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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) !@<@QG- }PQSCl^I 内容简介 MziZN^( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @>fO;* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .blft,' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]osx. o4%Vt} K 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 + sywgb) 目录 Z@,PZ Preface 1 ~z
K@pFeH 内容简介 2 juMxl 目录 i QGr\I/Y 1 引言 1 w;c#drY7S 2 光学薄膜基础 2 l{6` k<J( 2.1 一般规则 2 aM{@1mBm 2.2 正交入射规则 3 UV']NHh 2.3 斜入射规则 6 n^AP"1l8?0 2.4 精确计算 7 Z.:<TrN 2.5 相干性 8 Ln=>@ 2.6 参考文献 10 | 7 m5P@X 3 Essential Macleod的快速预览 10 sB( `[5I 4 Essential Macleod的特点 32 J0Hm)* 4.1 容量和局限性 33 Y@]);MyL 4.2 程序在哪里? 33 G(As%r] 4.3 数据文件 35 9p2>`L 4.4 设计规则 35
!@pV)RUv7 4.5 材料数据库和资料库 37 df4sOqU 4.5.1材料损失 38 eu}Fd@GO 4.5.1材料数据库和导入材料 39 lk_s!<ni 4.5.2 材料库 41 |^Ew< 4.5.3导出材料数据 43 ,@Fgr(?'`> 4.6 常用单位 43 E kBae= 4.7 插值和外推法 46 m<4s*q0\i 4.8 材料数据的平滑 50 r(:
8!=~K 4.9 更多光学常数模型 54 3>Q@r>c 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~V2ajM1Z&O 4.11 撤销和重做 56 %2Epgh4? 4.12 设计文档 57 lf%b0na?r 4.10.1 公式 58 -9OMn}w/* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 k,,!P"" 4.10.3 沉积密度 59 K85_>C%g 4.10.4 平行和楔形介质 60 b/sOfQ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 xH<'GB) 4.10.4 性能 61 :[Qp2Gg O\ 4.10.5 保存设计和性能 64 bZ>&QM 4.10.6 默认设计 64 D=r- 4.11 图表 64 F!7f_m0= 4.11.1 合并曲线图 67 Opv1B2 4.11.2 自适应绘制 68 CAUijMI@ 4.11.3 动态绘图 68 7qP4B9S
4.11.4 3D绘图 69 (2z%U 4.12 导入和导出 73 atY*8I| 4.12.1 剪贴板 73 /Hv*K&}M 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 J3;Tm~KJ_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 g1ZV&X=2 4.13 背景 77 ^|wT_k\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 f}[H
`OF 4.15 生成Rugate 84 @Ex;9F,Q 4.16 参考文献 91 cz2,",+~ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -a
*NbH 5.1 Jobs 92 Gn]d;5P= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 LthGZ|> 5.3 输入材料 94 )xB$LJM8 5.4 设计数据文件夹 95 7p)N_cJD 5.5 默认设计 95 br0u@G 6 细化和合成 97 =G(*gx 6.1 优化介绍 97 LGIalf*7 6.2 细化 (Refinement) 98 QU:EY'2 6.3 合成 (Synthesis) 100 xC-BqVJ%_T 6.4 目标和评价函数 101 {Q)dU-\ 6.4.1 目标输入 102 E{uf\Fc 6.4.2 目标 103 5k69F 6.4.3 特殊的评价函数 104 kg<P t > 6.5 层锁定和连接 104 $+Vmwd; 6.6 细化技术 104 }6).|^]\' 6.6.1 单纯形 105 eSl]8BX_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 @]f3|>I 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 |GtY*| 6.6.2.1 Optimac参数 108 k, f)2< 6.6.3 模拟退火算法 109 0Cl,8P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 H+a~o=/cR 6.6.4 共轭梯度 111 zI:(33) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 -yoAxPDW 6.6.5 拟牛顿法 112
rFo\+// 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 UP\C"\ 6.6.6 针合成 113 lR:?uZ$ 6.6.6.1 针合成参数 114 :
(gZgMT 6.6.7 差分进化 114 ! .AhzU1%Y 6.6.8非局部细化 115 GuT6K}~|D 6.6.8.1非局部细化参数 115 LfEvc2
v=g 6.7 我应该使用哪种技术? 116 czI{qi5N 6.7.1 细化 116 )!e3.C|V1W 6.7.2 合成 117 EZ<80G 6.8 参考文献 117 eOt%x Tx 7 导纳图及其他工具 118 RdgVBG#Z1 7.1 简介 118 :X_CFW 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 jyiFM5& 7.2.1 四分之一波长规则 119 Bz+.Qa+ 7.2.2 导纳图 120 ahA{B1M)n 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 7rcA[)<' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 # :#M{1I 7.5 斜入射导纳图 141 b6"}"bG 7.6 对称周期 141 87i" 7.7 参考文献 142 thuRNYv< 8 典型的镀膜实例 143 pz7H To;p 8.1 单层抗反射薄膜 145 1Dq<{;rWb 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 daslaa_A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
[ "a"x>X& 8.4 W-膜层 148 %ISq>A)% 8.5 V-膜层 149 xYI;V7 8.6 V-膜层高折射基底 150 x?
N.WABr; 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 /Pvk),ca 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 @RGDhwS47 8.9 四层抗反射薄膜 153 9_ZBV{
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 U&P{?>{u 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8Atq,GcG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 sw$2d 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }_}KVI 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 i@5)`<? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ! Z;T-3^. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _ 5"+Dv 8.17 1/4波长堆栈 162 ZIpD{ >/ 8.18 陷波滤波器 163 D`pQ7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 IkDiT63]I 8.20 褶皱 165 (wuaxo: 8.21 消偏振分光器1 169 ?[)yGRzO2 8.22 消偏振分光器2 171 KVR~jF% 8.23 消偏振立体分光器 172 S`m,S4-eD 8.24 消偏振截止滤光片 173 l!?yu]Yon 8.25 立体偏振分束器1 174 >{5
p0 8.26 立方偏振分束器2 177 ?mx\eX{ 8.27 相位延迟器 178 #G#g|x*V 8.28 红外截止器 179 2q PhLCeZ 8.29 21层长波带通滤波器 180 E!J=8C.: 8.30 49层长波带通滤波器 181 [A5W+pDm 8.31 55层短波带通滤波器 182 kz B\'m,l 8.32 47 红外截止器 183 '\"G{jU@ 8.33 宽带通滤波器 184 gCuAF$o 8.34 诱导透射滤波器 186 "(`2eXRn 8.35 诱导透射滤波器2 188 hJ*Ihwn| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }D*yr3b 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
>&U@f 8.35 增益平坦滤波器 193 &!L:"]=+ 8.38 啁啾反射镜 1 196 gL3iw!7 8.39 啁啾反射镜2 198 9b"MQ[B4#a 8.40 啁啾反射镜3 199 pKT2^Q}-h 8.41 带保护层的铝膜层 200 Kqg!,Sn| 8.42 增加铝反射率膜 201 lnh+a7a) 8.43 参考文献 202 NHm]`R, 9 多层膜 204 (R*j|HAw`X 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 !'G~k+ 9.2 内部透过率 204 w1`QIv 9.3 内部透射率数据 205 Xg7|JS! 9.4 实例 206 Sk}{E@ 9.5 实例2 210 ,.tfWN%t\ 9.6 圆锥和带宽计算 212 DinPxtT?a 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;H'gT+t<c 10 光学薄膜的颜色 216 D`yEwpV^ 10.1 导言 216 Vh|\ _~9 10.2 色彩 216 $}GTG'*. 10.3 主波长和纯度 220 IH9.F 10.4 色相和纯度 221 7Nzbz3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -WJ?:?' 10.6 色差 226 ^D{lPu
3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .}B(&*9,v 10.8 颜色渲染指数 234 x,n,Qlb 10.9 色差计算 235 o0bM=njok 10.10 参考文献 236 U{@5*4 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 lpB3&H8& 11.1 短脉冲 238 K`g7$r)U[ 11.2 群速度 239 wkUlrL/~ 11.3 群速度色散 241 c{3wk7 11.4 啁啾(chirped) 245 T;5r{{ 11.5 光学薄膜—相变 245 Q~{H@D`< 11.6 群延迟和延迟色散 246 Oz:
*LZ 11.7 色度色散 246 2`GOJ,$ 11.8 色散补偿 249 !C4!LZ0A 11.9 空间光线偏移 256 TZR)C P5 11.10 参考文献 258 [ic 870_ 12 公差与误差 260 _)T5lEFl= 12.1 蒙特卡罗模型 260 '' O 7=\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 J aTp}# 12.2.1 误差工具 267 P!G858V( 12.2.2 灵敏度工具 271 c0&Rg# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 T .FI'wy 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ar9]"s+' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 6!'3oN{ 12.3 参考文献 276 9h4({EE2t 13 Runsheet 与Simulator 277 #Lv2Zoi>G 13.1 原理介绍 277 h:Gu`+D>W 13.2 截止滤光片设计 277 ~\LCvcY"X 14 光学常数提取 289 Y_woKc* 14.1 介绍 289 2;a(8^n 14.2 电介质薄膜 289 .Z:zZ_Ev 14.3 n 和k 的提取工具 295 ,'xYlH3s 14.4 基底的参数提取 302 y*pUlts< 14.5 金属的参数提取 306 /1mW|O>0 14.6 不正确的模型 306 mpPdG 14.7 参考文献 311 E:9"cxx 15 反演工程 313 SCvVt 15.1 随机性和系统性 313 CHrFM@CM 15.2 常见的系统性问题 314 ( +pLA"xq 15.3 单层膜 314 AP77a*@8 15.4 多层膜 314 n8*;lK8 15.5 含义 319
)M6w5g 15.6 反演工程实例 319 vVE2m=!v 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 79`AM
X[b 15.6.2 反演工程提取折射率 327 AC>`'Gx 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Tb3J9q+ya 16.1 光学性质的热致偏移 329 J5^'HU3 16.2 应力工具 335 Zt.'K(]2h 16.3 均匀性误差 339 j@YU|-\qh 16.3.1 圆锥工具 339
f7m%|v! 16.3.2 波前问题 341 IiY/(N+J 16.4 参考文献 343 +L7n< |