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    [讨论]镀膜稳定性的讨论1-充氧 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-04-04
    首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 #)\KV7f! ;  
    关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 vzVl2  
    甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 dCc*<S  
    比如说镀膜过程中使用APC充氧: DF-og*V  
    很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 UH)A n:9  
    其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 10a=[\ Q  
    APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 ?1[go+56X  
    APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 L 5>>gG ,  
    Z{e5 OJ  
    在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 Y H?>2u  
    真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 L-MpdC  
    但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 v7g-M  
    一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 q k !Q2W  
    为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 Q@M,:0+cy  
    ljNd!RaB  
    APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 8sL7p4  
    如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 `]fY9ZDKs  
    如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环, R=E )j^<F  
    均匀开孔以便于均匀充氧。
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-04-04
    补充几个和真空相关的因素: LEk W^Mv  
    1,真空计污染:皮拉尼真空计容易受污染, r R."_Z2  
    所以清扫机台的时候最好拆掉。清扫完再装上。 ne;,TJ\  
    d/|@"z^?  
    2,扩散泵返油:使用劣质回收油,或者扩散泵口冷却板冷却不好的时候, d`v]+HK  
    扩散泵容易返油,返油也会造成脱膜,膜质不好,分布问题。
    离线coldking
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-04-04
    我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來 FCOSgEU  
    sfx:j~bsL  
    eoow]me  
    离线coldking
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-04-04
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    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  eRv3qK{`  
    1u 'x|Un  
    APC不開也是可以,但是對於開或不開我還是沒弄明白
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-04-08
    回 coldking 的帖子
    coldking:我都關掉鍍膜,因為NBPF蒸鍍機開了鍍膜DWDM鍍不出來
     (2023-04-04 15:28)  = r_&R#~GT  
    &W)k s  
    光驰机做的比较高,镀膜距离比较长,没有充氧的余量了。
    离线谭健
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-04-09
    谢谢分享 zZ[SC  
    离线阿俊
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-14
    支持楼主!
    离线jzdxzw
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-05-19
    大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 X.o[=E  
    离线逸轩yx
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    只看该作者 8楼 发表于: 2024-03-26
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 Yc"G="XP;  
    +VAfT\G2  
    产品 Y\%R6/Gj|u  
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG
    离线逸轩yx
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    只看该作者 9楼 发表于: 2024-03-26
    回 jzdxzw 的帖子
    jzdxzw:大佬,扩散泵返油一般怎么去排查呢?或者说有设备/产品哪些异常的现象 l1gAm#  
     (2023-05-19 16:06)  lBD{)Va  
    p%xo@v(  
    取掉百叶窗,进入高真空室查看高阀周围是否存在有漏油、渗油迹象?设备检查 dK|MQ <  
    !`=r('l  
    产品 tN3Xn]   
    膜层脱落。干拉/水煮百格NG