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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) dt,Z^z+"E n=C"pH# 内容简介 $--+M
D29Q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 geqP. MR 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 rzn,NFI 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 9J?s:"j 0.0-rd> 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 <Nqbp 目录 megTp Preface 1 i2c|_B 内容简介 2 c>{QTI:] 目录 i t4G$#~ 1 引言 1 y^}uL|= 2 光学薄膜基础 2 *wj5( B<y 2.1 一般规则 2 ktx| c19 2.2 正交入射规则 3 <?5|(Q"@: 2.3 斜入射规则 6 Q= xXj'W- 2.4 精确计算 7 }UB@FRPF 2.5 相干性 8 kVs YB 2.6 参考文献 10 O.ce= E 3 Essential Macleod的快速预览 10 2wIJ;rh 4 Essential Macleod的特点 32 `HkNO@N[ 4.1 容量和局限性 33 yG/!K uA 4.2 程序在哪里? 33 B6k<#-HAT 4.3 数据文件 35 ]4en|Aq 4.4 设计规则 35 aE9Y
|6 4.5 材料数据库和资料库 37 &k%>u[Bo 4.5.1材料损失 38 bNVeL$' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9tPRQM7 4.5.2 材料库 41 :vG0 l\ 4.5.3导出材料数据 43 D\-\U
E/ 4.6 常用单位 43 {DQ%fneN4 4.7 插值和外推法 46 qE8aX*A1/ 4.8 材料数据的平滑 50 *1<kYrB 4.9 更多光学常数模型 54 {ptHk<K:) 4.10 文档的一般编辑规则 55 +|,4g_(j 4.11 撤销和重做 56 #Ir?v 4.12 设计文档 57 poxF`a6e+ 4.10.1 公式 58 9"]#.A^Q* 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 n@p@@ 4.10.3 沉积密度 59 +lqGf 4.10.4 平行和楔形介质 60 }\?9Prsd 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 G#GZt\)F 4.10.4 性能 61
r9})~>
4.10.5 保存设计和性能 64 ~s'tr&+ 4.10.6 默认设计 64 oIj=ba(n1 4.11 图表 64 q_h (D/g 4.11.1 合并曲线图 67 ;x/eb g
4.11.2 自适应绘制 68 /GC&@y0yi 4.11.3 动态绘图 68 j/d}B_2 4.11.4 3D绘图 69 N8dxgh!, 4.12 导入和导出 73 7}UG&t{ 4.12.1 剪贴板 73 Z%qtAPd 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~$g: 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 kygw}|, N 4.13 背景 77 ?Z7QD8N
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 QH9t |l 4.15 生成Rugate 84 nm,LKS7 4.16 参考文献 91 4}uOut 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 {4G/HW28 5.1 Jobs 92 5?^L)) 5.2 创建一个新Job(工作) 93 _V-K yK 5.3 输入材料 94 1^}I?PbqV 5.4 设计数据文件夹 95 Tn#Co$< 5.5 默认设计 95 *(F`NJ 3 6 细化和合成 97 wwB3m& 6.1 优化介绍 97 dWvVK("Wj 6.2 细化 (Refinement) 98 gVOAB-nw 6.3 合成 (Synthesis) 100 rTIu' 6.4 目标和评价函数 101 ZP<<cyY 6.4.1 目标输入 102 pi?MAE*f 6.4.2 目标 103 xf]K 6.4.3 特殊的评价函数 104 +1!iwmch> 6.5 层锁定和连接 104 sI!H=bp-8 6.6 细化技术 104 67II9\/ 6.6.1 单纯形 105 mLxgvp 6.6.1.1 单纯形参数 106 05`"U#`: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 64zOEjra 6.6.2.1 Optimac参数 108 -Lh7!d 6.6.3 模拟退火算法 109 4VwF\ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %M@K(Qu 6.6.4 共轭梯度 111 `GCoi ?n7 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 rGyAzL] 6.6.5 拟牛顿法 112 YB5"i9T2 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 6QX m]<
6.6.6 针合成 113 E^axLp>(I 6.6.6.1 针合成参数 114 J+u}uN@ 6.6.7 差分进化 114 6st
6.6.8非局部细化 115 (j&: 6.6.8.1非局部细化参数 115 /*mF:40M; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 $')C& 6.7.1 细化 116 [ >O!~ 6.7.2 合成 117 *9aJZWf>V 6.8 参考文献 117 |`5IP8Z 7 导纳图及其他工具 118 N T`S)P*? 7.1 简介 118 6Yj{%
G 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ? nd:
:O 7.2.1 四分之一波长规则 119 !*N9PUM 7.2.2 导纳图 120 AG N/kx 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 4I$Y(E} 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 L=r*bq 7.5 斜入射导纳图 141 E#B-JLMGl 7.6 对称周期 141 +WH\,E 7.7 参考文献 142 ]ordqulq1 8 典型的镀膜实例 143 @Jzk2,rI 8.1 单层抗反射薄膜 145 ]:|B). 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Z7;V}[wie 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 HEF
e? 8.4 W-膜层 148 L8VOiK=, 8.5 V-膜层 149 ZSC*{dD$E 8.6 V-膜层高折射基底 150 Ax;[ Em?I 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ju"z 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 m9 h '!X< 8.9 四层抗反射薄膜 153 1qRquY 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 $Habhw 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 /Nf{;G!kg 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 qs5>`skX 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )U@9dV7u 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 N~v6K}`} 8.15十五层宽带抗反射膜 159 B>,eHXW 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
=@HS 8.17 1/4波长堆栈 162 S
/hx\TzC 8.18 陷波滤波器 163 IOy0WHl| 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x'GB#svi 8.20 褶皱 165 Joow{75K 8.21 消偏振分光器1 169 uoS:-v}/Y~ 8.22 消偏振分光器2 171 +V3mF_s|z 8.23 消偏振立体分光器 172 v"USD<
8.24 消偏振截止滤光片 173 U\KMeaF5e- 8.25 立体偏振分束器1 174 ]juPm8eF 8.26 立方偏振分束器2 177 2c `m= 8.27 相位延迟器 178 X?5{2ulrI 8.28 红外截止器 179 -@pjEI 8.29 21层长波带通滤波器 180 2HE@!*z9H 8.30 49层长波带通滤波器 181 X0/slOT 8.31 55层短波带通滤波器 182 77P\:xc 8.32 47 红外截止器 183 i}-uK,^ 8.33 宽带通滤波器 184 (jT)o,IW& 8.34 诱导透射滤波器 186 "tJ+v*E 8.35 诱导透射滤波器2 188 smP4KC"I(d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <LHhs<M' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 wZqYtJ 8.35 增益平坦滤波器 193 )l3Uf&v^f 8.38 啁啾反射镜 1 196 ;J%:DD 8.39 啁啾反射镜2 198 3:)z+#Uk6 8.40 啁啾反射镜3 199 )GD7rsC`< 8.41 带保护层的铝膜层 200 %~u]|q<{ 8.42 增加铝反射率膜 201 hFrMOc& 8.43 参考文献 202 LP2~UVq 9 多层膜 204 1-2hh) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0U '"@A
\ 9.2 内部透过率 204 _D '(R 9.3 内部透射率数据 205 Rs %`6et}\ 9.4 实例 206 YvR bM 9.5 实例2 210 ARH~dN* C 9.6 圆锥和带宽计算 212 O2w-nd74U 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 A;oHji#* 10 光学薄膜的颜色 216 >B BV/C'9 10.1 导言 216 AGlBvRX7e 10.2 色彩 216 F.9}jd{ 10.3 主波长和纯度 220 $J[( 3 10.4 色相和纯度 221 TEtmmp0OD 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 u47<J?!Q 10.6 色差 226 8=8hbdy; 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 kf,
&t 10.8 颜色渲染指数 234 XiUq#84Q 10.9 色差计算 235 MpV<E0CmE 10.10 参考文献 236 p.DQ|? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6Yu:v 11.1 短脉冲 238 V6]6KP#D 11.2 群速度 239 wlS/(:02 11.3 群速度色散 241 =pH2V^<<# 11.4 啁啾(chirped) 245 P}R:o 11.5 光学薄膜—相变 245 nm^HL| 11.6 群延迟和延迟色散 246 !/FRL<mp 11.7 色度色散 246 i8]EIXbMX 11.8 色散补偿 249 &K ~k'P~m 11.9 空间光线偏移 256 ?nU<cx h 11.10 参考文献 258 8mI(0m' 12 公差与误差 260 VkQ@c;C 12.1 蒙特卡罗模型 260 inut'@=G/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 KC/O
EJ` 12.2.1 误差工具 267 6^`iuC5 12.2.2 灵敏度工具 271 K-RmB4WI 12.2.2.1 独立灵敏度 271 @N*|w
Kc+ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ;mQj2Bwr 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 u]p21)m$x 12.3 参考文献 276 fY<#KM6X 13 Runsheet 与Simulator 277 XwH>F7HPe 13.1 原理介绍 277 Kz HYh 13.2 截止滤光片设计 277 !eX0Q 2 14 光学常数提取 289 Q\Ek U.[I 14.1 介绍 289 !fOPYgAGKn 14.2 电介质薄膜 289 Qqm?%7A1 14.3 n 和k 的提取工具 295 RGW@@ 14.4 基底的参数提取 302 rXx#<7` 14.5 金属的参数提取 306 ;!n> 14.6 不正确的模型 306 H:fKv7XL 14.7 参考文献 311 XKp&GE@Y 15 反演工程 313 .j}]J:{% 15.1 随机性和系统性 313 f"6W ;b2L. 15.2 常见的系统性问题 314 y`I>|5[` 15.3 单层膜 314 \YP,}_~ 15.4 多层膜 314 (W1$+X 15.5 含义 319 4Aj~mA 15.6 反演工程实例 319 MN?aPpr> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Al>d
21U 15.6.2 反演工程提取折射率 327 VfU"%0x 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 `YhGd?uu$ 16.1 光学性质的热致偏移 329 nrac)W 16.2 应力工具 335 1lw%RM 16.3 均匀性误差 339 zdN[Uc+1Bd 16.3.1 圆锥工具 339 'a#lBzu\b 16.3.2 波前问题 341 zPt<b!q 16.4 参考文献 343 YT(N][V 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0|&@)` 17.1 引言 345 fi?4!h 17.2 操作数 345 =2\2Sp 18 如何在Function中编写脚本 351 c^}y9% 4c 18.1 简介 351 0Lo8pe`DH 18.2 什么是脚本? 351 EU[\D; 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 J0xHpe 18.4 基础 352 l=?e0d>O 18.4.1 Classes(类别) 352 +,e#uuj$p 18.4.2 对象 352 j=r1JV
@ 18.4.3 信息(Messages) 352 (W}F\P 18.4.4 属性 352 ! M^O\C) 18.4.5 方法 353 dq93P%X24 18.4.6 变量声明 353 5m8u :6kQu 18.5 创建对象 354 vJWBr:`L 18.5.1 创建对象函数 355 CG1MT(V7? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 x|O7}oj 18.5.3 丢弃对象 356 5B=uvp|Y 18.5.4 总结 356 Pn,I^Ej . 18.6 脚本中的表格 357 &8$v~ 18.6.1 方法1 357 Iz0$T.T 18.6.2 方法2 357 .psb#4 18.7 2D Plots in Scripts 358 1!z{{H;W 18.8 3D Plots in Scripts 359 G6p gG+w 18.9 注释 360 #Y7jNrxE 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 I~4z%UG 18.11 一个更高级的脚本 362 .a4,Lr#q. 18.12 <esc>键 364 MK1\ 18.13 包含文件 365 "J(M. Y 18.14 脚本被优化调用 366 }3
xkA 18.15 脚本中的对话框 368 yqN`R\d 18.15.1 介绍 368 9c@M(U@Yh 18.15.2 消息框-MsgBox 368 E)-;sFz 18.15.3 输入框函数 370 .S//T/3O]Q 18.15.4 自定义对话框 371 }0'LKwIR 18.15.5 对话框编辑器 371 g89@>?Mn 18.15.6 控制对话框 377 'z|Da &d P 18.15.7 更高级的对话框 380 #pvq9fss,} 18.16 Types语句 384 v>8.TE~2 18.17 打开文件 385 A8-[EBkK 18.18 Bags 387 M<-Q8a~ 18.13 进一步研究 388 Qs1CK;+zU 19 vStack 389 O#)1zD} 19.1 vStack基本原理 389 ~1O|4mssS 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 QAkK5,`vV. 19.3 五棱镜 393 5,Fq:j)MxW 19.4 光束距离 396 orjtwF>^ 19.5 误差 399 OAXA< 19.6 二向分色棱镜 399 nM[yBA 19.7 偏振泄漏 404 cL9gaD$;) 19.8 波前误差—相位 405 $Cz2b/O 19.9 其它计算参数 405 hF'VqJS 20 报表生成器 406 9]eG|LFD 20.1 入门 406 oJa}NH
20.2 指令(Instructions) 406 ^yW['H6V 20.3 页面布局指令 406 5]&sXs 20.4 常见的参数图和三维图 407 "rBB&l 20.5 表格中的常见参数 408 coXg]bUKo 20.6 迭代指令 408 JwI99I' 20.7 报表模版 408 |dR}S!fmG 20.8 开始设计一个报表模版 409 \,13mB6 21 一个新的project 413 (OiV IH 21.1 创建一个新Job 414 O>L,G)g 21.2 默认设计 415 f&<+45JI 21.3 薄膜设计 416 TtkHMPlm_ 21.4 误差的灵敏度计算 420 "^&H9 |