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=O'%)Y& 内容简介
T!xy^n]} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Ce'2lo 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 L%O8vn^3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 (:HbtrI pdha"EV 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Vv)E41
目录 c)!s[o L Preface 1 yqb<<4I 内容简介 2 kmr
4cU5 目录 i "gikX/Co= 1 引言 1 p+sPCF 2 光学薄膜基础 2 ecZOX$'5 2.1 一般规则 2 s&`XK$p
2.2 正交入射规则 3 YB3=ij!K 2.3 斜入射规则 6 8Gg/M%wq9U 2.4 精确计算 7 t{s*3k/ 2.5 相干性 8 d~Ry> 2.6 参考文献 10 ^?]H$e 3 Essential Macleod的快速预览 10 n9/0W%X> 4 Essential Macleod的特点 32 {5IG3' 4.1 容量和局限性 33 k\<Ln
w 4.2 程序在哪里? 33 J'c9577$ 4.3 数据文件 35 \J:T] 4.4 设计规则 35 / lM~K: 4.5 材料数据库和资料库 37 |<
FCt-U 4.5.1材料损失 38 ^QQNJ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ?[B[ F 4.5.2 材料库 41 ~tuFjj^ 4.5.3导出材料数据 43 "EhO )lR 4.6 常用单位 43 v]U;5Uo 4.7 插值和外推法 46 7<o;3gR7Kj 4.8 材料数据的平滑 50 vGHYB1=~ 4.9 更多光学常数模型 54
G5f57F 4.10 文档的一般编辑规则 55 'R'a/ZR`B7 4.11 撤销和重做 56 Rs[]i; 4.12 设计文档 57 >b?)WNk 4.10.1 公式 58 $cU/Im`
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 V(uRKu
x 4.10.3 沉积密度 59 10IPq#Jj 4.10.4 平行和楔形介质 60 []!r|R3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5m?$\h 4.10.4 性能 61 i O|,,;_ 4.10.5 保存设计和性能 64 * .VZ(wX 4.10.6 默认设计 64 ~RAH -] 4.11 图表 64 7O^ S.( 4.11.1 合并曲线图 67 T5_Cu9>ax 4.11.2 自适应绘制 68 swL|Ff`$ 4.11.3 动态绘图 68 (+ anTA= 4.11.4 3D绘图 69 $-fY 8V3[ 4.12 导入和导出 73 Z?'|9FM 4.12.1 剪贴板 73 K)\gbQ| 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 8~#Q * 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 M
F: Eu 4.13 背景 77 DJ0T5VE W3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 }c5`~ LLK 4.15 生成Rugate 84 l8Qi^<i/ 4.16 参考文献 91 q#3X*!) 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Bt3=/<.\ 5.1 Jobs 92 ta.,4R&K 5.2 创建一个新Job(工作) 93 M)^9e? 5.3 输入材料 94 1u+(rVQN 5.4 设计数据文件夹 95 H5 hUY'O 5.5 默认设计 95 %pQ o%<d 6 细化和合成 97 Hvo27THLo 6.1 优化介绍 97 &:K? -ac 6.2 细化 (Refinement) 98 ACltV"dB^ 6.3 合成 (Synthesis) 100 >{Z=cv/6o 6.4 目标和评价函数 101 p;=(-4\V} 6.4.1 目标输入 102 9'h^59 6.4.2 目标 103 Asu"#sd 6.4.3 特殊的评价函数 104 hAyPaS # 6.5 层锁定和连接 104 <t37DnCgI 6.6 细化技术 104 uwA3!5 6.6.1 单纯形 105 *G41%uz 6.6.1.1 单纯形参数 106 ZS_f',kE 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Uk\U*\. 6.6.2.1 Optimac参数 108 rNyK*Wjt 6.6.3 模拟退火算法 109 V7_??L%Ct` 6.6.3.1 模拟退火参数 109 i%8 sy 6.6.4 共轭梯度 111 ]bweQw@i 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 c%.&F 6.6.5 拟牛顿法 112 oH"N>@ Vl 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {2@96o2} 6.6.6 针合成 113
#sZes 6.6.6.1 针合成参数 114 =LnAMl#9 6.6.7 差分进化 114 +KNr1rG 6.6.8非局部细化 115 B4aZ3.&W 6.6.8.1非局部细化参数 115 OhEL9"\< 6.7 我应该使用哪种技术? 116 o7zfD94I 6.7.1 细化 116
?~IZ{! 6.7.2 合成 117 M7 !"
t 6.8 参考文献 117 fif<[Ax 7 导纳图及其他工具 118 Hp!F?J7sx 7.1 简介 118 sKO
;p 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 g"Bv!9*H 7.2.1 四分之一波长规则 119 C<>.*wlp= 7.2.2 导纳图 120 _@2G]JD 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ^ BKr0~4A 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 <@u6*] 7.5 斜入射导纳图 141 6<Z9p@6 7.6 对称周期 141 z, [+ 7.7 参考文献 142 &)-?=M 8 典型的镀膜实例 143 :^a$ve3(Jq 8.1 单层抗反射薄膜 145 YyIt-fPZ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 A4' aB0^ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 {IWb:p#I] 8.4 W-膜层 148 $ 1U%E 8.5 V-膜层 149 <H 6Uo#ao 8.6 V-膜层高折射基底 150 *gVv74;; 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 NY
x4&
*le 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 l1WVt} 8.9 四层抗反射薄膜 153 ny=iAZM>q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 QUf_fe!,| 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 G>x0}c 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 E<dN=#f6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 0i"OG( , 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 dp_q:P4;B 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Ek3O{< 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 2+PIZ6=hN 8.17 1/4波长堆栈 162 {NR~>=~K- 8.18 陷波滤波器 163 odDt.gQXU 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?L^ Gu ]y 8.20 褶皱 165 9[Mu 8.21 消偏振分光器1 169 qb&*,zN 8.22 消偏振分光器2 171 Ry C7 8.23 消偏振立体分光器 172 YSbN=Rj 8.24 消偏振截止滤光片 173 xXZN<<f59 8.25 立体偏振分束器1 174 OK=t)6&b 8.26 立方偏振分束器2 177 x%1Rp[ 8.27 相位延迟器 178 ]7;;uhn` 8.28 红外截止器 179 s/V[tEC*z 8.29 21层长波带通滤波器 180 Cb.Aw! 8.30 49层长波带通滤波器 181 B_>
Fd& 8.31 55层短波带通滤波器 182 YC~+r8ME$j 8.32 47 红外截止器 183 N5^:2ag 8.33 宽带通滤波器 184 Y2Bu,/9^ 8.34 诱导透射滤波器 186 y@I"Hk<T 8.35 诱导透射滤波器2 188 I$$!YMm.N 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 O);V{1P 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 *L=CJg 8.35 增益平坦滤波器 193 L6T_&AiL$ 8.38 啁啾反射镜 1 196 * 7CI q 8.39 啁啾反射镜2 198 $3>|RlxYA 8.40 啁啾反射镜3 199 K\G|q}E/1 8.41 带保护层的铝膜层 200 Z_%>yqDC 8.42 增加铝反射率膜 201 A.n1|Q# 8.43 参考文献 202 f4q-wX_1 9 多层膜 204 Ap/WgVw; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 sMZ \6 9.2 内部透过率 204 [eImP
V] 9.3 内部透射率数据 205 zC7;Zj*k 9.4 实例 206 (U)=t$=o 9.5 实例2 210 @:}z\qBM 9.6 圆锥和带宽计算 212 "='|c-x 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ZP1EO Z 10 光学薄膜的颜色 216 . @.CQB=E 10.1 导言 216 k:fRk<C 10.2 色彩 216 E)Dik`Ccl 10.3 主波长和纯度 220 gN*8zui 10.4 色相和纯度 221 so;aN'{6@ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 \>+gZc]an 10.6 色差 226 =3FXU{"Qi4 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 PqfH}d0l 10.8 颜色渲染指数 234 `+U-oqs 10.9 色差计算 235 8 _>R 'u[ 10.10 参考文献 236 `| fF)kI 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `|gCbs95 11.1 短脉冲 238 + EM '- 11.2 群速度 239 D`u{U] 11.3 群速度色散 241 T6tJwSS4: 11.4 啁啾(chirped) 245 m#uutomi0 11.5 光学薄膜—相变 245 H=0Y4 T@)T 11.6 群延迟和延迟色散 246 1Z`zdZs 11.7 色度色散 246 @ ~PL|Pp_ 11.8 色散补偿 249 ~`y6YIJ3 11.9 空间光线偏移 256 56fcifXz@ 11.10 参考文献 258 gX[6WB"p 12 公差与误差 260 lm$T`:c 12.1 蒙特卡罗模型 260 co:
W! 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 /gxwp:&lY 12.2.1 误差工具 267 m$]?Jq 12.2.2 灵敏度工具 271 HR4^+x 12.2.2.1 独立灵敏度 271 STO6cNi 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~#wq sm 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 IyMKV$" 12.3 参考文献 276 905
/4z' 13 Runsheet 与Simulator 277 K1Uur>Pk% 13.1 原理介绍 277 d35 ,[ 13.2 截止滤光片设计 277 S^ 3I" B 14 光学常数提取 289 zH.7!jeE 14.1 介绍 289 a4c~ThbI 14.2 电介质薄膜 289 }psJ'aiG* 14.3 n 和k 的提取工具 295 nM@S`" 14.4 基底的参数提取 302 Uc.K6%iI 14.5 金属的参数提取 306 F;kNc:X`) 14.6 不正确的模型 306 QHK$2xtq| 14.7 参考文献 311 NI3_wV 15 反演工程 313 -e30! A 15.1 随机性和系统性 313 jfk`%CEk= 15.2 常见的系统性问题 314 <Dl7|M 15.3 单层膜 314 0Y{A 15.4 多层膜 314 WUKYwA/t 15.5 含义 319 O3Yv -># 15.6 反演工程实例 319 60Y&)UR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 QD<f)JZK 15.6.2 反演工程提取折射率 327 JBp^@j{_ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 OX I.>9 16.1 光学性质的热致偏移 329 (,[Oy6o 16.2 应力工具 335 b3W@{je 16.3 均匀性误差 339 JW
(.,Ztm 16.3.1 圆锥工具 339 0:Xvch0 16.3.2 波前问题 341 :2}zovsdj 16.4 参考文献 343 2ACN5lyUS 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 }PD?x4 17.1 引言 345 ml\A)8O]j/ 17.2 操作数 345 J&wrBVv1uk 18 如何在Function中编写脚本 351 iCnKQG 18.1 简介 351
LGV"WE 18.2 什么是脚本? 351 ?(H/a-(:v} 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 l@%MS\{ 18.4 基础 352 -b8Vz}Y 18.4.1 Classes(类别) 352 ]:d`=V\&N 18.4.2 对象 352 m!V ?xGKJ 18.4.3 信息(Messages) 352 o/
ozX4C 18.4.4 属性 352 ;kDz9Va 18.4.5 方法 353 ZG3u 18.4.6 变量声明 353 Z+x,Awq 18.5 创建对象 354 h@&&.S`B 18.5.1 创建对象函数 355 x[zt(kC0+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ,E<(K8 18.5.3 丢弃对象 356 'gI q_t|^ 18.5.4 总结 356 LY(YgqL 18.6 脚本中的表格 357 F|Pf-.r`t 18.6.1 方法1 357 E9i
M-Lw 18.6.2 方法2 357 A}W)La\
18.7 2D Plots in Scripts 358 Kf/1;:^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 ?#da4W 18.9 注释 360 a"@k11 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $hXhq*5|c 18.11 一个更高级的脚本 362 nep0<& |