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测量系统 ht*(@MCr< ii_kgqT^ 应用示例简述 IA<>+NS Lu{/"&) 1. 系统说明 AmHj\NX$ ]E-3/r$_cO 光源 :Fm*WqZu — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) _}Qtx/Cg 元件 wgIm{;T[u — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 JRi:MWR<r 探测器 " >.tPn — 干涉条纹 D{s87h 建模/设计 ^utOVi — 光线追迹:初始系统概览 VsJ+-IHm — 几何场追迹加(GFT+): z]r'8Jc 计算干涉条纹。 f*<Vq:N=\ 分析对齐误差的影响。 -Uy)=]Zae \wD/TLS} 2. 系统说明 n<bU' n "o+?vx- 参考光路 W03mdRW  *ma
w`1 3. 建模/设计结果 ]}PXN1( ,+
G >zqaV@T 4. 总结 4P[MkMoC W M` 3QJb 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 d_d&su
E VS/M@y_./ 1. 仿真 &n;*'M
以光线追迹对干涉仪的仿真。 -'g>i 2. 计算 1R3,Z8j' 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [:{
FR2*x 3. 研究 t*9 gusmG 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 #?Kw
y ".
tW5O> 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 CyR`&u :-}K:ucaj 应用示例详细内容 \KnRQtlI 系统参数 =4MTb_ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <HoCt8>U F|eWHw?t 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 TL2E|@k1]
9tJ0O5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 f~T7?D0u}N >9!J?HA 2. 说明:光源 r@3-vLI!u 9 Gd6/2 ##6\~!P 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 T4]2R 因此,相干长度大于1m O3@DU#N&s 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 "G
[Nb:,CR 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ):'wxIVGI 4`Ud\Jm[s
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w`4r 3. 说明:光源 ).;{'8Q n7fhc*}:` IqYJ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 4W"A*A 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Q4m>
3I 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 P)`^rJ6 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 >8_y-74 4. 说明:光学元件 20V~?xs~ zuLW'a6F- GK}52,NM 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ,!l _ 位相延迟平板材料为N-BK7。 =@Oo3*> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 P:'wSE91 透镜材料为N-BK7。 oRCc8& 其中心厚度与位相平板厚度相等。 p-}X=O$ Jj\4P1|' 7 3[[oAp 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 cF8
2wg Rlewp8?LB RxMsP;be 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ie6c/5 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Xj\ToO 5)RZJrN] 6. 分光器的设置 s$Y>nH~T 2|>\A.I|= 0$)Q@# !"F;wg$ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 lAU99(GXV 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 +]%S}<R 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 KrpIH6 XYo,5- 7. 合束器的设置 5*$yY-A xG/Q%A p/<DR| n4kq=Z% 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 w~*@TG 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 Ocdy;|& M1kA- Xr 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 .gJ2P?
3s%?)z ""-wM~^D 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 0VNLhM(LM 应用示例详细内容 X+;[Gc}(W 仿真&结果 \1<'XVS TwkT|Piw
S 1. 结果:利用光线追迹分析 DO:,PZX |R9Lben', 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 0#]fEi 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 #|b*l/t8 z By%=)` 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 1q7&WG cdMSC7l! aRMlE*yW 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 \(\a= 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 .==D?#bn 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 u<S`"MR:J c| ?(> 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ps{4_V-3 u *cb|9elF^ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 4eHSAN"$ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 eS8(HI6{^ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 _N`.1Dl%Q ^@^8iZ 4. 对准误差的影响:元件平移 T3{O+aRt U?0|2hR~ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 sq'm)g 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 MRLiiIrq,5 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 cI2Ps3~"Q +KTfGwKt *$eH3nn6g 5. 总结 w5m/[Z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 8oX1 F(R kk=n&M 4. 仿真 $Z G&d 以光线追迹对干涉仪的仿真。 c]9gf\WW |A3"Jc.2o 5. 计算 ,t`V^(PEq 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 gnp.!- |*{*tW C1 6. 研究 geG0F}oC! 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 1bV
G%N Dd?G4xUG 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 'NtI bS Vh\_Ko\V5 扩展阅读 wo`.sB&T 1-gM)x{Jr 1. 扩展阅读 x/s:/YN' 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 QEJu.o xGsOnY; 开始视频 ^OV; P[ - 光路图介绍 (ks>F=vk* - 参数运行介绍 %p}vX9U') - 参数优化介绍 MJ:c";KCq0 其他测量系统示例: hY4# 4A`I - 迈克尔逊干涉仪 3WwS+6R
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