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MF>1u% 内容简介 uVoM2n?D%^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >SJ#
rZ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1Yt;1k' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c nAwoTt4 {r2-^QHF 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7p""5hw 目录 ]JQk,<l5E Preface 1 [3`T/Wm 内容简介 2 1nh2()QI[ 目录 i =re1xR!E5 1 引言 1 <Sn5ME<* 2 光学薄膜基础 2 Ba/Z<1) 2.1 一般规则 2 zn5 2.2 正交入射规则 3 }a@ZFk_> 2.3 斜入射规则 6 41%B%K* 2.4 精确计算 7 A3%s5`vNvH 2.5 相干性 8 Tfc5R;Rw 2.6 参考文献 10 +O23@G?x 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]E90q/s@c 4 Essential Macleod的特点 32
>So)KB 4.1 容量和局限性 33 ]saf<?fzr 4.2 程序在哪里? 33 (j-[m\wF 4.3 数据文件 35 1
O+4A[cr 4.4 设计规则 35 )f4D2c&VE 4.5 材料数据库和资料库 37 X#mm
Z;P 4.5.1材料损失 38 c }>:>^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 8:,E=swe 4.5.2 材料库 41 Oqzz9+ 4.5.3导出材料数据 43
v#0R 4.6 常用单位 43 Xui${UYN 4.7 插值和外推法 46 _+K[1P 4.8 材料数据的平滑 50 89KX.d 4.9 更多光学常数模型 54 uAT01ZEm 4.10 文档的一般编辑规则 55 'UO,DFq[Fl 4.11 撤销和重做 56 fc lmxTy 4.12 设计文档 57 FKflN 4.10.1 公式 58 Q[i/] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {Q8DPkW 4.10.3 沉积密度 59 iZ+\vO?| 4.10.4 平行和楔形介质 60 1E!0N`E 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Sv.z9@S 4.10.4 性能 61 i> Ssp 4.10.5 保存设计和性能 64 ZjLzS]\a 4.10.6 默认设计 64 tYyva 4.11 图表 64 MP, l*wVd 4.11.1 合并曲线图 67
GqhnE> 4.11.2 自适应绘制 68 +v%V1lf^~ 4.11.3 动态绘图 68 +]Of f^s 4.11.4 3D绘图 69 zcItZP 4.12 导入和导出 73 b3e:F{n
^ 4.12.1 剪贴板 73 [6qa"Ie 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 HbF.doXK 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 _)Uw-vhQiT 4.13 背景 77 B M{GSX 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 YMP:T?vMVh 4.15 生成Rugate 84 Oy[1_qfP 4.16 参考文献 91 l(9$s4R 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 !o &+ 5.1 Jobs 92 ^pMjii8IZ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 hi,! 5.3 输入材料 94 Ay<'Z6` 5.4 设计数据文件夹 95 &|P@$O> 5.5 默认设计 95 |E!()j= 6 细化和合成 97 O
z%K* 6.1 优化介绍 97 8%JxXtWW` 6.2 细化 (Refinement) 98 UC^&&
2maI 6.3 合成 (Synthesis) 100 %JDG aG' 6.4 目标和评价函数 101 1Nx.aji 6.4.1 目标输入 102 LU4\&fd 6.4.2 目标 103 eA&hiAP/ 6.4.3 特殊的评价函数 104 m}0US;c#f 6.5 层锁定和连接 104 ayyn6a8 6.6 细化技术 104 BQ[1,\> 6.6.1 单纯形 105 'n I2RX 6.6.1.1 单纯形参数 106 2;%DE<Z 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 gs 8w/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]CH@T9d5V 6.6.3 模拟退火算法 109 {rGq|Bj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Ken |!rL 6.6.4 共轭梯度 111 RH ow%2D 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 -h*Yd) 6.6.5 拟牛顿法 112 XEV-D9n 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 B?-RzWB\3 6.6.6 针合成 113 tx&>Eo 6.6.6.1 针合成参数 114 (w]w
2&YD 6.6.7 差分进化 114 MQE=8\
6.6.8非局部细化 115 nul? 5{z@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 C<fWDLwYqV 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +FQ:Q+ 6.7.1 细化 116 57IrD*{ 6.7.2 合成 117 k);z}`7 6.8 参考文献 117 Y\BB;"x1 7 导纳图及其他工具 118 VgZ<T,SuW 7.1 简介 118 YS,kjL/ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 #h ;j2 7.2.1 四分之一波长规则 119 hxx,E>k 7.2.2 导纳图 120 |8&AsQd 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Km]N scq1 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )V JAs| 7.5 斜入射导纳图 141 Rp A76ug 7.6 对称周期 141 - t4"BD 7.7 参考文献 142 rfYu8- 8 典型的镀膜实例 143 7GfgW02 8.1 单层抗反射薄膜 145 ,oIZ5u{#, 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 %H>vMR-,~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \l{*1lQ` 8.4 W-膜层 148 s8}:8 8.5 V-膜层 149 {b^naE 8.6 V-膜层高折射基底 150 D/V.o}X$ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,Ng3!2&$e 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 v6oPAqj,r 8.9 四层抗反射薄膜 153 <,Sy:>:" 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 @S?.`o 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 yt>Pf<AI 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 zJI/j
_~W 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dpZ7eJ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Sn.I
]:l 8.15十五层宽带抗反射膜 159 X~0l1 @! 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 YC&iH>jO3 8.17 1/4波长堆栈 162 Jkpw8E7 8.18 陷波滤波器 163 2P$l XGjh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 0o At=S 8.20 褶皱 165 Yp 6;Y7^ 8.21 消偏振分光器1 169 =G}_PRn 8.22 消偏振分光器2 171 =t@m: 8.23 消偏振立体分光器 172 x~ s> 8.24 消偏振截止滤光片 173 }yx{13:[ 8.25 立体偏振分束器1 174 h |=^@F_\` 8.26 立方偏振分束器2 177 FtM7+>Do. 8.27 相位延迟器 178 $DA0lY\ 8.28 红外截止器 179 {9;~xxTo 8.29 21层长波带通滤波器 180 wuzz Wq 8.30 49层长波带通滤波器 181
a[";K, 8.31 55层短波带通滤波器 182 dr~MyQ 8.32 47 红外截止器 183 68FxM#xR 8.33 宽带通滤波器 184 H!F'I)1 8.34 诱导透射滤波器 186 r4+w?=` 8.35 诱导透射滤波器2 188 *^Zt5 zk 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 zIF &ZYP 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 oCy52Bm.! 8.35 增益平坦滤波器 193 r{\cm
Ds 8.38 啁啾反射镜 1 196 P7egT,Z 8.39 啁啾反射镜2 198 8S]Mf*~S' 8.40 啁啾反射镜3 199 ]|u}P2 8.41 带保护层的铝膜层 200 &@dMk4BH< 8.42 增加铝反射率膜 201 CSr{MF`]e 8.43 参考文献 202 `Z|sp 9 多层膜 204
@KOa5-u 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ~lDLdUs 9.2 内部透过率 204 X&wK< 9.3 内部透射率数据 205 x ?^c:`. 9.4 实例 206 ~|DF-t
V 9.5 实例2 210 V]q{N-Iq 9.6 圆锥和带宽计算 212 ?b#?Vz 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 QMtt:f]?i 10 光学薄膜的颜色 216 `}zv17wp 10.1 导言 216 Maa5a 10.2 色彩 216 wW%I < M 10.3 主波长和纯度 220 v[Q)cqj/ 10.4 色相和纯度 221 l06 q1M 3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 44%H? ,d 10.6 色差 226 `b\4h/~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 IC}zgvcW 10.8 颜色渲染指数 234 {q}:w{x9u 10.9 色差计算 235 'Fonn 10.10 参考文献 236 FblGFm"P 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 }\823U
% 11.1 短脉冲 238 uFok'3!g7% 11.2 群速度 239 MO _9Yi 11.3 群速度色散 241 6,@M0CX 11.4 啁啾(chirped) 245 $hKgTf? 11.5 光学薄膜—相变 245 W!X#:UM) 11.6 群延迟和延迟色散 246 +vU.#C_2 11.7 色度色散 246 SbGp 11.8 色散补偿 249 {;p/V\ 11.9 空间光线偏移 256 66|lQE&n 11.10 参考文献 258 Rw/G =zV@2 12 公差与误差 260 9&d BL0 12.1 蒙特卡罗模型 260 {#[a4@B0 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 W2<X 5' 12.2.1 误差工具 267 0(i`~g5 12.2.2 灵敏度工具 271 qHKZ5w 12.2.2.1 独立灵敏度 271 'R'>`?Nh 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \6lXsu;I.X 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ~(Tz < 12.3 参考文献 276 {>+$u"* 13 Runsheet 与Simulator 277 26Yg?:kP 13.1 原理介绍 277 mdZELRu 13.2 截止滤光片设计 277 <!+o8z] 14 光学常数提取 289 ^-ACtA) 14.1 介绍 289 .1pEq~> 14.2 电介质薄膜 289 TWs|lhC7! 14.3 n 和k 的提取工具 295 B}M J?uvA 14.4 基底的参数提取 302 /C(L(X 14.5 金属的参数提取 306 fk"{G>&8 14.6 不正确的模型 306 w(G(Q>GI 14.7 参考文献 311 N!m%~},s// 15 反演工程 313 z N
t7DK 15.1 随机性和系统性 313 }`MO}Pz 15.2 常见的系统性问题 314 G`
8j ^H, 15.3 单层膜 314 t]` 2f3UO 15.4 多层膜 314 fg1y@Dj/& 15.5 含义 319 )R|7> 97 15.6 反演工程实例 319 fC-^[Af) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 1z`,*eD7 15.6.2 反演工程提取折射率 327 zJsoenU 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 6
%=BYDF 16.1 光学性质的热致偏移 329 x$Dv&4 16.2 应力工具 335 2tbqmWw/s 16.3 均匀性误差 339 H,I}R 16.3.1 圆锥工具 339 cpy"1=K~M 16.3.2 波前问题 341 O<E0L&4-& 16.4 参考文献 343 oby*.61?5l 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 O-B3@qQ. h 17.1 引言 345 Wp]EaYt2D 17.2 操作数 345 OM.^>= 18 如何在Function中编写脚本 351 PWmz7*/ 18.1 简介 351 v]J# SlF 18.2 什么是脚本? 351 U=t'>;(g 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 I,S'zHR 18.4 基础 352 l6WcnJ 18.4.1 Classes(类别) 352 P$QjDu- 18.4.2 对象 352 |HEw~x<= 18.4.3 信息(Messages) 352 N\fT6#5B 18.4.4 属性 352 H|Nw)*. 18.4.5 方法 353 IN"vi|1 18.4.6 变量声明 353 Jt)~h,68 18.5 创建对象 354 35>}$1?-6 18.5.1 创建对象函数 355 (LfVa`<1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 s6D-?G*u%8 18.5.3 丢弃对象 356 wY95|QS 18.5.4 总结 356 Gw./qu-W 18.6 脚本中的表格 357 Z])_E6. 18.6.1 方法1 357 Qx6/QaS? 18.6.2 方法2 357 |W <:rT 18.7 2D Plots in Scripts 358 zfZDtKq 18.8 3D Plots in Scripts 359 n1t(ns| 18.9 注释 360 }*'ha=`J 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 | rvr Sab) 18.11 一个更高级的脚本 362 LnDj 18.12 <esc>键 364 V9VP"kD
18.13 包含文件 365 1FJ[_l 18.14 脚本被优化调用 366 $imx-H`| 18.15 脚本中的对话框 368 64lEB>VNm 18.15.1 介绍 368 Ig<p(G.;} 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !7oy%{L 18.15.3 输入框函数 370 vo$66A 18.15.4 自定义对话框 371 <C77_t 18.15.5 对话框编辑器 371 V.#8-?z 18.15.6 控制对话框 377 s2v* 18.15.7 更高级的对话框 380 TJpv"V 18.16 Types语句 384 /;4MexgB% 18.17 打开文件 385 Q.1ohj0) 18.18 Bags 387 X2[cR;;' 18.13 进一步研究 388 CiuN26> 19 vStack 389 !d\GD8|4 19.1 vStack基本原理 389 }/spo3,6 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 +][P*/ Ek 19.3 五棱镜 393 bY~ v0kg 19.4 光束距离 396 yxN!*~BvL 19.5 误差 399 %?hLo8 19.6 二向分色棱镜 399 ku?_/-ko] 19.7 偏振泄漏 404 .@Uz/j?> 19.8 波前误差—相位 405 E5 oD|'=WA 19.9 其它计算参数 405 9C;Y5E~'L 20 报表生成器 406 gN(hv.nQ 20.1 入门 406 BUinzW z{a 20.2 指令(Instructions) 406 f'O vG@ 20.3 页面布局指令 406 YZRB4T9 20.4 常见的参数图和三维图 407 }yw;L(3 20.5 表格中的常见参数 408 h<;[P?z 20.6 迭代指令 408 ~C/KA6H 20.7 报表模版 408 A=UIN! 20.8 开始设计一个报表模版 409 uR@`T18 21 一个新的project 413 /zf>>O` 21.1 创建一个新Job 414 i[{]
LiP 21.2 默认设计 415 n-3j$x1Ne 21.3 薄膜设计 416 ,,@`l\Pgd 21.4 误差的灵敏度计算 420 Xp6*Y1Y
21.5 显色指数计算 422 5iddB $ 21.6 电场分布 424 X3{1DY3@u 后记 426 X'7S|J6s 有兴趣可以扫码加微联系 Pki4wDCTW
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