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Yw3'9m^ 内容简介
PtbaC6"\ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 1]2]l*&3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 #mu L-V 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 +n;nvf}( 7amVnR1f 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 qXW\/NT"p< 目录 KN|<yF Preface 1 TSP%5v;Dh 内容简介 2 11yXI[ 目录 i D:/ n2_ 1 引言 1 .
|T=T0^ 2 光学薄膜基础 2 8mreHa 2.1 一般规则 2 ja_8n["z 2.2 正交入射规则 3 4Lt9Dx1 2.3 斜入射规则 6 Lkm-< 2.4 精确计算 7 YK3>M"58 2.5 相干性 8 Kk8}m; 2.6 参考文献 10 ;3cbXc@] 3 Essential Macleod的快速预览 10 `sYFQ+D#O 4 Essential Macleod的特点 32 ^r\rpSN 4.1 容量和局限性 33 pd'0| 4.2 程序在哪里? 33 SU ~a()" 4.3 数据文件 35 ! dzgi: 4.4 设计规则 35 h$l/wn 4.5 材料数据库和资料库 37 XX~vg>3_ 4.5.1材料损失 38 neI7VbH4 4.5.1材料数据库和导入材料 39 fkzSX8a9} 4.5.2 材料库 41 /e '3\,2_ 4.5.3导出材料数据 43 yXR1NYg 4.6 常用单位 43 9b+jT{Tg 4.7 插值和外推法 46 -XV,r<'' 4.8 材料数据的平滑 50 4!Js=" 4.9 更多光学常数模型 54 u<BU4c/p 4.10 文档的一般编辑规则 55 k5S;G"iJ 4.11 撤销和重做 56 FXof9fa_B 4.12 设计文档 57 5.~Je6K U 4.10.1 公式 58 V*4Z.3/E5 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hC:'L9Y 4.10.3 沉积密度 59 G68KoM 4.10.4 平行和楔形介质 60 !!1?2ine 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
7=6:ZSI 4.10.4 性能 61 9* )&hhBs, 4.10.5 保存设计和性能 64 lYx_8x2 4.10.6 默认设计 64 ?gE=hh 4.11 图表 64 bBjr hi 4.11.1 合并曲线图 67 D|LO!,=b 4.11.2 自适应绘制 68 &bsq;)wzs 4.11.3 动态绘图 68 7=l~fKu 4.11.4 3D绘图 69 DK4yAR,g 4.12 导入和导出 73 3B&A)&pEO 4.12.1 剪贴板 73 bWswF<y- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Bs~~C8+ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 7Q .Su 4.13 背景 77 jdxHWkQ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /s\ mV 4.15 生成Rugate 84 $p0nq&4c 4.16 参考文献 91 DB' 0 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 .<hHK|HF 5.1 Jobs 92 +MoUh'/u 5.2 创建一个新Job(工作) 93 hLO)-ueb 5.3 输入材料 94 [RyVR 5.4 设计数据文件夹 95 uBm"Xkxe|w 5.5 默认设计 95 ]&*POri& 6 细化和合成 97 }%< ?] 6.1 优化介绍 97 boo361L 6.2 细化 (Refinement) 98 nQF&^1n 6.3 合成 (Synthesis) 100 HXLnjXoe 6.4 目标和评价函数 101 L<F8+a7i 6.4.1 目标输入 102 0@ `]m 6.4.2 目标 103 `a83RX_\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 yZleots1 6.5 层锁定和连接 104 |a(KVo 6.6 细化技术 104 &tyS 6S+ 6.6.1 单纯形 105 jl,gqMn"V 6.6.1.1 单纯形参数 106 n ay\) 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 p _gN}v 6.6.2.1 Optimac参数 108 K.Xy:l*z 6.6.3 模拟退火算法 109 8em'7hR9 6.6.3.1 模拟退火参数 109 V%,,GmiU] 6.6.4 共轭梯度 111 x5lVb$!G 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 d<m;Q}/l&h 6.6.5 拟牛顿法 112
|Xso}Y{ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 m eF7[>!U 6.6.6 针合成 113 C;BO6$*_e 6.6.6.1 针合成参数 114 t~+M>Fjm?d 6.6.7 差分进化 114 =M\yh,s! 6.6.8非局部细化 115 fv;Q*; oC& 6.6.8.1非局部细化参数 115 V6g*"e/8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 14,)JZN 6.7.1 细化 116 {]CZgqE{ 6.7.2 合成 117 (m/:B=K 6.8 参考文献 117 1-kuK<KR 7 导纳图及其他工具 118 Hv/C40uM- 7.1 简介 118 #VQZ"7nI@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 A4j,]hOD 7.2.1 四分之一波长规则 119
|~9rak, 7.2.2 导纳图 120 vXJs.)D7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Jf^3nBZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 zEQ]5>mG 7.5 斜入射导纳图 141 ^twyy9VR 7.6 对称周期 141 9ihg[k 7.7 参考文献 142 {j wv+6]U 8 典型的镀膜实例 143 N.|F8b]v 8.1 单层抗反射薄膜 145 ;}B=g/C 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 q!z?Tn#!jd 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 @-q,%)?0}= 8.4 W-膜层 148 Ws2q/[\oz 8.5 V-膜层 149 0|GYt nd 8.6 V-膜层高折射基底 150 EjPR+m 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 bb_elmb)n 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ?$pNd uE 8.9 四层抗反射薄膜 153 <&eJIz= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 @rhS[^1wi+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 \'O/3Y7?X 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 =ejcP&-V/ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 uP9b^LEoN 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Bc=(1ty) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 O"\4[HE^ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |!o C7!+0^ 8.17 1/4波长堆栈 162 l$u52e!7 8.18 陷波滤波器 163 $QiMA, 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -jjB2xP 8.20 褶皱 165 %|jS`kj 8.21 消偏振分光器1 169 3W'fEh5 8.22 消偏振分光器2 171 r/h\>s+N 8.23 消偏振立体分光器 172 >MYxj}I4{z 8.24 消偏振截止滤光片 173 f1NHW|_j 8.25 立体偏振分束器1 174 J.iz%8 8.26 立方偏振分束器2 177 9/"&6, 8.27 相位延迟器 178 g$Tsht(rHD 8.28 红外截止器 179 ,ei9 ?9J1 8.29 21层长波带通滤波器 180 ~&:-c v 8.30 49层长波带通滤波器 181 fw %p_Cm 8.31 55层短波带通滤波器 182 shw?_#?1dy 8.32 47 红外截止器 183 7(/yyZQnZ 8.33 宽带通滤波器 184 nOC\ =<Nsg 8.34 诱导透射滤波器 186 B7Ket8<J 8.35 诱导透射滤波器2 188 w5Fk#zJv 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 \O*ZW7?TJ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 <MEm+8e/s6 8.35 增益平坦滤波器 193 smCACQ$( 8.38 啁啾反射镜 1 196
yz [pF 8.39 啁啾反射镜2 198 -w+.' 8.40 啁啾反射镜3 199 '@t,G,FJ 8.41 带保护层的铝膜层 200 .XgY&5Qk 8.42 增加铝反射率膜 201 sm##owI 8.43 参考文献 202 c:Czu 9 多层膜 204 :{<|,3oNdR 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 33%hZ`/> 9.2 内部透过率 204 m03dL^( 9.3 内部透射率数据 205 2IJniS=[> 9.4 实例 206 zd$'8/Cq 9.5 实例2 210 #>yOp * 9.6 圆锥和带宽计算 212 A^lm 0[3q 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 x|Uwk=;X|s 10 光学薄膜的颜色 216 Kmx4bp4 10.1 导言 216 ;)ay uS sQ 10.2 色彩 216 %lbvK^ 10.3 主波长和纯度 220 H@- GYX"4 10.4 色相和纯度 221 '&Ur(axs 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 4+8)0;<H 10.6 色差 226 l_k:OZ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 q?frt3o 10.8 颜色渲染指数 234 R1JD{ 10.9 色差计算 235 \=({T_j4 10.10 参考文献 236 &NF$_*\E 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 T Tbe{nb 11.1 短脉冲 238 _"*vj-{-y 11.2 群速度 239 dr#%~I 11.3 群速度色散 241 koB'Zp/FaY 11.4 啁啾(chirped) 245 [cDkmRV 11.5 光学薄膜—相变 245 8XV RRk 11.6 群延迟和延迟色散 246 w[a(I}x 11.7 色度色散 246 7j|CWurvq 11.8 色散补偿 249 FVNTE+LW 11.9 空间光线偏移 256 E$_zBD% 11.10 参考文献 258 62;xK-U 12 公差与误差 260 Z<<=2Xl( 12.1 蒙特卡罗模型 260 o w(9dB&E 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 f0@*> 12.2.1 误差工具 267 _zbIS&4 12.2.2 灵敏度工具 271 BN(=LQ2[" 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ~(*tcs]hY 12.2.2.2 灵敏度分布 275 OL_#Uu 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 G>?kskm 12.3 参考文献 276 T!?tyW 13 Runsheet 与Simulator 277 0"j:-1 13.1 原理介绍 277 oFp1QrI3k8 13.2 截止滤光片设计 277 X}G$ON 14 光学常数提取 289 3AENY@* 14.1 介绍 289 ]Ndy12,M 14.2 电介质薄膜 289 D,*|:i 14.3 n 和k 的提取工具 295 .~
uKr^% 14.4 基底的参数提取 302 NHUJ:j@ 14.5 金属的参数提取 306 &b>&XMIK 14.6 不正确的模型 306 l(x0d 14.7 参考文献 311 }>y!I5O 15 反演工程 313 3ouy-SQ 15.1 随机性和系统性 313 ";Cf@}i> 15.2 常见的系统性问题 314 ?=)lbSu
K 15.3 单层膜 314 dHAT($QG 15.4 多层膜 314 H9'psv 15.5 含义 319 LV1drc 15.6 反演工程实例 319 ?zP
2
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 s[eSPSFZ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 vC1fKo\p 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^6{op3R_ 16.1 光学性质的热致偏移 329 h$sOJs~6h 16.2 应力工具 335 2oc18#iG( 16.3 均匀性误差 339 )sQ/$gJ 16.3.1 圆锥工具 339 Nk7=[y#z 16.3.2 波前问题 341 mVS^HQ: 16.4 参考文献 343 I%:?f{\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 zC:Pg4=w] 17.1 引言 345 |_g7k2oLY 17.2 操作数 345 :!cK?H$+ 18 如何在Function中编写脚本 351 A#K<5%U{Mv 18.1 简介 351 OpazWcMoo 18.2 什么是脚本? 351 ab9ec Z 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `z q+Xl 18.4 基础 352 _R]0S 18.4.1 Classes(类别) 352 GzaGTd.b 18.4.2 对象 352
%nUN 18.4.3 信息(Messages) 352 bxwwYSS 18.4.4 属性 352 aso8,mpZuA 18.4.5 方法 353 |RD)pvVM 18.4.6 变量声明 353 o+8H:7,o' 18.5 创建对象 354 )w<Z4_!N4s 18.5.1 创建对象函数 355 SAitufS 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 jPo,mz&^ 18.5.3 丢弃对象 356 :J@3:+sr 18.5.4 总结 356 kf<c[ su 18.6 脚本中的表格 357 RcJtVOrd 18.6.1 方法1 357 mA.,.<xE@ 18.6.2 方法2 357 DC/Czkv9 18.7 2D Plots in Scripts 358 /zXOtaG 18.8 3D Plots in Scripts 359 V'RbTFb9Z 18.9 注释 360 RhB)AUAj 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 !U}2YM
J 18.11 一个更高级的脚本 362 F
=*4]O 18.12 <esc>键 364 KX;JX*)J 18.13 包含文件 365 2[(~_VJ 18.14 脚本被优化调用 366 >r\GB#\5 18.15 脚本中的对话框 368 1MO-60 18.15.1 介绍 368 j
`!Ge 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ){)-}M 18.15.3 输入框函数 370 L#'XN H" 18.15.4 自定义对话框 371 a}FY^4hl+ 18.15.5 对话框编辑器 371 smQl^
6a 18.15.6 控制对话框 377 .vy@uT, 18.15.7 更高级的对话框 380 `9^+KK " 18.16 Types语句 384 \1<|X].jNY 18.17 打开文件 385 WvArppANo 18.18 Bags 387 #Ff8_xhP 2 18.13 进一步研究 388 ?Be}{Qqlg 19 vStack 389 opm_|0 19.1 vStack基本原理 389 &b^~0Z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 EAXl.Y.
$ 19.3 五棱镜 393 Ye$j43b 19.4 光束距离 396 hQY`7m>L 19.5 误差 399 S2\;\?]^~ 19.6 二向分色棱镜 399 'Nt)7U>oC9 19.7 偏振泄漏 404 -n[(0n3c 19.8 波前误差—相位 405 >EFWevT{ 19.9 其它计算参数 405 $+n6V2^K)7 20 报表生成器 406 /i27F2NQm 20.1 入门 406 #\=7A 20.2 指令(Instructions) 406 "9c=kqkX 20.3 页面布局指令 406 ,m]5j_< } 20.4 常见的参数图和三维图 407 VZr:yE 20.5 表格中的常见参数 408 JttDRNZAU 20.6 迭代指令 408 Q 318a0 20.7 报表模版 408 OqciZ@#5n 20.8 开始设计一个报表模版 409 1,;zX^ 21 一个新的project 413 \$.{*f 21.1 创建一个新Job 414 3TCRCz 21.2 默认设计 415 jZkc
yx 21.3 薄膜设计 416 ojlyW})$% 21.4 误差的灵敏度计算 420 "|1iz2L 21.5 显色指数计算 422 ej}S{/<*n 21.6 电场分布 424 $F#
5/gDVQ 后记 426 g;p}
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