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hNRN`\5Z 内容简介 f=EWr8mno Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 X
T<SR] 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 A"}Ib' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 {y%|Io`P %TeH#%[g>\ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 c;B: o 目录 ?8/T#ox Preface 1 KaIkO8Dq0 内容简介 2 dFl8 'D 目录 i .
#FJM2Xk 1 引言 1 W]oILL"d 2 光学薄膜基础 2 Yh["IhjR 2.1 一般规则 2 lD#S:HX 2.2 正交入射规则 3 "(YfvO+ 2.3 斜入射规则 6 Z VyJ%"(E 2.4 精确计算 7 Vo;0i$ 2.5 相干性 8 98rO]rg 2.6 参考文献 10 v8y !zo' 3 Essential Macleod的快速预览 10 0F%/R^mw 4 Essential Macleod的特点 32 Y '+mC 4.1 容量和局限性 33 =&" a:l 4.2 程序在哪里? 33 0B]c`$"aD 4.3 数据文件 35 b:Tv
Ta 4.4 设计规则 35 iOB*K)U1 4.5 材料数据库和资料库 37
.Q!p Q"5 4.5.1材料损失 38 vhGX& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 $YiG0GK<" 4.5.2 材料库 41 n#S?fsQN 4.5.3导出材料数据 43 %w;wQ_ 4.6 常用单位 43 +[`
)t/ 4.7 插值和外推法 46 _&RGhA 4.8 材料数据的平滑 50 Od+nBJ
4.9 更多光学常数模型 54 pHzl/b8 4.10 文档的一般编辑规则 55 wD92Ava
4.11 撤销和重做 56 (,R\6 4.12 设计文档 57
tRbZX{ 4.10.1 公式 58 !q1XyQX 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 jGUegeq 4.10.3 沉积密度 59 @ek8t2??x 4.10.4 平行和楔形介质 60 m>^vr7 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ()ww9L2 4.10.4 性能 61 pD]2.O 4.10.5 保存设计和性能 64 pN{XGkX. 4.10.6 默认设计 64 .umN>/o[ 4.11 图表 64 ?!u9=?? 4.11.1 合并曲线图 67 tP89gN^PA| 4.11.2 自适应绘制 68 o]B2^Yq;x 4.11.3 动态绘图 68 Ie}7#>S 4.11.4 3D绘图 69 qGi\*sc>x 4.12 导入和导出 73 -FS!v^ 4.12.1 剪贴板 73 e\._M$l 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 l%
p4.CX 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 w>4( hGO 4.13 背景 77 W/.n
R[! 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ybv]wBpM: 4.15 生成Rugate 84 n]8*yoge 4.16 参考文献 91 EX@Cf!GjN 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |\RN%w7E8 5.1 Jobs 92 x@*?~1ai 5.2 创建一个新Job(工作) 93 qga\icQr 5.3 输入材料 94 k)zBw(wr 5.4 设计数据文件夹 95 AZ
SaI 5.5 默认设计 95 M hjIE<OI= 6 细化和合成 97
#!> `$ 6.1 优化介绍 97 S`& yVzv 6.2 细化 (Refinement) 98 CdKs+x&tZ 6.3 合成 (Synthesis) 100 PHMp,z8 6.4 目标和评价函数 101 _TyQC1 d 6.4.1 目标输入 102 v}<z_i5/C. 6.4.2 目标 103 i "aQm 6.4.3 特殊的评价函数 104 .*?)L3n+t 6.5 层锁定和连接 104 Lr Kx 6.6 细化技术 104 _8 l=65GW 6.6.1 单纯形 105 Z
ZT2c0AK 6.6.1.1 单纯形参数 106 M"foP@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 _MTvNs 6.6.2.1 Optimac参数 108 a
YY1*^ 6.6.3 模拟退火算法 109 [OFT!=.y & 6.6.3.1 模拟退火参数 109 _)~|Z~ 6.6.4 共轭梯度 111 uN0'n}c;1. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .UU) 6.6.5 拟牛顿法 112 &{8[I3#@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
GYonb)F 6.6.6 针合成 113 +B7UGI 6.6.6.1 针合成参数 114 &VxK
AQMxN 6.6.7 差分进化 114 V/ZWyYxjLi 6.6.8非局部细化 115 qz 29f 6.6.8.1非局部细化参数 115 1?r$Rx<R 6.7 我应该使用哪种技术? 116 R=W$3Ue~, 6.7.1 细化 116 zu1gP/ 6.7.2 合成 117 &WdP=E" 6.8 参考文献 117 tAb3ejCo? 7 导纳图及其他工具 118 XV!UeBq 7.1 简介 118 |\]pTA$2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ik0w\* 7.2.1 四分之一波长规则 119 'IER9%V$ 7.2.2 导纳图 120 ~'):1}KN] 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [{J1b 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ,->
P+m5 7.5 斜入射导纳图 141 =IIE]<z 7.6 对称周期 141 Q?%v b 7.7 参考文献 142 E
eCgV{9B 8 典型的镀膜实例 143 ^N~Jm&I 8.1 单层抗反射薄膜 145 (7v`5|'0 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 C%'eF` 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 UOIZ8Po 8.4 W-膜层 148 wSs78c= 8.5 V-膜层 149 N?Ss/by8Sg 8.6 V-膜层高折射基底 150 5?|PC. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ~K|o@LK 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 5TdI 8.9 四层抗反射薄膜 153 M~!LjJg; 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 m<22E0=g 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 2qkC{klC^M 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !!t@H\ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ?r~](l 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 j Ns eD 8.15十五层宽带抗反射膜 159 __||cQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |&%l @X6 8.17 1/4波长堆栈 162 8|,-P=%t 8.18 陷波滤波器 163 xE.=\UzJ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 K#{E87G( 8.20 褶皱 165 1')/ BM2 8.21 消偏振分光器1 169 & ~[%N
O 8.22 消偏振分光器2 171 Afa{f}st 8.23 消偏振立体分光器 172 X]*W + 8.24 消偏振截止滤光片 173 ,@ Cru= 8.25 立体偏振分束器1 174 ]R{=| 8.26 立方偏振分束器2 177 o[ %Q&u 8.27 相位延迟器 178 y]\R0lR 8.28 红外截止器 179 wGQ{ 8.29 21层长波带通滤波器 180 cw <DM%p 8.30 49层长波带通滤波器 181 LGCL*Qbsg 8.31 55层短波带通滤波器 182 RN:#+S(8 8.32 47 红外截止器 183 .]H]H *wC 8.33 宽带通滤波器 184 9e :E% 2 8.34 诱导透射滤波器 186 y$V{yh[: 8.35 诱导透射滤波器2 188 cCV"(Oo[H| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Azz]TO 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 IL:"]`f* 8.35 增益平坦滤波器 193 1I^Sv 8.38 啁啾反射镜 1 196 #-HN[U?Gs 8.39 啁啾反射镜2 198 = xX^ 8.40 啁啾反射镜3 199 Sc~kO4 8.41 带保护层的铝膜层 200 $=m17GD 8.42 增加铝反射率膜 201 F5<{-{Ky 8.43 参考文献 202 \]OD pi
2 9 多层膜 204 j'J*QK&Q 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 !d0@^JbM" 9.2 内部透过率 204 VDmd+bvJV 9.3 内部透射率数据 205
B-gr2- 9.4 实例 206 S~Hj.
d4/ 9.5 实例2 210 "\=_- ` 9.6 圆锥和带宽计算 212 eXaDx%mM 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 sTqB%$K} 10 光学薄膜的颜色 216 .yP
3}Nl 10.1 导言 216 KnFbRhu[ 10.2 色彩 216 5~"=Fm<uD 10.3 主波长和纯度 220 6kuSkd$. 10.4 色相和纯度 221 er#=xqUY 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 J;kbY9e 10.6 色差 226 zn~m;0Xi 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 tQ}gBE63 10.8 颜色渲染指数 234 `cv:p|s 10.9 色差计算 235 q%vUEQLBp 10.10 参考文献 236 n|*V
8VaL 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 fIcv}Y 11.1 短脉冲 238 r4lG 5dV 11.2 群速度 239 5~X%*_[], 11.3 群速度色散 241 E>1USKxn 11.4 啁啾(chirped) 245 ]1[;A$7 11.5 光学薄膜—相变 245 W[m_IY 11.6 群延迟和延迟色散 246 WE7l[<b 11.7 色度色散 246 >lW*%{|b$^ 11.8 色散补偿 249 T:&+#0< 11.9 空间光线偏移 256 rN~`4mZ 11.10 参考文献 258 awK'XFk 12 公差与误差 260 nJya1AH; 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]x G4T>S 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yW&iUh=0 12.2.1 误差工具 267 uSQ*/h-<)0 12.2.2 灵敏度工具 271 eBV{B70k 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Ttj5%~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 R)C+wTG; 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 <<1oc{i 12.3 参考文献 276 ;hvXFU 13 Runsheet 与Simulator 277 31C]TdJ 13.1 原理介绍 277 ZkJM?Fzq 13.2 截止滤光片设计 277 V"ZbKV+[ 14 光学常数提取 289 zef,*dQY 14.1 介绍 289 D+3Y.r9 14.2 电介质薄膜 289 z>:7}=H0 14.3 n 和k 的提取工具 295 +*DX(v"BH 14.4 基底的参数提取 302 9wAc&nl-Y 14.5 金属的参数提取 306 Q=8
cBRe 14.6 不正确的模型 306 OQQ9R?Ll{ 14.7 参考文献 311 @7=D ]yu 15 反演工程 313 S8RB0^Q7 15.1 随机性和系统性 313 1#<E]<='t 15.2 常见的系统性问题 314 `[&2K@u 15.3 单层膜 314 ;"
*`
15.4 多层膜 314 n:D*r$ C|p 15.5 含义 319 FudD 15.6 反演工程实例 319 | dwxea 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 U;GoC$b}| 15.6.2 反演工程提取折射率 327 }$1;< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 2>k)=hl: 16.1 光学性质的热致偏移 329 eeZysCy+DY 16.2 应力工具 335 vWH>k+9&X 16.3 均匀性误差 339 Cpcd`y=IN 16.3.1 圆锥工具 339 ([-=NT}Aq 16.3.2 波前问题 341 `W n5
.V 16.4 参考文献 343 u&XkbPZ%4c 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 q4iD59yd)S 17.1 引言 345 QP%Fz#u` 17.2 操作数 345 e}[we: 18 如何在Function中编写脚本 351 }Xi#x*-D 18.1 简介 351 @t8kN6. 18.2 什么是脚本? 351 ~N^vE; 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 YnWl'{[ C 18.4 基础 352 p8d n-4 18.4.1 Classes(类别) 352 8M9\<k6 18.4.2 对象 352 IJY5wP1" 18.4.3 信息(Messages) 352 *v ^"4 18.4.4 属性 352 \]A;EwC4C 18.4.5 方法 353 @a\SR'8 18.4.6 变量声明 353 b6vYM_ Q 18.5 创建对象 354 pHB35=p28 18.5.1 创建对象函数 355 je4&'vyU 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 f<:U"E. 18.5.3 丢弃对象 356 _-J @$d% 18.5.4 总结 356 az;jMnPpR5 18.6 脚本中的表格 357 -==qMrKP 18.6.1 方法1 357 =awO63j> 18.6.2 方法2 357 wrYQ=u#Z 18.7 2D Plots in Scripts 358 IWo~s 18.8 3D Plots in Scripts 359 `L#?eQ{ 18.9 注释 360 iv+jv2ZF% 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 B8AzN9v&"N 18.11 一个更高级的脚本 362 )?&kQ^@v 18.12 <esc>键 364 Ja v2A6a 18.13 包含文件 365 *P R_Y=v% 18.14 脚本被优化调用 366 L?27q 18.15 脚本中的对话框 368 6//FZ:q 18.15.1 介绍 368 ^;$a_$| 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $>ZP%~O
18.15.3 输入框函数 370 +c8AbEewg 18.15.4 自定义对话框 371 *;e@t4 18.15.5 对话框编辑器 371 E(!6n= qR 18.15.6 控制对话框 377 NS4'IR=;E! 18.15.7 更高级的对话框 380 Va
Yu% 18.16 Types语句 384 CEuk1$ 18.17 打开文件 385 ob0 8xGj 18.18 Bags 387 b]<HhU 18.13 进一步研究 388 3E}NiD\V} 19 vStack 389 `XSc > 19.1 vStack基本原理 389 (:-Jl"&R@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 aXbNDj
][ 19.3 五棱镜 393 ~8xh0TSi 19.4 光束距离 396 vk)0n= 19.5 误差 399 iSr`fQw# 19.6 二向分色棱镜 399 4m~7 ~- h 19.7 偏振泄漏 404 RmWfV 19.8 波前误差—相位 405 )@bH" 19.9 其它计算参数 405 rW~?0 20 报表生成器 406 c Z6p^ 20.1 入门 406 Sm$j:xw< 20.2 指令(Instructions) 406 noh|/sPMD 20.3 页面布局指令 406 0L0Jc,(F+ 20.4 常见的参数图和三维图 407 HIX=MprL< 20.5 表格中的常见参数 408 r*N~. tFo 20.6 迭代指令 408 =Esbeb7P 20.7 报表模版 408 PM-PP8h
20.8 开始设计一个报表模版 409 XK%W^a*x 21 一个新的project 413 WiNr866nB 21.1 创建一个新Job 414 2rO)qjiH 21.2 默认设计 415 7mn,{2 21.3 薄膜设计 416 6I&j
cHH 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;Lsjh# 21.5 显色指数计算 422 x\`RW3 K 21.6 电场分布 424 n4WSV 后记 426 w.D4dv_H 有兴趣可以扫码加微联系 umm \r&]A
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