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《Essential Macleod中文手册》 iKhH ^V%j w763zi{ 目 录 ^zgacn ,m:L2 -J@ ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 Dm^l?Z 第1章 介绍 ..........................................................1 GB=bG%Tb 第2章 软件安装 ..................................................... 3 )nOE8y/ 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6 TtZ}"MPZ 第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 AX;c}0g 第5章 软件结构 ............................................................... 21 =DC3a3&% 第6章 应用窗口 ................................................................. 44 s%O Y<B@V2 第7章 设计窗口 .................................................................. 62 eVx~n(m!} 第8章 图形窗口 .................................................................. 100 \sITwPA[z 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106 Q ?^4 \_ 第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 ]+ZM/'X 第11章 表格窗口 ................................................................. 116 {yS;NU`2 第12章 优化和综合 ..................................................................120 )b9_C
O} 第13章 材料管理 ........................................................................ 149 `c9'0*- 第14章 多层膜 ........................................................................... 167 \2 >3Opt 第15章 分析和设计工具 ........................................................180 "Vy WT 第16章 逆向工程 ................................................................ 200 s&VOwU 第17章 报告生成器 ............................................................. 208 7h`^N5H.q 第18章 堆栈 ......................................................................... 213 P$OUi!" 第19章 功能扩展 .................................................................. 229 A?r^V2+j 第20章 运行表单 .................................................................... 251 [~)x<=H8{ 第21章 模拟器 ...................................................................... 271 _C$X04bU3V 第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 /tZ0
|B( 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289 8#l+{`$z 第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 7]Rk+q2: 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301 03_pwB)^ 第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ,56;4)cv 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311 g YUTt 第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 E30Z`$cz: 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ke]Yfwk Oyan9~ En\Z#0,V 6.19g'{sB Du!._ (A4&k{C_ 内容简介 ZLrHZhP-+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2M&$Wuu.q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 SY T$3|a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !^?qU;| 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 V{ |[oIp " #v%36U 目录 x*q35K^PE Preface 1 ,H{={aln 内容简介 2 i*CnoQH 目录 i ^{[[Z.&R? 1 引言 1 ~},W8\C> 2 光学薄膜基础 2 7&|6KN}c 2.1 一般规则 2 9!#EwPD$# 2.2 正交入射规则 3 kceyuD$3G 2.3 斜入射规则 6 s[X
B#)H4 2.4 精确计算 7 r6
}_H?j 2.5 相干性 8 6|#g+&[ 2.6 参考文献 10 U&W"Ea=R/ 3 Essential Macleod的快速预览 10 lDN?|YG 4 Essential Macleod的特点 32 zJCEA 4.1 容量和局限性 33 ^Xs]C|=W 4.2 程序在哪里? 33 %b?uW]j: 4.3 数据文件 35 6$RpV'xz 4.4 设计规则 35 taDQ65 4.5 材料数据库和资料库 37 .iT4- 4.5.1材料损失 38 [K:29N9~4 4.5.1材料数据库和导入材料 39 |,sMST% 4.5.2 材料库 41 o;J;k_[MX 4.5.3导出材料数据 43 5g0_WpO 4.6 常用单位 43 V.VJcx 4.7 插值和外推法 46 /b%Q[
Ck_ 4.8 材料数据的平滑 50 $[z<oN_Q 4.9 更多光学常数模型 54 "~\*If 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ep ">v>" 4.11 撤销和重做 56 X-/Ban 4.12 设计文档 57 _ECB^s_ 4.10.1 公式 58 IU9,
(E 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 GFL-.?
0 4.10.3 沉积密度 59 #pA[k- 4.10.4 平行和楔形介质 60 e=>%^F 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5[R?iSGL1 4.10.4 性能 61 (0C&z/ 4.10.5 保存设计和性能 64 "b%FmM 4.10.6 默认设计 64 Y[G9Vok
VX 4.11 图表 64 BY(
eV! 4.11.1 合并曲线图 67 jQ$BPEG&X 4.11.2 自适应绘制 68 Oy$<QXj/ 4.11.3 动态绘图 68 |GuEGmR 4.11.4 3D绘图 69 $$4W}Ug3U 4.12 导入和导出 73 RxG^ 4.12.1 剪贴板 73 P%)b+H{$h 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 <L&eh&4c 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 i0ybJOa4 4.13 背景 77 f#OQ (WTJE 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ^73=7PZ 4.15 生成Rugate 84 O-!,Jm 4.16 参考文献 91 q-IWRb0j%a 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 VMHC/jlX@r 5.1 Jobs 92 8&.-]{Z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ea~i-7 5.3 输入材料 94 o;QZe& 5.4 设计数据文件夹 95 tlGWl0V?7Q 5.5 默认设计 95 [@2s&Ct; 6 细化和合成 97 o5 WW{)Q 6.1 优化介绍 97 hk;bk?:m 6.2 细化 (Refinement) 98 784;]wdy\ 6.3 合成 (Synthesis) 100
TQ' e 6.4 目标和评价函数 101 :Tb7r6 6.4.1 目标输入 102 w1i?#!| 6.4.2 目标 103 ps+:</;Z 6.4.3 特殊的评价函数 104
#T"64%dX 6.5 层锁定和连接 104 F$yeF^\g 6.6 细化技术 104
9p*-?kPb 6.6.1 单纯形 105 9L HuS 6.6.1.1 单纯形参数 106 :e2X/tl# 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 5-w: c> 6.6.2.1 Optimac参数 108 5~l2!PY 6.6.3 模拟退火算法 109 IG|\:Xz 6.6.3.1 模拟退火参数 109 40.AM1Z0f 6.6.4 共轭梯度 111 }n[Bq# 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 WG%2<Q^ 6.6.5 拟牛顿法 112 sX'nn 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4z0L ke 6.6.6 针合成 113 s0!kwrBsp 6.6.6.1 针合成参数 114 =v0~[E4 6.6.7 差分进化 114 Fu##'# 6.6.8非局部细化 115 j38 6gL 6.6.8.1非局部细化参数 115 ]l&'k23~p 6.7 我应该使用哪种技术? 116 =4> @8=JA 6.7.1 细化 116 yVYkuO 6.7.2 合成 117 z!Hx @){| 6.8 参考文献 117 X6kaL3L} 7 导纳图及其他工具 118 ; )|nkI 7.1 简介 118 r|-J8s# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 3EOyq^I% 7.2.1 四分之一波长规则 119 PL@7KDQ 7.2.2 导纳图 120 Efr3x{ j 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 e=J*Esc@k 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Yxqj - 7.5 斜入射导纳图 141 aAcKwCGq\ 7.6 对称周期 141
V16%Ne 7.7 参考文献 142 ,`)OEI|1d 8 典型的镀膜实例 143 -0DZ:: 8.1 单层抗反射薄膜 145 hBy*09Sv 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <<<NXsH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ?*+1~m> 8.4 W-膜层 148 NWnWk 8.5 V-膜层 149 +XQPjg 8.6 V-膜层高折射基底 150 yHOqzq56 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !Bj^i
cR 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Gh+f1)\FA" 8.9 四层抗反射薄膜 153 A]xCF{*)& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ]bu9-X&T& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 DKHM\yt 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 iAHZ0Du 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 PW)8aLU 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 pN+I]NgQ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 vv*
|F 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 rkIMM, 8.17 1/4波长堆栈 162 r\RFDj 8.18 陷波滤波器 163 U!NI_uk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;-Ado8 8.20 褶皱 165 5p{25N_t 8.21 消偏振分光器1 169 N'a?wBBR
8.22 消偏振分光器2 171 07Y_^d 8.23 消偏振立体分光器 172 9tAE#A 8.24 消偏振截止滤光片 173 -;ER`Jqs, 8.25 立体偏振分束器1 174 NfqJ=9 8.26 立方偏振分束器2 177 |?yE^$a 8.27 相位延迟器 178 B,MQ.|s[ 8.28 红外截止器 179 m{O
Dz: 8.29 21层长波带通滤波器 180 ?sE@]]z 8.30 49层长波带通滤波器 181 q#m!/wod 8.31 55层短波带通滤波器 182 4UVW#Rw{ 8.32 47 红外截止器 183 C$_G'XI 8.33 宽带通滤波器 184 jJ<;2e~OW 8.34 诱导透射滤波器 186 KG-y)qXu 8.35 诱导透射滤波器2 188 TH>,v 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 "]<w x_!+} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 bw020@O* 8.35 增益平坦滤波器 193 ?61L|vr 8.38 啁啾反射镜 1 196 L9$&-A9ix 8.39 啁啾反射镜2 198 i)[kubM 8.40 啁啾反射镜3 199 e`;t<7*i 8.41 带保护层的铝膜层 200 {dBB{.hX 8.42 增加铝反射率膜 201 gY%OhYtF2 8.43 参考文献 202 {=qEBbM 9 多层膜 204 ETxp#PZ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ovbEmb 9.2 内部透过率 204 dB@FI 9.3 内部透射率数据 205 {x9j_/R 9.4 实例 206 r(]98a]o~ 9.5 实例2 210 m|lM.]2_ 9.6 圆锥和带宽计算 212 {wHvE4F2 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 C_-%*]*,j 10 光学薄膜的颜色 216 , !r@9T 10.1 导言 216 N6WPTUQ1mF 10.2 色彩 216 z>7=k`x`: 10.3 主波长和纯度 220 ]I8]mUiUH 10.4 色相和纯度 221 WqR7uiCi 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 *.:! Ax 10.6 色差 226 27Cz1[oX 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 H<$pHyxU 10.8 颜色渲染指数 234 sbgJw 10.9 色差计算 235 %n4@[fG%K 10.10 参考文献 236 5`{=` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *q}FV2 11.1 短脉冲 238 We\KDU\n 11.2 群速度 239 \zBd<H4S: 11.3 群速度色散 241 KM 5jl9Vv 11.4 啁啾(chirped) 245 28ja-1dB 11.5 光学薄膜—相变 245 Bj; [ 11.6 群延迟和延迟色散 246 7&h\l6}Yh 11.7 色度色散 246 z1kBNOr 11.8 色散补偿 249 )y(oHRCp-> 11.9 空间光线偏移 256 ]9#CVv[rq 11.10 参考文献 258 U&`6&$] 12 公差与误差 260 `(P
"u 12.1 蒙特卡罗模型 260 )ni"qv~J 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 o1Ne+Jt 12.2.1 误差工具 267 PL9<*.U"= 12.2.2 灵敏度工具 271 K4_~ruhr 12.2.2.1 独立灵敏度 271 EN)YoVk 12.2.2.2 灵敏度分布 275 NWw<B3aL 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 0,:iE\ 12.3 参考文献 276 ={\![{L 13 Runsheet 与Simulator 277 z'?SRK5+ 13.1 原理介绍 277 O5ucI$s 13.2 截止滤光片设计 277 SE6>vKR/. 14 光学常数提取 289 92s4u3L; 14.1 介绍 289 n'q
aR<bY 14.2 电介质薄膜 289 ?){0-A4 14.3 n 和k 的提取工具 295 (qJIu 14.4 基底的参数提取 302 WfRVv3Vm 14.5 金属的参数提取 306 ;9}w|!/ 14.6 不正确的模型 306 ]U_5\$ 14.7 参考文献 311 T:be 9 5!, 15 反演工程 313 <}<#W/ 15.1 随机性和系统性 313 C\y[&egww 15.2 常见的系统性问题 314 ThjUiuWe 15.3 单层膜 314 sq6>DuBZz 15.4 多层膜 314 t-'I`I 15.5 含义 319 ]^Sd9ba 15.6 反演工程实例 319 rH[5~U 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 (irk$d % 15.6.2 反演工程提取折射率 327 @m5O{[euj< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 S4;wa6 16.1 光学性质的热致偏移 329 ,?C|.5 16.2 应力工具 335 | -JI`!7 16.3 均匀性误差 339 c'"#q) 16.3.1 圆锥工具 339 Xq+!eOT 16.3.2 波前问题 341 mfj4`3:NV 16.4 参考文献 343 W,xi>5k 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ,.~
W 17.1 引言 345 gmXy>{T 17.2 操作数 345 ue,#,3{m 18 如何在Function中编写脚本 351 ~D<7W4c 18.1 简介 351 E~'q?LJOB 18.2 什么是脚本? 351 98X!uh' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 oxUE79 18.4 基础 352 >`<Ued 18.4.1 Classes(类别) 352 > .a+: 18.4.2 对象 352 M' &J_g 18.4.3 信息(Messages) 352 ?R dmKA 18.4.4 属性 352 `Af{H/qiI 18.4.5 方法 353 qXXYF>Z- 18.4.6 变量声明 353 D-'i G%)kA 18.5 创建对象 354 N7d17c.
5 18.5.1 创建对象函数 355 s@[C&v 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 m\<<oIlH 18.5.3 丢弃对象 356 q>Q:X3
18.5.4 总结 356 L4MxU 2 18.6 脚本中的表格 357 p>2|| 18.6.1 方法1 357 |^YzFrc 18.6.2 方法2 357 \;nD)<)J 18.7 2D Plots in Scripts 358 9zXu6<|qrL 18.8 3D Plots in Scripts 359 \pjRv 18.9 注释 360 Nr>c'TH 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 a Q.Iq 18.11 一个更高级的脚本 362 LEYWH%y 18.12 <esc>键 364 `'z(--J}` 18.13 包含文件 365 *ah>-}- 18.14 脚本被优化调用 366 ( rA\_FOJ 18.15 脚本中的对话框 368 2#>$%[ 18.15.1 介绍 368 *ge].E 18.15.2 消息框-MsgBox 368 UN
cYu9[ 18.15.3 输入框函数 370 \[Sm2/9v 18.15.4 自定义对话框 371 ]jHh7> D 18.15.5 对话框编辑器 371 + ")qi= 18.15.6 控制对话框 377 B'WCN&N 18.15.7 更高级的对话框 380 }"F
?H:\ 18.16 Types语句 384 8[6ny=S` 18.17 打开文件 385 +)/Rql(lY 18.18 Bags 387 ovhC42i 18.13 进一步研究 388 g*:ae;GP 19 vStack 389 "Y"t2l_n 19.1 vStack基本原理 389 r
Iya\z1W 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 vjexx_fq
19.3 五棱镜 393 w.4u=e >Z4 19.4 光束距离 396 pFpQ\xc9$ 19.5 误差 399 YQN]x}:E+4 19.6 二向分色棱镜 399 GM)\)\kNF 19.7 偏振泄漏 404 6F|Hg2tpz 19.8 波前误差—相位 405 /'8*aUa 19.9 其它计算参数 405 Uq<a22t@ 20 报表生成器 406 =]_d pE EQ 20.1 入门 406 6vD]@AF 20.2 指令(Instructions) 406 k| _$R? 20.3 页面布局指令 406 *G%1_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 \_*?R,$3Y, 20.5 表格中的常见参数 408 1g~Dm}m 20.6 迭代指令 408 (cOND/S 20.7 报表模版 408 K;@RUy~ 20.8 开始设计一个报表模版 409 {AU` }*5 21 一个新的project 413 c,#~L7 21.1 创建一个新Job 414 "E@NZ*"u 21.2 默认设计 415 QLn5#x~xb 21.3 薄膜设计 416 Jcwh|w9D8 21.4 误差的灵敏度计算 420 !$:0E
y(S 21.5 显色指数计算 422 q7 %=`l 21.6 电场分布 424 N.fQ7z=Z(M 后记 426 Yv#J`b@y 以上两本镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系谢谢! d-6sC@PB
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