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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) q?}G?n4
;wW6x 内容简介 O-|RPW} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]Y;$~qQ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @VxBURZ? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 u:g(x+u4: xs.[]>nQN 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 i;/qJKr 目录 N#T MU Preface 1 9
*]Z 内容简介 2 >f`}CLsY 目录 i 8Yb/ c* 1 引言 1 H{yPi7 P 2 光学薄膜基础 2 |7|mnOBdDf 2.1 一般规则 2 lD/+LyTa 2.2 正交入射规则 3 2"BlV*\lS 2.3 斜入射规则 6 <9@VY 2.4 精确计算 7 .rxc"fR4_ 2.5 相干性 8 Sn0?_vH4 2.6 参考文献 10 35&&*$Jm 3 Essential Macleod的快速预览 10 6|_ S|N 4 Essential Macleod的特点 32 TuaT-Z~U{ 4.1 容量和局限性 33 Bu6t3 4.2 程序在哪里? 33 v7&$(HJ>]L 4.3 数据文件 35 ;=C^l 4.4 设计规则 35 QL|Vke:N4 4.5 材料数据库和资料库 37 YJ1P5u: 4.5.1材料损失 38 s-8>AW
ep 4.5.1材料数据库和导入材料 39 *qz]vUb/0 4.5.2 材料库 41 3P#1fI(c 4.5.3导出材料数据 43 mcr71j 4.6 常用单位 43 l#Qf8*0 4.7 插值和外推法 46 Nk=M 4.8 材料数据的平滑 50 I"DV}jg6| 4.9 更多光学常数模型 54 b~#rUOXb8? 4.10 文档的一般编辑规则 55 V!ajD!00 4.11 撤销和重做 56 78 UT]<Q;K 4.12 设计文档 57 &TK% igL 4.10.1 公式 58 j$8~M 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5R o5Cg~ 4.10.3 沉积密度 59 q07rWPM
"e 4.10.4 平行和楔形介质 60 OW #pBeX99 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 r@ejU'uz 4.10.4 性能 61 P!]DV$o 4.10.5 保存设计和性能 64 kV(?u_ R 4.10.6 默认设计 64 jkD5Z`D 4.11 图表 64 -Tz9J4xU& 4.11.1 合并曲线图 67 WX?|iw
I~ 4.11.2 自适应绘制 68 K0+J!-a]7 4.11.3 动态绘图 68 `
$zi?A:j 4.11.4 3D绘图 69 ]?<uf40Mm 4.12 导入和导出 73 sq<y2j1oF 4.12.1 剪贴板 73 ?cpID8Z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 hob%'Y5%D 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 y-Z*qR? 4.13 背景 77 Uel*:c 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 X7n~Ws&s@ 4.15 生成Rugate 84 ;zh|*F> 4.16 参考文献 91 $
Q2|{* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 vWj|[| <rX 5.1 Jobs 92 IHB{US1G 5.2 创建一个新Job(工作) 93 5gEUE {S 5.3 输入材料 94 OSq"q-Q 5.4 设计数据文件夹 95 2Q Bq 5.5 默认设计 95 )IhI~,0Nmj 6 细化和合成 97 q@^=im 6.1 优化介绍 97 xpSMbX{e 6.2 细化 (Refinement) 98 O #0:6QX 6.3 合成 (Synthesis) 100 "}ZD-O`! 6.4 目标和评价函数 101 xkqt(ng( 6.4.1 目标输入 102 4Ly!:GH3T 6.4.2 目标 103 fQe- v_K 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?(R6}ab>K7 6.5 层锁定和连接 104 `Th!bk 6.6 细化技术 104 mD0pqK 6.6.1 单纯形 105 J#JZ^59lOS 6.6.1.1 单纯形参数 106 O(!wDnhc 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 B04Br~hel* 6.6.2.1 Optimac参数 108 i[FBll- 6.6.3 模拟退火算法 109 .Mm8\]. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &&t4G }* 6.6.4 共轭梯度 111 0iHK1Pt} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 O'j;"l~H| 6.6.5 拟牛顿法 112 NShA-G N5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Kh%9Oy 6.6.6 针合成 113 WE=`8`Li 6.6.6.1 针合成参数 114 r5r K> 6.6.7 差分进化 114 9i9VDk{ 6.6.8非局部细化 115 '2#O{ 6.6.8.1非局部细化参数 115 /Nxy?g|, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 l tQ:c 6.7.1 细化 116 rK"$@tc 6.7.2 合成 117 L$Ss]Ar= 6.8 参考文献 117 g*!2.P 7 导纳图及其他工具 118 OyTBgS G?a 7.1 简介 118 F"9qBl~ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &@{Ba~S 7.2.1 四分之一波长规则 119 B_@>HZ\& 7.2.2 导纳图 120 A;{8\e 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 yyBfLPXZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Imi_}NB+ 7.5 斜入射导纳图 141 m]&d TZV 7.6 对称周期 141 xe%+Yb] 7.7 参考文献 142 wUl}x)xo 8 典型的镀膜实例 143 Xhi9\wteYw 8.1 单层抗反射薄膜 145 P\w.:.2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <A!v'Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ssoe$Gr7> 8.4 W-膜层 148 _DH,$evS% 8.5 V-膜层 149 4qiG>^h9 8.6 V-膜层高折射基底 150 GHH1jJ_[7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 I~#'76L[ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %*:-4K 8.9 四层抗反射薄膜 153 :)%Vahu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^[d)Hk}L 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 X}g!Lp 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !3d+"tL
S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 b9`MUkGGd 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ql#:Rx>b 8.15十五层宽带抗反射膜 159 "y>l2V,4j% 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 @cSz!E} 8.17 1/4波长堆栈 162 a?&oOQd-iP 8.18 陷波滤波器 163 @[.%A;E4 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 PNc^)|4^Q 8.20 褶皱 165 G#n27y nh 8.21 消偏振分光器1 169 +KXg&A/^ 8.22 消偏振分光器2 171 (CO8t~J= 8.23 消偏振立体分光器 172 )2u=U9 8.24 消偏振截止滤光片 173 O_(/uLH 8.25 立体偏振分束器1 174 P\N$TYeH 8.26 立方偏振分束器2 177 k}Ahvlq) 8.27 相位延迟器 178 H4Pj 3' 8.28 红外截止器 179 F8>Fp" 8.29 21层长波带通滤波器 180 Nn4<:2 8.30 49层长波带通滤波器 181 }.MJVB3 8.31 55层短波带通滤波器 182 3*XX@>|o 8.32 47 红外截止器 183 }-YD_Pm
K- 8.33 宽带通滤波器 184 B%cjRwO T 8.34 诱导透射滤波器 186 4vGkgH<, 8.35 诱导透射滤波器2 188 IP/
zFbc 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 DX4uTD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 RcMW%q$dG 8.35 增益平坦滤波器 193 B,,f$h! 8.38 啁啾反射镜 1 196 ep>S$a*| 8.39 啁啾反射镜2 198 |jF)~k6 8.40 啁啾反射镜3 199 ^|-x mUC 8.41 带保护层的铝膜层 200 [6)`wi 8.42 增加铝反射率膜 201 w/E4wp 8.43 参考文献 202 m3\lm@`)O 9 多层膜 204 :C_\.pA 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )r5QOa/ 9.2 内部透过率 204 B TgL: 9.3 内部透射率数据 205 w\8grEj 9.4 实例 206 E(>RmPP=7 9.5 实例2 210 ub0]nov 9.6 圆锥和带宽计算 212 $kvF]|<bu 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 {pE")O7~P 10 光学薄膜的颜色 216 eHm! 10.1 导言 216 j+w*Absh 10.2 色彩 216 D />REC^ 10.3 主波长和纯度 220 _
B",? } 10.4 色相和纯度 221 f-tjMa /_ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 fA2H8"r 10.6 色差 226 {&,a)h7& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 _:?)2 NV 10.8 颜色渲染指数 234 FsTE.PT 10.9 色差计算 235 K({+3vK 10.10 参考文献 236 Iy6"2$%a 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 L&][730 11.1 短脉冲 238 ;WO/xA-# 11.2 群速度 239 HBV~`0O$ 11.3 群速度色散 241 o5@
l!NQ 11.4 啁啾(chirped) 245 srw5&s(3X 11.5 光学薄膜—相变 245 0^?(;AK 11.6 群延迟和延迟色散 246 VfAIx]Fa 11.7 色度色散 246 Gdi1lYu6V 11.8 色散补偿 249 u
B~/W 11.9 空间光线偏移 256 /}]X3ng 11.10 参考文献 258 $._p !, < 12 公差与误差 260 ? D2:'gg 12.1 蒙特卡罗模型 260 ^mm:u<Yt 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,H'O`oV!1E 12.2.1 误差工具 267 d_-{-@ 12.2.2 灵敏度工具 271 i$?i1z*c} 12.2.2.1 独立灵敏度 271 {ckA 12.2.2.2 灵敏度分布 275 #K yb9Qg 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 "AS;\-Jk 12.3 参考文献 276 ICTl{|i ] 13 Runsheet 与Simulator 277 &JVe-. 13.1 原理介绍 277 "9Sxj 13.2 截止滤光片设计 277 OAEJ?ik 14 光学常数提取 289 H
:}|UW 14.1 介绍 289 #O7|&DqF{ 14.2 电介质薄膜 289 MR:Co4( 14.3 n 和k 的提取工具 295 DO'$J9;* 14.4 基底的参数提取 302 Q>cLGdzO 14.5 金属的参数提取 306 sV@kQ:
14.6 不正确的模型 306 -e3m!h 14.7 参考文献 311 o6P)IZ1 15 反演工程 313 vClD)Ar 15.1 随机性和系统性 313 Ie`kzssM 15.2 常见的系统性问题 314 J0~Ha u 15.3 单层膜 314 I@08F 15.4 多层膜 314 _S7GkpoK 15.5 含义 319 s_yY,Z: 15.6 反演工程实例 319 T_lexX[\ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 {*bXO8vi(( 15.6.2 反演工程提取折射率 327 KA#4iu{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^sY ]N77 16.1 光学性质的热致偏移 329 \SkCsE#H 16.2 应力工具 335 f`*Ip? V- 16.3 均匀性误差 339 Mf^ ;('~ 16.3.1 圆锥工具 339 X<9jBj/t 16.3.2 波前问题 341 {a- p/\U 16.4 参考文献 343 P ^R224R 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 $cHA_$ ` 17.1 引言 345 d}GO( 17.2 操作数 345 @@9#odO 18 如何在Function中编写脚本 351 2VyLt=mdh 18.1 简介 351 s(q\!\FS 18.2 什么是脚本? 351 Cp7 EJr~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Fyrr,# 18.4 基础 352 A_6b 4T 18.4.1 Classes(类别) 352 ]i3 2-8% 18.4.2 对象 352 &]iX>m. 18.4.3 信息(Messages) 352 N9 3
ZI|T 18.4.4 属性 352 3rhH0{ 18.4.5 方法 353 \/I@&$"F 18.4.6 变量声明 353 8
C @iD% 18.5 创建对象 354 CS"2Sd 1` 18.5.1 创建对象函数 355 HA&][%^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ZMQSy7 18.5.3 丢弃对象 356 f7mP4[+dS 18.5.4 总结 356 sNZ{OD+ 18.6 脚本中的表格 357 v?F~fRH 18.6.1 方法1 357 K]yCt~A$ 18.6.2 方法2 357 V)V\M6 18.7 2D Plots in Scripts 358 0&E{[~Pv 18.8 3D Plots in Scripts 359 ]e@'9`G-' 18.9 注释 360 W6_/FkO 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 RR<92R 18.11 一个更高级的脚本 362 Zmw'.hL 18.12 <esc>键 364 ";AM3 18.13 包含文件 365 nKC$
KC 18.14 脚本被优化调用 366 D|}
y{~ 18.15 脚本中的对话框 368 O+A/thI%*S 18.15.1 介绍 368 .e%PK[o 18.15.2 消息框-MsgBox 368 RR>Q$K 18.15.3 输入框函数 370 c&z@HEzV7 18.15.4 自定义对话框 371 %|bqL3)a_ 18.15.5 对话框编辑器 371 |f;u5r!^= 18.15.6 控制对话框 377 N|Mzj|i. 18.15.7 更高级的对话框 380 )<-\ F%&b 18.16 Types语句 384 @JVax -N 18.17 打开文件 385 V6)\;c 18.18 Bags 387 7'\<\oT
18.13 进一步研究 388 /co^swz 19 vStack 389 '+LC.l M 19.1 vStack基本原理 389 ZG+8kt!w 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 FWcE\;%yVg 19.3 五棱镜 393 c,-3+b 19.4 光束距离 396 c L}}^ 19.5 误差 399 CqOvVv 19.6 二向分色棱镜 399 :1NF#-2\f 19.7 偏振泄漏 404 ~'k.'O{ 19.8 波前误差—相位 405 *o <S{ 19.9 其它计算参数 405 Q{1Q w'+@ 20 报表生成器 406 77?/e^K\S 20.1 入门 406 'r3yFoP} 20.2 指令(Instructions) 406 sw
A^oU 20.3 页面布局指令 406 @."_XL74 20.4 常见的参数图和三维图 407 6wK>SW)#&j 20.5 表格中的常见参数 408 L,6v!9@ 20.6 迭代指令 408 30 e>C 20.7 报表模版 408 r&6X|2@ 20.8 开始设计一个报表模版 409 uL| Wuq 21 一个新的project 413 KG7 ~)g 21.1 创建一个新Job 414 C],"va 21.2 默认设计 415 EY'kIVk 21.3 薄膜设计 416 ;>YLL}]j 21.4 误差的灵敏度计算 420 WrJgU&H{ 21.5 显色指数计算 422 ;w0|ev6| 21.6 电场分布 424 ypyqf55gK 后记 426 mcbvB5U &/)2P#u Uj]Tdg 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 W.u+R?a= .yK~FzLs 《Essential Macleod中文手册》 fL-lx-~ aTXmF1_n 目 录 ]34fG3D| ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 PX!$w*q 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 vl1`s
^}R 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 U~h
f,Oxi 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 !' ;1;k); 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 W&MZ5t,k= 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 j~DTvWg<Jl 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 EyU 5r$G 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 b2rlj6d 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 _"nzo4e0 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 ~@Yiwp\" 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 C1/qiSHsh 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 P D,s,A 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 haTmfh_| 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 5D9n>K4| 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 y^OT0mZkg 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 S(*u_ 有兴趣可以扫码加微联系 mV~aZM0'
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