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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) 4]u53` Vq2d+
,fb 内容简介 Wd?(B4{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 3iJ4VL7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Ly/"da 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 p]:5S_$ 5;oWFl 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 :w:hqe|_ 目录 )8p FPr Preface 1 rePJ4i [y 内容简介 2 v4=9T<[ 目录 i sL75C|f9 1 引言 1 \-$wY%7 2 光学薄膜基础 2 ,1EyT> 2.1 一般规则 2 9lNO
~8
2.2 正交入射规则 3 "detDB
2.3 斜入射规则 6 9^QiFgJy 2.4 精确计算 7 ^.aFns{wv 2.5 相干性 8 j[k&O)A{C 2.6 参考文献 10 <xOXuve 3 Essential Macleod的快速预览 10 [U.3rcT"N 4 Essential Macleod的特点 32 wP8Wx~Q= 4.1 容量和局限性 33 !E8y!|7$ 4.2 程序在哪里? 33 v8W .84e- 4.3 数据文件 35 ;D&FZ|`(u 4.4 设计规则 35 EE(1;]d- 4.5 材料数据库和资料库 37 2'Cwx-_G` 4.5.1材料损失 38 <0g.<n, 4.5.1材料数据库和导入材料 39 pSvRyb.K 4.5.2 材料库 41 0sM{yGu=, 4.5.3导出材料数据 43 =v]\{. 4.6 常用单位 43 109dB$+$ 4.7 插值和外推法 46 t Sran 4.8 材料数据的平滑 50 #kjN!S*= 4.9 更多光学常数模型 54 pyYm<dn 4.10 文档的一般编辑规则 55 {z>fe
} 4.11 撤销和重做 56 +XCLdf}dC 4.12 设计文档 57 w$8Su:g= 4.10.1 公式 58 ?-%Q[W 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 jI%v[]V 4.10.3 沉积密度 59 }7&.FV" 4.10.4 平行和楔形介质 60 kN_
i0~y@- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 n4\UoKq 4.10.4 性能 61 #{KYsDtvx 4.10.5 保存设计和性能 64 jLo(Uf 4.10.6 默认设计 64 R?Zv 4.11 图表 64 X)^eaw]Q0 4.11.1 合并曲线图 67 S^(OjS 4.11.2 自适应绘制 68 CC&o pC 4.11.3 动态绘图 68 15dhr]8E 4.11.4 3D绘图 69 Ro3C(aRx 4.12 导入和导出 73 9oBK(Sf@^ 4.12.1 剪贴板 73 ~A^E_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4o?_G[
4.12.3 不通过剪贴板导出 76 '0q.zzv|_ 4.13 背景 77 NU[{ANbl 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 n'*4zxAA 4.15 生成Rugate 84 nMm4fns 4.16 参考文献 91 @
=g
Px 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8 *o*?1. 5.1 Jobs 92 d1CQ;,Df< 5.2 创建一个新Job(工作) 93 !Q[j;f
5.3 输入材料 94 -#@l`kt 5.4 设计数据文件夹 95 c"D%c(:4| 5.5 默认设计 95 N~NUBEKcp 6 细化和合成 97 BwOIdz%]OY 6.1 优化介绍 97 3{c6)vR2 6.2 细化 (Refinement) 98 ;B*im
S10 6.3 合成 (Synthesis) 100 TLu+5f 6.4 目标和评价函数 101 p1tqwV 6.4.1 目标输入 102 rSu+zS7`X 6.4.2 目标 103 y
buKwZFC 6.4.3 特殊的评价函数 104 6[+@#IWx 6.5 层锁定和连接 104 K(jo [S 6.6 细化技术 104 n vzk P{ 6.6.1 单纯形 105 (U@Ks ) 6.6.1.1 单纯形参数 106 %M)LC>c 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 RZMR2fP% 6.6.2.1 Optimac参数 108 @vyq?H$U;N 6.6.3 模拟退火算法 109 Cp"a,% b6u 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \dAs<${( 6.6.4 共轭梯度 111 aF8'^xF 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 7b8+"5~ 6.6.5 拟牛顿法 112 ^]rPda# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 pW&K=,7| 6.6.6 针合成 113 i?{)o]i 6.6.6.1 针合成参数 114 a4d7;~tZ 6.6.7 差分进化 114 U80h0t% 6.6.8非局部细化 115 p~Wy`g- 6.6.8.1非局部细化参数 115 ZLIt3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 I9
(6 6.7.1 细化 116 ?Vre"6U 6.7.2 合成 117 TXL!5,
X_ 6.8 参考文献 117 `;j@v8n$* 7 导纳图及其他工具 118 ^cDHC^Wm 7.1 简介 118 lcVZ 32MQ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'G>$W+lT^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 IL>VH`D 7.2.2 导纳图 120 k\76`!B 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Cer&VMrQK 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 C))x#P36 7.5 斜入射导纳图 141 T
W#s)iDi 7.6 对称周期 141 =;Q:z^S 7.7 参考文献 142 =\`iC6xP} 8 典型的镀膜实例 143 ,ZV>"'I: 8.1 单层抗反射薄膜 145
/\.[@] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 .Gt_~x 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;mT 8.4 W-膜层 148 !S~0T!afF 8.5 V-膜层 149 'MgYSP< 8.6 V-膜层高折射基底 150 [$X^r<|P@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3\}>nE 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 38mC+%iC 8.9 四层抗反射薄膜 153 i 558&: 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;Zm-B]\ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 EVlj#~mV 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 fc&djd`FuX 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 baoyU#X9 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (kTu6t* 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5pT8 }?7 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^c<8|lK L@ 8.17 1/4波长堆栈 162 l*.u rG 8.18 陷波滤波器 163 h+R26lI1x 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 )+Y"4?z~ 8.20 褶皱 165 l6*MiX]q 8.21 消偏振分光器1 169 ?$K.*])e 8.22 消偏振分光器2 171 ds2%i
8.23 消偏振立体分光器 172 S]&:R)#@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 4/ WKR3X 8.25 立体偏振分束器1 174 M5a&eO 8.26 立方偏振分束器2 177 jM}(?^@ 8.27 相位延迟器 178 {/j gB"9 8.28 红外截止器 179 ~t<G gNI 8.29 21层长波带通滤波器 180 %M3L<2 8.30 49层长波带通滤波器 181 uBK0+FLL@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 bvOnS0,y 8.32 47 红外截止器 183 ]Cs=EZr 8.33 宽带通滤波器 184 z/]]u.UP 8.34 诱导透射滤波器 186 g< xE}[gF 8.35 诱导透射滤波器2 188 -2[#1S* 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <+-=j 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 78\j 8.35 增益平坦滤波器 193 A`#?Bj 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?fN6_x2e3 8.39 啁啾反射镜2 198 &) 64:l& 8.40 啁啾反射镜3 199 d>?C?F 8.41 带保护层的铝膜层 200 3G[|4v?[<_ 8.42 增加铝反射率膜 201 ^TD%l8o6 8.43 参考文献 202 UEx13!iFo 9 多层膜 204 #M||t|9iu? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $%^](- 9.2 内部透过率 204 ^mg:<_p 9.3 内部透射率数据 205 HC=ZcK'W 9.4 实例 206 0
*;i]owV 9.5 实例2 210 `Se2f0", 9.6 圆锥和带宽计算 212 Q}G2f4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 qyxd9Lk1 10 光学薄膜的颜色 216 eR,/}g\ 10.1 导言 216 et/:vLl13 10.2 色彩 216 q9dplEe5 10.3 主波长和纯度 220 >|z:CX$] 10.4 色相和纯度 221 kia[d984w 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 gV-*z}`U 10.6 色差 226 \vJ0Mhk1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 L2p?]:- 10.8 颜色渲染指数 234 sE'c$H 10.9 色差计算 235 {?Nm"# 10.10 参考文献 236 F3qCtx*N 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^r-d.1 11.1 短脉冲 238 -b
iE 11.2 群速度 239 _|4R^*/4 11.3 群速度色散 241 "P0!cY8r 11.4 啁啾(chirped) 245 >|c?ZqW 11.5 光学薄膜—相变 245 %*szB$[3 11.6 群延迟和延迟色散 246 D+v?zQw 11.7 色度色散 246 ImG8v[Q
E 11.8 色散补偿 249 Q=8YAiCu 11.9 空间光线偏移 256 Xy%||\P{) 11.10 参考文献 258 =%<,
^2o 12 公差与误差 260 n?nzm "g 12.1 蒙特卡罗模型 260 6}m `_d? 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7)]boW~Q 12.2.1 误差工具 267 O Bcz'f~ 12.2.2 灵敏度工具 271 SzIzQR93& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Y<|JhqOXK 12.2.2.2 灵敏度分布 275 A
yr, 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 $m)gfI]9 12.3 参考文献 276 "b~C/-W I 13 Runsheet 与Simulator 277 [Q{\Ik 13.1 原理介绍 277 p:TE## 13.2 截止滤光片设计 277 /='0W3+o*L 14 光学常数提取 289 $K!Jm7O\ 14.1 介绍 289 $cIaLq 14.2 电介质薄膜 289 |,@D< 14.3 n 和k 的提取工具 295 $1"gFg 14.4 基底的参数提取 302 F \ls]luN 14.5 金属的参数提取 306 }3A~ek#*~ 14.6 不正确的模型 306 YTFU#F 14.7 参考文献 311 &:5*^1oP 15 反演工程 313 McN[ 15.1 随机性和系统性 313 r&m49N,d 15.2 常见的系统性问题 314 rbnAC*y8'L 15.3 单层膜 314
:`NZD 15.4 多层膜 314 Nd]F 33|X 15.5 含义 319 !p/SX>NJ 15.6 反演工程实例 319 {=3A@/vM 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #lrwKHZ+ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?[d4HKs 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 r) x 16.1 光学性质的热致偏移 329 ,\J 8(,%L 16.2 应力工具 335 uDie205 16.3 均匀性误差 339 jhm/<= 16.3.1 圆锥工具 339 IK\~0L;ozE 16.3.2 波前问题 341 Sc]K-]1(H 16.4 参考文献 343 3s/1\m% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ",3v%$> 17.1 引言 345 ?/OF=C# 17.2 操作数 345 5PO_qr=Hx 18 如何在Function中编写脚本 351 }ofb]_C, 18.1 简介 351 )][U6 e 18.2 什么是脚本? 351 q@~g.AMCB 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 4WvW11q8U 18.4 基础 352 T8a' 6otc 18.4.1 Classes(类别) 352 f~T7?D0u}N 18.4.2 对象 352 >9!J?HA 18.4.3 信息(Messages) 352 r@3-vLI!u 18.4.4 属性 352 9 Gd6/2 18.4.5 方法 353 ##6\~!P 18.4.6 变量声明 353 3~T ~Bs 18.5 创建对象 354 m;~} }~&vQ 18.5.1 创建对象函数 355 >^~^#MT 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ?4%H(k5A 18.5.3 丢弃对象 356 WVRIq' 18.5.4 总结 356
kScZP8yw 18.6 脚本中的表格 357 c'i5,\ #X 18.6.1 方法1 357 g %mCgP 18.6.2 方法2 357 |-x-CSN 18.7 2D Plots in Scripts 358 i8V\ x> 9 18.8 3D Plots in Scripts 359 a2B71 RT~ 18.9 注释 360 E%bhd4$G 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ksC_F8Q+ 18.11 一个更高级的脚本 362 DLrV{8%W 18.12 <esc>键 364 ~D9Cu>d9 18.13 包含文件 365 20V~?xs~ 18.14 脚本被优化调用 366 zuLW'a6F- 18.15 脚本中的对话框 368 t|i NSy3 18.15.1 介绍 368 K>DN6{hnV; 18.15.2 消息框-MsgBox 368 d5l42^Z 18.15.3 输入框函数 370 !b+4[xky 18.15.4 自定义对话框 371 #"4ioTL2 18.15.5 对话框编辑器 371 +
f67y 18.15.6 控制对话框 377 \Ip)Lm0 18.15.7 更高级的对话框 380 Cjf[]aNJe` 18.16 Types语句 384 'hjEd. 18.17 打开文件 385 oIE
1j? 18.18 Bags 387 gS'{JZu2 18.13 进一步研究 388 fB3Jp~$ 19 vStack 389 Ma|4nLC} 19.1 vStack基本原理 389 `[sFh%: 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Y/5M)AyJt 19.3 五棱镜 393 A0Mjk 19.4 光束距离 396 @3?>[R 19.5 误差 399 'Tm1Mh0Fso 19.6 二向分色棱镜 399 R'v~:wNTNs 19.7 偏振泄漏 404 =sYILe[ 19.8 波前误差—相位 405 fs
ufYIf 19.9 其它计算参数 405 zvV&Hks- 20 报表生成器 406 tVRN3fJH 20.1 入门 406 ELCNf 20.2 指令(Instructions) 406 .nD#:86M 20.3 页面布局指令 406 45c?0tj 20.4 常见的参数图和三维图 407 a&_ |