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md 内容简介 ~Q5HM Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 lUmaNZ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 V!p;ME 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 I5{SC-7 #\qES7We6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 oVdmgmT.Y 目录 zK v}J Preface 1 rnUe/HjH 内容简介 2 >K3Lww)Ln 目录 i =x>KA*O1 1 引言 1 kq+L63fZ 2 光学薄膜基础 2 >
ewcD{bt 2.1 一般规则 2 Pg7/g=Va 2.2 正交入射规则 3 Q =Z-vTD+ 2.3 斜入射规则 6 3$_wAt4w 2.4 精确计算 7 B^Vb=* QRo 2.5 相干性 8 sqhM[u
k 2.6 参考文献 10 JdE=!~\8 3 Essential Macleod的快速预览 10 e([}dz 4 Essential Macleod的特点 32 \RJ428sxn 4.1 容量和局限性 33 S[Et!gj: 4.2 程序在哪里? 33 YC{od5a 4.3 数据文件 35 #H|]F86 ( 4.4 设计规则 35 K=V)"v5o3 4.5 材料数据库和资料库 37 c(:GsoO 4.5.1材料损失 38 ]'{<O3:7 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Lq:Z='Kc 4.5.2 材料库 41 tlE+G@|^ 4.5.3导出材料数据 43 :^K|u^_>P 4.6 常用单位 43 }0:=)e 4.7 插值和外推法 46 j:g/[_0s 4.8 材料数据的平滑 50 u?!p[y6 4.9 更多光学常数模型 54 rLVS#M#&e> 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^vUdf.n9 4.11 撤销和重做 56 Zi^&x6y^ 4.12 设计文档 57 8d-_'MXk3 4.10.1 公式 58 ZDlMkHJ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Vx'_fb?wap 4.10.3 沉积密度 59 "~tEmMz 4.10.4 平行和楔形介质 60 /p~gm\5Z 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 1Ypru<.)W 4.10.4 性能 61 E=7~\7TE 4.10.5 保存设计和性能 64 "!2Fy-Y 4.10.6 默认设计 64 }2}hH0R 4.11 图表 64 h/d&P 4.11.1 合并曲线图 67 J*.qiUAgW 4.11.2 自适应绘制 68 D+tn<\LF 4.11.3 动态绘图 68 -YD6 4.11.4 3D绘图 69 ;L|%H/SH 4.12 导入和导出 73 {JMFCc[ 4.12.1 剪贴板 73 tR1
kn&w 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 H13|bM< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !RV}dhI 4.13 背景 77 1Nv_;p.{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 : -OHD#>% 4.15 生成Rugate 84 0EOpK%{ 4.16 参考文献 91 ZhW>H 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _&P![o)x 5.1 Jobs 92 3eD#[jkAI; 5.2 创建一个新Job(工作) 93 v*kTTaU& 5.3 输入材料 94 'F1NBL 5.4 设计数据文件夹 95 't]=ps 5.5 默认设计 95 1qtu,yIf 6 细化和合成 97 nI&Tr_"tm 6.1 优化介绍 97 ;a2TONW 6.2 细化 (Refinement) 98 smJ%^'x 6.3 合成 (Synthesis) 100 .M!HVq47m 6.4 目标和评价函数 101 1s .Ose 6.4.1 目标输入 102 49cQA$Ad 6.4.2 目标 103 pno]Bld'z 6.4.3 特殊的评价函数 104 5P [b/.n 6.5 层锁定和连接 104 >zVj+ 6.6 细化技术 104 }sZme3*J[ 6.6.1 单纯形 105 d
H]'&&M 6.6.1.1 单纯形参数 106 F.zn:y X5 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 YQLp# 6.6.2.1 Optimac参数 108 _Uc le 6.6.3 模拟退火算法 109 7EO/T,{a 6.6.3.1 模拟退火参数 109 C[gy{40} 6.6.4 共轭梯度 111 g^/ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1jO}{U 6.6.5 拟牛顿法 112 P
>HEV
a 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 lOYzo 6.6.6 针合成 113 f
0D9Mp 6.6.6.1 针合成参数 114 LNPwb1) 6.6.7 差分进化 114 \hoYQK j 6.6.8非局部细化 115 1 :<f[l 6.6.8.1非局部细化参数 115 Ou>L|#=! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 eJlTCXeZ| 6.7.1 细化 116 bd_&=VLTC 6.7.2 合成 117 \L Gj]mb1 6.8 参考文献 117 :_X9x{ 7 导纳图及其他工具 118 M:YtW5{ 7.1 简介 118 BxVo>r 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~RgO9p(dY 7.2.1 四分之一波长规则 119 wGr5V! 7.2.2 导纳图 120 T*e>_\Tx 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 5srj|'ja 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $)8b)Tb 7.5 斜入射导纳图 141 D-JG0.@ 7.6 对称周期 141 ~H`~&? 7.7 参考文献 142 )%FRBO] 8 典型的镀膜实例 143 '[g@A>xDvW 8.1 单层抗反射薄膜 145 dz3chy,3 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 os9X)G 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9M8n 8.4 W-膜层 148 ,e<(8@BBL 8.5 V-膜层 149 ;w--fqxVl 8.6 V-膜层高折射基底 150 ancs 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %iMRJ}8(7 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8$4@U;Vh; 8.9 四层抗反射薄膜 153 qD0sD2 x 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
p}I,!~}
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 rXgU*3RG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 99)m d 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ay4E\=k 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "-bsWC 8.15十五层宽带抗反射膜 159 y(!J8(yA 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 +a7J;-| 8.17 1/4波长堆栈 162 2GkJ7cL 8.18 陷波滤波器 163 oS.fy31p 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Cp {
j+Ia 8.20 褶皱 165 jr,j1K@_t 8.21 消偏振分光器1 169 *>"k/XUn$ 8.22 消偏振分光器2 171 BUhLAO
8.23 消偏振立体分光器 172 St 4YNS.| 8.24 消偏振截止滤光片 173 `q":i>FP2 8.25 立体偏振分束器1 174 JzI/kH~ 8.26 立方偏振分束器2 177 y{{7)G 8.27 相位延迟器 178 EdgcdSb7 8.28 红外截止器 179 <~D-ew^BU 8.29 21层长波带通滤波器 180 CI%4!K;{ 8.30 49层长波带通滤波器 181 5^:N]Mp" 8.31 55层短波带通滤波器 182 0{0BL@H 8.32 47 红外截止器 183 N!RkV\:X 8.33 宽带通滤波器 184 }fzv9$]$ 8.34 诱导透射滤波器 186 G3r9@2OC 8.35 诱导透射滤波器2 188 =XbOY[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 VEUdw(-?s 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 1"7Rs}l7 8.35 增益平坦滤波器 193 B}Lz#'5_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 gpt98:w: 8.39 啁啾反射镜2 198 sA!,)'6 8.40 啁啾反射镜3 199 '(N -jk 8.41 带保护层的铝膜层 200 <S/`-/=2 8.42 增加铝反射率膜 201 I" AgRa 8.43 参考文献 202 ^dc~hD 9 多层膜 204 KNH.4A , 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 D`|.% 9.2 内部透过率 204 mI;#Zq_j 9.3 内部透射率数据 205 [ vWcQ6m 9.4 实例 206 tp4/c'w;)J 9.5 实例2 210 0H<&*U_V 9.6 圆锥和带宽计算 212 %(72+B70R 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 )+!~xL 10 光学薄膜的颜色 216 gtizgUS7 10.1 导言 216 u>e4;f`F 10.2 色彩 216 d`M]>EDXp 10.3 主波长和纯度 220 ?=C?3R 10.4 色相和纯度 221 b ] W^_ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ` #!~+ 10.6 色差 226 ">?ocJ\9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3>jL7sh%| 10.8 颜色渲染指数 234 -5v2E- 10.9 色差计算 235 ~KtA0BtC
10.10 参考文献 236 OB-2xmZW 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ,VtrQb)Yf 11.1 短脉冲 238 WGG
Va 11.2 群速度 239 aq a%B 11.3 群速度色散 241 ^4D7sS;~3 11.4 啁啾(chirped) 245 }M9R5!=q 11.5 光学薄膜—相变 245 Q"2t: 11.6 群延迟和延迟色散 246 0H|U9 11.7 色度色散 246 fevLu[, 11.8 色散补偿 249 }4
p3m] 11.9 空间光线偏移 256 W`$D*X0*o 11.10 参考文献 258 {|{}]B 12 公差与误差 260 fWr6f`de 12.1 蒙特卡罗模型 260 t6zc$0-j" 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8UAbTqB- 12.2.1 误差工具 267 %&D,|Yl6 12.2.2 灵敏度工具 271 N{lj"C]L 12.2.2.1 独立灵敏度 271 <4caG2~q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 7.-g=Rcz 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 cyR K&J 12.3 参考文献 276 NS^(5g 13 Runsheet 与Simulator 277 uydy[n\ 13.1 原理介绍 277 `vkNp8| 13.2 截止滤光片设计 277
l?_h(Cq< 14 光学常数提取 289 $?38o6 14.1 介绍 289 }]8n3&* 14.2 电介质薄膜 289 "X\|!Mxh 14.3 n 和k 的提取工具 295 O{0TS^ 14.4 基底的参数提取 302 35 Y#eU2] 14.5 金属的参数提取 306 Nk~Xz 14.6 不正确的模型 306 gH{X? 14.7 参考文献 311 zw13Tu 15 反演工程 313 D4CN%^? 15.1 随机性和系统性 313 D)yCuw{M: 15.2 常见的系统性问题 314 P>*g'OK^!G 15.3 单层膜 314 q T16th[D 15.4 多层膜 314 [31vx0$_p 15.5 含义 319 m\3r<*q6 15.6 反演工程实例 319 /3MTutM|<X 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4v@urW s 15.6.2 反演工程提取折射率 327 8{mQmG4 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 mp^;8??; 16.1 光学性质的热致偏移 329 _`Ojh0@00 16.2 应力工具 335 q\PHA 16.3 均匀性误差 339 --ED]S
8 16.3.1 圆锥工具 339 ^X&`:f 16.3.2 波前问题 341 5if4eitS 16.4 参考文献 343 - EwtO4vLJ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 KNR_upO8 17.1 引言 345 6mawcK:7 17.2 操作数 345 >DHpD?Pm! 18 如何在Function中编写脚本 351 f
zu#! 18.1 简介 351 >e]46K 18.2 什么是脚本? 351 Hk65c0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2TR l@ 18.4 基础 352 HA
+EuQE" 18.4.1 Classes(类别) 352 0YMmW xV 18.4.2 对象 352 Ihe/P {t]J 18.4.3 信息(Messages) 352 z8#c!h<@; 18.4.4 属性 352 3
cd5g 18.4.5 方法 353 Jk$XL<t 18.4.6 变量声明 353 U}c[oA 18.5 创建对象 354 wm3fd7T 18.5.1 创建对象函数 355 j Hd <* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Ri,8rf0u 18.5.3 丢弃对象 356 9Y9pKTU 18.5.4 总结 356 T<p,KqH 18.6 脚本中的表格 357 {{FA"NW 18.6.1 方法1 357 Z;/"-.i 18.6.2 方法2 357 S-FoyID\H 18.7 2D Plots in Scripts 358 W#pA W 18.8 3D Plots in Scripts 359 eRlJ 18.9 注释 360 e/;1<5tfj 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ` ]*KrY 18.11 一个更高级的脚本 362 $N7:;X"l 18.12 <esc>键 364 fk(l.A$ 18.13 包含文件 365 S #M<d~rK 18.14 脚本被优化调用 366 *^'$YVd# 18.15 脚本中的对话框 368 {J:ZM"GS 18.15.1 介绍 368 dHU#Y,v 18.15.2 消息框-MsgBox 368 3I)!.N[m 18.15.3 输入框函数 370 F8q &v" 18.15.4 自定义对话框 371 /MS*_ 18.15.5 对话框编辑器 371 |51z&dG 18.15.6 控制对话框 377 gE,i
Cx 18.15.7 更高级的对话框 380 R5QSf+/T4 18.16 Types语句 384 B_u+$Odo 18.17 打开文件 385 X
X>Y]P
a 18.18 Bags 387 |TOz{ 18.13 进一步研究 388 GHQa{@m2V 19 vStack 389 X&^8[," 19.1 vStack基本原理 389 Z`fm;7NiVG 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Ji7%=_@'-# 19.3 五棱镜 393 %@<}z|.4 19.4 光束距离 396 t I9$m[ 19.5 误差 399 9v(&3,)a 19.6 二向分色棱镜 399 %eoO3"// 19.7 偏振泄漏 404 opz.kP[e, 19.8 波前误差—相位 405 urT!?*g, 19.9 其它计算参数 405 _7SOl.5ZE 20 报表生成器 406 "FC;k
>m 20.1 入门 406 UQl3Tq4QM 20.2 指令(Instructions) 406 s[:e '#^ 20.3 页面布局指令 406 j)Z3m @Ii5 20.4 常见的参数图和三维图 407 .tB[8Y =J 20.5 表格中的常见参数 408 whW"cFg 20.6 迭代指令 408 /*Z,i&eC 20.7 报表模版 408 C7%+1w'D8 20.8 开始设计一个报表模版 409 HYgq@47$[ 21 一个新的project 413 ]R^?Pa1Te4 21.1 创建一个新Job 414 ~ifo7, 21.2 默认设计 415 EthnI7Y
21.3 薄膜设计 416 [guJd"; 21.4 误差的灵敏度计算 420 3@e#E4+ff 21.5 显色指数计算 422 S#{e@ C 21.6 电场分布 424 /}?"O~5M" 后记 426
Y_&D W4 #uNQ+US0 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 Mn(:qQo^&` PTe8,cD> BH0@WG7F 有需要可以扫码加微联系
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