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DNqC*IvuzM 内容简介 'q}f3u > Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
{;u+? uY 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Pn@DHYP 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 JwWxM3(%t [Ne'2z 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 /S~ =qodS 目录 -lv(@7o~ Preface 1 ~mK+Q%G5 内容简介 2 i tk/1 目录 i L=HnVgBs 1 引言 1 ;qWSfCt/^ 2 光学薄膜基础 2 bNm]h. 2.1 一般规则 2 SwO$UqYU= 2.2 正交入射规则 3 WMWMb3 2.3 斜入射规则 6 &U}8@; 2.4 精确计算 7 *O[/-
p&7 2.5 相干性 8 ;<b7kepR 2.6 参考文献 10 II~91IEk 3 Essential Macleod的快速预览 10 <1*\ ~CX 4 Essential Macleod的特点 32 P-8QXDdr 4.1 容量和局限性 33 `2x. - 4.2 程序在哪里? 33 :mf&,? 4.3 数据文件 35 q.@% H} 4.4 设计规则 35 %Kp^wf#o9 4.5 材料数据库和资料库 37 Pq(LW( 4.5.1材料损失 38 ^~bdAO81 4.5.1材料数据库和导入材料 39 $T7 qd
4.5.2 材料库 41 #&L7FBJ"*v 4.5.3导出材料数据 43 f:~$x 4.6 常用单位 43 Y}Y~?kE>M| 4.7 插值和外推法 46 CW/L(RQ 4.8 材料数据的平滑 50 tc\ZYCFr 4.9 更多光学常数模型 54 ?q2Yk/P 4.10 文档的一般编辑规则 55 +$2`"%nBG 4.11 撤销和重做 56 =
8y,7u) 4.12 设计文档 57 '<1Cta` 4.10.1 公式 58 q0vZR"y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hy$VG%b;# 4.10.3 沉积密度 59 =d:3]M^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 E m +&I 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 pm:- E(3# 4.10.4 性能 61 J}#2Wy^{ 4.10.5 保存设计和性能 64 #
kNp); 4.10.6 默认设计 64 @qx$b~% 4.11 图表 64 XAtRA1. 4.11.1 合并曲线图 67 8]1,E E< 4.11.2 自适应绘制 68 H/;AlN|! 4.11.3 动态绘图 68 6uUn 4.11.4 3D绘图 69 qZ@d:u 4.12 导入和导出 73 fy|I3 4.12.1 剪贴板 73 R?- zJ ; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 FS!)KxC/- 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 5a)$:oO! 4.13 背景 77 $4)L~g| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 BD86t[${W 4.15 生成Rugate 84 DUF$-'A 4.16 参考文献 91 u!F\`Gfm_ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2Yd@V} 5.1 Jobs 92 y*US^HJOZ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Ip)u6We>I 5.3 输入材料 94 A^LS^!Jz 5.4 设计数据文件夹 95 wrX n|aV 5.5 默认设计 95 PCV#O63[ 6 细化和合成 97 _p'@.P 6.1 优化介绍 97 +o"CMI 6.2 细化 (Refinement) 98 ,\aLv
6.3 合成 (Synthesis) 100 +*Uv+oC| 6.4 目标和评价函数 101 e+4Eiv 6.4.1 目标输入 102 imAOYEH7} 6.4.2 目标 103 %f1IV(3Qc 6.4.3 特殊的评价函数 104 DQ[7p( 6.5 层锁定和连接 104 Wv;,@xTZ 6.6 细化技术 104 -o!bO9vC 6.6.1 单纯形 105
_Rkvg- 6.6.1.1 单纯形参数 106 8pftc) k 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 'd&4MA 0X 6.6.2.1 Optimac参数 108 DQc\[Gq& 6.6.3 模拟退火算法 109 twbxi{8e. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 p|dn&<kd 6.6.4 共轭梯度 111 }&2,!;"">3 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b0f6p>~q^ 6.6.5 拟牛顿法 112 _G'A]O/BZD 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 YG8)`XqC 6.6.6 针合成 113 niW"o-} 6.6.6.1 针合成参数 114 @7.7+blS"H 6.6.7 差分进化 114 - _6`0 6.6.8非局部细化 115 dG]B-(WTC 6.6.8.1非局部细化参数 115 9PV+Kr!c5I 6.7 我应该使用哪种技术? 116 EBz4k)@m 6.7.1 细化 116 iXL^[/}&?M 6.7.2 合成 117 ;FF+uK 6.8 参考文献 117 $ Y^0l 7 导纳图及其他工具 118 #d/T7c# 7.1 简介 118 ?TK`s Gy 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &/)B d% 7.2.1 四分之一波长规则 119 }Q ]-Y : 7.2.2 导纳图 120 h{$k%YJ? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 XuHR 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 (c^ {T) 7.5 斜入射导纳图 141 <p/2 hHfiD 7.6 对称周期 141 "19#{yX4 7.7 参考文献 142 B$x@I\(M 8 典型的镀膜实例 143 4>v O9q 8.1 单层抗反射薄膜 145 pPo(nH|< 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 HX}B#T 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,r]H+vWS 8.4 W-膜层 148 \0_jmX]p 8.5 V-膜层 149 }HmkTk 8.6 V-膜层高折射基底 150 '`2MxRP 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 SE6(3f$ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .s!0S-RkC 8.9 四层抗反射薄膜 153 V@b7$z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 U=69q] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 :D-D+x 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 rBi<Yy$z 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ^H1m8= 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 5y\35kT' 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Q@>1z*'I 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 5$HG#2"Kb# 8.17 1/4波长堆栈 162 q9j~|GE| 8.18 陷波滤波器 163 ?~t5>PEonv 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^"54Q^SH 8.20 褶皱 165 8AY;WL:; 8.21 消偏振分光器1 169 Kl%[f jI) 8.22 消偏振分光器2 171 \/;c^!(< 8.23 消偏振立体分光器 172 vc p{Gf|^ 8.24 消偏振截止滤光片 173 {Bk` Zlki 8.25 立体偏振分束器1 174 Q#Zazvk 8.26 立方偏振分束器2 177 {#,5C H') 8.27 相位延迟器 178 K\XQE50 8.28 红外截止器 179 E QU@';~8 8.29 21层长波带通滤波器 180 <jF&+[*iT 8.30 49层长波带通滤波器 181 9lR6:}L7 8.31 55层短波带通滤波器 182 HR8YPU5
8.32 47 红外截止器 183 a3\~AO H% 8.33 宽带通滤波器 184 Us'JMZ~ 8.34 诱导透射滤波器 186 "5
~{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 '/9j"mIA9$ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 n_RZ:<Gr 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 M:%g)FgW 8.35 增益平坦滤波器 193 3C%|src 8.38 啁啾反射镜 1 196 R.HvqO 8.39 啁啾反射镜2 198 "#7Q}d!x 8.40 啁啾反射镜3 199 h@=@
fa 8.41 带保护层的铝膜层 200 Z$KyK.FUU 8.42 增加铝反射率膜 201 r0lI&25w 8.43 参考文献 202 7qOkv1.}0 9 多层膜 204 wbKJ:eWgt 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ^\Q,ACkZb 9.2 内部透过率 204 U,v`md@PX 9.3 内部透射率数据 205 5CN=a2& 9.4 实例 206 :.XlAQR~b 9.5 实例2 210 &&P9T/Zks 9.6 圆锥和带宽计算 212 *<:X3|3E 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Ib{l$# 10 光学薄膜的颜色 216 (:`4*xK
10.1 导言 216 @S}j=k 10.2 色彩 216 Ua
6O~,\ 10.3 主波长和纯度 220 :LNZC,-f}5 10.4 色相和纯度 221 %#v$d 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &ZC{ _t 10.6 色差 226 85Yi2+8f4 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 @#t<!-8d 10.8 颜色渲染指数 234 nKr'cb 10.9 色差计算 235 x,10o 10.10 参考文献 236 gAsmPI.K 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 wdBBx\FP 11.1 短脉冲 238 ojf6@p_ 11.2 群速度 239 XdV>6<gf{
11.3 群速度色散 241 KO#kIM- 11.4 啁啾(chirped) 245 R(^Sse 11.5 光学薄膜—相变 245 :6t73\O 11.6 群延迟和延迟色散 246 D3dh,&KO\ 11.7 色度色散 246 Eze w@*( 11.8 色散补偿 249 )rj!/% 11.9 空间光线偏移 256 UsU
Ri 11.10 参考文献 258 UV}:3c6 ZX 12 公差与误差 260 ineSo8| @ 12.1 蒙特卡罗模型 260 hN=kU9@knC 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K\xM%O? 12.2.1 误差工具 267 cRr3!<EZ 12.2.2 灵敏度工具 271 4C_1wk(' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 SWI\;:k 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,pTZ/#vP# 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 tyW[i8)O} 12.3 参考文献 276 i_AD3Jrs 13 Runsheet 与Simulator 277 86-Rm 13.1 原理介绍 277 TK'
5NM+4 13.2 截止滤光片设计 277 3-:^mRPJ 14 光学常数提取 289 I
F!xZ6X8 14.1 介绍 289 <>n|_6'$90 14.2 电介质薄膜 289 44P [P{y 14.3 n 和k 的提取工具 295 AhOBbss]q 14.4 基底的参数提取 302 R-Lpgi<a" 14.5 金属的参数提取 306 13v`rK`7o 14.6 不正确的模型 306 z$%8' 14.7 参考文献 311 ,WOCG2h 15 反演工程 313 P8dMfD*"E 15.1 随机性和系统性 313 zFO0l). 15.2 常见的系统性问题 314 yY UAH- 15.3 单层膜 314 -th.(eAx 15.4 多层膜 314 I$+=Fb'N0 15.5 含义 319 b~>@x{ 15.6 反演工程实例 319 >E4,zs@7t 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Lc}hjK 15.6.2 反演工程提取折射率 327 iExKi1knx 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 k CGb~+ 16.1 光学性质的热致偏移 329 [T7&)p 16.2 应力工具 335 +0ukLc@ 16.3 均匀性误差 339 -wC}JVVcK 16.3.1 圆锥工具 339 'J&R=MD 16.3.2 波前问题 341 ?OnL,y| 16.4 参考文献 343 MH'%E^n ` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (oy@j{G)c6 17.1 引言 345 (_}q>3 17.2 操作数 345 ~x'8T!M{ 18 如何在Function中编写脚本 351 ~YW;' 18.1 简介 351 8NNh8k#6 18.2 什么是脚本? 351 cOpe6H6,bz 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 {e2ZW] 18.4 基础 352 ]Ri=*KZa 18.4.1 Classes(类别) 352 #M w70@6 18.4.2 对象 352 7oIHp_Zq 18.4.3 信息(Messages) 352 p{GO-gE@ 18.4.4 属性 352 -;"A\2_y 18.4.5 方法 353 cL4Go,)w 18.4.6 变量声明 353 O!dS;p-F 18.5 创建对象 354 Ofoh4BL'1@ 18.5.1 创建对象函数 355 Kzq^f=p 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !WlL RkwO 18.5.3 丢弃对象 356 ~e[qh+ 18.5.4 总结 356 y7#+VF`xf 18.6 脚本中的表格 357 {_\dwe9 18.6.1 方法1 357 /[>_Ry, 18.6.2 方法2 357 b}Im>n! 18.7 2D Plots in Scripts 358 ShV_8F z 18.8 3D Plots in Scripts 359 *!`&+w 18.9 注释 360 "\;n t5L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;DZj.|Sj+ 18.11 一个更高级的脚本 362 Pr%KcR ; 18.12 <esc>键 364 tuwlsBV 18.13 包含文件 365 b9?Vpu`? 18.14 脚本被优化调用 366 8kU(>' ^_: 18.15 脚本中的对话框 368 =(TMcu$4` 18.15.1 介绍 368 s@%>
18.15.2 消息框-MsgBox 368 `]GL3cIh: 18.15.3 输入框函数 370 Y~^R^J 18.15.4 自定义对话框 371 -9+$z|K 18.15.5 对话框编辑器 371 G2!<C-T{2 18.15.6 控制对话框 377 RJDk7{( 18.15.7 更高级的对话框 380 qu$FpOJ
18.16 Types语句 384 Z)(#D($- 18.17 打开文件 385 U5cbO{\3I 18.18 Bags 387 vOKNBR2 18.13 进一步研究 388 X5+^b({ 19 vStack 389 3''Kg<k,I 19.1 vStack基本原理 389 5'{QMnfB 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 V{>;Z vj1R 19.3 五棱镜 393 nZNS}|6 19.4 光束距离 396 gxI/MD~!> 19.5 误差 399 ia
/#`#. 19.6 二向分色棱镜 399 oTb42a_j{ 19.7 偏振泄漏 404 Fpn'0&~-fi 19.8 波前误差—相位 405 n3U|
d+ 19.9 其它计算参数 405 C.uv0 20 报表生成器 406 I}y6ke! 20.1 入门 406 xo
^|d3 20.2 指令(Instructions) 406 dW5r]D[Cx 20.3 页面布局指令 406 7}c[GC)F 20.4 常见的参数图和三维图 407 <]oPr1 20.5 表格中的常见参数 408 t^6ams$ 20.6 迭代指令 408 d= vD Pf 20.7 报表模版 408 (A}c22qe 20.8 开始设计一个报表模版 409 ~pI`_3 21 一个新的project 413 I)*J,hs1 21.1 创建一个新Job 414 0$yHO2 f 21.2 默认设计 415 K!>3`[:I" 21.3 薄膜设计 416 ++8 Xi1 21.4 误差的灵敏度计算 420 8QKu 21.5 显色指数计算 422 m\
qR myO 21.6 电场分布 424 f<<$!]\ 后记 426 p!Tac%D+k 有兴趣可以扫码加微联系 ~Lu,jLKL=[
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