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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) e^\e;>Dh> RVV` 内容简介 p"
>*WQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 xA(z/% 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 gm)Uyr$ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
lvWwr!w exhU!p8 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 !\4B. 目录 1X5g(B
Preface 1 PhC3F4 内容简介 2 mF\!~ag| 目录 i 1V1I[CxlX 1 引言 1 Cty#|6k 2 光学薄膜基础 2 Tp;W4]'a*: 2.1 一般规则 2 A_9^S! 2.2 正交入射规则 3 $!>.h*np 2.3 斜入射规则 6 <r:AJ; 2.4 精确计算 7 *"w hup[ 2.5 相干性 8 d)vP9vXy 2.6 参考文献 10 iv$YUM+ 3 Essential Macleod的快速预览 10 *z VN6wG{ 4 Essential Macleod的特点 32 1]G)41 4.1 容量和局限性 33 V#dga5*] 4.2 程序在哪里? 33 vO1; ; 4.3 数据文件 35 FoK2h!_ 4.4 设计规则 35 @Iz]:@\cJ 4.5 材料数据库和资料库 37 V+Tv:a 4.5.1材料损失 38 nFn!6,>E 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ac l<dY6 4.5.2 材料库 41 tsc`u> 4.5.3导出材料数据 43 p?Azn>qBa 4.6 常用单位 43 "9s_[e 4.7 插值和外推法 46 'vBZh1`p 4.8 材料数据的平滑 50 2HFn\kjj.s 4.9 更多光学常数模型 54 (*$bTI/~ 4.10 文档的一般编辑规则 55 Y}c/wF7o 4.11 撤销和重做 56 +\Vm t[v 4.12 设计文档 57 \A[l(aB 4.10.1 公式 58 Lg7A[\c
~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 GjhTF| 4.10.3 沉积密度 59 d5m-f/ 4.10.4 平行和楔形介质 60 3^y(@XFt 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 "OjAhKfG 4.10.4 性能 61 }9S}?R 4.10.5 保存设计和性能 64 f(5(V
% 4.10.6 默认设计 64 6^Wep- $ 4.11 图表 64 O{X~,Em=q 4.11.1 合并曲线图 67 F]3Y,{/V 4.11.2 自适应绘制 68 dgw.OXa 4.11.3 动态绘图 68 S!b18|o" 4.11.4 3D绘图 69 _nbr%PD, 4.12 导入和导出 73 [%.v;+L 4.12.1 剪贴板 73 \~5|~|9< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 jfuHZ^ YA 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 aas.-NT 4.13 背景 77 .Fn|Okn^gr 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <>3)S`C`p 4.15 生成Rugate 84 F[jE#M=k 4.16 参考文献 91 7QsD"rL 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (wDE!H7 5.1 Jobs 92 FO2e7p^Q 5.2 创建一个新Job(工作) 93 o
<q*3L5 5.3 输入材料 94 WUYI1Ij; 5.4 设计数据文件夹 95 $O%{l.-O 5.5 默认设计 95 j!u)V1, 6 细化和合成 97 kTvM,< 6.1 优化介绍 97 'h*jL@%TT 6.2 细化 (Refinement) 98 IP62|~Ap 6.3 合成 (Synthesis) 100 ShB]U5b:k 6.4 目标和评价函数 101 EA& 3rI>U) 6.4.1 目标输入 102 C%XO|sP 6.4.2 目标 103 s*izhjjX 6.4.3 特殊的评价函数 104 l[}4
X/ 6.5 层锁定和连接 104 U[C4!k:0 6.6 细化技术 104 \fA{ sehdL 6.6.1 单纯形 105 Zzlf1#26\ 6.6.1.1 单纯形参数 106 =c[tHf 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 =hPXLCeC 6.6.2.1 Optimac参数 108 "%-Vrb=:Y 6.6.3 模拟退火算法 109 6CY&pbR 6.6.3.1 模拟退火参数 109 "7B}hZ^)W 6.6.4 共轭梯度 111 8`q7Yss6F 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 #4^d#Gj 6.6.5 拟牛顿法 112 UnhVppnex 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 L:G#> 6.6.6 针合成 113 iod%YjZu 6.6.6.1 针合成参数 114 7>E.0DP 6.6.7 差分进化 114 HK@ij,px 6.6.8非局部细化 115 "j^i6RS 6.6.8.1非局部细化参数 115 L|=5jn9 : 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Q.mJ7T~T 6.7.1 细化 116 wcGK*sWG- 6.7.2 合成 117 N^Re 6.8 参考文献 117 d!,t_jM0 7 导纳图及其他工具 118 <L&EH@T 7.1 简介 118 mayJwBfU 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 L44m!%q 7.2.1 四分之一波长规则 119 4-(kk0]`z 7.2.2 导纳图 120 2xI|G
3U 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 OviS(}v4@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 a{5SOe;; 7.5 斜入射导纳图 141 %$!3Pbui 7.6 对称周期 141 'YL[s 7.7 参考文献 142 _P;D.>? 8 典型的镀膜实例 143 (`P\nnb 8.1 单层抗反射薄膜 145 yYG<tUG; 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 &gXh:. 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %q {q.(M# 8.4 W-膜层 148 }r,\0Wm 8.5 V-膜层 149 1\.$=N 8.6 V-膜层高折射基底 150 G=zWhqieh 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Z~5) )5Ye; 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 hx;f/EPx 8.9 四层抗反射薄膜 153 *IG$"nu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ?e7]U*jEU 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^t;z;.g 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 r~4uIUE{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 J$dwy$n 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 P15
H[<:Fz 8.15十五层宽带抗反射膜 159 d$dy6{/YD 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 j)A#}4jd 8.17 1/4波长堆栈 162 ep0,4!#FAO 8.18 陷波滤波器 163 :GHv3hn5 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Fnw:alWr 8.20 褶皱 165 K5""%O+ 8.21 消偏振分光器1 169 7>vm?a^D2& 8.22 消偏振分光器2 171 8%?y)K^
D 8.23 消偏振立体分光器 172 {@Mr7*u 8.24 消偏振截止滤光片 173 [Kgb#L'{ 8.25 立体偏振分束器1 174 uV/5f#) 8.26 立方偏振分束器2 177 &p0e)o~Ux 8.27 相位延迟器 178 UO/sv2CN 8.28 红外截止器 179 VtreOJ+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 je4l3Hl 8.30 49层长波带通滤波器 181 .g*j]!_] 8.31 55层短波带通滤波器 182 PnlI {d 8.32 47 红外截止器 183 Gr"CHz/ 8.33 宽带通滤波器 184 D #ddx 8.34 诱导透射滤波器 186 \mqx ' 8.35 诱导透射滤波器2 188 N.F5)04 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }pc9uvmIJ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 P]E-Wp'p 8.35 增益平坦滤波器 193 W
U(_N*a 8.38 啁啾反射镜 1 196 g?C;b>4 8.39 啁啾反射镜2 198 AOf4y&B>q 8.40 啁啾反射镜3 199 VFHd2Ea( 8.41 带保护层的铝膜层 200 39pG-otJ 8.42 增加铝反射率膜 201 *{o7G a 8.43 参考文献 202 SC{m@ 9 多层膜 204 hlTbCl 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 6_LeP9s ) 9.2 内部透过率 204 6%D9;-N) 9.3 内部透射率数据 205 s='+[*&& 9.4 实例 206 I`>U#x* 9.5 实例2 210 '`];=QY9pg 9.6 圆锥和带宽计算 212 B@,9Cx564 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 {7o#Ve 10 光学薄膜的颜色 216 S}m_XR] 10.1 导言 216 Ia&R/I 10.2 色彩 216 8~sP{V% 10.3 主波长和纯度 220 0}{xH 10.4 色相和纯度 221 azcPeAe 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 5~Y`ikwxL 10.6 色差 226 f0<zK! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 L74Mz]v 10.8 颜色渲染指数 234 CSk]c9= 10.9 色差计算 235 [U\?+@E* 10.10 参考文献 236 5pO|^Gj1 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #cbgp;,M{I 11.1 短脉冲 238 ZedFhm 11.2 群速度 239 ^5mc$~1` 11.3 群速度色散 241 !e$gp(4
11.4 啁啾(chirped) 245 8fR(y~_gF 11.5 光学薄膜—相变 245 (FuIOR 11.6 群延迟和延迟色散 246 $YYWpeW
' 11.7 色度色散 246 ~%{2Z_t$ 11.8 色散补偿 249 "4j~2{{F 11.9 空间光线偏移 256 WJ7|0qb 11.10 参考文献 258 HpwMm^ 12 公差与误差 260 (IJNBJb 12.1 蒙特卡罗模型 260 n*4`Tduu^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 {]vD@)k 12.2.1 误差工具 267 cHFi(K]|1 12.2.2 灵敏度工具 271 "S#FI 12.2.2.1 独立灵敏度 271 S_}`'Z ) 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <LX\s*M) 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =x~I'|%3 12.3 参考文献 276 >rG>Bz^Pu 13 Runsheet 与Simulator 277 5dBftTv? 13.1 原理介绍 277 GW2\YU^{ 13.2 截止滤光片设计 277 18g_v"6o 14 光学常数提取 289 h8rW"8Th 14.1 介绍 289 d@%"B($nR 14.2 电介质薄膜 289 HL)!p8UHJ 14.3 n 和k 的提取工具 295 8^mE< 14.4 基底的参数提取 302 [^H2'&] 14.5 金属的参数提取 306 E-LkP; 14.6 不正确的模型 306 !iXRt" ) 14.7 参考文献 311 3f;=#|l 15 反演工程 313 3;nOm =I 15.1 随机性和系统性 313 -@TY8#O#- 15.2 常见的系统性问题 314 jW/WG tz 15.3 单层膜 314 UK`A:N2[ 15.4 多层膜 314 +`y(S}Z 15.5 含义 319 1/_g36\l$ 15.6 反演工程实例 319 z^Q'GBoBA 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 XxqGsGx4 15.6.2 反演工程提取折射率 327 [m~J6WB 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7Q
3!=b 16.1 光学性质的热致偏移 329 &$"#hGg 16.2 应力工具 335 tjdPia 16.3 均匀性误差 339 WhPP4 # 16.3.1 圆锥工具 339 J8|MK.oD 16.3.2 波前问题 341 _0H oJ 16.4 参考文献 343 Z~'t'.=z 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5'%I4@Qn+ 17.1 引言 345 !\4x{Wa] 17.2 操作数 345 m_NX[>&Y3 18 如何在Function中编写脚本 351 hU)t5/h;K 18.1 简介 351 ~/OY1~c 18.2 什么是脚本? 351 <O#&D|EMd| 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 X1o",,N^M 18.4 基础 352 }\4yU=JPK 18.4.1 Classes(类别) 352 3i^X9[. 18.4.2 对象 352 K.tNV{OL 18.4.3 信息(Messages) 352 fI.|QD*$b 18.4.4 属性 352 rYUIFPN 18.4.5 方法 353 hA=uoe\ 18.4.6 变量声明 353 dx%z9[8~{. 18.5 创建对象 354 Vl.,e1)6 18.5.1 创建对象函数 355 Gp%po@A& 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ^ h=QpH 18.5.3 丢弃对象 356 =VC18yA 18.5.4 总结 356 z/t|'8f 18.6 脚本中的表格 357 9QQ XB- 18.6.1 方法1 357 +pd,gG?dW 18.6.2 方法2 357 >$q 18.7 2D Plots in Scripts 358 7_~ A*LM 18.8 3D Plots in Scripts 359 reu[rZ& 18.9 注释 360 NcA
`E_3 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 C% -Tw]T$_ 18.11 一个更高级的脚本 362 @3`5(xwzm 18.12 <esc>键 364 zlMh^+rMX 18.13 包含文件 365 sn"((BsO< 18.14 脚本被优化调用 366 .*zN@y3 18.15 脚本中的对话框 368 rr#nBhh8 18.15.1 介绍 368 ~${~To8$CW 18.15.2 消息框-MsgBox 368 161P%sGx2 18.15.3 输入框函数 370 <rC%$tr 18.15.4 自定义对话框 371 \, R; 18.15.5 对话框编辑器 371 _a09;C 18.15.6 控制对话框 377 d4o
^+\ 18.15.7 更高级的对话框 380 OP/DWf 18.16 Types语句 384 !h?HfpYv 18.17 打开文件 385 @*%3+9`yq 18.18 Bags 387 s|C[{n<_ 18.13 进一步研究 388 Hf4_zd 19 vStack 389 n;Bb/Z!~ 19.1 vStack基本原理 389 CR4O#f8\ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^ ` LqNG 19.3 五棱镜 393 &'6/H/J 19.4 光束距离 396 ?Q:SVxzUd 19.5 误差 399 !}Xoqamm 19.6 二向分色棱镜 399 l";Yw]:^ 19.7 偏振泄漏 404 5CK+\MK 19.8 波前误差—相位 405 BTAbDyH5 19.9 其它计算参数 405 ^4=#,K 20 报表生成器 406 Q/o,2R 20.1 入门 406 gIo\^ktW 20.2 指令(Instructions) 406 ni;)6,i 20.3 页面布局指令 406 ^ITF* 20.4 常见的参数图和三维图 407 +4yre^gC 20.5 表格中的常见参数 408 1PY]Q{r 20.6 迭代指令 408 il^;2`]& 20.7 报表模版 408 8AR8u!;8 20.8 开始设计一个报表模版 409 [,Ehu<mEK 21 一个新的project 413 {
^o.f 21.1 创建一个新Job 414 ]>M\|,wh 21.2 默认设计 415 |WB-N g 21.3 薄膜设计 416 r<!hEWO>v 21.4 误差的灵敏度计算 420 .\_):j* 21.5 显色指数计算 422 |z)s9B;:#i 21.6 电场分布 424 E#!N8fQ 后记 426 tW/k tz;3 l'I:0a
4T 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 >XtfT' q,Gymh; 《Essential Macleod中文手册》 (zsG!v kQkc+sGJf 目 录 [}szM^ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 GDSV:]hL 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 !hVbx#bXl 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 [IAUJ09>I 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 3(e_2v 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 !E$$FvL 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ^kfqw0! 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 t:2DB) 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 z~Q=OPCnY 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 j(%N.f6 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 &
/8Tth86 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 exq5Z c% 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 _(-jk4 L 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 a&>NuMDI 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307
m-t:'B 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 zRna=h! 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 d,GOP_N8I 有兴趣可以扫码加微联系 y#'hOSR2
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