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    [求助]低温TI3O5  SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成? [复制链接]

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    离线repent134
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-03-30
    成膜后破坏镀膜表层,用擦拭液擦拭膜层延展性比较大
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-03-30
    这个Ti3O5成膜温度一般不能太低吧,建议150℃以上,低温成膜牢固度与吸收均不够理想,如果想低温成膜,高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 {,C8}8 a W  
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
    离线repent134
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-03-30
    主要SIO2打底层,掉膜也是掉到了基板
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-03-30
    离子源&充氧&电子枪速率方面看下
    离线嘤击长空
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-03-31
    建议测一下温度
    离线石前林
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-03-31
    基片是否干净,扩散泵是否返油,第一层速率及离子源参数 VgTI2  
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    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-04-08
    1,注意一下清洗,必要手擦几片做比较。 W&f Py%g  
    2,镀膜前用离子源清洗,用质量大的Ar,多打一阵子。 .ehvhMuG|  
    3,基板如果是玻璃就加到150度以上, o(NyOC  
    如果是塑胶,用卤素灯加热(不要用加热丝) ?s} E<Kr  
    $uB(@Ft.  
    其他的上面的都讲过了,其实工艺参数很重要。 @W- f{V  
    如果是塑胶片,加热很重要
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
    离线jimmy_
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    只看该作者 7楼 发表于: 02-19
    请教一下为什么加热不能用加热丝,光驰机里好像没有卤素灯
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 02-20
    回 jimmy_ 的帖子
    jimmy_:请教一下为什么加热不能用加热丝,光驰机里好像没有卤素灯 (2024-02-19 17:21)  -~ Q3T9+  
    &H{>7q#r  
    因为塑胶片导热不行。 1bs95Fh9Q  
    加热丝最初加热的是片子背面,热量靠传导再到镀膜面, <sOB j'  
    一个是升温慢,一个是均匀性差。 '8 #*U  
    而卤素灯照射的是镀膜面,升温会比较快,而且温度的均匀度也好。 k"zHrn"$  
    加热快的,吸收的水气出来的也多
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04