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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) (n\
cs$ @$]h[ 内容简介 b8&9pLl Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 /Y:Zqk3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 9 pn1d. 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |1o]d$3m 4tjRju? 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 hkG<I';M?M 目录 LJD"N#c Preface 1 it$~uP | 内容简介 2 wlJ1,)n^2 目录 i OgX."pK 1 引言 1 566EMy| 2 光学薄膜基础 2 iKwVYL 2.1 一般规则 2 <3KrhhH 2.2 正交入射规则 3 S%2qB;uw 2.3 斜入射规则 6 d<o 2.4 精确计算 7 N<x5:f#+ 2.5 相干性 8 J7ln6 Y 2.6 参考文献 10 _PF><ODX2 3 Essential Macleod的快速预览 10 $)3/N&GXR 4 Essential Macleod的特点 32 /_P`xm+=AC 4.1 容量和局限性 33 S(pfd2^ 4.2 程序在哪里? 33 y06 2/$*$ 4.3 数据文件 35 C;` fOCz^ 4.4 设计规则 35 @)B_e*6>' 4.5 材料数据库和资料库 37 !wgj$5Rw. 4.5.1材料损失 38 tyh%s" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [>E0(S] 4.5.2 材料库 41 ?4_;9MkN 4.5.3导出材料数据 43 -nW-I\d% 4.6 常用单位 43 l< Y x 4.7 插值和外推法 46 4J s>yP 4.8 材料数据的平滑 50 \xt!b^d0 4.9 更多光学常数模型 54 {q^KlSjm 4.10 文档的一般编辑规则 55 [LCi, 4.11 撤销和重做 56 y$WS;# 4.12 设计文档 57 &m` 4.10.1 公式 58 VaB7)r 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {R K#W~h 4.10.3 沉积密度 59 wP%;9y2B 4.10.4 平行和楔形介质 60 z,)Fvs4U. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 HwHI$IB 4.10.4 性能 61 v [x`I; 4.10.5 保存设计和性能 64 Hl#o& *Ui" 4.10.6 默认设计 64 $jHL8r\e7 4.11 图表 64 |l9AgwDg 4.11.1 合并曲线图 67 .+y#7-#6 4.11.2 自适应绘制 68 I
?1E}bv 4.11.3 动态绘图 68 $hL0/T-m 4.11.4 3D绘图 69 0t) IWD 4.12 导入和导出 73 X_h+\
7N> 4.12.1 剪贴板 73 L@/+u+j0 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >,DR{A2hSB 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 )YZ41K5N 4.13 背景 77 2dC)%]aLme 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 L2 I/h`n" 4.15 生成Rugate 84 '&"7(8E}
* 4.16 参考文献 91 og>f1NwS[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 VAq:q8(K 5.1 Jobs 92 dgO2fI 5.2 创建一个新Job(工作) 93 nP}/#Wy 5.3 输入材料 94 !54%}x)3 5.4 设计数据文件夹 95 xe5>)\18- 5.5 默认设计 95 HwDb &pP" 6 细化和合成 97 ,yB-jk? 6.1 优化介绍 97 2uB.0
6.2 细化 (Refinement) 98 @-hy:th# 6.3 合成 (Synthesis) 100 LcF0: h' 6.4 目标和评价函数 101 })J]D~!p 6.4.1 目标输入 102 X3nwA#If1 6.4.2 目标 103 -/h$Yb 6.4.3 特殊的评价函数 104 DU;]Q:r{ 6.5 层锁定和连接 104 2W}RXqV< 6.6 细化技术 104 a(m#GES 6.6.1 单纯形 105 ;G w5gK^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 O".#B 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 rP*?a~< 6.6.2.1 Optimac参数 108 3,pRmdC 6.6.3 模拟退火算法 109 &B))3WFy 6.6.3.1 模拟退火参数 109 >9|Q,/b0 6.6.4 共轭梯度 111 )&*&ZL0 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 0hPm,H*Y] 6.6.5 拟牛顿法 112 $Q?UyEi 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 (j2]:BVu 6.6.6 针合成 113 @.%ll n 6.6.6.1 针合成参数 114 }@x0@sI9 6.6.7 差分进化 114 3 iY`kf 6.6.8非局部细化 115 _mcD*V 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]+J]}C]\d 6.7 我应该使用哪种技术? 116 l!GAMK 6o 6.7.1 细化 116 aa$+( 6.7.2 合成 117 ^.k}YSWut 6.8 参考文献 117 `LNRl'Zm 7 导纳图及其他工具 118 }APf^Ry 7.1 简介 118 (Y-7B 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 3uN;*f 7.2.1 四分之一波长规则 119 A H`6)v<f 7.2.2 导纳图 120 0Tq6\: 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 m,-:(82 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 M7hff4c 7.5 斜入射导纳图 141 SV-pS># 7.6 对称周期 141 RF qbwPX 7.7 参考文献 142 {AJspLcG 8 典型的镀膜实例 143 *ozeoX'5D 8.1 单层抗反射薄膜 145 ujHqwRh 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ~]}7|VN.} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ptX;-'j( 8.4 W-膜层 148 `^RpT]S 8.5 V-膜层 149 )bqO}_B 8.6 V-膜层高折射基底 150 M,NYF`;a 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7QzUw 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 I:[3x2H 8.9 四层抗反射薄膜 153 {]`O $S 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $
-;,O8yR 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 IEHAPt' 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 &d=j_9 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U ^[<G6<9] 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 9FK%"s` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5_{C \S`T 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 g;vG6!;E\ 8.17 1/4波长堆栈 162 ?PLf+S 8.18 陷波滤波器 163 LY/K,6^a 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Q!MS_
#O 8.20 褶皱 165 Q
R;Xj3]v 8.21 消偏振分光器1 169 ,LX] 8.22 消偏振分光器2 171 _z~|*7@ 8.23 消偏振立体分光器 172 tyNT1F{ 8.24 消偏振截止滤光片 173 a*!wiTGf 8.25 立体偏振分束器1 174 ^lf{IM-Y 8.26 立方偏振分束器2 177 BG/M3 8.27 相位延迟器 178 ;i> |5tEy 8.28 红外截止器 179 ,{=# 8.29 21层长波带通滤波器 180 b<NI6z8\ 8.30 49层长波带通滤波器 181 2{% U\^- 8.31 55层短波带通滤波器 182 Q"S;r1 D 8.32 47 红外截止器 183 *ax$R6a#X 8.33 宽带通滤波器 184 hr(E,TAe 8.34 诱导透射滤波器 186
?x=;?7 8.35 诱导透射滤波器2 188 V'^Hn?1^ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ~+7q.XL$$K 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 b+9M? k" 8.35 增益平坦滤波器 193 D `c
YQ- 8.38 啁啾反射镜 1 196 =Z2Cg{z 8.39 啁啾反射镜2 198 rgJKXl;@s 8.40 啁啾反射镜3 199 {rBS52,Z# 8.41 带保护层的铝膜层 200 Q!iM7C!8 8.42 增加铝反射率膜 201 }$?xwcPU 8.43 参考文献 202 a"4j9cO 9 多层膜 204 &82Za% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 QJ\
o"c 9.2 内部透过率 204 tU.Y$%4 9.3 内部透射率数据 205 6=0"3%jn@ 9.4 实例 206 $i;%n1VBg 9.5 实例2 210 q ^Un,h64t 9.6 圆锥和带宽计算 212 >hQeu1 ~W 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 3dTz$s/[ 10 光学薄膜的颜色 216 Ko|nF-r_ 10.1 导言 216 Qo+I98LX[ 10.2 色彩 216 jhOQ)QE| 10.3 主波长和纯度 220 >|'u:`A 10.4 色相和纯度 221 f.-b.nNf 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 UJ* D 10.6 色差 226
p"\Z@c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 F[RQ6PW 10.8 颜色渲染指数 234 @(<C { 10.9 色差计算 235 c@>Tzk%?" 10.10 参考文献 236 m-Z<zEQ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 dj>zy 11.1 短脉冲 238 3|x*lmit 11.2 群速度 239 7u73v+9qn: 11.3 群速度色散 241 +}[M&D 11.4 啁啾(chirped) 245 WdI9))J2S 11.5 光学薄膜—相变 245 ia6%>^ 11.6 群延迟和延迟色散 246 8w/$!9[ 11.7 色度色散 246 7uQiP&v 11.8 色散补偿 249 -j9Wf= 11.9 空间光线偏移 256 .5*5S[ 11.10 参考文献 258 c&me=WD 12 公差与误差 260 Is57)(^.- 12.1 蒙特卡罗模型 260 =z#6mSx|W
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?gD^K,A Hd 12.2.1 误差工具 267 X?whyD)vE@ 12.2.2 灵敏度工具 271 7vZtEwC)n 12.2.2.1 独立灵敏度 271 $FXlH;_7 12.2.2.2 灵敏度分布 275 pZHx 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 wr>[Eo@%\ 12.3 参考文献 276 Z$jqB~=^e 13 Runsheet 与Simulator 277 d^h`gu~3 13.1 原理介绍 277 v_^>*Vm* 13.2 截止滤光片设计 277 {02$pO 14 光学常数提取 289 fSc)PqLP 14.1 介绍 289 b$FK}D5 14.2 电介质薄膜 289 !y_4.&C{ 14.3 n 和k 的提取工具 295 +guCTGD: 14.4 基底的参数提取 302 v
*icoj 14.5 金属的参数提取 306 m-?hHdO 14.6 不正确的模型 306 <OgwA$abl% 14.7 参考文献 311 Ql>bsr} 15 反演工程 313 P! cfe@;<4 15.1 随机性和系统性 313 / vgEDw 15.2 常见的系统性问题 314 |Yb]@9>vn 15.3 单层膜 314 oD<aWZ"Z 15.4 多层膜 314 YOOcHo.F 15.5 含义 319 R`
g'WaDk 15.6 反演工程实例 319 Aq5CF`e{ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _ \&vA5- 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2 nra@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 wCQ.?*7-9Q 16.1 光学性质的热致偏移 329 nMM:Tr 16.2 应力工具 335 pSa
pF)1> 16.3 均匀性误差 339 kB[l6` 16.3.1 圆锥工具 339 ]?S@g'Jd0Q 16.3.2 波前问题 341 O}s Mqh 16.4 参考文献 343 Dc@OrQu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 >:J7u*>$ ' 17.1 引言 345 S$N!Dj@e; 17.2 操作数 345 !(gMr1}w 18 如何在Function中编写脚本 351 '8w}m8{y 18.1 简介 351 Uv) B 18.2 什么是脚本? 351 je;C}4 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 y:',)f } 18.4 基础 352 x`:c0y9uG 18.4.1 Classes(类别) 352 "f~*4g 18.4.2 对象 352 ;SgPF:T>Q 18.4.3 信息(Messages) 352 i2P:I A|@ 18.4.4 属性 352 u_HCXpP!Q 18.4.5 方法 353 ]A=yj@o$xN 18.4.6 变量声明 353 w%1-_;.aU6 18.5 创建对象 354 O\J{4EB@. 18.5.1 创建对象函数 355 N?EeT}m _ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 d%Ls'[Y^_0 18.5.3 丢弃对象 356 3p1U,B} 18.5.4 总结 356 G)IK5zCDd 18.6 脚本中的表格 357 x?7z15\ 18.6.1 方法1 357 CSwPL>tUV 18.6.2 方法2 357 Np"~1z.(b 18.7 2D Plots in Scripts 358 )TfX} 18.8 3D Plots in Scripts 359 *qZBq&7tb 18.9 注释 360 "l 8YD&q 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =28ZSo^ 18.11 一个更高级的脚本 362 :u]QEZ@@ 18.12 <esc>键 364 4iDqd 18.13 包含文件 365 }Y"vUl_I2 18.14 脚本被优化调用 366 6bDizS} 18.15 脚本中的对话框 368 x,NV{uG$n 18.15.1 介绍 368 HDO_r(i 18.15.2 消息框-MsgBox 368 |b4f3n 18.15.3 输入框函数 370 w8D6j%C 18.15.4 自定义对话框 371 2kcDJ{( 18.15.5 对话框编辑器 371 g4 3(N!@g 18.15.6 控制对话框 377 -}1TT@ 18.15.7 更高级的对话框 380 0`/CoP<U 18.16 Types语句 384 \`0s %F:V} 18.17 打开文件 385 esM r@Oc 18.18 Bags 387 ]JR2Av 18.13 进一步研究 388 GdYQq. 19 vStack 389 MTip4L W9 19.1 vStack基本原理 389 @# =yC.s 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :6:,s#av 19.3 五棱镜 393 bU \T 19.4 光束距离 396 T65"?=<EB 19.5 误差 399 2w}l!'ue 19.6 二向分色棱镜 399 ^z`d2it 19.7 偏振泄漏 404 v|MT^. 19.8 波前误差—相位 405 j&u/T 19.9 其它计算参数 405 LGK&&srJs 20 报表生成器 406 ||L^yI~_d 20.1 入门 406 fK _uuw4 20.2 指令(Instructions) 406 '|<r[K 20.3 页面布局指令 406 ]N2!
'c 20.4 常见的参数图和三维图 407 AJ3%Z$JJ;s 20.5 表格中的常见参数 408 z=TOGP( 20.6 迭代指令 408 #KNl<V+c}1 20.7 报表模版 408 )5NWUuH 5 20.8 开始设计一个报表模版 409 OdpHF~(Y/ 21 一个新的project 413 ^xgqs $`7 21.1 创建一个新Job 414 + 9I|Fm 21.2 默认设计 415 :uJHFF xg 21.3 薄膜设计 416 8aJJ??o{ 21.4 误差的灵敏度计算 420 t3AmXx 21.5 显色指数计算 422 {+]tx46$ 21.6 电场分布 424 j#U,zsv: 后记 426 p~NHf\ )PkW,214# ~{$c| 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 CpB,L +|x{?%.O 《Essential Macleod中文手册》 XG!6[o; rog1 目 录 [mQdc?n\ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 PCHKH 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 mE=Ur 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 !"o\H(siT 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 i&8|@CACb 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 l,~`o$_ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 :+
mULUi 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 } '?qUy3x 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 eY-h<K)y 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 f[
2PAz 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 6Xz d>5x 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 <5^m`F5 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 6#AEVRJKU@ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 U{j4FlB 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 |Y8}*C\M.h 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 ?pcbso 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 )&O6d . 有兴趣可以扫码加微联系 [2YPV\=
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