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3SttHu0X 内容简介 zi@]83SS# Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 I:cg}JZ>| 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 o 5U(i 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 KqY["5p Fh$slow4! 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 KngTc(^_D 目录 3?I;ovsM Preface 1 ]}|byo 内容简介 2 as yZe 目录 i 4<dcB@v 1 引言 1 "Jq8?FoT 2 光学薄膜基础 2 I#F!N6; 2.1 一般规则 2 8.AR.o 2.2 正交入射规则 3 =@&cH Y 2.3 斜入射规则 6 ElhRF{R 2.4 精确计算 7 F,BOgWwP 2.5 相干性 8 <EO$]>;0 2.6 参考文献 10 q[q?hQ/b 3 Essential Macleod的快速预览 10 soA|wk\A 4 Essential Macleod的特点 32 nAIo{
F 4.1 容量和局限性 33 f5AjJYq1 4.2 程序在哪里? 33 |1b_*G4| 4.3 数据文件 35 c/N@zum,{ 4.4 设计规则 35 Mips.Bx 4.5 材料数据库和资料库 37 )L{ghy 4.5.1材料损失 38 q;g>t5]a 4.5.1材料数据库和导入材料 39 y;wx?1) 4.5.2 材料库 41 C?v[Z]t 4.5.3导出材料数据 43 !G^L/?z3 4.6 常用单位 43 '. Ed`?<p 4.7 插值和外推法 46 'm1N/)F 4.8 材料数据的平滑 50 ^z1&8k"[^ 4.9 更多光学常数模型 54 X+L) -d 4.10 文档的一般编辑规则 55 VVH.2&`I 4.11 撤销和重做 56 3$.deYa$R 4.12 设计文档 57 ^k5ll=} 4.10.1 公式 58 |F,R&<2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {"oxJ`z4 4.10.3 沉积密度 59 An;MVA 4.10.4 平行和楔形介质 60 M FTkqbc 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 U*Ge<(v$ 4.10.4 性能 61 drzL.@h| 4.10.5 保存设计和性能 64 \$0F-=w`8 4.10.6 默认设计 64 D]w!2k%V 4.11 图表 64 mMsTyM-f 4.11.1 合并曲线图 67 Bjk]ZU0T 4.11.2 自适应绘制 68 jK \T|vGJa 4.11.3 动态绘图 68 d\x7Zw> 4.11.4 3D绘图 69 @1*ohdHH 4.12 导入和导出 73 4wC+S9I#E^ 4.12.1 剪贴板 73 ?]D"k4 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 yjfat&$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ~ P~ 4.13 背景 77 06$!R/K 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 hxCvk/7sT 4.15 生成Rugate 84 y_\p=0t8 4.16 参考文献 91 ,0x y\u 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 pw7[y^[Qg 5.1 Jobs 92 x77l~=P+! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ]|`Cuc 5.3 输入材料 94 qM#R0ZUIe\ 5.4 设计数据文件夹 95 T] 2q?;N 5.5 默认设计 95 :ba5iMa 6 细化和合成 97 K>*a*[t0Sy 6.1 优化介绍 97 ylt`*|$ 6.2 细化 (Refinement) 98 t#q<n:WeYU 6.3 合成 (Synthesis) 100 /rUo{j 6.4 目标和评价函数 101 ^G6RjJxqp8 6.4.1 目标输入 102 ;&1V0U,fx 6.4.2 目标 103 m(pE5B( 6.4.3 特殊的评价函数 104 z9aY]lHY 6.5 层锁定和连接 104 N[k wO1 6.6 细化技术 104 `rf_7 6.6.1 单纯形 105 m0v:\?S: 6.6.1.1 单纯形参数 106 PRz/inru- 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^Z:~91Tv-_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 u_ABt?' 6.6.3 模拟退火算法 109 M5xCC! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 =Zi2jL?On 6.6.4 共轭梯度 111 gx%|Pgd 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 >JiltF7H0 6.6.5 拟牛顿法 112 BJ% eZ. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ?O>V%@ 6.6.6 针合成 113 ) $PDo
7# 6.6.6.1 针合成参数 114 ^tXJj:wtS 6.6.7 差分进化 114 P2bZ65>3y 6.6.8非局部细化 115 <~ Sz04 6.6.8.1非局部细化参数 115
foQ#a 6.7 我应该使用哪种技术? 116 dd]/.Z 6.7.1 细化 116 ;qrB\j" 6.7.2 合成 117 E9~Ghx. 6.8 参考文献 117 9W(dmde> 7 导纳图及其他工具 118 _cXqAo[V 7.1 简介 118 -wjN"g< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 *4V=z# 7.2.1 四分之一波长规则 119 &L^+BQ`O? 7.2.2 导纳图 120 ]\!?qsT3} 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Q[nEsYP 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3-&QRR#p 7.5 斜入射导纳图 141 o<N nV 7.6 对称周期 141 R~Ne|V2 7.7 参考文献 142 ztw@Y|<2 8 典型的镀膜实例 143 ,T2G~^0 8.1 单层抗反射薄膜 145 TA{\PKA) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 '0FhL)x?"T 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Rz.? i+ 8.4 W-膜层 148 1Z9qjV%^ 8.5 V-膜层 149 %Ah^E$&n2 8.6 V-膜层高折射基底 150 >uSy 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 KQ~i<1&j 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ELj\[&U 8.9 四层抗反射薄膜 153 uvrB5=u 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 /kfgx{jZ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 E2m8UBS 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 kkQVNphc 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )a-Du$kd 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 92 [;Y 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }2e??3 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 .C--gQpIv 8.17 1/4波长堆栈 162 /oriW;OF 8.18 陷波滤波器 163 >/8y GBD 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
6q{HU]N+ 8.20 褶皱 165 B&@?*^. 8.21 消偏振分光器1 169 }5hqDBK? 8.22 消偏振分光器2 171 `DC2gJKk% 8.23 消偏振立体分光器 172 IP(Vr7-v 8.24 消偏振截止滤光片 173 ?O8ViB?2 8.25 立体偏振分束器1 174 Cvf[/C+ 8.26 立方偏振分束器2 177 PS[+~>% 8.27 相位延迟器 178 t]YC"%[S 8.28 红外截止器 179 49vcoHlf 8.29 21层长波带通滤波器 180 -q*i_r:, 8.30 49层长波带通滤波器 181
~/P&Tub^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 |cR;{Z8?_ 8.32 47 红外截止器 183 F F|FU< 8.33 宽带通滤波器 184 MgY0q?.S= 8.34 诱导透射滤波器 186 2K3{hxB 8.35 诱导透射滤波器2 188 07[_.i.l 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 t{.8|d@
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 I= &stsH 8.35 增益平坦滤波器 193 *3?'4"B{8 8.38 啁啾反射镜 1 196 'L8'
'(eZ^ 8.39 啁啾反射镜2 198 eN^qG
42
8.40 啁啾反射镜3 199 ^3UGV*Ypk 8.41 带保护层的铝膜层 200 sNLs\4v 8.42 增加铝反射率膜 201 m8o(J\] 8.43 参考文献 202 aP/T<QZ~ 9 多层膜 204 oomT)gO 6* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 |b)Y#)C; 9.2 内部透过率 204 ,.7*Hpa 9.3 内部透射率数据 205 @CT;g\4 9.4 实例 206 !Y[lQXv 9.5 实例2 210 ^Gqt+K% 9.6 圆锥和带宽计算 212 v^1pN>#%g 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 7BJzMlJ1Y 10 光学薄膜的颜色 216 c5u@pvSP 10.1 导言 216 ekWePL;rR2 10.2 色彩 216
wwyPl 10.3 主波长和纯度 220 lw<c2C 10.4 色相和纯度 221 HxIIO[h 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 OR;uqV@ 10.6 色差 226 TL}++e
7+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 iT%} $Lu~ 10.8 颜色渲染指数 234 p{j.KI s7 10.9 色差计算 235 c1E'$-
K@ 10.10 参考文献 236 :R~MO& 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 j'HZ\_ 11.1 短脉冲 238 -}KC=,]vh 11.2 群速度 239 FW21 U< 11.3 群速度色散 241 \Hn>oonph 11.4 啁啾(chirped) 245 xo7Kn+ Kl 11.5 光学薄膜—相变 245 3 U7*>H 11.6 群延迟和延迟色散 246 _Nqt21sL 11.7 色度色散 246 ZOZ+ Y\uU 11.8 色散补偿 249 DF*:_B) 11.9 空间光线偏移 256 '2[albxSc 11.10 参考文献 258 A}3=561F?5 12 公差与误差 260 `1bv@yzq 12.1 蒙特卡罗模型 260 Ndi9FD3im 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 !Ikt '5/ 12.2.1 误差工具 267 x3o]U)^ 12.2.2 灵敏度工具 271 ' <@3i[M 12.2.2.1 独立灵敏度 271 /(.mp<s0 12.2.2.2 灵敏度分布 275 [E/\#4b 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 f)^_|8 12.3 参考文献 276 n}!PO[m~ 13 Runsheet 与Simulator 277 AMyIAZnYq) 13.1 原理介绍 277 w%JTTru 13.2 截止滤光片设计 277 iqe%=%ZR 14 光学常数提取 289 1$p2}Bf{n 14.1 介绍 289 @Bf%s(Uj+ 14.2 电介质薄膜 289 *%S"eWb 14.3 n 和k 的提取工具 295 pQtJc*[! 14.4 基底的参数提取 302 q)^Jj?W 14.5 金属的参数提取 306 PqiB\~o@Z 14.6 不正确的模型 306 f7X6fr< 14.7 参考文献 311 z<##g 15 反演工程 313 8[E!E)4M 15.1 随机性和系统性 313 &C"L 15.2 常见的系统性问题 314 hHT_V2* 15.3 单层膜 314 U qFv}VsnF 15.4 多层膜 314 /Z@tv.f 15.5 含义 319 no9;<]4 15.6 反演工程实例 319 5*,f
Fib 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4<lRPsvgc 15.6.2 反演工程提取折射率 327 k{Me[B 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 6 1F(<! 16.1 光学性质的热致偏移 329 !3*(N8_|# 16.2 应力工具 335 tavpq.0O 16.3 均匀性误差 339 \ywXi~+kUv 16.3.1 圆锥工具 339 n8" .XS 16.3.2 波前问题 341 ck.w
5|$ 16.4 参考文献 343 L;'"A#Pa 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 WYEKf9} 17.1 引言 345 #]ypHVE 17.2 操作数 345 cM$P`{QrM 18 如何在Function中编写脚本 351 _YLfL 18.1 简介 351 to=y#$_ 18.2 什么是脚本? 351 (?(zH3 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 :"xzj<( 18.4 基础 352 (}EB2V9Hh 18.4.1 Classes(类别) 352 LYaZ1* 18.4.2 对象 352 7]||UuF< 18.4.3 信息(Messages) 352 |Y [wzDYV 18.4.4 属性 352 T^~5n6 18.4.5 方法 353 ~==>pj 18.4.6 变量声明 353 OVhE??# 18.5 创建对象 354 &'
Ne!o8 18.5.1 创建对象函数 355 |>tKq;/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Z`KC%!8K 18.5.3 丢弃对象 356 -/ g B|J 18.5.4 总结 356 G}:lzOlMH 18.6 脚本中的表格 357 oIb|*gX^ 18.6.1 方法1 357 TTt#a6eJ 18.6.2 方法2 357 49dd5ddr 18.7 2D Plots in Scripts 358 pm_u
18.8 3D Plots in Scripts 359 Dm-zMCf}Q 18.9 注释 360 #>mr[ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Ct=-4 18.11 一个更高级的脚本 362 79xx2 18.12 <esc>键 364 jkt_5+S 18.13 包含文件 365 f'VX Y- 18.14 脚本被优化调用 366 nAjO6g6E 18.15 脚本中的对话框 368 DIzH`|Y 18.15.1 介绍 368 ]A<~XIu 18.15.2 消息框-MsgBox 368 6T#+V37 18.15.3 输入框函数 370 )XzI
#iQ 18.15.4 自定义对话框 371 h9Y%{v 18.15.5 对话框编辑器 371 zN:K%AiGxe 18.15.6 控制对话框 377 P)MDPI+~ 18.15.7 更高级的对话框 380 P%(O| 18.16 Types语句 384 */|9= $54 18.17 打开文件 385 viMzR(JU 18.18 Bags 387 Ksy -e{n 18.13 进一步研究 388 kAC&S!n 19 vStack 389 5&q8g;XiEM 19.1 vStack基本原理 389 vWf;
'j 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 NwG= <U* 19.3 五棱镜 393 R]btAu;Z 19.4 光束距离 396 GP:77)b5 19.5 误差 399 XAe%m^ 19.6 二向分色棱镜 399 2VJR$Pao 19.7 偏振泄漏 404 mM-8+H?~b 19.8 波前误差—相位 405 1PP $XJtyD 19.9 其它计算参数 405 }XSfst5-H 20 报表生成器 406 kT!9`S\ 20.1 入门 406 _oUHJ~&, 20.2 指令(Instructions) 406 I{*< |