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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) AWDjj\Q4 vck$@3* 内容简介 yq}{6IyZ^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 m?j!0> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &rl>{Uvq 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ?R(3O1,v^ -^b^ 6=# 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 LasH[:QQQ 目录 e%U*~{m+ Preface 1 zK 2wLX 内容简介 2 *[H+8/n_ 目录 i F^YIZ,=p! 1 引言 1 ]~^/w}(K 2 光学薄膜基础 2 nIjQLx 2.1 一般规则 2 nnG2z@$- 2.2 正交入射规则 3 Q
8rtZ 2.3 斜入射规则 6 O i0;.<kX 2.4 精确计算 7 dM UDLr- 2.5 相干性 8 VTWE-:r 2.6 参考文献 10 #%9]Lq 3 Essential Macleod的快速预览 10
YBD {l 4 Essential Macleod的特点 32 UTQKlwPa 4.1 容量和局限性 33 Q:gn>/ 4.2 程序在哪里? 33 J31M:< 4.3 数据文件 35 ]M(mq`K 4.4 设计规则 35 SR&
mHI-f0 4.5 材料数据库和资料库 37 pQ
6#L 4.5.1材料损失 38 EaD@clJS 4.5.1材料数据库和导入材料 39 n@;x!c< + 4.5.2 材料库 41 m0Syxb 4.5.3导出材料数据 43 0s|LK 4.6 常用单位 43 eeU$uR 4.7 插值和外推法 46 pV6HQ:y1 4.8 材料数据的平滑 50 dz|*n'd 4.9 更多光学常数模型 54 $ rYS 4.10 文档的一般编辑规则 55 xLI{=sL 4.11 撤销和重做 56 =
Y-Ne6a 4.12 设计文档 57 Pp_3 nyQ 4.10.1 公式 58 1fFb7n~3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 1N!g`=} 4.10.3 沉积密度 59 o0G`Xn 4.10.4 平行和楔形介质 60 U"+ ry.3` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Zd U{`>v 4.10.4 性能 61 66<\i ltUQ 4.10.5 保存设计和性能 64 Mlw9#H6 4.10.6 默认设计 64 aT!9W'uY 4.11 图表 64 ox_h9=$- 4.11.1 合并曲线图 67 em[F| 4.11.2 自适应绘制 68 ph?0I:eU 4.11.3 动态绘图 68 g>xUS_d> 4.11.4 3D绘图 69 U%DF!~n 4.12 导入和导出 73 G}#/`]o!K 4.12.1 剪贴板 73 4E-A@FR 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =>0M3 Qh{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 I'9s=~VfY, 4.13 背景 77 4)HWPX 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 g]<Z]R` 4.15 生成Rugate 84 6b]d| 4.16 参考文献 91 C9U{^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 rz}l<t~H 5.1 Jobs 92 4l}M
i 5.2 创建一个新Job(工作) 93 N>fYH.c3Y 5.3 输入材料 94 yVI;s|jG 5.4 设计数据文件夹 95 g!p_c 5.5 默认设计 95 n
[Xzo} 6 细化和合成 97 ]cqZ!4?_ 6.1 优化介绍 97 9G&l qfX: 6.2 细化 (Refinement) 98 S"^KJUUc 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]KK ZbEO 6.4 目标和评价函数 101 %DRy&k/T 6.4.1 目标输入 102 6L2*gO:r? 6.4.2 目标 103 Z;y}gv/{ 6.4.3 特殊的评价函数 104 tOM3Gs~o6z 6.5 层锁定和连接 104 cL)rjty2 6.6 细化技术 104 I0H Y#z% 6.6.1 单纯形 105 DV[ Jbl:) 6.6.1.1 单纯形参数 106 gQh Ccv 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 2v9s@k/k)6 6.6.2.1 Optimac参数 108 vvsNWA 6.6.3 模拟退火算法 109 kE_@5t7O{
6.6.3.1 模拟退火参数 109 +%#MrNM' 6.6.4 共轭梯度 111 03QEXm~|Q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 /GuSIZg"_ 6.6.5 拟牛顿法 112 aT1CpY=T|. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {#*? S>DA 6.6.6 针合成 113 a^XTW7]r 6.6.6.1 针合成参数 114 ;WS7. 6.6.7 差分进化 114 ]v@ tZ} 6.6.8非局部细化 115 [B~zoB( 6.6.8.1非局部细化参数 115 V1`5D7Z 6.7 我应该使用哪种技术? 116 JQ@`EV9, 6.7.1 细化 116 k~jKJb-_ 6.7.2 合成 117 7 xp1\j0 6.8 参考文献 117 kh?#={]Z 7 导纳图及其他工具 118 e.}3OK 7.1 简介 118 R)d99j^" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4ljvoJ}xjr 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^?6
W< 7.2.2 导纳图 120 g;-+7ViIr 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 h#@4@x{ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Ie2w0Cs28 7.5 斜入射导纳图 141 gl9pgY1ni 7.6 对称周期 141 LN.Bd, 7.7 参考文献 142 }r~v,KDb 8 典型的镀膜实例 143 /G)KkBC 8.1 单层抗反射薄膜 145
_
7BF+*T 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 X&9^&U=e 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 FU5LYXCs 8.4 W-膜层 148 ?K4.L?D#J 8.5 V-膜层 149 ?79SP p)oo 8.6 V-膜层高折射基底 150 miG;]-"^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 V<HOSB7 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 v#:+n+y\z 8.9 四层抗反射薄膜 153 \Z\IK 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 5y(t`Fmt
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 1=/doo{^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 =wIdC3Ph 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 aT?p> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 m6_~`)R8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 )e|$K=
D 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8Fd1;G6 8.17 1/4波长堆栈 162 &h7smZO5j 8.18 陷波滤波器 163 _Sly7_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ReI=4Jq11 8.20 褶皱 165 +QIGR'3u 8.21 消偏振分光器1 169 QH7V_#6bKP 8.22 消偏振分光器2 171 L876$ 8.23 消偏振立体分光器 172 L9{mYA]q 8.24 消偏振截止滤光片 173 U^[cYTG 8.25 立体偏振分束器1 174 1A%N0#_(Md 8.26 立方偏振分束器2 177 &547`* 8.27 相位延迟器 178 B_SZ?o 8.28 红外截止器 179 OX)#F'Sl} 8.29 21层长波带通滤波器 180 7m|`tjQ1 8.30 49层长波带通滤波器 181 L,C? gd@" 8.31 55层短波带通滤波器 182 Tn4W\?R 8.32 47 红外截止器 183 !paN`Fz\a 8.33 宽带通滤波器 184 ZL4l
(&" 8.34 诱导透射滤波器 186 [Krm .) 8.35 诱导透射滤波器2 188 wO^$!zB W 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7oZ@<QP' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 lfxuc7Rdla 8.35 增益平坦滤波器 193 (
oQ'4,F 8.38 啁啾反射镜 1 196 -Q<z1vz 8.39 啁啾反射镜2 198 MB]#%g& 8.40 啁啾反射镜3 199 DO7-=74= 8.41 带保护层的铝膜层 200 J6)efX)j-p 8.42 增加铝反射率膜 201 ZR!cQ oV= 8.43 参考文献 202 |MTpU@`p5 9 多层膜 204 l5FuMk- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 94~"U5oQ: 9.2 内部透过率 204 =oo[ Eyr 9.3 内部透射率数据 205 a4A`cUt 9.4 实例 206 r+t ,J|V 9.5 实例2 210 z$9@j2
9.6 圆锥和带宽计算 212 0M$#95n 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 c@RT$Q9j 10 光学薄膜的颜色 216 ZhhI@_sz 10.1 导言 216 >EBZ$ X 10.2 色彩 216 ;\<""Yj@l 10.3 主波长和纯度 220 p&i.)/ 10.4 色相和纯度 221 nGq]$h 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 d>lt 10.6 色差 226 G;2R]H#p 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 wVx,JL5Jr 10.8 颜色渲染指数 234 XOu+&wOu 10.9 色差计算 235 J?._/RL8- 10.10 参考文献 236 W*YxBn4 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Ap11b|v 11.1 短脉冲 238 yJDeX1+, 11.2 群速度 239 8 ne/=N|, 11.3 群速度色散 241 ;$vLq&(} 11.4 啁啾(chirped) 245 nAIH`L"X 11.5 光学薄膜—相变 245 !cRfZ 11.6 群延迟和延迟色散 246 gzVtxDh 11.7 色度色散 246 Z8&4z.6_ 11.8 色散补偿 249 dX_!0E[c 11.9 空间光线偏移 256 7sXy`+TZ-> 11.10 参考文献 258 D,c!#(v cK 12 公差与误差 260 9 0X?1 12.1 蒙特卡罗模型 260 qOW#Q:T 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 5,S,\O9>X 12.2.1 误差工具 267 j3
6,w[Y: 12.2.2 灵敏度工具 271 inYM+o!Ub 12.2.2.1 独立灵敏度 271 2Oyy`k
12.2.2.2 灵敏度分布 275 #X#8ynt 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 qv
*3A?uzr 12.3 参考文献 276 K'x4l,rq 13 Runsheet 与Simulator 277 St6aYK 13.1 原理介绍 277 q<n[.u1@ 13.2 截止滤光片设计 277 a* D,*C5} 14 光学常数提取 289 9*4 . 14.1 介绍 289 YnSbw3U.I 14.2 电介质薄膜 289 OFL|RLiD 14.3 n 和k 的提取工具 295 >L^xlm%7o 14.4 基底的参数提取 302 gdl| ^*tc 14.5 金属的参数提取 306 S"zk!2@C 14.6 不正确的模型 306 xZX`%f- 14.7 参考文献 311 `3J':Vh 15 反演工程 313 jk )Vb 15.1 随机性和系统性 313 Nu@5 kwH 15.2 常见的系统性问题 314 XlVc\? 15.3 单层膜 314 PkTfJQP8 15.4 多层膜 314 'qjX$]H 15.5 含义 319 @@Q6TB 15.6 反演工程实例 319 wtSvJI~o) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %4,xx'` 15.6.2 反演工程提取折射率 327 U2bzUxK 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 f27)v(EJ 16.1 光学性质的热致偏移 329 \^9pW 2v 16.2 应力工具 335 dXl]Pe|v 16.3 均匀性误差 339 BBxc*alG0 16.3.1 圆锥工具 339 #:#Dz.$L 16.3.2 波前问题 341
r@k"4ce- 16.4 参考文献 343 gY!N3 *: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5X0QxnnV 17.1 引言 345 r?pZ72q 17.2 操作数 345 OqBC/p
B 18 如何在Function中编写脚本 351 )B ;M
18.1 简介 351 P[FV2R~ 18.2 什么是脚本? 351 }%$OU = T 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 O=aw^|oj] 18.4 基础 352 it)ZP H 18.4.1 Classes(类别) 352 :k~dj C 18.4.2 对象 352 ox[ .)v 18.4.3 信息(Messages) 352 oSY7IIf%L 18.4.4 属性 352 y@3Q;~l, 18.4.5 方法 353 n3$gx,KL 18.4.6 变量声明 353 \,R!S /R# 18.5 创建对象 354 )Q]w6he3 18.5.1 创建对象函数 355 &cc9}V)M 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 |c0, 18.5.3 丢弃对象 356 cvfUyp;P 18.5.4 总结 356 eLV.qLBUs 18.6 脚本中的表格 357 Ns<?b;aK 18.6.1 方法1 357 6aY>lkp 18.6.2 方法2 357 j0x5@1`6G 18.7 2D Plots in Scripts 358 & fu z2xv 18.8 3D Plots in Scripts 359 4&{!M
_ 18.9 注释 360 3+>OGwfQ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 g*y/j] 18.11 一个更高级的脚本 362 99u/fk L 18.12 <esc>键 364 d2~l4IL)~ 18.13 包含文件 365 >3PMnI 18.14 脚本被优化调用 366 @7W?8 18.15 脚本中的对话框 368 6\n?48x} 18.15.1 介绍 368 >b48>@~bY 18.15.2 消息框-MsgBox 368 L^FcS\r; 18.15.3 输入框函数 370 ?Vc0) 18.15.4 自定义对话框 371 9i=B 18.15.5 对话框编辑器 371 DnFjEP^ 18.15.6 控制对话框 377 w2OsLi Sv 18.15.7 更高级的对话框 380 AbfZ++aJ 18.16 Types语句 384 NiA4JgM]v 18.17 打开文件 385 fx)KNm8Lx 18.18 Bags 387 =7
w>wW- 18.13 进一步研究 388 R0wf#%97 19 vStack 389 I]R9HGJNlJ 19.1 vStack基本原理 389 I^_NC&m 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 zkexei4^< 19.3 五棱镜 393 G\=_e8( 19.4 光束距离 396 | -+zofx 19.5 误差 399 $UvPo0{ 19.6 二向分色棱镜 399 !^WHZv4 19.7 偏振泄漏 404 P!e= b-T 19.8 波前误差—相位 405 &|
!B!eOY 19.9 其它计算参数 405 vHcqEV|P/n 20 报表生成器 406 dv!r. 20.1 入门 406 M0w/wt| 20.2 指令(Instructions) 406 xu\eX x6H 20.3 页面布局指令 406 bL1m'^r 20.4 常见的参数图和三维图 407 sgAzL 20.5 表格中的常见参数 408 ;>>C)c4V " 20.6 迭代指令 408 e2w&&B- 20.7 报表模版 408 D4Etl5k 20.8 开始设计一个报表模版 409 g"K>5Cb 21 一个新的project 413 KX4],B5 + 21.1 创建一个新Job 414 Ck'aHe22' 21.2 默认设计 415 `1+F,&e 21.3 薄膜设计 416 S3Y2O
x 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;ME)Og 21.5 显色指数计算 422 JOD/Raq.1k 21.6 电场分布 424 obo&1Uv,/ 后记 426 h|)vv4-d| :]WqfR)# &<]<a_pw 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 BKIjNV3 lzhqcL" 《Essential Macleod中文手册》 )T|L,Lp Eu,`7iQ?( 目 录 uQ/h'v ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 7%;_kFRV 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 ?LP9iY${ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 1m@^E:w 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 w>e
s 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 MX|H}+\ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 DjLL|jF 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 rwf^,r"r 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 xDLG=A%]z 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 0
n
vSvk 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 w$ fJ4+ 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 se9>.}zZN 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 Z`Z5sj 4{ 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297
F0lOlS 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 9`B$V##-L 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 YY5!_k 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 D Ml?o:l 有兴趣可以扫码加微联系 _NZ@4+aW
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