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测量系统 qve2?,i8hM agX-V{l. 应用示例简述 P6*IR| ),5^b l/ 1. 系统说明 17[7)M88 9mkt.>$ 光源 H2 7_T]\ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) S nVIV% 元件 MIasCH>r — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +N2?fgA 探测器 t_c;4iE
— 干涉条纹 |xyN#wi 建模/设计 wI\v5&X-B — 光线追迹:初始系统概览 iZGc'y — 几何场追迹加(GFT+): /g2( < 计算干涉条纹。 49&p~g 分析对齐误差的影响。 ! FbW7"yE HMJx[ yD 2. 系统说明 j[Uul# N~g@ 参考光路 Ua]shSjyI  m&jh7)V 3. 建模/设计结果 s QfP8}U j`Fsr?]/ 8r(S=dA 4. 总结 L=ZKY 6-U|e|e 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 oe,L&2Jz@ Q~<$'j 1. 仿真 -qz; 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Y s[J xP 2. 计算 $J&wwP[ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ^yg`U( 3. 研究 =8[4gM+ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 4-z3+e :VC#\/f 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Wfgs[ Au,xIe!t 应用示例详细内容 5hak'#2 系统参数 iZ2|/hnw 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 XzGPBi Q9=vgOW+ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 >Du5B&41 .t|vwx 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 _P.+[RS@ JaP2Q} &B 2. 说明:光源 tK{2'e6x 8xzEbRNJ) #FKo:id`K 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 &PWz4hZ 因此,相干长度大于1m Q]Q]kj2 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 I)I,{xT4 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 0G?0 Bo 26 un=
+"rZ< i UO$z_
p]w 3. 说明:光源 C5m6{Oo+- #aUe7~ .w2X24Mmb 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 fl>*>)6pm 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 +[@Ug`5M 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 pH5"g"e1 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ?XO$9J 4. 说明:光学元件 ~E&drl\ W#!![JDc \hv1"WaJ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 3D70`u 位相延迟平板材料为N-BK7。 9^l_\:4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 pv8"E?9,k 透镜材料为N-BK7。 Ag
QR"Nu6 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ;Q>(%"z}; i2`i5&* [Dd?c,5AD 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 z 3)pvX5 C^I h"S }
_Yk.@J5 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 //*>p 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 3Qmok@4e) /~*U'.V 6. 分光器的设置 J'B6l#N Q|Uq.UjY w
A<JJ_R l<0BMw S8 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 TMZg GUn 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 sXxF5&AF0 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 e!wBNcG2 O{hGh{y 7. 合束器的设置 =;Gy"F1 dp 'V=w?G
5 s8iJl+Jm ^50#R<Ny 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 NidG|Yg~Z 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 Fn0Rq9 /@ K|
#%u2C 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 v`8dRVN i~
D, u1d{|fF 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 PW)XDo7 应用示例详细内容 AA34JVm] 仿真&结果 aW$(lf2; qYLOq`<f 1. 结果:利用光线追迹分析 AG6tt b?`8-g 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 vG9A'R'P 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 <EKDP>,~ #7K&x.w$ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 \v.16o bH ZZqImB.Cz6 ~9#[\/;" 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 j2NnDz' 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 n)$T
zND 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ;7CE{/Bq.p g,/gApa 3. 对准误差的影响:元件倾斜 '#d`K.;_b. ka3Jqy4[ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 Fa78yY+6 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 16=tHo8| 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 f6n'g:&.W @WVpDhG 4. 对准误差的影响:元件平移 Ht#5;c2/ pcIJija: 元件移动影响的研究,如球面透镜。 `ro~l_U;A 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 KMZ:$H 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 & %4x v#i,pBj [U[saR\ 5. 总结 3gZ|^h6
+ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 aV3:wp]Gn LO{{3No 4. 仿真 tEP~`$9 以光线追迹对干涉仪的仿真。 "C 7-^R# @#[<5ld 5. 计算 =9@{U2 =l 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 1?s]nU *cn,[ 6. 研究 !_<zK:`-L 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 V"=(I'X Om`VQ? 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 V;$ME4B\{ Ia-`x/r*m 扩展阅读 ``bIqY e\%emp-> 1. 扩展阅读 kd^CZ;O 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 k fS44NV W9>q1 开始视频 wRu+:<o^. - 光路图介绍
QV/o; - 参数运行介绍 O^(ji8[l - 参数优化介绍 5*QNE! 其他测量系统示例: Ul#||B .c{ - 迈克尔逊干涉仪 tVJ}NI #
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