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光学测量＞显微 B]tQ(s ~ ~9@UjQ^)F 任务/系统视图 )SGq[B6@I b ]KBgZ  4V`G,W4^J [4f{w%~^ 亮点 b>ySv ` Sz}`+E  Gd85 kY@w7
Q~Wqy~tS 显微镜系统中光栅的全矢量分析 R6->t #n, 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 @q) d 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 (4nq>;$3 #H~6 4/ 说明：光源 |sE'XT4ag `ERz\`d~Y;  ]Y&VT7+Z <a3 WKw  5{,<j\#L sYA1\YIii 说明：透镜系统 ~P-mC@C 'I;zJ`Trd  %xLh Z\ 说明：样品结构 9\(|
D# Mi_$">1-W  Q"#J6@ &rR2,3r= 说明：探测器 C0Z=~Q% q)
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; 结果：光线追迹 47/iF97 \~ wMfP8  W2!+z{:m GC'O[q+ 结果：光线追迹衍射级数 />>\IR hi[pVk~B)  ^LLzZnkcZ dA j$1Ke 结果：场追迹采样平面 yB6?`3A: ?aMOZn?  lu/
( 4ED &%Tj/ Qx 结果：场追迹焦平面 hE-M$LmN@ w4Z'K& d=  ddR >7d}N vZ L f 结果：减小光栅周期 9gZ $
tq?!-x +> 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 akQ7K >(RkZ}z
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