镀膜机环境里,除了真空度之外,还有个重要的因素就是温度。 rh}J3S5vp
影响温度稳定的有以下几点:加热丝和冷却水,温度探头还有温控。 W9GVt$T7
pcWPH.
1,温控:虽然共用一个温度探头,但是加热丝内中外圈是用不同的温控仪控制的, `RL"AH:+
温控参数设置也不同(一般内圈的功率输出比率比较低;外圈的功率输出比率比较高) WEi2=3dV
所以一旦加热盘拆卸后重新安装,接错线的话,会造成内外圈温度偏差很大。 z ~/` 1
这时候除了重新连接没有其他办法。 03 #lX(MB
另外时间长了之后,温控仪的输出也会发生变化,这时候可以微调一下温控仪的输出比率。 G*P#]eO
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2,温度探头:温度探头一般是悬空在真空腔里面,如果在清扫腔体的时候不小心碰到, N5b!.B x-w
造成温度探头的位置变化或者折断,则容易产生镀膜温度发生很大变化。 OYTkV}tG
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3,加热丝和冷却水:发生问题一般会报警,也很容易察觉。 &FN.:_E
(比如用手去碰腔壁,某些地方异常烫的)所以不多做叙述。