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T}n N=Q4 内容简介 1MbY7!?PG Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 `zdH1 p^w 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 k$e D(cW$ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 wGEWr2$ r NxrQ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 +
,@ FxZl 目录 On#;)35M Preface 1 `Y\gSUhzS 内容简介 2 W(;x\Nc7 目录 i Ik`O.Q.} 1 引言 1 !]$V9F{K 2 光学薄膜基础 2 0LetsDN7I 2.1 一般规则 2 )R jb/3*! 2.2 正交入射规则 3 \hs/D+MCk 2.3 斜入射规则 6 r_b8,I6{] 2.4 精确计算 7 nd.57@*M 2.5 相干性 8 z-n>9 2.6 参考文献 10 Z5((1J9 3 Essential Macleod的快速预览 10 Yo >`h2C4 4 Essential Macleod的特点 32 Ct4LkmD 4.1 容量和局限性 33 qBT_!
)h
4.2 程序在哪里? 33 an3~'g? 4.3 数据文件 35 fv|]= e 4.4 设计规则 35 aXMv(e+ 4.5 材料数据库和资料库 37 nN>J*02( 4.5.1材料损失 38 1TKEm9j]u 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ^'m\D; 4.5.2 材料库 41 U
z"sdi 4.5.3导出材料数据 43 d; 9*l!CF 4.6 常用单位 43 7=}6H3|& 4.7 插值和外推法 46 0CT}DQ._^N 4.8 材料数据的平滑 50 10mK}HT>4B 4.9 更多光学常数模型 54 ZTN(irK 4.10 文档的一般编辑规则 55 {}V$`L8 4.11 撤销和重做 56 4w'lu"U 4.12 设计文档 57 ,Kuk_@(}5~ 4.10.1 公式 58 Eu|sWdmf
l 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 b`$yqi<[ 4.10.3 沉积密度 59 2b5 #PcKa 4.10.4 平行和楔形介质 60 +}P%HH]E/p 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 J0=7'@(p 4.10.4 性能 61 q(,cYu 4.10.5 保存设计和性能 64 t{!/#eQC 4.10.6 默认设计 64 _}D%iJg# 4.11 图表 64 bG"HD?A_ 4.11.1 合并曲线图 67 >QXzMN}o 4.11.2 自适应绘制 68 l09Fn>wa 4.11.3 动态绘图 68 )B6# A0 4.11.4 3D绘图 69 <0#^7Z 4.12 导入和导出 73 2gt+l?O<PS 4.12.1 剪贴板 73 7AFE-'S 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 2Zy_5>~ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 kBo;h.[l 4.13 背景 77 2UiR~P]% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 K}x_nW 4.15 生成Rugate 84 o+NMA
( 4.16 参考文献 91 '_V
#;DI 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;J]25j]] 5.1 Jobs 92 _pW_G1U 5.2 创建一个新Job(工作) 93 vYdR ht\( 5.3 输入材料 94 N>0LQ
MI 5.4 设计数据文件夹 95 b(l0js 5.5 默认设计 95 ygN>"eP 6 细化和合成 97 qe?Qeh(!X 6.1 优化介绍 97 /Y,r@D 6.2 细化 (Refinement) 98 Oa!
m
6.3 合成 (Synthesis) 100 A^ViDP 6.4 目标和评价函数 101 ,9d9_c.T 6.4.1 目标输入 102 OiF{3ae( 6.4.2 目标 103 :$?Q D 6.4.3 特殊的评价函数 104 gw^'{b 6.5 层锁定和连接 104 2:Q(Gl`<l 6.6 细化技术 104 B8 H75sz 6.6.1 单纯形 105 >"%ob,c:# 6.6.1.1 单纯形参数 106 W m
.
}Zh 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 8u>gbdU 6.6.2.1 Optimac参数 108 oaK.kOo 6.6.3 模拟退火算法 109 [[WF0q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 v8m`jxII64 6.6.4 共轭梯度 111 e`iEy=W 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9#qeFBI 6.6.5 拟牛顿法 112 zC=a3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 aE)by-' 6.6.6 针合成 113 yS!(Ap 6.6.6.1 针合成参数 114 hJf2o 6.6.7 差分进化 114 .IgRY\?Q 6.6.8非局部细化 115 -R0/o7 6.6.8.1非局部细化参数 115 s9O2k}] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 xzm@
v( 6.7.1 细化 116 OX\$ nQ\o 6.7.2 合成 117 (?>cn_m 6.8 参考文献 117 BtsdeLj| 7 导纳图及其他工具 118 jnJZ#=) 7.1 简介 118 -:<lkq&/ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <uci9- eC 7.2.1 四分之一波长规则 119 7C7>y/uS 7.2.2 导纳图 120 irKIy 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &eQJfc\a 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 P|xG\3@Z 7.5 斜入射导纳图 141 XN;&qR^j 7.6 对称周期 141 wvN `R 7.7 参考文献 142 BI/&dKM 8 典型的镀膜实例 143 q/PNJ#< 8.1 单层抗反射薄膜 145 lr~0pL 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 &;c>O 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;a
r><w 8.4 W-膜层 148 8Lz]Z
h=ZU 8.5 V-膜层 149 ^zr^ N?a 8.6 V-膜层高折射基底 150 g`0moXz 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 s^hR\iY 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ]*N1t>fb 8.9 四层抗反射薄膜 153 ^YlI>_3s 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 taWqSq! 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !<<AzLVL 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 )C~9E 5E 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 UzG[:ic% 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 eE(b4RCM 8.15十五层宽带抗反射膜 159 *
F4UAQzYb 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 !%)]56( 8.17 1/4波长堆栈 162 ;11x"S 8.18 陷波滤波器 163 `<frgXu64 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Vzg=@A# 8.20 褶皱 165 {tiKH=&J 8.21 消偏振分光器1 169 @'6"7g 8.22 消偏振分光器2 171 O;uG?.\ 8.23 消偏振立体分光器 172 lDU_YEQ> 8.24 消偏振截止滤光片 173 WsGths+[ 8.25 立体偏振分束器1 174 &,:h) 8.26 立方偏振分束器2 177 F@YKFk+a 8.27 相位延迟器 178 E4z)Mr# 8.28 红外截止器 179 Fc 6iQ 8.29 21层长波带通滤波器 180 12UD19! 8.30 49层长波带通滤波器 181 |nUl\WRd\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 u<xo/=Z 8.32 47 红外截止器 183 Na{Y}0=^y 8.33 宽带通滤波器 184 B1!kn}KlL{ 8.34 诱导透射滤波器 186 u]*0;-tz 8.35 诱导透射滤波器2 188 ac{?+]8} 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #5} wuj%5 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Lgk 8.35 增益平坦滤波器 193 iUi>y.}"P 8.38 啁啾反射镜 1 196 soRv1) el 8.39 啁啾反射镜2 198 D{8PQ2x> 8.40 啁啾反射镜3 199 49H+(*@v@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 80OtO#1y 8.42 增加铝反射率膜 201 ^h' Sla 8.43 参考文献 202 ULJ mSe 9 多层膜 204 ^D%Za' 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 =c.5874A` 9.2 内部透过率 204 2,q}Nq 9.3 内部透射率数据 205 ]`g@UtD9` 9.4 实例 206 Z @ dC+0[= 9.5 实例2 210 6w8">~)Z 9.6 圆锥和带宽计算 212 2Os1C}m 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 j$7|XM6 10 光学薄膜的颜色 216 B;>{0
s 10.1 导言 216 ~^jq(:d) 10.2 色彩 216 tJViA`@x 10.3 主波长和纯度 220 m0n)dje 10.4 色相和纯度 221 T;TA7{B 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Z<[<n0o1 10.6 色差 226 u$#Wv2| mk 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 @mP]*$00 10.8 颜色渲染指数 234 x!LQxoNF 10.9 色差计算 235 a8k; (/ 10.10 参考文献 236 `{k"8#4:qA 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 GPz(j'jU 11.1 短脉冲 238 'rp }G&m 11.2 群速度 239 }o4N<%/+ 11.3 群速度色散 241 ygJr=_iA9 11.4 啁啾(chirped) 245 @hQlrq5c 11.5 光学薄膜—相变 245 ~c^>54 11.6 群延迟和延迟色散 246 XR2~Q)@ 11.7 色度色散 246 }D411228 11.8 色散补偿 249 gxz-R?. 11.9 空间光线偏移 256 M5nWVK7c 11.10 参考文献 258 I-y#Ks1p+ 12 公差与误差 260 O/AaYA& 12.1 蒙特卡罗模型 260 DI+]D~N 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 3$.deYa$R 12.2.1 误差工具 267 ^k5ll=} 12.2.2 灵敏度工具 271 |F,R&<2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]D[DU]K 12.2.2.2 灵敏度分布 275 !tfb*@{;' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 0"2=n.## 12.3 参考文献 276 {~!q`Dr3?q 13 Runsheet 与Simulator 277 L^2FQti> 13.1 原理介绍 277 r.3/F[. 13.2 截止滤光片设计 277 S5~VD?O, 14 光学常数提取 289 f` =CpO* 14.1 介绍 289 Gj"7s8(/K| 14.2 电介质薄膜 289 (?_S6HE 14.3 n 和k 的提取工具 295 ];.pK 14.4 基底的参数提取 302 &j(+ /;A 14.5 金属的参数提取 306 Ox#\M0Wn$3 14.6 不正确的模型 306 O"Ku1t! 14.7 参考文献 311 zi`b2h 15 反演工程 313 ee%fqVQ8P 15.1 随机性和系统性 313 q0f3=" 15.2 常见的系统性问题 314 ST\$= 15.3 单层膜 314 ,'[<bP'%_ 15.4 多层膜 314 (WJ${OW 15.5 含义 319 .>Ljnk 15.6 反演工程实例 319 TIp:FW[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >2bKSh 15.6.2 反演工程提取折射率 327 !Mi;*ZR 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =FE|+!>PA 16.1 光学性质的热致偏移 329 tOfg?)h{dc 16.2 应力工具 335 2M#r] 16.3 均匀性误差 339 /|xra8?H[ 16.3.1 圆锥工具 339 0-~\
W( 16.3.2 波前问题 341 D8
hr?:I9 16.4 参考文献 343 bh^LIU 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^i:`ZfA# 17.1 引言 345 1V8-^ 17.2 操作数 345 ()~pY!)1/ 18 如何在Function中编写脚本 351 TMYd47 18.1 简介 351 iD<(b`S 18.2 什么是脚本? 351 +$oF]OO 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 &f&z_WU 18.4 基础 352 <.Nx[!'~&d 18.4.1 Classes(类别) 352 (SKVuR%Jj 18.4.2 对象 352 os/vtyP:a 18.4.3 信息(Messages) 352 0GJn_@hr 18.4.4 属性 352 ~gGZmTb 18.4.5 方法 353 `uC@nJ 18.4.6 变量声明 353 ]('D^Ro 18.5 创建对象 354 6/rFHY2q 18.5.1 创建对象函数 355 H^YSJ6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `w]s;G[ 18.5.3 丢弃对象 356 6R=W}q4 18.5.4 总结 356 mdRU^n 18.6 脚本中的表格 357 *zr(Zv 18.6.1 方法1 357 N^3N[lD{ 18.6.2 方法2 357 =}.EY iD 18.7 2D Plots in Scripts 358 Mbb x` 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,?L2wl[ 18.9 注释 360 66fO7OJs 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 trAkcYd 18.11 一个更高级的脚本 362 \Ym5<];E 18.12 <esc>键 364 r#XT3qp$d 18.13 包含文件 365 @|\}.M<e*) 18.14 脚本被优化调用 366 :_O%/k1\@ 18.15 脚本中的对话框 368 Uw47LP 18.15.1 介绍 368 Yb E-6|cz 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ^<e.]F25M 18.15.3 输入框函数 370 tg{H9tU; 18.15.4 自定义对话框 371 Hla0 5N' 4 18.15.5 对话框编辑器 371 =5\|[NSK- 18.15.6 控制对话框 377 u,&^&0K, 18.15.7 更高级的对话框 380 b#X^=n2 18.16 Types语句 384 J>\B`E 18.17 打开文件 385 ub|V\M{ 18.18 Bags 387 ayiu,DXx 18.13 进一步研究 388 rb|U;)C 19 vStack 389 zzxGAVu 19.1 vStack基本原理 389 p`l0?^r
c" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @;'o2 19.3 五棱镜 393 JYTP
2 19.4 光束距离 396 x@*SEa 19.5 误差 399 "sG=wjcw^ 19.6 二向分色棱镜 399 3\B>lKhQ 19.7 偏振泄漏 404 ho$+L 19.8 波前误差—相位 405 (;q;E\Ejq 19.9 其它计算参数 405 ;72T|e 20 报表生成器 406 dxmE3*b` 20.1 入门 406 6Udov pl 20.2 指令(Instructions) 406 \Cii1\R= 20.3 页面布局指令 406 UXh9:T'% 20.4 常见的参数图和三维图 407 !P-^O 20.5 表格中的常见参数 408 ,gS;m
&!'J 20.6 迭代指令 408 Xwhui4'w 20.7 报表模版 408 cZ|\.0- 20.8 开始设计一个报表模版 409 a]MX)? 21 一个新的project 413 sJDas,7> 21.1 创建一个新Job 414 <"_d]?, 21.2 默认设计 415 } q$ WvY/ 21.3 薄膜设计 416 \ioH\9 21.4 误差的灵敏度计算 420 c`o7d)_Ke 21.5 显色指数计算 422 !7kG!)40 21.6 电场分布 424 `5C,N!d8X 后记 426 /C6k+0ApMT 有兴趣可以扫码加微联系 uB]b}"+l
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