镀膜机环境里,除了真空度之外,还有个重要的因素就是温度。 v
RD/67
影响温度稳定的有以下几点:加热丝和冷却水,温度探头还有温控。 n\;;T1rM
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1,温控:虽然共用一个温度探头,但是加热丝内中外圈是用不同的温控仪控制的, glC,E>
温控参数设置也不同(一般内圈的功率输出比率比较低;外圈的功率输出比率比较高) 6!i`\>I]
所以一旦加热盘拆卸后重新安装,接错线的话,会造成内外圈温度偏差很大。 ((Av3{05H&
这时候除了重新连接没有其他办法。 e
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另外时间长了之后,温控仪的输出也会发生变化,这时候可以微调一下温控仪的输出比率。 r]6+&K
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2,温度探头:温度探头一般是悬空在真空腔里面,如果在清扫腔体的时候不小心碰到, aMu6{u6
造成温度探头的位置变化或者折断,则容易产生镀膜温度发生很大变化。 2RZa}
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3,加热丝和冷却水:发生问题一般会报警,也很容易察觉。 ]ovtH.y
(比如用手去碰腔壁,某些地方异常烫的)所以不多做叙述。