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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) Q
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H;, Z5U\>7@&8 内容简介 +UziO#D Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 +$>aT(q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 alzdYiGf 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7>MG8pf3a |/xA5_-N 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 $i<+O,@- 目录 &J9 + 5L8 Preface 1 T3=h7a %= 内容简介 2 #d[Nm+~ko 目录 i t~ I;IB 1 引言 1 w1zMY:9 2 光学薄膜基础 2 aYk: CYQ 2.1 一般规则 2 {*8G<& 2.2 正交入射规则 3 C`qV+pV 2.3 斜入射规则 6 6Ktq7'Z@ 2.4 精确计算 7 j$6Q]5KdoS 2.5 相干性 8 :F[s 2.6 参考文献 10 kQ&Q_FSO 3 Essential Macleod的快速预览 10 pd,d"+ 4 Essential Macleod的特点 32 ()Wu_Q 4.1 容量和局限性 33 $Q'LDmot 4.2 程序在哪里? 33 #>G:6'r 4.3 数据文件 35 m-~3c]pA 4.4 设计规则 35 F_w+8)DZ 4.5 材料数据库和资料库 37 AG%[?1IXW 4.5.1材料损失 38 wmR~e 4.5.1材料数据库和导入材料 39 P =Q+VIP& 4.5.2 材料库 41 \pI {b9 4.5.3导出材料数据 43 RSB+Saf.8 4.6 常用单位 43 4|Y1W}!0/ 4.7 插值和外推法 46 =)jo}MB 4.8 材料数据的平滑 50 as/PM" 4.9 更多光学常数模型 54 |${ImP 4.10 文档的一般编辑规则 55 %52x:qGa 4.11 撤销和重做 56 &'Nzw2 4.12 设计文档 57 6M_ W( 4.10.1 公式 58 |}YxxeAk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 F+BCzsm7$ 4.10.3 沉积密度 59 (5:pHX`P 4.10.4 平行和楔形介质 60 Ke:EL;*8k 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 =\ 5f_g2M 4.10.4 性能 61 :?ZrD,D 4.10.5 保存设计和性能 64 ]^wr+9zd 4.10.6 默认设计 64 @\oZ2sB 4.11 图表 64 |Go$z3bx 4.11.1 合并曲线图 67 [x=(:soEqC 4.11.2 自适应绘制 68 n?D/bX p 4.11.3 动态绘图 68 #M#$2Vt 4.11.4 3D绘图 69 Tu}EAr 4.12 导入和导出 73 726UO#* 4.12.1 剪贴板 73 >6WZSw/Hq 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 H!"TS-s` 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 <RC %< 4.13 背景 77 k}}'fA 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Q*'OY~ 4.15 生成Rugate 84 %8Y+Df;ax 4.16 参考文献 91 N|"kuRN# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 @6R6.i5d 5.1 Jobs 92
- 3PLP$P 5.2 创建一个新Job(工作) 93 )~"0d;6_ 5.3 输入材料 94 EvY^]M_U 5.4 设计数据文件夹 95 !v%>W< 3Q 5.5 默认设计 95 t"J{qfNs 6 细化和合成 97 c`S+>: 6.1 优化介绍 97 }|M:MJ` 6.2 细化 (Refinement) 98 LLzxCMc9* 6.3 合成 (Synthesis) 100 9FNsW$b? 6.4 目标和评价函数 101 g6.I~oQj 6.4.1 目标输入 102 -,g.39u 6.4.2 目标 103 b&_Ifx_YF 6.4.3 特殊的评价函数 104 o>yXEg 6.5 层锁定和连接 104 S&[9Vb 6.6 细化技术 104 #CyqiOM\* 6.6.1 单纯形 105 ?Oy0p8 6.6.1.1 单纯形参数 106 DaGny0|BB 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )~nieQEZQ 6.6.2.1 Optimac参数 108 >/}p{Tj 6.6.3 模拟退火算法 109 KC(z TY 6.6.3.1 模拟退火参数 109 rL+.3ZO):P 6.6.4 共轭梯度 111 @;hdZLG]`& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 mZ:#d;0 6.6.5 拟牛顿法 112 1L7^g* 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 '<ZHzDW@ 6.6.6 针合成 113 +`V<&
Y-5l 6.6.6.1 针合成参数 114 X+,0;% p 6.6.7 差分进化 114 &?xmu204 6.6.8非局部细化 115 FQ47j)p; 6.6.8.1非局部细化参数 115 tW-[.Y -M, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Tj<B;f!u 6.7.1 细化 116 tgl 4pAc 6.7.2 合成 117 >O~V#1 H 6.8 参考文献 117 CS-jDok 7 导纳图及其他工具 118 _]D
6m2R 7.1 简介 118 .O#7X 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 OqF8KJnO; 7.2.1 四分之一波长规则 119 i-@V 7.2.2 导纳图 120 +IjBeQ? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 I=P<RG7j) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Ux= B*m1@{ 7.5 斜入射导纳图 141 oaILh 7.6 对称周期 141 q.@% H} 7.7 参考文献 142 %Kp^wf#o9 8 典型的镀膜实例 143 Pq(LW( 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^~bdAO81 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 vo&h6'i>7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 15' fU! 8.4 W-膜层 148 ,Sy&?t}` 8.5 V-膜层 149 e0Gs|c+6 8.6 V-膜层高折射基底 150 !su773vo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 OZ"76|H1` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 yA_ly < 8.9 四层抗反射薄膜 153 `GCK%evLG 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 G^dzE/: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ),j6tq[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 X*5N&AJ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 f4+wP/n& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 W_3BL]^= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 bH'2iG 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 a{rUk%x 8.17 1/4波长堆栈 162 u5KAwMw%Q 8.18 陷波滤波器 163 b+hN\/*] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 UK,sMKbl1 8.20 褶皱 165 nvNF~)mu 8.21 消偏振分光器1 169 [*0M$4 8.22 消偏振分光器2 171 IJDbm}:/e 8.23 消偏振立体分光器 172 ;<GxonIV 8.24 消偏振截止滤光片 173 Z*h}E 8.25 立体偏振分束器1 174 mieyL9*n7 8.26 立方偏振分束器2 177 @>J(1{m=Gy 8.27 相位延迟器 178 cN&:V2, 8.28 红外截止器 179 ];b+f@ 8.29 21层长波带通滤波器 180 $MfRw 8.30 49层长波带通滤波器 181 `R.Pz _oe 8.31 55层短波带通滤波器 182 ('\sUZ+5 8.32 47 红外截止器 183 j?k|-0 8.33 宽带通滤波器 184 gOah5*Lj 8.34 诱导透射滤波器 186 9e
vQQN6D| 8.35 诱导透射滤波器2 188 aD_7^8> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ]fU&?z# 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N`N?1!fM<} 8.35 增益平坦滤波器 193 I'p+9H$ 8.38 啁啾反射镜 1 196 DxpJP,wY3 8.39 啁啾反射镜2 198 PDCb(5 8.40 啁啾反射镜3 199 |k%1mE(+=s 8.41 带保护层的铝膜层 200 b0@K ~O;g 8.42 增加铝反射率膜 201 7-~)/7L 8.43 参考文献 202 :)tsz; 9 多层膜 204 Hr!$mf)h 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 d&f!\n_~ 9.2 内部透过率 204 ?.lo[X<,* 9.3 内部透射率数据 205 U0{)goN. 9.4 实例 206 dn Sb}J 9.5 实例2 210
_VmXs&4 9.6 圆锥和带宽计算 212 #e,TS`"eD 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 (~E-=+R[$& 10 光学薄膜的颜色 216 /;1O9HJa 10.1 导言 216 w9O!L9 6 10.2 色彩 216 U[8F{LX 10.3 主波长和纯度 220 U|\ .)h= 10.4 色相和纯度 221 z1^fG) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 vH1,As 10.6 色差 226 @7.7+blS"H 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ~kSOYvK$' 10.8 颜色渲染指数 234 `NEi/jB 10.9 色差计算 235 H270)Cwn+ 10.10 参考文献 236 o)7Ot\:E 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^yq}>_ 11.1 短脉冲 238 z,2*3Be6V 11.2 群速度 239 eMmNQRmH 11.3 群速度色散 241
kN8B, 11.4 啁啾(chirped) 245 1,Mm+_)B 11.5 光学薄膜—相变 245 2k^rZ^^" 11.6 群延迟和延迟色散 246 iF837ng5 11.7 色度色散 246 M+HhTW;I= 11.8 色散补偿 249 Wi>m}^}9 11.9 空间光线偏移 256 dGkw%3[ 11.10 参考文献 258 .P")S| 12 公差与误差 260 SBs! 52 12.1 蒙特卡罗模型 260 sK&kp=zu 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 37Q8Yf_ 12.2.1 误差工具 267 HX}B#T 12.2.2 灵敏度工具 271 ,r]H+vWS 12.2.2.1 独立灵敏度 271 \0_jmX]p 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }HmkTk 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 '`2MxRP 12.3 参考文献 276 SE6(3f$ 13 Runsheet 与Simulator 277 !J X7y%J 13.1 原理介绍 277 EJb+yy6 13.2 截止滤光片设计 277 ABkDOG2br 14 光学常数提取 289 WWZ<[[ > 14.1 介绍 289 F'|e:h 14.2 电介质薄膜 289 e.%I#rNI 14.3 n 和k 的提取工具 295 G e]NA]< 14.4 基底的参数提取 302 5y\35kT' 14.5 金属的参数提取 306 Q@>1z*'I 14.6 不正确的模型 306 5$HG#2"Kb# 14.7 参考文献 311 q9j~|GE| 15 反演工程 313 ?~t5>PEonv 15.1 随机性和系统性 313 ^"54Q^SH 15.2 常见的系统性问题 314 8AY;WL:; 15.3 单层膜 314 ZeU){CB 15.4 多层膜 314 V\{@c%xW 15.5 含义 319 ?<
teHFj 15.6 反演工程实例 319 YGLq~A 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 z5(5\j] 15.6.2 反演工程提取折射率 327 KB :JVK^ < 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Tj_K5uccU} 16.1 光学性质的热致偏移 329 <jF&+[*iT 16.2 应力工具 335 9lR6:}L7 16.3 均匀性误差 339 HR8YPU5
16.3.1 圆锥工具 339 A%F8w'8( 16.3.2 波前问题 341 c$2kR: 16.4 参考文献 343 <PuY"-`/Oc 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &y=OZ
!M 17.1 引言 345 I]+
zG 17.2 操作数 345 1Td`S1'#yg 18 如何在Function中编写脚本 351 &dmIv[LU 18.1 简介 351 8~R.iqLoX 18.2 什么是脚本? 351 f:&JKB)N 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 r"h09suZBW 18.4 基础 352 1+N'cB!y 18.4.1 Classes(类别) 352 nAl
\9#M 18.4.2 对象 352 RMT9tXe*5 18.4.3 信息(Messages) 352 [ij) k@. 18.4.4 属性 352 ,\P|%yv 18.4.5 方法 353 gWa0x- 18.4.6 变量声明 353 hLgX0QV 18.5 创建对象 354 #-G@ p 18.5.1 创建对象函数 355 R=E4Sh 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 iJOG"gI& 18.5.3 丢弃对象 356 zNrn|(Y%Y 18.5.4 总结 356 XE<5( 18.6 脚本中的表格 357 __QnzEF 18.6.1 方法1 357
(Z?f eUxp 18.6.2 方法2 357 vnQFq 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;7?oJH; 18.8 3D Plots in Scripts 359 Is3Y>oX 18.9 注释 360 JvW7h(u7g 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Ji9o0Y R 18.11 一个更高级的脚本 362 H7&y79mB 18.12 <esc>键 364 E=,5%>C0#% 18.13 包含文件 365 OF']- 18.14 脚本被优化调用 366 mIYKzu_k= 18.15 脚本中的对话框 368 .$x}~Sw 18.15.1 介绍 368 !]g[u3O 18.15.2 消息框-MsgBox 368 l:eC+[_;> 18.15.3 输入框函数 370 *v K~t|z 18.15.4 自定义对话框 371 lV^:2I/ 18.15.5 对话框编辑器 371 8\'tfHL 18.15.6 控制对话框 377 XA;PWl5! 18.15.7 更高级的对话框 380 G`0{31us 18.16 Types语句 384 <|Lz#iV37 18.17 打开文件 385 Tb?X KO, 18.18 Bags 387 XfVdYmii 18.13 进一步研究 388 .txtt?ZF2 19 vStack 389 U9b[t 19.1 vStack基本原理 389 S>(x x"Ia 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 T$2A2gb` 19.3 五棱镜 393 DGCvH)Q 19.4 光束距离 396 5!Y\STn 19.5 误差 399 dazML|1ow 19.6 二向分色棱镜 399 9ETdO,L)f 19.7 偏振泄漏 404 h'h8Mm 19.8 波前误差—相位 405 `V V>AA5 19.9 其它计算参数 405 J9NuqV3 20 报表生成器 406 v+Y^mV`| 20.1 入门 406 >m1b/J3# 20.2 指令(Instructions) 406 a1I-d=] 20.3 页面布局指令 406 Z'k?lkB2i 20.4 常见的参数图和三维图 407 Y1sK sdV 20.5 表格中的常见参数 408 Ce<z[?u 20.6 迭代指令 408 RPeH [M^ 20.7 报表模版 408 p7`9
d1n 20.8 开始设计一个报表模版 409 N-F&=u} 21 一个新的project 413 D60quEe3% 21.1 创建一个新Job 414 URm< |