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gCxAG 内容简介 l&[;rh Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 *V+j%^91} 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 *k19LI.5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ai{Sa U S%Us5`sd 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Ps 8%J; 目录 VqS#waNrx Preface 1 ,u/aT5\_ 内容简介 2 rta:f800z 目录 i Y*!qG 1 引言 1 ahPoEh 2 光学薄膜基础 2 %DdJ ^qHI 2.1 一般规则 2 Op_RzZP` 2.2 正交入射规则 3 G>q(iF' 2.3 斜入射规则 6 ezMI\r6 2.4 精确计算 7 IV)<5'v 2.5 相干性 8 P><o,s"v 2.6 参考文献 10 PTEHP 3 Essential Macleod的快速预览 10 _vZ"4L+Iw+ 4 Essential Macleod的特点 32 W16,Alf: 4.1 容量和局限性 33 PK"c4>q 4.2 程序在哪里? 33 $_x^lr 4.3 数据文件 35 m'f,_ \' 4.4 设计规则 35 0A( +ZMd 4.5 材料数据库和资料库 37 ;f"0~D2 4.5.1材料损失 38 MX@_=Sp- 4.5.1材料数据库和导入材料 39 VP6ZiQ| 4.5.2 材料库 41 ,%)6jYHR w 4.5.3导出材料数据 43 yfm^?G|sW 4.6 常用单位 43 ObiT-D?)g 4.7 插值和外推法 46 ~t~-A,1 4.8 材料数据的平滑 50 {>F7CT'G6 4.9 更多光学常数模型 54 M{*Lp6h 4.10 文档的一般编辑规则 55 TsGE cxIg 4.11 撤销和重做 56 z-b*D}& 4.12 设计文档 57 nG;8:f` 4.10.1 公式 58 Q*b]_0Rb 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 M6}3wM*4 4.10.3 沉积密度 59 'CN|'W)g7 4.10.4 平行和楔形介质 60 WASU0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 $bsG] 4.10.4 性能 61 ^6_Cc 4.10.5 保存设计和性能 64 7bV{Q355P 4.10.6 默认设计 64 M-giR:, 4.11 图表 64 6C+"`(u%V 4.11.1 合并曲线图 67 G;~V 4.11.2 自适应绘制 68 YxP@!U9dE, 4.11.3 动态绘图 68 sUU{fNC6| 4.11.4 3D绘图 69 lHhUC16> 4.12 导入和导出 73 ~>+]%FPv 4.12.1 剪贴板 73 gwWN%Z" 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -
h9?1vc7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 afb+GA! 4.13 背景 77 Qu]z)";7 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ,Bal 4.15 生成Rugate 84 `^4vT3e 4.16 参考文献 91 FGh]S-A 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 %,k][V 5.1 Jobs 92 XGkkB 5.2 创建一个新Job(工作) 93 T"0,r$3: 5.3 输入材料 94 Xt'sQ} 5.4 设计数据文件夹 95 |e2be1LD 5.5 默认设计 95 y})70w@+_ 6 细化和合成 97 (bh95X 6.1 优化介绍 97 4`8< 6.2 细化 (Refinement) 98 Z>^pCc\lH 6.3 合成 (Synthesis) 100 R]i7 $}n 6.4 目标和评价函数 101 1M}&Z H 6.4.1 目标输入 102 1 %,a =,v 6.4.2 目标 103 txPIG/ 6.4.3 特殊的评价函数 104 _X'"w|0 6.5 层锁定和连接 104 ]| +<P- 6.6 细化技术 104 n2IV2^ " 6.6.1 单纯形 105 T
N!=@Gy 6.6.1.1 单纯形参数 106 dH^ <t,v 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 [l8jRT=R 6.6.2.1 Optimac参数 108 rQaxr! 6.6.3 模拟退火算法 109 \l@,B +) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 0s>/mh; 6.6.4 共轭梯度 111 R%c SJ8O# 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 iIP8`!
O 6.6.5 拟牛顿法 112 K/}rP[H 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 /mK?E5H'r1 6.6.6 针合成 113 FSRj4e1y1 6.6.6.1 针合成参数 114 eEn;!RS) 6.6.7 差分进化 114 5=1^T@~#& 6.6.8非局部细化 115 5T:i9h 6.6.8.1非局部细化参数 115 bHI<B)=` 6.7 我应该使用哪种技术? 116 u@4V7;L 6.7.1 细化 116 kWrp1` 6.7.2 合成 117 q]\g,a 6.8 参考文献 117 c~v~2DM 7 导纳图及其他工具 118 zdp/|"D! 7.1 简介 118 ]$,UPR/3 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 l3IWoa&sh 7.2.1 四分之一波长规则 119 Zt3)]sB 7.2.2 导纳图 120 E~a3r]V/ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 YX_gb/A 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 mSo_} je( 7.5 斜入射导纳图 141 t&(PN%icD 7.6 对称周期 141 Tr#V*.x 7.7 参考文献 142 Q8_ d)t| 8 典型的镀膜实例 143 ScSZGs 5& 8.1 单层抗反射薄膜 145 .YZgOJi 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :(H> 2xS,s 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9Fr3pRIJ 8.4 W-膜层 148 1u|Rl:Q 8.5 V-膜层 149 T =2=k&| 8.6 V-膜层高折射基底 150 p^pOuy8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 HyR!O> 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Hp(D);0+) 8.9 四层抗反射薄膜 153 }`NU@O# 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 L=8+_0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 g9Yz*Nee< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 {Ions~cO) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }>[G5[\
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^7.h%lSg 8.15十五层宽带抗反射膜 159 2"-S<zM 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Kn?lHH*w7 8.17 1/4波长堆栈 162 `w.AQ?p@ 8.18 陷波滤波器 163 7^Yk`Z?|a 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U`]T~9I 8.20 褶皱 165 Kb^>-[Yx 8.21 消偏振分光器1 169 E{2Eoj;gq 8.22 消偏振分光器2 171 1U,1)<z~u 8.23 消偏振立体分光器 172 \t|M-%&)4 8.24 消偏振截止滤光片 173 VG>vn`x>a 8.25 立体偏振分束器1 174 :F?x)"WoQ+ 8.26 立方偏振分束器2 177 ${8?N:>t 8.27 相位延迟器 178 OK{xuX8u 8.28 红外截止器 179 =GXu 5 8 8.29 21层长波带通滤波器 180 +L=*:e\j 8.30 49层长波带通滤波器 181 0W%@gs5d& 8.31 55层短波带通滤波器 182 u@3y&b 8.32 47 红外截止器 183 dCFlM&(i 8.33 宽带通滤波器 184 $ F S_E 8.34 诱导透射滤波器 186 {bPV)RL: 8.35 诱导透射滤波器2 188 z~\t|Z]G,| 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 U #~;)fZ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]1gx#y 2 8.35 增益平坦滤波器 193 <vUVP\u~$ 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ei2%DMN7) 8.39 啁啾反射镜2 198 8/"fWm/ 8.40 啁啾反射镜3 199 u(!&:A9JFd 8.41 带保护层的铝膜层 200 A$WZF/x 8.42 增加铝反射率膜 201 BQ jK8c< 8.43 参考文献 202 [0UGuj 9 多层膜 204 Pe2w sR"_U 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Cb:gH}j 9.2 内部透过率 204 178Mb\8 9.3 内部透射率数据 205 -<#!DjV6( 9.4 实例 206 Ap$y%6 9.5 实例2 210 ++Ww88820 9.6 圆锥和带宽计算 212 >Ng)k]G 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 j8K,jZ 10 光学薄膜的颜色 216 m~'? /!! 10.1 导言 216 _Zc%z@} 10.2 色彩 216 tV/Z)fpyH 10.3 主波长和纯度 220 CD0VfA>Z 10.4 色相和纯度 221 T%Pp*1/m7 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9GdB#k6W` 10.6 色差 226 gip/(/NX 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |7@O($ b 10.8 颜色渲染指数 234 0ji
q-3V) 10.9 色差计算 235 5yVkb*8HS 10.10 参考文献 236 ,pBh`av 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 A%\tiZe 11.1 短脉冲 238 Ay{t254/ 11.2 群速度 239 lHB) b}7E 11.3 群速度色散 241 ~LQ[4h<J ! 11.4 啁啾(chirped) 245 i5F:r| 11.5 光学薄膜—相变 245 F%rHU5CkV 11.6 群延迟和延迟色散 246 #;#3%? 11.7 色度色散 246 +([!A6:
11.8 色散补偿 249 ,1/}^f6 11.9 空间光线偏移 256 NcM>{{8 11.10 参考文献 258 |3?
8)z\n 12 公差与误差 260 :"o
o> 12.1 蒙特卡罗模型 260 l\$+7|W 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 rbqo"g` 12.2.1 误差工具 267 4l8BQz}sb 12.2.2 灵敏度工具 271 Vc3mp;6" 12.2.2.1 独立灵敏度 271 y/c%+Ca/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Pgp {$ID 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 rp7W
}P+uU 12.3 参考文献 276 XUV!C7 13 Runsheet 与Simulator 277 b @;.F!x 13.1 原理介绍 277 IK^~X{I? 13.2 截止滤光片设计 277 e1q"AOV 6 14 光学常数提取 289 O''y>N9
14.1 介绍 289 x6'^4y]) 14.2 电介质薄膜 289 DW(~Qdk 14.3 n 和k 的提取工具 295 iwY'4Z
e 14.4 基底的参数提取 302 r(2R<A 14.5 金属的参数提取 306 G"y.Z2$ 14.6 不正确的模型 306 =GR'V 14.7 参考文献 311 h?,\(KjP# 15 反演工程 313 Z"I/ NGiU 15.1 随机性和系统性 313 7 boJ* 15.2 常见的系统性问题 314 )yxT+g2! 15.3 单层膜 314 f0Hq8qAF;^ 15.4 多层膜 314 ;9uRO*H?T 15.5 含义 319 (S^ck%]]a! 15.6 反演工程实例 319 Cef:tdk7 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 "t(wG{RxY 15.6.2 反演工程提取折射率 327 UmK X*T9 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 dX
)W0 16.1 光学性质的热致偏移 329 w36(p{#vp 16.2 应力工具 335 gH:ArfC 16.3 均匀性误差 339 G\iyJSj[P 16.3.1 圆锥工具 339 sY;lt.b 16.3.2 波前问题 341 PQj<[rY 16.4 参考文献 343 CV.+P- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 PoD^`()FR{ 17.1 引言 345 QYThW7S 17.2 操作数 345 $R^lo$( 18 如何在Function中编写脚本 351 yi!`V. 18.1 简介 351 ]re'LC!d 18.2 什么是脚本? 351 =7ydk"xM* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 d$;/T(' 18.4 基础 352 s'_,:R\VM> 18.4.1 Classes(类别) 352 PCfo 18.4.2 对象 352 Ttv9"z 18.4.3 信息(Messages) 352 4Nmea-!* 18.4.4 属性 352 \3PE+$ 18.4.5 方法 353 ]HvZ$ 18.4.6 变量声明 353 AZZRa69= 18.5 创建对象 354
CB*/ =Y 18.5.1 创建对象函数 355 O]nT>;PXX 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 U=!@Db5k~ 18.5.3 丢弃对象 356 |pWaBh|r 18.5.4 总结 356 u.6P-yh 18.6 脚本中的表格 357 ESDB[
O+`x 18.6.1 方法1 357 QB1M3b 18.6.2 方法2 357 /)V4k:#b 18.7 2D Plots in Scripts 358 qa!RH]B3 18.8 3D Plots in Scripts 359 4#Eul 18.9 注释 360 30 7fBa 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (@]tG?I= 18.11 一个更高级的脚本 362 n,KA&)/s 18.12 <esc>键 364 C+l?k2 18.13 包含文件 365 A4_>LO_qL 18.14 脚本被优化调用 366 #@_1fE 18.15 脚本中的对话框 368 |< N frz 18.15.1 介绍 368 v*P[W_. 18.15.2 消息框-MsgBox 368 o'qm82*
= 18.15.3 输入框函数 370 c#\-%h 18.15.4 自定义对话框 371 |%ZpatZA5 18.15.5 对话框编辑器 371 /PC` 0/b 18.15.6 控制对话框 377 $!`L"szqD* 18.15.7 更高级的对话框 380 ex phe+b 18.16 Types语句 384 *]{=8zc2 18.17 打开文件 385 RG?MRxC 18.18 Bags 387 s)tpr 18.13 进一步研究 388 R`Qpd3 19 vStack 389 R$xY8+}V 19.1 vStack基本原理 389 %N{sD[^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ? ICDIn 19.3 五棱镜 393 4 =Fg!Eu< 19.4 光束距离 396 C
ktX0 19.5 误差 399 oEAfowXSqk 19.6 二向分色棱镜 399 #Wx=v$" 19.7 偏振泄漏 404 BE%Z\E[[m 19.8 波前误差—相位 405 8vJdf9pB* 19.9 其它计算参数 405 WF)s*$'uz; 20 报表生成器 406 L<)Z> @fR 20.1 入门 406 }jcIDiSu 20.2 指令(Instructions) 406 9cOx@c+/ 20.3 页面布局指令 406 5bBCpNa 20.4 常见的参数图和三维图 407 %O /d4 20.5 表格中的常见参数 408 I Tn;m 20.6 迭代指令 408 _m7co : 20.7 报表模版 408 6UI>GQ 20.8 开始设计一个报表模版 409 LR\zy8y] 21 一个新的project 413 ZeTL$E[E} 21.1 创建一个新Job 414 N
^f}ui i 21.2 默认设计 415 xA9V$# d| 21.3 薄膜设计 416 ._ih$= 21.4 误差的灵敏度计算 420 5Jw"{V?Ak 21.5 显色指数计算 422 m >hovikY* 21.6 电场分布 424 "7?t)FOo 后记 426 MHNe>C-!q pe#*I/)b 原厂售价100US,讯技中文翻译出版RMB598 /h-6CR
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