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8%xtb6#7M 内容简介 U'lmQrF! Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]hf4= gm 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 {Zseu$c
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Osy5|Ts r*p%e\ 3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 2! 6Kzq 目录 '6WDs]\ Preface 1 /Cg/Rwl 内容简介 2 t!i F(R\ 目录 i #ASu
SQ 1 引言 1 j_H
T 2 光学薄膜基础 2 T8m%_U#b 2.1 一般规则 2 ?=4t~\g? 2.2 正交入射规则 3 ?,8b-U#A1 2.3 斜入射规则 6 cEQa 6 2.4 精确计算 7 /gdo~ 2.5 相干性 8 h`GV[Oo : 2.6 参考文献 10 9=}/t9k 3 Essential Macleod的快速预览 10 cXCczqabv 4 Essential Macleod的特点 32 RI*%\~6t? 4.1 容量和局限性 33 +es6c') 4.2 程序在哪里? 33 ~w*ojI 4.3 数据文件 35 =lmh^**4 4.4 设计规则 35 .z4FuG,R 4.5 材料数据库和资料库 37 ;yXnPAtJ 4.5.1材料损失 38 ^}[
N4 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ixH7oWH# 4.5.2 材料库 41 nagto^5X 4.5.3导出材料数据 43 ,Z^GN%Q7a 4.6 常用单位 43 f
0#V^[%Q 4.7 插值和外推法 46 Z"^@B2v 4.8 材料数据的平滑 50 ky%%H; 4.9 更多光学常数模型 54 e/3hb)#; 4.10 文档的一般编辑规则 55 hWu)0t 4.11 撤销和重做 56 :)yM9^<D 4.12 设计文档 57 lyeoSd1AN 4.10.1 公式 58 K;ML' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 lpM{@JC 4.10.3 沉积密度 59 _t[%@G>P 4.10.4 平行和楔形介质 60 )K6{_~Kc\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 m{yON&y 4.10.4 性能 61 !58JK f 4.10.5 保存设计和性能 64 O:x%!-w 4.10.6 默认设计 64 -XyuA:pxx 4.11 图表 64 N{yZk"fq:6 4.11.1 合并曲线图 67 $g^;*>yr 4.11.2 自适应绘制 68 ou-;k
} 4.11.3 动态绘图 68 ]>,|v,i
= 4.11.4 3D绘图 69 KAzRFX), 4.12 导入和导出 73 ZSSgc0u^? 4.12.1 剪贴板 73 R}Y=!qjYE= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ;v'Y'!-J 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ~e8n yB 4.13 背景 77 fpi6pcof 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 *~L]n4- 4.15 生成Rugate 84 Oe!&Jma*> 4.16 参考文献 91 T}TP.!0E 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 $gTPW,~s[ 5.1 Jobs 92 ]>o2P cb; 5.2 创建一个新Job(工作) 93 jYF3u0
) 5.3 输入材料 94 B=r/(e 5.4 设计数据文件夹 95 ?rDwYG(u]@ 5.5 默认设计 95 J_@4J7 6 细化和合成 97 dp70sA!JF 6.1 优化介绍 97 PsnU5f)` 6.2 细化 (Refinement) 98 -tdG}Gu 6.3 合成 (Synthesis) 100 _@;N<$& 6.4 目标和评价函数 101 7A6sSfPUy 6.4.1 目标输入 102 WGx>{'LJ 6.4.2 目标 103 DPx,qM#h5O 6.4.3 特殊的评价函数 104 x TZ5q*Hqx 6.5 层锁定和连接 104 U*TN/6Qy. 6.6 细化技术 104 [
_$$P* 6.6.1 单纯形 105 Hv\*F51p= 6.6.1.1 单纯形参数 106 k]iS3+nD 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Gp+XM 6.6.2.1 Optimac参数 108 h6N}sLM{0 6.6.3 模拟退火算法 109 bg}77Y'^ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 gEsR-A!m 6.6.4 共轭梯度 111 r|@?v , 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ke'2"VkQt 6.6.5 拟牛顿法 112 3(&F.&C$$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Qknc.Z} 6.6.6 针合成 113 CK</2 w+ 6.6.6.1 针合成参数 114 $O8V!R* 6.6.7 差分进化 114 y9hZ2iT 6.6.8非局部细化 115 u'1=W5$rK 6.6.8.1非局部细化参数 115 {eEWfMKIn 6.7 我应该使用哪种技术? 116 uek3Y[n 6.7.1 细化 116 F w m:c[G 6.7.2 合成 117 pQ{t< > 6.8 参考文献 117 |/;5|
z 7 导纳图及其他工具 118 5#\p>}[HG 7.1 简介 118 F`.7_D 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Wp3l>: 7.2.1 四分之一波长规则 119 y3]"H( 7.2.2 导纳图 120 -Wk"o?}q 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 iXRt9)MT{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 %Qz`SO8x? 7.5 斜入射导纳图 141 EIQy?ig86 7.6 对称周期 141 sLp
LY1X 7.7 参考文献 142 YO0x68 8 典型的镀膜实例 143 |l(lrJ{ 8.1 单层抗反射薄膜 145 h_yR$H&tX 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {fv8S;|u 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 re J?38( 8.4 W-膜层 148 H>iZVE 8.5 V-膜层 149 D.R 8.6 V-膜层高折射基底 150 |qDfFGYf 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 SVh4)}.x 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 RgA4@J# 8.9 四层抗反射薄膜 153 R7c)C8/~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $yFuaqG`Wo 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5yi q# 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 z.HNb$; 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ibs"Iv34 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ec*7n6~9 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Jjh!/pWZ4 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 mm<iT59 8.17 1/4波长堆栈 162 u>6/_^iq 8.18 陷波滤波器 163 1>x@1Mo+K 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -xIhN?r) 8.20 褶皱 165 D@W3;T^ 8.21 消偏振分光器1 169 !BuJC$ 8.22 消偏振分光器2 171 fZ:rz;tM 8.23 消偏振立体分光器 172 8z8SwWS? 8.24 消偏振截止滤光片 173 [W=S8> 8.25 立体偏振分束器1 174 :vyf-K74M 8.26 立方偏振分束器2 177 Sc3M#qm_ 8.27 相位延迟器 178 .hNw1~Fj 8.28 红外截止器 179 B2qq C-hw? 8.29 21层长波带通滤波器 180 S&]<;N_B 8.30 49层长波带通滤波器 181 ={@ @`yP^$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 qgsE7 ] 8.32 47 红外截止器 183 V?dK *8s 8.33 宽带通滤波器 184 SSbK[aR 8.34 诱导透射滤波器 186 <?7,`P:h[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 R&_\&:4f 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 E(kb!Rz 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 -U;LiO;N 8.35 增益平坦滤波器 193 Xb:BIp!e 8.38 啁啾反射镜 1 196 Fd,+(i D 8.39 啁啾反射镜2 198 MGyB8( 8.40 啁啾反射镜3 199 &~A*(+S 8.41 带保护层的铝膜层 200 T1!Gr!= 8.42 增加铝反射率膜 201 y{I[}$k 8.43 参考文献 202 _JIUds5 9 多层膜 204 k+r9h'd 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 [d~bZS|(T( 9.2 内部透过率 204 jP.b oj_u* 9.3 内部透射率数据 205 jy@i(@Z 9.4 实例 206 Nz3%}6F: 9.5 实例2 210 o``>sBZOq 9.6 圆锥和带宽计算 212 )^>XZ*eK 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 !v4j`A;% 10 光学薄膜的颜色 216 ^pV>b(?qw 10.1 导言 216 RHl=$Hm.% 10.2 色彩 216 zpr@!76 10.3 主波长和纯度 220 jo3}]KC ! 10.4 色相和纯度 221 H?(SSL 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 A1t~&? 10.6 色差 226 akCo+ @ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [gns8F#H\ 10.8 颜色渲染指数 234 aGk%I 10.9 色差计算 235 tvH\iS #V 10.10 参考文献 236 SP?U@w%} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 S O:V|Tfj 11.1 短脉冲 238 [H:GKhPC` 11.2 群速度 239 /<7C[^h{- 11.3 群速度色散 241 DEQE7.]3 q 11.4 啁啾(chirped) 245 1LId_vJtJ 11.5 光学薄膜—相变 245 =Pb5b6Y@6 11.6 群延迟和延迟色散 246 /`O]etr`d 11.7 色度色散 246 ?7nr\g"g( 11.8 色散补偿 249 oBNX8%5w 11.9 空间光线偏移 256 `=}UFu 11.10 参考文献 258 71/ m.w 12 公差与误差 260 t-7U1B}=<C 12.1 蒙特卡罗模型 260 6+B{4OY 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 o|;eMO- 12.2.1 误差工具 267 YaNH.$.: 12.2.2 灵敏度工具 271 Q6!v3P/h 12.2.2.1 独立灵敏度 271
c(V=.+J 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?9gTk
\s?R 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 X:``{!~geo 12.3 参考文献 276 Ph+X{| 13 Runsheet 与Simulator 277 it\DZGsg 13.1 原理介绍 277 z1'FmwT 13.2 截止滤光片设计 277 k8
;uC~L 14 光学常数提取 289 ){ 14.1 介绍 289 *fH_lG% 14.2 电介质薄膜 289 o!toO&= 14.3 n 和k 的提取工具 295 ey\m)6A$ 14.4 基底的参数提取 302 %t`SSW7I 14.5 金属的参数提取 306 4OOn, 09 14.6 不正确的模型 306 Gl8&FrR 14.7 参考文献 311 (e8G
( 15 反演工程 313 o`\.I&Ij 15.1 随机性和系统性 313 Vp]D 15.2 常见的系统性问题 314 ]KXMGH_ 15.3 单层膜 314 "\/^/vn? 15.4 多层膜 314 Gh2Q$w: 15.5 含义 319 N=T.l*8 15.6 反演工程实例 319 2\nN4WL
5. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Rj}o4s2x 15.6.2 反演工程提取折射率 327 @ 2!C^}d3F 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 fzS`dL5,W 16.1 光学性质的热致偏移 329 -!|WZ 16.2 应力工具 335 q1f=&kGX~ 16.3 均匀性误差 339 n|x$vgb 16.3.1 圆锥工具 339 nJleef9 16.3.2 波前问题 341 |/;U)M 16.4 参考文献 343 P1i*u0a 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^IVe[P' 17.1 引言 345 \+iu@C 17.2 操作数 345 ms}f>f= 18 如何在Function中编写脚本 351 j1puB 18.1 简介 351 {4:
-0itG 18.2 什么是脚本? 351 Pknc[h}, 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 3$c (M99r 18.4 基础 352 WGh. ;- 18.4.1 Classes(类别) 352 izPh1YA 18.4.2 对象 352 hI|/>4< 18.4.3 信息(Messages) 352 Xb]=:x( 18.4.4 属性 352 `l>93A 18.4.5 方法 353 SPkKiEdM 18.4.6 变量声明 353 L6:W'u^ 18.5 创建对象 354 mG831v? 18.5.1 创建对象函数 355 Q PFeBl 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 {)V? R 18.5.3 丢弃对象 356 ge0's+E+1 18.5.4 总结 356 IS[Vap: 18.6 脚本中的表格 357 Q !9HA[Ly 18.6.1 方法1 357 JFM"ii{8 18.6.2 方法2 357 9<|m4 18.7 2D Plots in Scripts 358 @iU%`=ziz 18.8 3D Plots in Scripts 359 _+twqi 18.9 注释 360 ch@x]@-;A3 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 JbE?a[Eg? 18.11 一个更高级的脚本 362 -<^jGrb 18.12 <esc>键 364 yjEI/9_ 18.13 包含文件 365 fokwW}>B[f 18.14 脚本被优化调用 366 K8?zgRG3~N 18.15 脚本中的对话框 368 gbm0H-A:* 18.15.1 介绍 368
RT%x&j 18.15.2 消息框-MsgBox 368 NJZXs_%>$ 18.15.3 输入框函数 370 fO].e"} 18.15.4 自定义对话框 371 \bhOPK>w 18.15.5 对话框编辑器 371 c[SU5 66y 18.15.6 控制对话框 377 M
h`CP 18.15.7 更高级的对话框 380 rdO@X9z 18.16 Types语句 384 ZCm1+Y$ 18.17 打开文件 385 [2Iau1<@ 18.18 Bags 387 K~c^*;F 18.13 进一步研究 388 <rNtY , 19 vStack 389 < |