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Q$0%~`t 内容简介 }?J5!X Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 mv?H]i`N 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 -ikuj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 PL$F;d J_|}Xd)~t6 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8VmN?"5v 目录 t)Q@sKT6 Preface 1 .b`P! 内容简介 2 bDS1'Ce 目录 i Z{4aGp* 1 引言 1 n E0~Y2 2 光学薄膜基础 2 >Ro n+
oe 2.1 一般规则 2 FTnQqDuT 2.2 正交入射规则 3 jgKL88J*\ 2.3 斜入射规则 6 Ti|++oC/& 2.4 精确计算 7 zZc@;S# 2.5 相干性 8 T;r];Y(b* 2.6 参考文献 10 !# :$u= 3 Essential Macleod的快速预览 10 ENWB|@B 4 Essential Macleod的特点 32 R(83E
B~_ 4.1 容量和局限性 33 d 4\E 4.2 程序在哪里? 33 So*Wk " 4.3 数据文件 35 7 eQoc2X2 4.4 设计规则 35 N8YBu/ 4.5 材料数据库和资料库 37 s]vJUC,s 4.5.1材料损失 38 ,."(Gp 4.5.1材料数据库和导入材料 39 H
L|spl(c 4.5.2 材料库 41 Rfc&OV 4.5.3导出材料数据 43 O;e8ft
'| 4.6 常用单位 43 ^=Ct Aa2 4.7 插值和外推法 46 8C,utjy 4.8 材料数据的平滑 50 FNm6/_u3 4.9 更多光学常数模型 54 !8@rK$DB 4.10 文档的一般编辑规则 55 Y`7#[g 4.11 撤销和重做 56 rKQASRF5* 4.12 设计文档 57 iQzX-a|4] 4.10.1 公式 58 hRa(<Z K 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 JM-ce8U 4.10.3 沉积密度 59 bjPbl2K 4.10.4 平行和楔形介质 60 zt[4_;2Y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 XBQ< 4.10.4 性能 61 9^QYuf3O 4.10.5 保存设计和性能 64 -)OkG#J@ 4.10.6 默认设计 64 -j`!(IJ 4.11 图表 64 q= yZx) 4.11.1 合并曲线图 67 blfE9Oy 4.11.2 自适应绘制 68 k=mT! 4.11.3 动态绘图 68 mo#0q&ZQ 4.11.4 3D绘图 69 8gbm "! 4.12 导入和导出 73 *pTO|x{ 4.12.1 剪贴板 73 Cj !i)- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =,d* {m~A 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 N+s?ZE* 4.13 背景 77 B221}t 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 XiRT|%j 4.15 生成Rugate 84 ZcTL#OTP 4.16 参考文献 91 fATA%eA8; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 :PD`PgQ 5.1 Jobs 92 N*
] i G~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 0^&(u:~ 5.3 输入材料 94 c{,y{2c]LT 5.4 设计数据文件夹 95 5]H))}9>d 5.5 默认设计 95 sWsG,v_ 6 细化和合成 97 tt7PEEf 6.1 优化介绍 97 2E3?0DL", 6.2 细化 (Refinement) 98 [W9e>Nsp0 6.3 合成 (Synthesis) 100 QtnM(m 6.4 目标和评价函数 101 Ld\LKwo 6.4.1 目标输入 102 qIDWl{b< 6.4.2 目标 103 \[[TlB> 6.4.3 特殊的评价函数 104 8<yV 6.5 层锁定和连接 104 KUp 6.6 细化技术 104 M<A;IOpR+ 6.6.1 单纯形 105 *(d6Z# 6.6.1.1 单纯形参数 106 N)y^</Ya 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 AaVI%$ 6.6.2.1 Optimac参数 108 >@)*Sn9" 6.6.3 模拟退火算法 109 j<ABO")v 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ASKAgU"h 6.6.4 共轭梯度 111 ~?AC: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [y|^P\D 6.6.5 拟牛顿法 112 ]pOYVf *$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 S,*{q( 6.6.6 针合成 113 !2zo]v4? 6.6.6.1 针合成参数 114 {PODisl>\D 6.6.7 差分进化 114 [$( sUc(% 6.6.8非局部细化 115 ( zn_8s 6.6.8.1非局部细化参数 115 I&TTr7 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Wl&
>6./{ 6.7.1 细化 116 V[o7Jr~ 6.7.2 合成 117 DKy>]Hca 6.8 参考文献 117 :DtZ8$I`]C 7 导纳图及其他工具 118 6R 1wn&8 7.1 简介 118 .cg= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 k4qLB1&, 7.2.1 四分之一波长规则 119 Ku<b0<` 7.2.2 导纳图 120 T}n N=Q4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 MV"E?}0 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 5^/,aI 7.5 斜入射导纳图 141 `zdH1 p^w 7.6 对称周期 141 42rj6m\ 7.7 参考文献 142 9W{,=.%MX$ 8 典型的镀膜实例 143 Qg'c?[~W@ 8.1 单层抗反射薄膜 145 ZYE' C 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :/o C:z\h 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 L;/9L[s, 8.4 W-膜层 148 Nk96"P$P 8.5 V-膜层 149
xS=_yO9- 8.6 V-膜层高折射基底 150 O&`U5w 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 0LetsDN7I 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
b8rp8'M) 8.9 四层抗反射薄膜 153 zP_ ] 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 h&)fu{ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 v<L=!-b^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 $ q%mu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 3p:=xL 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7~_{.f 8.15十五层宽带抗反射膜 159 kUNj4xp) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 B4`2.yRis 8.17 1/4波长堆栈 162 $Mdbto~ < 8.18 陷波滤波器 163 KMUK`tbaI 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 #v{ Y=$L 8.20 褶皱 165 -glugVq 8.21 消偏振分光器1 169 1TKEm9j]u 8.22 消偏振分光器2 171 "hL9f=w 8.23 消偏振立体分光器 172 h S4.3]ei 8.24 消偏振截止滤光片 173 ;avQ1T'{?g 8.25 立体偏振分束器1 174 ~j=xi P 8.26 立方偏振分束器2 177 ARP KzF`Wq 8.27 相位延迟器 178 /+>)"D6' 8.28 红外截止器 179 \I?w)CE@R 8.29 21层长波带通滤波器 180 ^;.T}c%N 8.30 49层长波带通滤波器 181 DW#Bfo 8.31 55层短波带通滤波器 182 Ve)ClH/DW 8.32 47 红外截止器 183 ~|h lE z 8.33 宽带通滤波器 184 538fK9[ 8.34 诱导透射滤波器 186 *D2Nm9sl 8.35 诱导透射滤波器2 188 rVY?6OMkd 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 zG_p"Z7, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 N1%p"( 8.35 增益平坦滤波器 193 =4eUAeH {w 8.38 啁啾反射镜 1 196 yH^f\u0 8.39 啁啾反射镜2 198 Q8p=!K 8.40 啁啾反射镜3 199 cgyp5\*>+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 T=WNBqKo] 8.42 增加铝反射率膜 201 WE0}$P: 8.43 参考文献 202 o7.e'1@ 9 多层膜 204 qP7G[%=v 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 c7\VTYT 9.2 内部透过率 204 z5'ZN+ 9.3 内部透射率数据 205 e9&+vsRmA 9.4 实例 206 _3/ec]1 9.5 实例2 210 y,Jh@n';| 9.6 圆锥和带宽计算 212 tR1FO%nC 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 TXjloGv^ 10 光学薄膜的颜色 216 E!zX)|Z< 10.1 导言 216 3)3Hck
10.2 色彩 216 BWh}^3?l 10.3 主波长和纯度 220 D|l,08n"? 10.4 色相和纯度 221 pE2QnNr' 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 r$ =qQ7^# 10.6 色差 226 w]nX?S8 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 @xS]!1- 10.8 颜色渲染指数 234 ND5$bq Nu? 10.9 色差计算 235 =Q-k'= 6\ 10.10 参考文献 236 3Hw[s0[$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 %t*[T 11.1 短脉冲 238 P>(P2~$Y" 11.2 群速度 239 /;Yy@oc 11.3 群速度色散 241 vg)Z]F=t( 11.4 啁啾(chirped) 245 y%S})9 11.5 光学薄膜—相变 245 ; DDe.f" 11.6 群延迟和延迟色散 246 X P;Bhz3j 11.7 色度色散 246 C`QzT{6! 11.8 色散补偿 249 /_)l|<k+V 11.9 空间光线偏移 256 "k:=Y7Dx 11.10 参考文献 258 9cG<hX9`F 12 公差与误差 260 ^
q?1U?4 12.1 蒙特卡罗模型 260 s5&=Bsv 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8O7Yv< 12.2.1 误差工具 267 E=AVrv5T 12.2.2 灵敏度工具 271 K*Ks"Vx 12.2.2.1 独立灵敏度 271 RF?DtNuq 12.2.2.2 灵敏度分布 275 NLyXBV[hV 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 5dl,co{q 12.3 参考文献 276 ?,)"~c$hZ 13 Runsheet 与Simulator 277 @pFj9[N 13.1 原理介绍 277 r8[T&z@_ 13.2 截止滤光片设计 277 sZg6@s= 14 光学常数提取 289 t>xd]ti 14.1 介绍 289 ut_pHj@ 14.2 电介质薄膜 289 Qs9OC9X1 14.3 n 和k 的提取工具 295 O,s. D,S 14.4 基底的参数提取 302 1$pb (OK 14.5 金属的参数提取 306 .WX,Nd3@ 14.6 不正确的模型 306 /[=E0_t+ 14.7 参考文献 311 G-u]L7t&1 15 反演工程 313 =rFN1M/n{E 15.1 随机性和系统性 313 p=Y>i 'CG 15.2 常见的系统性问题 314 $SY]fNJQ 15.3 单层膜 314 (dqCa[ 15.4 多层膜 314 ,DQjDMjrf 15.5 含义 319 <jA105U"m> 15.6 反演工程实例 319 [syj# 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]*N1t>fb 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ]s_8A`vm 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )8,|-o= 16.1 光学性质的热致偏移 329 gb" 4B%Hm 16.2 应力工具 335 4w93}t.z 16.3 均匀性误差 339 !wE}(0BTx 16.3.1 圆锥工具 339 V
'.a)6 16.3.2 波前问题 341 *
F4UAQzYb 16.4 参考文献 343 !%)]56( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ;11x"S 17.1 引言 345 `<frgXu64 17.2 操作数 345 =(o']ZaaA 18 如何在Function中编写脚本 351 N|usFqCNk^ 18.1 简介 351 >IfV\w32 18.2 什么是脚本? 351 4aUiXyr*2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 G~,:2
o3 18.4 基础 352 vXE0%QE'Q 18.4.1 Classes(类别) 352 iE].&>w 18.4.2 对象 352 F3Maqr y 18.4.3 信息(Messages) 352 j;0vAf 18.4.4 属性 352 EGVM)ur 18.4.5 方法 353 A8r^)QJP{ 18.4.6 变量声明 353 ;i<jhNA 18.5 创建对象 354 qv*7K@ 18.5.1 创建对象函数 355 JRaq!/[( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 hz:pbes 18.5.3 丢弃对象 356 YJeyIYCs< 18.5.4 总结 356 fyknP)21I 18.6 脚本中的表格 357 Vvp[P> 18.6.1 方法1 357 4rg2y] 18.6.2 方法2 357 hX:"QXx 18.7 2D Plots in Scripts 358 }<a^</s 18.8 3D Plots in Scripts 359 tq1CwzRX 18.9 注释 360 p>w]rE:} 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <AH1i@4 18.11 一个更高级的脚本 362 i1lBto[ 18.12 <esc>键 364 AIYmS#V1W2 18.13 包含文件 365 R%Y`=pK>} 18.14 脚本被优化调用 366 ]6r;}1c
18.15 脚本中的对话框 368 zAzP,1$? 18.15.1 介绍 368 Z @ dC+0[= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 6w8">~)Z 18.15.3 输入框函数 370 2Os1C}m 18.15.4 自定义对话框 371 j$7|XM6 18.15.5 对话框编辑器 371 (V`Md\NL` 18.15.6 控制对话框 377 nI.x 18.15.7 更高级的对话框 380 9;.(u'y| 18.16 Types语句 384 s$ENFp7P 18.17 打开文件 385 !>,m&O-x 18.18 Bags 387 \NZIEu)5? 18.13 进一步研究 388 Fb`a~c~s 19 vStack 389 CC=d I 19.1 vStack基本原理 389 *iBTI+"] 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 )SF}2?7e 19.3 五棱镜 393 d\{>TdyF 19.4 光束距离 396 .IBp\7W!?E 19.5 误差 399 Ysq'2 19.6 二向分色棱镜 399 i9<pqQ 19.7 偏振泄漏 404 &Mq~T_S 19.8 波前误差—相位 405 X|f7K 19.9 其它计算参数 405 ajR%c2G; 20 报表生成器 406 t7n(Qkrv 20.1 入门 406 Z>c3 20.2 指令(Instructions) 406 wI]"U2L5 20.3 页面布局指令 406 Un`^jw#_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 R'EUV0KX>Y 20.5 表格中的常见参数 408 %,Sf1fUJ 20.6 迭代指令 408 c0B|F 20.7 报表模版 408
{vUN+We 20.8 开始设计一个报表模版 409 |F,R&<2 21 一个新的project 413 {"oxJ`z4 21.1 创建一个新Job 414 3.22"U\1: 21.2 默认设计 415 QO;N9ZI 21.3 薄膜设计 416 uH/w\v_I 21.4 误差的灵敏度计算 420 {^(ACS9mL 21.5 显色指数计算 422 B~o\+n 21.6 电场分布 424 {!6/x9> 后记 426 HEA#bd\ @KX
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