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测量系统 ^gb2=gWZ< 7F+f6(hB 应用示例简述 uO"@YX/ Nkv2?o>l 1. 系统说明 nHZ 4):` 3*8#cSQ/6o 光源 N.&)22<m9 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) :$P <e~z' 元件 m1+DeXR_g — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 QF%@MK0zC 探测器 i~K~Czmok+ — 干涉条纹 .'X$SF` 建模/设计 g{<3*, — 光线追迹:初始系统概览 |W#^L`!G — 几何场追迹加(GFT+): oxGOn(' 计算干涉条纹。 Ma{|+\Q.Z 分析对齐误差的影响。 pdtK3Pf WBC'~ h<@ 2. 系统说明 A`OU}'v?L i ;X'1TN(y 参考光路 Q^mJ _~  DVpqm6$Q 3. 建模/设计结果 ->93.sge !sR`]0 Dj<Vn%d* 4. 总结 t3bN
PK^ NINyg"g< 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 6'qs=Ql wl9E 1. 仿真 a<vCAFQ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 T}4RlIZF 2. 计算 :[AW 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 yYF80mnJz 3. 研究 '<XG@L 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 L\n_q6n 2+ 9">a@ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 E-!`6 /u#uC(Uwl
应用示例详细内容 d_]MqH>R\ 系统参数 t,=khZ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 iLS'47 8+GlM+>4 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 a2p<HW;)m L
TO1LAac 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 BQw#PXp3 V1"+4&R^T_ 2. 说明:光源 Ng;E]2" }hl#
e[$ %} \@Wk~ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 T.&^1q WWA 因此,相干长度大于1m 4'_uN$${$ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 f+gyJ#R` 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 >B~p[wh0 *=r,V
%JiA, <4(rY9 3. 说明:光源 t|%iW%m4 lm@<i4%$F FtY*I& 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 c: #1Aym 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 rY($+O@a< 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 `Jz"rh-M 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 m:
w/[|_ 4. 说明:光学元件 }HXNhv-K u^V`Ucd"R ,hX03P-X 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 Vh'H5v^ 位相延迟平板材料为N-BK7。 HM--`RJ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 YMJjO0 透镜材料为N-BK7。 {]|};E[}m 其中心厚度与位相平板厚度相等。 oIbd+6>f 3pq&TYQU ##yi^;3Y 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Ku&0bXP AA yzT*^ O7q-MeMM 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 @\[&_DZ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 VJJw"4DJ '<8ewU 6. 分光器的设置 !y?g$e` v#D9yttO{ qTiX;e\W PZH]9[H 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 1kTJMtZG~ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 k(hes3JV 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 l=bB,7gL 7kG>s9O 7. 合束器的设置 }^P( p?~ 1
!OQxY}f #!9aTp).AL 'du:Bxl`d4 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 }GQ8|fg`U 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 d) G7U$z~ o_os; 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 vNi7=3 aI+:rk^ 6}{2W< 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 PX(Gx%s| 应用示例详细内容 h^34{pKDn 仿真&结果 Qh)@-r3 ].2q.7Yur 1. 结果:利用光线追迹分析 s`GSc)AI Alh%Z\ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 +<@7x16 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 ~D<o}ItRF ,Ea.ts> 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 N$?mula ]?mWnEi!z ZXHG2@E) 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 8R8J./i.K 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 A^%z;( 0p 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 op&,& =4+UX*&i?. 3. 对准误差的影响:元件倾斜 )!p=0&z@{ =F8uuYX%m 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 (/Z~0hA[Q 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 az0( 54M 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ~F>oNbJIv B>#zrCD 4. 对准误差的影响:元件平移 x\;`x$3t qV8;;&8r 元件移动影响的研究,如球面透镜。 HC}D<FX| 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 BeaX 0#\ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 Mz+|~'R +z;xl-*[ `=b*g24z[N 5. 总结 Yca9G?^\v 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 W{ @lt} ANp4yy+ 4. 仿真 09%q/-$ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 W&BwBp]K htlsU*x 5. 计算 BAg*zYV7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 @MAk/mb& @l>\vs< 6. 研究 t*e+[
不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9BNAj-Xa %v
:a 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 U|-4*l9Ed "`C|;\w 扩展阅读 WO^smCk VH,k EbJ 1. 扩展阅读 bq<QUw=]q& 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 dq"b_pr; <74q]C 开始视频 dSk\J[D - 光路图介绍 .'5yFBS - 参数运行介绍 o9q%=/@, - 参数优化介绍 qJ#?=ITE 其他测量系统示例: Q3wD6!'&m - 迈克尔逊干涉仪 yTkYPx
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