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光学测量系统的分析与公差
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光学测量系统的分析与公差
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楼主
发表于: 2023-04-12
VirtualLab Fusion
软件
可以对
光学
测量系统进行仿真,如干涉仪、
光谱
仪以及表面测量器件。
Q6DE|qnV
W\X51DrEx
很多光学测量原理都是基于光的波动特性。典型的器件有:
Z*kg= hs^
JQ0KXS Nr
干涉仪
f? ko%c_p
光谱仪&单色仪
M22^.,Z
表面计量系统
dGHRHXi
S .1~#
VirtualLab Fusion 软件可以对这些测量系统进行仿真及公差分析。许多设置都是以衍射效应、干涉效应以及时间和空间相干性为特点。VirtualLab的场追迹引擎进行快速精确的测量系统建模的同时考虑了这些物理光学效应。
44b'40
/FB '
-a/5
8R-?x/:
L2Mcs
VirtualLab Fusion软件的特性
:
b vUYLWzS
=Y /
基于物理光学的计量系统仿真
dG6Mo76
包含部分相干和衍射效应
@(oz`|*
尤其对倾斜和偏移的公差分析
"-N%`UA
真彩色获取
Tb~(?nY5
便于使用的位置概念
\@tt$ m%
干涉条纹的计算
4Mnne'7
测绘扫描系统的仿真
6%O"
全谱段高分辨率分析
O cm
lSQANC'
V.:imj
用于表面拓扑测量的白光迈克尔逊干涉仪的仿真。整个系统中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。
<.RgMPi
试用软件和应用示例
:
Gu&zplB
u:"mq.Q
如果对更多信息感兴趣,请通过
support@lighttrans.com
或通过VirtualLab Fusion试用版结合我们提供的应用示例开展你的实验工作:
z<s]Z
MSY.0001: 使用相干光的马赫泽德干涉仪仿真。(
download
)
_ @ \
MSY.0002: 白光迈克尔逊干涉仪的仿真。(
download
)
Ql#:Rx>b
MSY.0003: Czerny-Turner单色仪和光谱仪。(
download
)
?][Mv`ST
立即
下载
VirtualLab Fusion试用版
Rs5G5W@"A
!QP~#a%
测量系统(MSY.0001 v1.1)
>fQ-(io
"(T@*"vX2
相干光马赫泽德干涉仪的仿真
I gA0RY1
d;)Im "
[o\O^d
应用示例简述
]\*g/QV
_s<eqCBV
1. 系统说明
[V}I34UN
Hza{"I*^
光源
=U3!D;XP
— 氦氖
激光
器(波长632.8nm;相干长度>1m)
H@5:x8
组件
-F@Rpfrj_#
— 分束器和合束器,消色差准直
透镜
系统,位相延迟器,待测球面透镜
c7P"1
探测器
0SA c1
— 干涉条纹
p@>_1A}qh_
建模/设计
V$<og
—
光线
追迹:初始系统概览
zziuj s:
— 几何场追迹加(GFT+):
:] {+3A
由于白光的部分相干性致使条纹对比度降低。
EKq9m=Ua@o
在高度扫描的同时光强发生改变。
TfVB~"&