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    [讨论]镀膜稳定性的讨论2--温度 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-04-04
    镀膜机环境里,除了真空度之外,还有个重要的因素就是温度。 v RD/67  
    影响温度稳定的有以下几点:加热丝和冷却水,温度探头还有温控。 n\;;T1rM  
    ~j{c9EDT|  
    1,温控:虽然共用一个温度探头,但是加热丝内中外圈是用不同的温控仪控制的, glC,E>  
    温控参数设置也不同(一般内圈的功率输出比率比较低;外圈的功率输出比率比较高) 6!i`\>I]  
    所以一旦加热盘拆卸后重新安装,接错线的话,会造成内外圈温度偏差很大。 ((Av3{05H&  
    这时候除了重新连接没有其他办法。 e oE)Mq  
    另外时间长了之后,温控仪的输出也会发生变化,这时候可以微调一下温控仪的输出比率。 r]6+&K  
    z1b@JCWE  
    2,温度探头:温度探头一般是悬空在真空腔里面,如果在清扫腔体的时候不小心碰到, aMu6{u6  
    造成温度探头的位置变化或者折断,则容易产生镀膜温度发生很大变化。 2RZa}  
    N!.o`4 "z  
    3,加热丝和冷却水:发生问题一般会报警,也很容易察觉。 ]ovtH .y  
    (比如用手去碰腔壁,某些地方异常烫的)所以不多做叙述。
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-11-29
    Re:镀膜稳定性的讨论2--温度
    方便加个微信吗楼主1722623585