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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) zA}JVB QmSMDWkh 内容简介 @$!6u0x Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 H-nhq-fut 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 <T;V9(66 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 t- TUP>_ K C"&3 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 k=mLcP 目录 <Np Mv!g Preface 1 $MGKGWx@E 内容简介 2 ^#C+l 目录 i Lq
;~6 1 引言 1 ;Z`a[\i': 2 光学薄膜基础 2 SjpCf8Z( 2.1 一般规则 2 VcXr!4M 2.2 正交入射规则 3 F_g(}wE#
q 2.3 斜入射规则 6 \y%"tJ~N{ 2.4 精确计算 7 DU8\1( 2.5 相干性 8 ,9}JPv4Z 2.6 参考文献 10 V= p"1!( 3 Essential Macleod的快速预览 10 #pgD-0_ 4 Essential Macleod的特点 32 3 !8#wn 4.1 容量和局限性 33 &WLN 4.2 程序在哪里? 33 xb%Q[V_m 4.3 数据文件 35 >~Gy+- 4.4 设计规则 35 FyWf`XTO 4.5 材料数据库和资料库 37 )B+o
F7 4.5.1材料损失 38 g!'
x5#]n 4.5.1材料数据库和导入材料 39 kTfRm^ 4.5.2 材料库 41 DBHHJD/q 4.5.3导出材料数据 43 0^Vw^]w 4.6 常用单位 43 5+!yXkE^e 4.7 插值和外推法 46 Te~jYkCd 4.8 材料数据的平滑 50 &=*1[ j\ 4.9 更多光学常数模型 54 lK7:qo 4.10 文档的一般编辑规则 55 0tL5t7/Gr 4.11 撤销和重做 56 f4*(rX 4.12 设计文档 57 Lg(G&ljE@k 4.10.1 公式 58 37:tu7e~c 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 h*D -Vo 4.10.3 沉积密度 59 g.Qn,l]X/p 4.10.4 平行和楔形介质 60 Rf8ZH 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /DH`7E 4.10.4 性能 61 ^ H2TSaJ; 4.10.5 保存设计和性能 64 )quQI)Ym 4.10.6 默认设计 64 0sKoNzE 4.11 图表 64 Q?LzL(OioN 4.11.1 合并曲线图 67 U&:-Vf~& 4.11.2 自适应绘制 68 COm^ti-p 4.11.3 动态绘图 68 ^Ss<< 4.11.4 3D绘图 69 E$4H;SN \ 4.12 导入和导出 73 RA!m,"RM 4.12.1 剪贴板 73 bv(+$YR 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 "N_@q2zF 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 UtJfO`m9P 4.13 背景 77 v(JjvN21 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 PWvT C`? 4.15 生成Rugate 84 ws,?ImA 4.16 参考文献 91 "k 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 0Bp0ScE|FA 5.1 Jobs 92 *c/| / 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ]e5aHpgR= 5.3 输入材料 94 .Jg<H %%f 5.4 设计数据文件夹 95 4IB`7QJq 5.5 默认设计 95 `|"o\Bg< 6 细化和合成 97 .Wp(@l'Hd 6.1 优化介绍 97 8KigGhY'ms 6.2 细化 (Refinement) 98 r/0#D+A 6.3 合成 (Synthesis) 100 :N^B54o%6 6.4 目标和评价函数 101 )>b1%x} = 6.4.1 目标输入 102 y
c<%f 6.4.2 目标 103 P|?nx"c 6.4.3 特殊的评价函数 104 WdC7CK 6.5 层锁定和连接 104 s2QgR37s> 6.6 细化技术 104 pp*MHM)x|q 6.6.1 单纯形 105 Yz0HBEA 6.6.1.1 单纯形参数 106 knHrMD; 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 cdH`#X 6.6.2.1 Optimac参数 108 JUDZ_cGr 6.6.3 模拟退火算法 109 @q]!C5
6.6.3.1 模拟退火参数 109 uQW[2f 6.6.4 共轭梯度 111 #=Xa(<t 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 iH]0
YT.E 6.6.5 拟牛顿法 112 }V.fY3J- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 1y U!rEH 6.6.6 针合成 113 54TWFDmGi 6.6.6.1 针合成参数 114 hZUS#75M5 6.6.7 差分进化 114 TQ/# 6.6.8非局部细化 115 X,o ]tgg= 6.6.8.1非局部细化参数 115 GO][`zZJ] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 jamai8 6.7.1 细化 116 #&S<{75A 6.7.2 合成 117 {O!;cI~ 6.8 参考文献 117 $1)NYsSH/H 7 导纳图及其他工具 118 uF|[MWcy0# 7.1 简介 118 e1bV& 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Of-gG~ 7.2.1 四分之一波长规则 119 7|"G
3ck 7.2.2 导纳图 120 jl]p e7- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 WwSyw?T 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 G~*R6x2g 7.5 斜入射导纳图 141 436SIh 7.6 对称周期 141 r`u 9MJ* 7.7 参考文献 142 uSCI 8 典型的镀膜实例 143 pAN$c" 8.1 单层抗反射薄膜 145 ih:%U 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <bv9X?U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _A]~`/0;` 8.4 W-膜层 148 =5%}CbUU)4 8.5 V-膜层 149 /~<Przw 8.6 V-膜层高折射基底 150 "6?Y$y/wm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 =*y{y)B^g 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 f'S 0" 8.9 四层抗反射薄膜 153 NH1|_2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 4HXNu, T' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 &.0 wPyw 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 kwt;pxp i 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 CFY4PuI"! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 cetlr 8.15十五层宽带抗反射膜 159 L#IY6t 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 AucX4J< 8.17 1/4波长堆栈 162 aO\@5i_r 8.18 陷波滤波器 163 Xd~li fF 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ><6g-+*k 8.20 褶皱 165 uk.x1*0x 8.21 消偏振分光器1 169 `5~<) 8.22 消偏振分光器2 171 mA3yM# 8.23 消偏振立体分光器 172 ! -gOqo 8.24 消偏振截止滤光片 173 (G"/C7q 8.25 立体偏振分束器1 174 Ahg6>7+R. 8.26 立方偏振分束器2 177 h&{>4{ 8.27 相位延迟器 178 3_ =:^Z 8.28 红外截止器 179 =OA7$z[ 8.29 21层长波带通滤波器 180 -f(<2i 8.30 49层长波带通滤波器 181 jin?;v 8.31 55层短波带通滤波器 182 `jDmbD
+= 8.32 47 红外截止器 183 -32.g\] 8.33 宽带通滤波器 184 :4238J8 8.34 诱导透射滤波器 186 q]*:RI?wGT 8.35 诱导透射滤波器2 188 ><;.vP 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 gi\UNT9x 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 EmcwX4| 8.35 增益平坦滤波器 193 zhwajc 8.38 啁啾反射镜 1 196 X@B,w_b 8.39 啁啾反射镜2 198 MWc{7, 8.40 啁啾反射镜3 199 @/?$ ZX/e[ 8.41 带保护层的铝膜层 200 TUd=qnu 8.42 增加铝反射率膜 201 *icxK 8.43 参考文献 202 fbW#6:Y 9 多层膜 204 akA C^:F 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 v*e=oyx[ 9.2 内部透过率 204 \hZ9in`YlR 9.3 内部透射率数据 205 -Ar 3>d 9.4 实例 206 "[]72PC 9.5 实例2 210 ;0++):30V 9.6 圆锥和带宽计算 212 #1f8A5< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 B3Esfk 10 光学薄膜的颜色 216 .J|"bs9 10.1 导言 216 }Rq-IRa' 10.2 色彩 216 7Y'.yn 10.3 主波长和纯度 220 qUp DmH 10.4 色相和纯度 221 `L}Irt} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -U_<: 10.6 色差 226 8DNGqaH;dt 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $yg}HS7HC 10.8 颜色渲染指数 234 )kNyl@m 10.9 色差计算 235 [ 5kaF" 10.10 参考文献 236 !.k 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !ly]{DTmm 11.1 短脉冲 238 $f<R j/`& 11.2 群速度 239 Fop"m/ 11.3 群速度色散 241 $X;fz)u 11.4 啁啾(chirped) 245 Ib8xvzR6I& 11.5 光学薄膜—相变 245 niN$!k+Jr 11.6 群延迟和延迟色散 246 o%tvwv 11.7 色度色散 246 u7<s_M3%N 11.8 色散补偿 249 [&FWR 11.9 空间光线偏移 256 Tp/+{|~ 11.10 参考文献 258 @7';bfsix 12 公差与误差 260 QFf lx 12.1 蒙特卡罗模型 260 #|
Et9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *tT}y(M 12.2.1 误差工具 267 F/w!4,'<?5 12.2.2 灵敏度工具 271 fKAG+ t 12.2.2.1 独立灵敏度 271 eq\{*r"DCK 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ';!02=-@ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 '4qi^$|\ 12.3 参考文献 276 <%Re!y@OL 13 Runsheet 与Simulator 277 Hv1d4U"qM 13.1 原理介绍 277 -3c?Yaf" 13.2 截止滤光片设计 277 U(=cGA.$ 14 光学常数提取 289 EkqsE$52 14.1 介绍 289 %8+'L4 14.2 电介质薄膜 289 rm4j8~Ef 14.3 n 和k 的提取工具 295 A`Bg"k:D 14.4 基底的参数提取 302 @cF
aYI 14.5 金属的参数提取 306 %-:6#bz 14.6 不正确的模型 306 _dq.hW7 14.7 参考文献 311 !W8'apG&[ 15 反演工程 313 kqA`d 15.1 随机性和系统性 313 Os1(28rl 15.2 常见的系统性问题 314 _A\c 6# 15.3 单层膜 314 p]#%e0 15.4 多层膜 314 @&2bLJJ+ 15.5 含义 319 z6R<*$4 15.6 反演工程实例 319 R
'/Ilz` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Bf F$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 }o?@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 sEL[d2oO 16.1 光学性质的热致偏移 329 PhM3?$ 16.2 应力工具 335 ]pr;ME<M{ 16.3 均匀性误差 339 *Oo2rk nQ 16.3.1 圆锥工具 339 70m}+R(` 16.3.2 波前问题 341 z@biX 16.4 参考文献 343 e2%Y8ZJG. 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3%xj-7z
W 17.1 引言 345 pXCmyLQ
17.2 操作数 345 c0jC84*v 18 如何在Function中编写脚本 351 H5=-b@( 18.1 简介 351 [>4Ou^=1 18.2 什么是脚本? 351 [HK[{M=v= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 UMw1&"0: 18.4 基础 352 %Sfew/"R0 18.4.1 Classes(类别) 352 X'WbS 18.4.2 对象 352 4S@^ym 18.4.3 信息(Messages) 352 +X0?bVT 18.4.4 属性 352 !["WnF{5eC 18.4.5 方法 353 {v56k8uZ 18.4.6 变量声明 353 xO6)lVd 18.5 创建对象 354 pl V]hu27K 18.5.1 创建对象函数 355 +=^10D 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 X5527`?e 18.5.3 丢弃对象 356 QkwBw^'_5 18.5.4 总结 356 `(EY/EsY 18.6 脚本中的表格 357 =x9zy] 18.6.1 方法1 357 <`b)56v:+ 18.6.2 方法2 357 SV}I+O_w 18.7 2D Plots in Scripts 358 sUcx;<|BC 18.8 3D Plots in Scripts 359 uJm9h(xq 18.9 注释 360 > c?Z.of 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ZPY#<^WOzr 18.11 一个更高级的脚本 362 8AVM(d@ 18.12 <esc>键 364 TB4|dj-% 18.13 包含文件 365 CbA! 18.14 脚本被优化调用 366 ">*PH}b 18.15 脚本中的对话框 368 Uo<d]4p $ 18.15.1 介绍 368 pog*}@OS 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Je[wGF:%:$ 18.15.3 输入框函数 370 B3]q*ERAo 18.15.4 自定义对话框 371 Uoh!1_oV 18.15.5 对话框编辑器 371 <|~X,g;f 18.15.6 控制对话框 377 [ K;3Qf) 18.15.7 更高级的对话框 380 B_anO{3$4 18.16 Types语句 384 $uF}GP_) 18.17 打开文件 385 Z~ VOO7|m 18.18 Bags 387 k/?5Fs!# 18.13 进一步研究 388 gN
Xg 19 vStack 389 J84Q|E 19.1 vStack基本原理 389 g>A*kY 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 p@y?xZS 19.3 五棱镜 393 (hS
j4Cp 19.4 光束距离 396 R~iJ5@[ 19.5 误差 399 VChNDHiH 19.6 二向分色棱镜 399 0~Z>}( 19.7 偏振泄漏 404 Q}2aBU.f 19.8 波前误差—相位 405 Wqy|Y*$qT 19.9 其它计算参数 405 &xo,49`! 20 报表生成器 406 !v;N@C3C 20.1 入门 406 nxkbI:+t 20.2 指令(Instructions) 406 K2<"O qp_W 20.3 页面布局指令 406 1~Zmc1] 20.4 常见的参数图和三维图 407 }eetx68\ 20.5 表格中的常见参数 408 qI"Xh"
c? 20.6 迭代指令 408 <spV Up 20.7 报表模版 408 ~tWIVj{ 20.8 开始设计一个报表模版 409 Eq=~S O% 21 一个新的project 413 `h}fS4CO 21.1 创建一个新Job 414 OaY.T 21.2 默认设计 415 $n\{6Rwb 21.3 薄膜设计 416 -'r4@='6} 21.4 误差的灵敏度计算 420 sa$CCQ 21.5 显色指数计算 422 tAO,s ZW 21.6 电场分布 424 xr}3vJ7 后记 426 O%L]*vIr ?55t0 @&p:J0hbp 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 byoP1F% @k['c
《Essential Macleod中文手册》 E1 IT>_ 5gYv CW&~ 目 录 tBC`(7E} ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 ,RjE?M% 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 Yl4XgjG 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 MwbXZb{#"= 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 >W Tn4SW@ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ix2V?\ 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 U{/d dCf7 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 D])&> 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 KT$Za 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 4&%0% 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 OSreS5bg 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 C+o1.#]JM 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 WxLbf+0o 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 E/[>#%@i 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 O(x1Ja,& 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 1T&NU 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 Rp.42v#ck 有兴趣可以扫码加微联系 'u@,,FFz[K
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