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光学测量＞显微 g ;F"7
^sg upn8n vy4( 任务/系统视图 5#:pT l_FGZ !7  _rQUE ^9 kL{;.WsB 亮点 6DS43AQs V:K;] h*!  )jW(6
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显微镜系统中光栅的全矢量分析 f~& a- 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ;cP8 ?U 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 [p;*r)f2} B5=3r1 Ly 说明：光源 .{dE}2^ 3V Cqp13  euRss#; \4~AI=aw,T  F+=urc >w dBEIMn@ 说明：透镜系统 c c G[' 7 ki\uTD`mf  E1q%gi4 Q% 说明：样品结构 T`L }[?w y,C!9l  9{J?HFw*; v +q<BYq 说明：探测器 nsJ :Osq| s"mFt {Y  lJ/6-dP
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 Dt}dp_ p]f&mBO* 结果：3D光线追迹 0<P(M: a P.4E{.)(  W7e4p R?w |$w* RI0C  D$pj# >q| Q-I~gs 结果：光线追迹 `ut )+ T V H`|0-`q  fGO *% ) E`E'<"{Yd 结果：光线追迹衍射级数 _Xh=&(/8 @ cIZc:
 gduxA/aT ,VG9) K 1K 结果：场追迹采样平面 HYIRc Y ]Y5dl;xrM)  u8 uW9 < -N^ =@Yx) 结果：场追迹焦平面 [t}):}~F| m!!;/ e?yx  Yk7"XP[Y -Op@y2+c 结果：减小光栅周期 TNsg pJ?\
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随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 !$E~\uT aJQXJ,>Lv
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