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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) tV9nC 41^+T<+ 内容简介 g,7`emOX Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~0!s5 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 My76]\Psh 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |(*ReQ?= lSUEE0V%Q 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 't{~#0d= 目录 TPt<(-}W Preface 1 #Fl"#g$ 内容简介 2 vp1IYW 目录 i `!kOyh:X 1 引言 1 w
[D9Q= 2 光学薄膜基础 2 fDNiU" 2.1 一般规则 2 kTT!gZP$ 2.2 正交入射规则 3 {PnvQ?|Z 2.3 斜入射规则 6 /w^}(IJ4 2.4 精确计算 7 6x^#|;e>lI 2.5 相干性 8 ly7\H3 2.6 参考文献 10 d0"Hu^] 3 Essential Macleod的快速预览 10 (q59cA w~X 4 Essential Macleod的特点 32 WOrz7x 4.1 容量和局限性 33 |yx]TD{~P 4.2 程序在哪里? 33 Q35$GFj"jD 4.3 数据文件 35 Pb]: i+c) 4.4 设计规则 35 75u/'0~5 4.5 材料数据库和资料库 37 uK6R+a 4.5.1材料损失 38 3~;LNi 4.5.1材料数据库和导入材料 39 PB_+:S^8 4.5.2 材料库 41 :Gsh 4.5.3导出材料数据 43 GF*8(2h2 4.6 常用单位 43 |,cQJ 4.7 插值和外推法 46 szu!*wc9 4.8 材料数据的平滑 50 Wl/oun~o 4.9 更多光学常数模型 54 2w>WS# 4.10 文档的一般编辑规则 55 J cL4q\g 4.11 撤销和重做 56 Ly"u }e 4.12 设计文档 57 ~,WG284 4.10.1 公式 58 yl/-! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 c
Owa^; 4.10.3 沉积密度 59 5I`j'j 4.10.4 平行和楔形介质 60 zc01\M 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 :hr% 6K7 4.10.4 性能 61 3gV
17a 4.10.5 保存设计和性能 64 y3{'s>O6 4.10.6 默认设计 64 v;AsV`g 4.11 图表 64 l\xcR]O 4.11.1 合并曲线图 67 ? C1.g'}7 4.11.2 自适应绘制 68 ``$Dgj[ 4.11.3 动态绘图 68 IL;JdIa 4.11.4 3D绘图 69 _y*@Hj 4.12 导入和导出 73 Tw*:Vw 4.12.1 剪贴板 73 OC34@YUj[ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 xl8=y 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 meey5} 4.13 背景 77 3eT5~Lbs 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _uwM%M; 4.15 生成Rugate 84 wCw-EGLR 4.16 参考文献 91 > Dy<@e 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 N3O3V5':! 5.1 Jobs 92 UKX9C"-5v 5.2 创建一个新Job(工作) 93 d5Hp&tm 5.3 输入材料 94 sA$x2[*O 5.4 设计数据文件夹 95 1W3+ng 5.5 默认设计 95 HY-7{irR~ 6 细化和合成 97 8T<LNC 6.1 优化介绍 97 cq:<,Ke 6.2 细化 (Refinement) 98 ere h! 6.3 合成 (Synthesis) 100 UdO(9Jc5^ 6.4 目标和评价函数 101 ;e
Iqxe> 6.4.1 目标输入 102 [hzw..?g 6.4.2 目标 103 _=0%3Sh 6.4.3 特殊的评价函数 104 Q^13KWvuV 6.5 层锁定和连接 104 1<|\df. 6.6 细化技术 104 ! |4fww 6.6.1 单纯形 105 "/H B# 6.6.1.1 单纯形参数 106 6d~[j<@2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )(bAi 6.6.2.1 Optimac参数 108 = VIU
6.6.3 模拟退火算法 109 4`E[WE:Q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 PL"u^G` 6.6.4 共轭梯度 111 QguRU|y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 -c%#Hd 6.6.5 拟牛顿法 112 cdd6*+E 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 P"*#mH[W| 6.6.6 针合成 113 %!P^se 6.6.6.1 针合成参数 114 *<r\:g 6.6.7 差分进化 114 yM,.{m@F< 6.6.8非局部细化 115 Ln-UN$2~F 6.6.8.1非局部细化参数 115 kXW5bR 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Pgug!![ 6.7.1 细化 116 (F=/r]Q 6.7.2 合成 117 &<nj~BL 6.8 参考文献 117 PmjN!/ 7 导纳图及其他工具 118 h]6m+oPW 7.1 简介 118 !AR@GuQPE 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?,XrZRF 7.2.1 四分之一波长规则 119 3R|UbG` 7.2.2 导纳图 120 :O?+Ywn 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 813t=A 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 \d-H+t] 7.5 斜入射导纳图 141 MS5X#B 7.6 对称周期 141 ?uAq goCl 7.7 参考文献 142 bi{G
:xt 8 典型的镀膜实例 143 y@XE! L 8.1 单层抗反射薄膜 145 itYTV?bd 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 cQzUR^oq, 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 G^1 5V'* 8.4 W-膜层 148 DXF>#2E^+ 8.5 V-膜层 149 y':JUwUN 8.6 V-膜层高折射基底 150 !)r1zSY"g 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 4De2miq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \wR;N/tg 8.9 四层抗反射薄膜 153 oaac.7.fV 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 w;b;rHAZ\ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 R1cOUV,y[/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 S7B\mv 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U{C&R&z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 PAD&sTjE* 8.15十五层宽带抗反射膜 159 D[p_uDIz 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 BbIg]E/G 8.17 1/4波长堆栈 162 :DG7Z 8.18 陷波滤波器 163 [AHoTlPZ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 b?U2g?lN: 8.20 褶皱 165 }'`iJb\ 8.21 消偏振分光器1 169 ^\ku}X_[? 8.22 消偏振分光器2 171 >,6%Y3 8.23 消偏振立体分光器 172 `G'Z,P-a 8.24 消偏振截止滤光片 173 Mni@@W 8.25 立体偏振分束器1 174 .;J6)h 8.26 立方偏振分束器2 177 B;64(Vsa8 8.27 相位延迟器 178 1xTNrLW 8.28 红外截止器 179 L#k`>Qn2 8.29 21层长波带通滤波器 180 1j_
6Sw( 8.30 49层长波带通滤波器 181 ooA%/ 8.31 55层短波带通滤波器 182 P.
Kfoos 8.32 47 红外截止器 183 'O^<i`8U] 8.33 宽带通滤波器 184 Xmny(j)g 8.34 诱导透射滤波器 186 IkP; i_| 8.35 诱导透射滤波器2 188 +/>XOY|Ie 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {>Yna"p 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 wh2Ljskda8 8.35 增益平坦滤波器 193 _{2/QP} 8.38 啁啾反射镜 1 196 2cQG2N2* 8.39 啁啾反射镜2 198 $tqr+1P 8.40 啁啾反射镜3 199 ,a34=, 8.41 带保护层的铝膜层 200 /B!Ik:c} 8.42 增加铝反射率膜 201 `f<&=_,xfH 8.43 参考文献 202 K+<F,
P 9 多层膜 204 z1m-t#v: 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 rM0Idc.$&& 9.2 内部透过率 204 /?%1;s:' 9.3 内部透射率数据 205 m)ENj6A>yP 9.4 实例 206 X?aj0# Q 9.5 实例2 210 w6 9.6 圆锥和带宽计算 212 cU_:l.b 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 aZ'(ar: 10 光学薄膜的颜色 216 *"d['V3 10.1 导言 216 _ SJFuv/ 10.2 色彩 216 2-dEie/{' 10.3 主波长和纯度 220 LI9
Uc\ 10.4 色相和纯度 221 #i 5@G* 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 h4E[\<? 10.6 色差 226 M@ =VIrX,m 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Z8I0v$LjR 10.8 颜色渲染指数 234 `^df la 10.9 色差计算 235 tjJi| 10.10 参考文献 236 BIxjY!!" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 MZvxcr{x 11.1 短脉冲 238 PUEEfq!% 11.2 群速度 239 CwaW>(`v 11.3 群速度色散 241 @MxB
d,P 11.4 啁啾(chirped) 245 ,zOv-pH 11.5 光学薄膜—相变 245 ]D<3yIGS 11.6 群延迟和延迟色散 246 iE#I^`^V 11.7 色度色散 246 tHmV4 H$ 11.8 色散补偿 249 QV>hQ]L 11.9 空间光线偏移 256 ,CIsZ1[VS 11.10 参考文献 258 [5-3PuT&9 12 公差与误差 260 TFO4jjiC" 12.1 蒙特卡罗模型 260 h\/T b8 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 85rjM#~ 12.2.1 误差工具 267 :~Ppv5W. 12.2.2 灵敏度工具 271 om{aws; 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8X#\T/U 12.2.2.2 灵敏度分布 275 lZJbQ=K{ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8Z>=sUMQ 12.3 参考文献 276 4tlLh`-8 13 Runsheet 与Simulator 277 RA*W Ys&xb 13.1 原理介绍 277 t_hr$ { 13.2 截止滤光片设计 277 .zo>,*:t 14 光学常数提取 289 o)+Uyl 14.1 介绍 289 aucG|}B
14.2 电介质薄膜 289 r:5u(2 14.3 n 和k 的提取工具 295 Yu:!l> 14.4 基底的参数提取 302 H{g&yo 14.5 金属的参数提取 306 s
>7(S%#N 14.6 不正确的模型 306 IzlmcP3 14.7 参考文献 311 n{=N f|= 15 反演工程 313 evlz R/ 15.1 随机性和系统性 313 I(va;hG<o 15.2 常见的系统性问题 314 64l(ru< 15.3 单层膜 314 k3UKGP1 15.4 多层膜 314 F/:Jp3@ 15.5 含义 319 O~c\+~5M* 15.6 反演工程实例 319 8B;HMD 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 eT@,QA(3 15.6.2 反演工程提取折射率 327 cIg+^Tl 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 C!^[d 16.1 光学性质的热致偏移 329 W+BHt{ 16.2 应力工具 335 Y(R .e7] 16.3 均匀性误差 339 c=<5DC&p 16.3.1 圆锥工具 339 '5}@#Mi 16.3.2 波前问题 341 ~#|Pe1Y 16.4 参考文献 343 _$m1?DZ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .$-GGvN] 17.1 引言 345 Lz=GA?lk[\ 17.2 操作数 345 G$E+qk
nJL 18 如何在Function中编写脚本 351 1Wb_>`; 18.1 简介 351 9Bi{X_.9 18.2 什么是脚本? 351 $kxP{0u 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 h`pXUnEZ 18.4 基础 352 wqA7_
- 18.4.1 Classes(类别) 352 Pvz\zRq 18.4.2 对象 352 /EV _Y|(- 18.4.3 信息(Messages) 352
2!";?E 18.4.4 属性 352 M"E7=J 18.4.5 方法 353 p~17cH4~-f 18.4.6 变量声明 353 '<Jqp7$dL 18.5 创建对象 354 W*9*^ 18.5.1 创建对象函数 355 ~ ":}Rs 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \kG;T=H 18.5.3 丢弃对象 356 UJk/Lxv 18.5.4 总结 356 aS&,$sR 18.6 脚本中的表格 357 17+2`@vJgM 18.6.1 方法1 357 15CKcM6 18.6.2 方法2 357 lR0WDJv 18.7 2D Plots in Scripts 358 -}9># <v 18.8 3D Plots in Scripts 359 rfYFS96 18.9 注释 360 fl o9iifZ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 oETl?Vt 18.11 一个更高级的脚本 362 ^'Qe.DW[ 18.12 <esc>键 364 e<r}{=1w 18.13 包含文件 365 ;}4^WzmK^( 18.14 脚本被优化调用 366 o>o! -uf 18.15 脚本中的对话框 368 st wxF?\NS 18.15.1 介绍 368 8"C[sRhz 18.15.2 消息框-MsgBox 368 #?fKi$fS;L 18.15.3 输入框函数 370 E@7);i5K 18.15.4 自定义对话框 371 d'2q~ 18.15.5 对话框编辑器 371 lFbf9s:$B 18.15.6 控制对话框 377 v-!^a_3Ui 18.15.7 更高级的对话框 380 o>Q=V0? 18.16 Types语句 384 UpS7>c7s 18.17 打开文件 385 TcOmBKps' 18.18 Bags 387 [xH Hm5$ 18.13 进一步研究 388 Mh8s @g 19 vStack 389 mH/9J
19.1 vStack基本原理 389 < m/@_" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3h`_Qv%g 19.3 五棱镜 393 G!.%Qqs 19.4 光束距离 396 `w EAU7m: 19.5 误差 399 k@>y<A{;D 19.6 二向分色棱镜 399 BTDUT%Yfg 19.7 偏振泄漏 404 9_xJT^10 19.8 波前误差—相位 405 >Qx
:l#B 19.9 其它计算参数 405 @3Gr2/a 20 报表生成器 406 tPaNhm[-q7 20.1 入门 406 D"8 ?4+ 20.2 指令(Instructions) 406 4#lOAzDtv 20.3 页面布局指令 406 nj6|WJ 20.4 常见的参数图和三维图 407 Z!2%{HQ=q 20.5 表格中的常见参数 408 @ ('/NjTZ 20.6 迭代指令 408 ^~7ouA 20.7 报表模版 408 m*~Iu<5L 20.8 开始设计一个报表模版 409 m#`1.5% 21 一个新的project 413 T':} p2}w+ 21.1 创建一个新Job 414 ?<STl-]& 21.2 默认设计 415 qaiR329fx 21.3 薄膜设计 416 PDkg@#&y,k 21.4 误差的灵敏度计算 420 <3!Q Xc 21.5 显色指数计算 422 _m*FHi 21.6 电场分布 424 4x|\xg(
l 后记 426 si#1sdR =:_DXGW2H UZx8ozv' 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 Qm>2,={h 2 `U+
! 《Essential Macleod中文手册》 pB'{_{8aA |OBh:d_B] 目 录 D.*o^{w| ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 >G}g=zy@ 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 85qD~o?O 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 C9^C4
第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 i)=
\-C 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 Q/`W[Et 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 #83pitcc 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 /@Ec[4^=!. 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 Cq[<CPAS 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 s2"<<P[q' 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 7UsU03 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 5+[ 3@ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 `Ha<t. v( 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 N"A`tc5& 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307
6)yi^v 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 2:G/Oj h&] 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 qaG8: 有兴趣可以扫码加微联系 `y$@zT?j
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