG 8.21 消偏振分光器1 169 Y2;2Exp^ 8.22 消偏振分光器2 171 6']HmM 8.23 消偏振立体分光器 172 e,,O 8.24 消偏振截止滤光片 173 lB0`|UEb ( 8.25 立体偏振分束器1 174 kIX1u<M~ 8.26 立方偏振分束器2 177 .T)wG;+ 8.27 相位延迟器 178 .!Pg)| 8.28 红外截止器 179 uovv">Uw 8.29 21层长波带通滤波器 180 :.r_4$F: 8.30 49层长波带通滤波器 181 dOa9D 8.31 55层短波带通滤波器 182 4"_`Mu_% 8.32 47 红外截止器 183 hf^<lJh~= 8.33 宽带通滤波器 184 !sSq 4K 8.34 诱导透射滤波器 186 IrMB=pWo 8.35 诱导透射滤波器2 188 r fzNw 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 z DU=2c4W9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Q@7d:v 8.35 增益平坦滤波器 193 0y6M;"&~E 8.38 啁啾反射镜 1 196 5mC"8N1) 8.39 啁啾反射镜2 198 hHGuD2% 8.40 啁啾反射镜3 199 Zk`yd8C 8.41 带保护层的铝膜层 200 j:xC\b47" 8.42 增加铝反射率膜 201 AYgXqmH~+ 8.43 参考文献 202 DU0/if9. 9 多层膜 204 Pc_aEBq 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 tAF?.\x"g 9.2 内部透过率 204 nYFrp)DLK 9.3 内部透射率数据 205 5nUJ9sqA 9.4 实例 206 -^5467 9.5 实例2 210 <S041KF.{6 9.6 圆锥和带宽计算 212 MUAs(M; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Qr9;CVW 10 光学薄膜的颜色 216 Rd&DH_<+^ 10.1 导言 216 BBRL_6 10.2 色彩 216 Z*q9vX 10.3 主波长和纯度 220 @phVfP"M 10.4 色相和纯度 221 5&V=$]t 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 %VH, (}i 10.6 色差 226 C+llA 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |Ha#2pt{bc 10.8 颜色渲染指数 234 b:D92pH 10.9 色差计算 235 >
[J. 10.10 参考文献 236 >m>F {v 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 z@i4 11.1 短脉冲 238 l2qvYNMw 11.2 群速度 239 D2?H"PH 11.3 群速度色散 241 ,-4NSli 11.4 啁啾(chirped) 245 .VCY|KZ 11.5 光学薄膜—相变 245 _r*\ BM8y 11.6 群延迟和延迟色散 246 Y @p<f5[c 11.7 色度色散 246 M'PZ{6; 11.8 色散补偿 249 R7kkth 11.9 空间光线偏移 256 RZzHlZ 11.10 参考文献 258 du66a+@t 12 公差与误差 260 N-\N\uN 12.1 蒙特卡罗模型 260 @"-\e|[N 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 s*ZE`/SM3 12.2.1 误差工具 267 4b`E/L}2 12.2.2 灵敏度工具 271 #*'Qm
A 12.2.2.1 独立灵敏度 271 T&?g) 12.2.2.2 灵敏度分布 275 4,e'B-. 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 (-21h0N[V 12.3 参考文献 276 (?fU l$q\ 13 Runsheet 与Simulator 277 Y%.o
TB& 13.1 原理介绍 277 ,U z8 _r 13.2 截止滤光片设计 277 ~v+kO~ 14 光学常数提取 289 HOR8Jwf: 14.1 介绍 289 a%T`c/C
14.2 电介质薄膜 289 u4C9ZYN 14.3 n 和k 的提取工具 295 OG/b5U 14.4 基底的参数提取 302 +;?mg(: 14.5 金属的参数提取 306 kAQ(8xV 14.6 不正确的模型 306 ) *~A|[ 14.7 参考文献 311 hMa; \ k 15 反演工程 313 9 {&g.+ 15.1 随机性和系统性 313 )l7XZ_gw' 15.2 常见的系统性问题 314 H648 [H[k 15.3 单层膜 314 >>y`ap2%V 15.4 多层膜 314 An{>39{ 15.5 含义 319 D\acA?d` 15.6 反演工程实例 319 wq$$.
.E 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 <RY =y?%z 15.6.2 反演工程提取折射率 327 j_~KD} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 hOY@vm& 16.1 光学性质的热致偏移 329 @C)s4{V 16.2 应力工具 335 C/e.BXA 16.3 均匀性误差 339 fp)SZu_* 16.3.1 圆锥工具 339 HwUaaK
16.3.2 波前问题 341 wa"0`a:`; 16.4 参考文献 343 ^dI;B27E* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 P`biHs8O 17.1 引言 345 srVWN:uuH 17.2 操作数 345 LwC?t3n 18 如何在Function中编写脚本 351 9>)b6)J D 18.1 简介 351 /Y#8.sr 18.2 什么是脚本? 351 Q@ VA@N=w 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 jHFjd' 18.4 基础 352 ~}.C*;J 18.4.1 Classes(类别) 352 g3:@90Ba 18.4.2 对象 352 AY AU 18.4.3 信息(Messages) 352 +
[w 0;W_ 18.4.4 属性 352 j3Od7bBS] 18.4.5 方法 353 WqeWjI.2 18.4.6 变量声明 353 uY]';OtG 18.5 创建对象 354 \p4*Q}t 18.5.1 创建对象函数 355 *k{Llq 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 OrkcY39"~a 18.5.3 丢弃对象 356 h4hAzFQ.s 18.5.4 总结 356 aTvyzr1 18.6 脚本中的表格 357 )Te\6qM 18.6.1 方法1 357 X-\$<DiJGv 18.6.2 方法2 357 o?baiOkH 18.7 2D Plots in Scripts 358 7{#p'.nc5 18.8 3D Plots in Scripts 359 w
<r*& 18.9 注释 360 y\FQt];z) 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Z",0 $Gxu 18.11 一个更高级的脚本 362 REh"/d 18.12 <esc>键 364 *~PB 18.13 包含文件 365 /TMVPnvz. 18.14 脚本被优化调用 366 $u<;X^ 18.15 脚本中的对话框 368 $H<_P'h-B 18.15.1 介绍 368 ] &8em1 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $DDO9 18.15.3 输入框函数 370 Ua}R3^_)a 18.15.4 自定义对话框 371 ;]LQ}^MP( 18.15.5 对话框编辑器 371 $_<[kci% 18.15.6 控制对话框 377 `wi+/^); 18.15.7 更高级的对话框 380 OX;bA^+}P 18.16 Types语句 384 $<-a>~^Tp 18.17 打开文件 385 G#7*O` 18.18 Bags 387 awzlLI<2p 18.13 进一步研究 388 (%^C}`|EA 19 vStack 389 hC$e8t60 19.1 vStack基本原理 389 <aPZE6z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 D1RQkAZS 19.3 五棱镜 393 3o rSk 19.4 光束距离 396 #VhdYDbW 19.5 误差 399 )u(,.O[cw 19.6 二向分色棱镜 399 c]*yo 19.7 偏振泄漏 404 o6u^hG6~' 19.8 波前误差—相位 405 }hn?4ny 19.9 其它计算参数 405 Jq^[^ 20 报表生成器 406 iZ]^JPU} 20.1 入门 406 y>C
!cYB 20.2 指令(Instructions) 406 Yup#aeXY/ 20.3 页面布局指令 406 OdNo2SO 20.4 常见的参数图和三维图 407 ?8753{wk 20.5 表格中的常见参数 408 LuRCkKJ 20.6 迭代指令 408 "/R?XCBZsb 20.7 报表模版 408 6GuTd 20.8 开始设计一个报表模版 409 V dJ 21 一个新的project 413 HL{aqT2 21.1 创建一个新Job 414 DlzL(p@r 21.2 默认设计 415 K-'uE) 21.3 薄膜设计 416 >_Tyzl>z 21.4 误差的灵敏度计算 420 -']Idn6 21.5 显色指数计算 422 %|4Kak]:Q 21.6 电场分布 424 z^wod 后记 426 O=K0KOj 有兴趣可以扫码加微联系 /K2[`+-
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